JP6157277B2 - コンタクトプローブおよび基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、プローブ本体がプローブ保持部によって保持されたコンタクトプローブ、およびそのコンタクトプローブを備えた基板検査装置に関するものである。

この種のコンタクトプローブとして、基板検査装置の検査ユニットに搭載された基板検査用プローブ（以下、単に「プローブ」ともいう）が特開２００３−９８２１４号公報に開示されている。このプローブは、導電性弾性部材で形成されたニードルピンと、ニードルピンの先端部側部位を拘束する第１拘束部材と、ニードルピンの中間部を拘束する第２拘束部材と、ニードルピンの基端側が固定されたホルダと、両拘束部材およびホルダを一体化するホルダベースとを備えて構成されている。この場合、このプローブでは、第１拘束部材における傾斜部の先端に平面視Ｖ字状のＶ溝が形成されると共に、第２拘束部材に略雫形状の孔（以下、「雫形状孔」ともいう）が形成され、上記のホルダ、Ｖ溝、および雫形状孔によってニードルピンを保持する構成が採用されている。

このプローブの組立てに際しては、雫形状孔に挿通させた状態のニードルピンにおける先端部側部位をＶ溝に嵌入させ、かつニードルピンにおける基端部をホルダに固定する。次いで、ホルダベースに対して第２拘束部材をスライドさせる。この際には、ニードルピンの中間部が、雫形状孔の狭小部に接した状態で第２拘束部材と共にホルダベースや第１拘束部材に対して移動させられる結果、側面視においてニードルピンに撓みが生じた状態になると共に、ニードルピンの先端部側部位がＶ溝の狭小部に押し付けられた状態となる。これにより、プローブの組立てが完了する。

一方、このプローブを用いた基板の検査に際しては、プローブ駆動機構に取り付けられたプローブのホルダベースが基板に向けて移動させられたときに、まず、ニードルピンの先端部が基板に接触し、ホルダベースが基板に向けてさらに移動させられたときに、ニードルピンの先端部側部位がＶ溝の案内に従って第１拘束部材に対して相対的に上動させられる。この際には、ニードルピンの中間部が第２拘束部材における雫形状孔の狭小部から離脱するようにニードルピンが座屈変形させられ、この座屈変形によって生じる弾性復帰力が付勢力として働いてニードルピンの先端部が基板の表面に押し付けられる。これにより、プロービングが完了する。この状態において、プローブを介して各種の電気的パラメータが測定され、その測定結果に基づいて基板の良否が検査される。

特開２００３−９８２１４号公報（第３−５頁、第１−７図）

ところが、従来のプローブには、以下の解決すべき問題点が存在する。すなわち、従来のプローブでは、プローブホルダに一体的に固定されたホルダおよび両拘束部材によってニードルピンを保持する構成が採用されている。また、従来のプローブでは、前述したように、ニードルピンの基端部についてはホルダに固定されてホルダに対する移動が規制されているものの、ニードルピンの先端部側部位や中間部については、プロービング動作時に両拘束部材に対する移動を許容するために、Ｖ溝や雫形状孔の狭小部に押し付けられただけの状態となっている。

この場合、Ｖ溝や雫形状孔の狭小部に対するニードルピンの押付け力が過剰に強いときには、プロービングに際して両拘束部材に対するニードルピンの移動（摺動）が妨げられる結果、ニードルピンの先端部が基板に対して過剰に強く押し付けられて、基板の傷付き、およびニードルピンの破損等を招くおそれがある。したがって、従来のプローブでは、Ｖ溝や雫形状孔の狭小部に対するニードルピンの押付け力を十分に弱くする必要がある。

しかしながら、Ｖ溝や雫形状孔の狭小部に対するニードルピンの押付け力が弱い状態では、例えば高速なプロービングを行ったときに、ニードルピンの先端部側部位がＶ溝の狭小部から離脱してしまうことがあり、かかる場合には、基板に対してニードルピンの先端部が移動することで基板の表面に傷付きが生じることとなる。このため、従来のプローブには、ニードルピン（プローブ本体）の破損を招くことなく、プロービング対象の基板に傷付きが生じるのを回避するのが困難となっているという問題点がある。

