JP6177636B2 - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Description
前記一対の磁界発生手段の一方の着磁方向と他方の着磁方向とが斜めで、かつ、双方の着磁方向が前記可動部に向いていることを特徴とする。
前記磁界発生手段は、前記可動部および前記第2可動部をそれぞれ挟んで配置される二対構成であることを特徴とする。
前記磁界発生手段は、前記駆動コイルに対して斜め磁場を形成していることを特徴とする。
2 デバイス基板
3 固定部
4 支持梁
5 可動部
6 ヨーク
7 磁界発生手段
8 第2支持梁
9 第2可動部
Claims (4)
- デバイス基板に設置された枠状の固定部の内側に設けられる可動部と、
前記デバイス基板の一面側に、前記可動部を挟む様に一方のN極と他方のS極とを近接させて設置されている一対の磁界発生手段とを備え、
前記一対の磁界発生手段の一方の着磁方向と他方の着磁方向とが斜めで、かつ、双方の着磁方向が前記可動部に向いていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。 - 前記固定部と前記可動部の間に第2可動部を設け、
前記磁界発生手段は、前記可動部および前記第2可動部をそれぞれ挟んで配置される二対構成であることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。 - 前記磁界発生手段は、前記デバイス基板の他面側にも設置されていることを特徴とする請求項1から請求項2のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記可動部に設置されて前記可動部を駆動するための駆動コイルを有し、
前記磁界発生手段は、前記駆動コイルに対して斜め磁場を形成していることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
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