本発明は、かかる解決すべき問題点に鑑みてなされたものであり、プローブ本体の破損、およびプロービング対象の傷付きを好適に回避し得るコンタクトプローブおよび基板検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載のコンタクトプローブは、プローブ本体と、プローブ案内機構に一端部が固定され、かつ前記プローブ本体が他端部に配設されると共に、当該プローブ案内機構による案内に従って当該プローブ本体の先端部をプロービング対象に接触させるプローブ保持部と、前記プローブ本体の後端部および前記プローブ保持部の前記他端部のいずれかに一端部が連結されると共に、直接、または前記プローブ保持部の前記一端部を介して前記プローブ案内機構に他端部が固定される座屈変形部とを備え、
前記プローブ保持部は、前記プローブ案内機構に固定可能に形成されて当該プローブ保持部の前記一端部を構成するベース部と、当該ベース部に一端部が連結され、かつ前記プローブ本体が他端部に配設されると共に、当該プローブ本体の前記先端部が前記プロービング対象に接触した状態において前記プローブ案内機構によって当該ベース部が当該プロービング対象体に接近する第１の向きに移動させられたときに当該ベース部に連結されている当該一端部に対して当該プローブ本体が配設されている当該他端部が相対的に変位させられて当該第１の向きとは逆向きの第２の向きへの当該プローブ本体の直動または近似的直動を許容する直動案内部とを備え、前記座屈変形部は、前記直動案内部における前記他端部の前記相対的な変位によって当該座屈変形部の前記一端部が当該座屈変形部の前記他端部に接近するように当該一端部および当該他端部の間が座屈変形させられると共に、当該座屈変形させられる以前の状態に復帰しようとする弾性復帰力によって前記プローブ本体を前記第１の向きに付勢し、前記直動案内部は、前記第１の向きと交差する第３の向きに沿って配設されると共に、前記ベース部に一端部が連結され、かつ前記プローブ本体が他端部に配設された少なくとも２本のアームを有するアーム部を備え、前記アーム部は、前記各アームが前記第１の向きに並んで配設されて構成されているコンタクトプローブであって、前記プローブ保持部は、前記アーム部としての第１のアーム部および第２のアーム部を備えると共に、当該プローブ保持部を前記第１の向きに沿って見たときに、前記第１のアーム部における前記各アームの第１の延在方向と、前記第２のアーム部における前記各アームの第２の延在方向とが交差するように当該第１のアーム部および当該第２のアーム部が前記ベース部に連結されている。

また、請求項２記載のコンタクトプローブは、請求項１記載のコンタクトプローブにおいて、前記プローブ本体と前記座屈変形部とが一体的に連続して形成されている。

さらに、請求項３記載のコンタクトプローブは、請求項１または２記載のコンタクトプローブにおいて、前記直動案内部は、当該直動案内部の前記一端部に対して当該直動案内部の前記他端部が相対的に変位させられたときに弾性変形する弾性変形部を備えている。

また、請求項４記載のコンタクトプローブは、請求項３記載のコンタクトプローブにおいて、導電性を有する板体を打抜き加工することによって前記プローブ本体、前記プローブ保持部および前記座屈変形部が一体的に連続して形成されている。

さらに、請求項５記載のコンタクトプローブは、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブにおいて、前記座屈変形部は、前記プローブ保持部の前記一端部を介して前記プローブ案内機構に固定可能に当該プローブ保持部の前記ベース部に前記他端部が連結されている。

また、請求項６記載のコンタクトプローブは、請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブにおいて、前記座屈変形部は、座屈変形させられる以前の状態において前記一端部および前記他端部の間の少なくとも一部に曲りが生じるように形成されている。

また、請求項７記載の基板検査装置は、請求項１から６のいずれかに記載のコンタクトプローブと、前記プローブ案内機構と、前記プローブ案内機構によって前記プロービング対象としての検査対象基板にプロービングさせた前記コンタクトプローブを介して当該検査対象基板に入出力した電気信号に基づいて当該検査対象基板の良否を検査する検査部とを備えている。

請求項１記載のコンタクトプローブでは、プローブ本体の先端部がプロービング対象に接触した状態においてプローブ案内機構によってベース部がプロービング対象体に接近する第１の向きに移動させられたときにベース部側の一端部に対してプローブ本体側の他端部が相対的に変位させられて第１の向きとは逆向きの第２の向きへのプローブ本体の直動または近似的直動を許容する直動案内部を備えてプローブ保持部が構成され、かつ、直動案内部における他端部の相対的な変位によって座屈変形部が座屈変形すると共に、座屈変形部が座屈変形させられる以前の状態に復帰しようとする弾性復帰力によってプローブ本体を第１の向きに付勢するように構成されている。

したがって、請求項１記載のコンタクトプローブによれば、プロービング動作時にプローブ保持部から離脱させることなくプローブ本体を直動または近似的に直動させることができるため、プローブ本体の先端部をプロービング対象の表面における任意の一点に接触させた状態を維持することができる。これにより、プロービング対象の表面に傷付きが生じたり、プローブ本体に破損が生じたりする事態を好適に回避することができる。また、座屈変形部の弾性復帰力によってプローブ本体の先端部を十分な付勢力でプロービング対象に押し付けることができるため、プロービング対象とプローブ本体とを確実に接続させることができる。

また、このコンタクトプローブによれば、プローブ案内機構がコンタクトプローブを案内する第１の向きと交差する第３の向きに沿って配設されると共に、ベース部に一端部が連結され、かつプローブ本体が他端部に配設された少なくとも２本のアームを備え、各アームが第１の向きに並んで配設されたアーム部を備えて直動案内部を構成したことにより、比較的簡易な構成であるにも拘わらず、プローブ本体を確実に直動または近似的に直動させることができるため、プロービング対象の表面に傷付きが生じたり、プローブ本体に破損が生じたりする事態を一層好適に回避することができる。

さらに、このコンタクトプローブによれば、プローブ保持部を第１の向きに沿って見たときに、第１のアーム部における各アームの第１の延在方向と、第２のアーム部における各アームの第２の延在方向とが交差するように第１のアーム部および第２のアーム部をベース部に連結したことにより、一端部側を中心として両アーム部がプロービング対象の表面に沿って回動するように変形する事態を回避することができるため、プロービング対象の表面に傷付きが生じたり、プローブ本体に破損が生じたりする事態を一層好適に回避することができる。

また、請求項２記載のコンタクトプローブによれば、プローブ本体と座屈変形部とを一体的に連続して形成したことにより、プローブ本体および座屈変形部を別体に形成して一体化する構成と比較して、その製造工程が少なくなる分だけ、コンタクトプローブの製造コストを十分に低減することができる。

さらに、請求項３記載のコンタクトプローブによれば、直動案内部の一端部に対して直動案内部の他端部が相対的に変位させられたときに弾性変形する弾性変形部を備えて直動案内部を構成したことにより、座屈変形部の弾性復帰力に加えて直動案内部の弾性復帰力がプローブ本体の先端部をプロービング対象に押し付ける付勢力として働く結果、プロービング対象とプローブ本体とを一層確実に接続させることができる。

また、請求項４記載のコンタクトプローブによれば、導電性を有する板体を打抜き加工することによってプローブ本体、プローブ保持部および座屈変形部を一体的に連続して形成したことにより、各構成要素を別体に形成して一体化する構成と比較してコンタクトプローブの製造工程が少なくなる分だけ、その製造コストを十分に低減することができる。

さらに、請求項５記載のコンタクトプローブによれば、プローブ保持部の一端部を介してプローブ案内機構に固定可能に座屈変形部の他端部をベース部に連結したことにより、プローブ保持部の一端部をプローブ案内機構に固定するだけで、プローブ保持部の各構成要素と、座屈変形部とをプローブ案内機構に対して固定することができるため、コンタクトプローブを容易に着脱することができる。

また、請求項６記載のコンタクトプローブによれば、座屈変形させられる以前の状態において一端部および他端部の間の少なくとも一部に曲りが生じるように座屈変形部を形成したことにより、座屈変形部に生じさせる座屈変形の向きを強制して、意図しない向きへの座屈変形が生じる事態を回避することができる結果、プロービングに際してコンタクトプローブが破損したり、座屈変形部の座屈変形が妨げられてプローブ本体が過剰に強い力でプロービング対象に押し付けられたりする事態を好適に回避することができる。

また、請求項７記載の基板検査装置によれば、請求項１から６のいずれかに記載のコンタクトプローブと、プローブ案内機構と、プローブ案内機構によってプロービング対象としての検査対象基板にプロービングさせたコンタクトプローブを介して検査対象基板に入出力した電気信号に基づいて検査対象基板の良否を検査する検査部とを備えて構成したことにより、検査対象基板に傷付きが生じる事態を回避することができるだけなく、コンタクトプローブを介して検査対象基板に電気信号を確実に入出力させることができるため、良品の検査対象基板を不良品と誤って検査したり、不良品の検査対象基板を良品と誤って検査したりする事態を回避して正確に検査することができる。

コンタクトプローブ１の側面図である。 コンタクトプローブ１の正面図である。 コンタクトプローブ１の平面図である。 薄板部３の構成について説明するための説明図である。 プロービング状態におけるコンタクトプローブ１の側面図である。 薄板部３ａ，３ｂの構成について説明するための説明図である。 薄板部３ａ，３ｃの構成について説明するための説明図である。 コンタクトプローブ１Ａの側面図である。 コンタクトプローブ１Ａの正面図である。 コンタクトプローブ１Ａの平面図である。 取付部２ａおよび薄板部４ａ，４ｂの構成について説明するための説明図である。 プロービング状態におけるコンタクトプローブ１Ａの側面図である。 基板検査装置１００の構成を示す構成図である。

以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブおよび基板検査装置の実施の形態について説明する。

図１〜３に示すコンタクトプローブ１は、「コンタクトプローブ」の一例であって、図１３に示すように、「プロービング対象」の一例である検査対象基板Ｘに対するプロービングが可能に基板検査装置１００のプローブ案内機構Ｍに取り付けられる。この場合、基板検査装置１００は、一例として、一対のコンタクトプローブ１，１（または、後述するコンタクトプローブ１Ａ，１Ａ：図８〜１０参照）と、両コンタクトプローブ１，１を検査対象基板Ｘにそれぞれプロービングさせるプローブ案内機構Ｍ，Ｍと、両プローブ案内機構Ｍ，Ｍを制御して両コンタクトプローブ１，１を検査対象基板Ｘにプロービングさせると共に両コンタクトプローブ１，１を介して検査対象基板Ｘに入出力した電気信号に基づいて検査対象基板Ｘの良否を検査する検査部１１０とを備えて構成されている。

一方、コンタクトプローブ１は、取付部２および薄板部３を備えて構成されている。取付部２は、一例として、銅合金等の導電性材料によって薄板部３を取り付け可能に形成されている。この取付部２には、図２，３に示すように、プローブ案内機構Ｍの位置決め用凸部Ｍａ（図１〜３参照）を挿入可能な位置決め用孔Ｈａと、コンタクトプローブ１をプローブ案内機構Ｍに固定するための固定用ねじＮ（図１，２参照）をねじ穴Ｍｂにねじ込むための挿通孔Ｈｂとが形成されている。

薄板部３は、図１〜３に示すように、ベース部１１ａ，１１ｂ、アーム１２ａ，１２ｂ、アーム１３ａ，１３ｂ、プローブ本体１４（「プローブ本体」の一例）および座屈変形部１５（「座屈変形部」の一例）を備えて構成されている。この場合、図４に示すように、本例のコンタクトプローブ１では、ニッケル合金等の導電性材料で形成された薄板（「導電性を有する板体」の一例）を打ち抜き加工することによって、上記の各構成要素１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４，１５が一体的に連続して形成されている。

なお、本例のコンタクトプローブ１では、薄板部３のベース部１１ａ，１１ｂが取付部２と相俟って「ベース部」を構成すると共に、アーム１２ａ，１３ａが「第１のアーム部」を構成し、かつアーム１２ｂ，１３ｂが「第２のアーム部」を構成する（「少なくとも２本」が「２本」の構成の例）。したがって、本例のコンタクトプローブ１では、上記の各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂが相俟って「直動案内部」を構成すると共に、これら各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂと、ベース部１１ａ，１１ｂと、取付部２とが相俟って「プローブ保持部」が構成されている。

このコンタクトプローブ１では、図１，２に示すように、上記の「プローブ保持部」の一端部（この例では、「ベース部」を構成する取付部２）がプローブ案内機構Ｍに固定され、かつ「プローブ保持部」の他端部（この例では、「直動案内部」を構成する各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂにおけるベース部１１ａ，１１ｂとは逆側の端部）にプローブ本体１４が配設され、これにより、「プローブ保持部」がプローブ案内機構Ｍによる案内に従ってプローブ本体１４の先端部Ｐａを検査対象基板Ｘ（「プロービング対象」の一例）に接触させる構成が採用されている。

また、コンタクトプローブ１では、プローブ本体１４の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘに接触した状態においてプローブ案内機構Ｍによって取付部２およびベース部１１ａ，１１ｂが検査対象基板Ｘに接近する矢印Ａの向き（「第１の向き」の一例）に移動させられたときに、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂが弾性変形して、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの一端部（ベース部１１ａ，１１ｂに連結されている側の端部）に対して、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの他端部（プローブ本体１４が配設されている側の端部）が相対的に変位させられることにより、上記の矢印Ａの向きとは逆向きの矢印Ｂの向き（「第２の向き」の一例）へのプローブ本体１４の近似的直動が許容される構成が採用されている。

この場合、図１に示すように、本例のコンタクトプローブ１では、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂがプローブ案内機構Ｍによるコンタクトプローブ１の案内方向である上記の矢印Ａの向きと交差する矢印Ｃ１の向き（「第３の向き」の一例）に沿って配設されると共に、図２に示すように、アーム１２ａ，１３ａの２本が矢印Ａの向きで並んで配設され、かつアーム１２ｂ，１３ｂの２本が矢印Ａの向きで並んで配設されている。なお、図１では、アーム１２ａ，１３ａだけを図示している。

また、図３に示すように、本例のコンタクトプローブ１では、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂをプローブ案内機構Ｍによる案内方向に沿って見たときに、「第１のアーム部」を構成するアーム１２ａ，１３ａの延在方向である矢印Ｄ１ａの方向（「第１の延在方向」の一例）と、「第２のアーム部」を構成するアーム１２ｂ，１３ｂの延在方向である矢印Ｄ１ｂの方向（「第２の延在方向」の一例）とが交差するようにアーム１２ａ，１３ａがベース部１１ａに連結され、かつ、アーム１２ｂ，１３ｂがベース部１１ｂに連結されている。

さらに、このコンタクトプローブ１では、図１，２に示すように、プローブ本体１４の後端部Ｐｂに座屈変形部１５の一端部が連結され、かつ「ベース部」を構成するベース部１１ａに座屈変形部１５の他端部が連結されて座屈変形部１５の他端部が「ベース部」を介してプローブ案内機構Ｍに固定される構成が採用されている。

この場合、図４に示すように、本例のコンタクトプローブ１では、薄板部３の形成時における打ち抜き加工に際して、座屈変形部１５における中間部位がベース部１１ａ寄りに撓まされている。これにより、本例のコンタクトプローブ１では、座屈変形させられる以前の状態において座屈変形部１５の一端部（この例では、プローブ本体１４の後端部Ｐｂに連結されている側の端部）と、座屈変形部１５の他端部（この例では、ベース部１１ａに連結されている側の端部）との間の少なくとも一部にベース部１１ａに向かって突出する向きの曲りが生じた状態となっており、後述するプロービング時に座屈変形部１５に生じさせる座屈変形の向きが強制（規制）されている。

また、このコンタクトプローブ１では、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの一端部（ベース部１１ａ，１１ｂ側の端部）に対する他端部（プローブ本体１４側の端部）の相対的な変位によって、座屈変形部１５の一端部（この例では、プローブ本体１４の後端部Ｐｂに連結されている側の端部）が、座屈変形部１５の他端部（この例では、ベース部１１ａに連結されている側の端部）に接近し、かつ座屈変形部１５の一端部および他端部の間（中間部位）がベース部１１ａに接近するように座屈変形部１５が座屈変形させられ、この際に、座屈変形部１５が座屈変形させられる以前の状態に復帰しようとする弾性復帰力によってプローブ本体１４（先端部Ｐａ）を矢印Ａの向きに付勢する構成が採用されている。

また、本例のコンタクトプローブ１では、「直動案内部」を構成するアーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの全体が弾性変形可能に構成されている（「直動案内部」の全体が「弾性変形部」の構成の例）。これにより、本例のコンタクトプローブ１では、上記したように座屈変形部１５が座屈変形させられた状態から弾性復帰しようとする力に加えて、座屈変形部１５と共に弾性変形させられている各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂが弾性復帰しようとする力がプローブ本体１４（先端部Ｐａ）を検査対象基板Ｘに向けて付勢する付勢力に加算される構成が採用されている。

このコンタクトプローブ１の製造に際しては、まず、取付部２および薄板部３をそれぞれ製作する。具体的には、銅合金等を任意の大きさに切断した板体に位置決め用孔Ｈａおよび挿通孔Ｈｂを形成して取付部２を製作する。また、ニッケル合金等の薄板を打ち抜き加工することにより、図４に示すように、ベース部１１ａ，１１ｂ、アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ、プローブ本体１４および座屈変形部１５を一体的に形成した後に、同図に示す矢印Ｆの部位を折り曲げることによって薄板部３を製作する。次いで、スポット溶接、または、導電性を有する接着剤による接着によって薄板部３のベース部１１ａ，１１ｂを取付部２に固定する。これにより、図１〜３に示すように、コンタクトプローブ１が完成する。

この場合、前述したように、本例のコンタクトプローブ１では、ベース部１１ａ，１１ｂ、アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ、プローブ本体１４および座屈変形部１５がニッケル合金等の薄板を打ち抜き加工することで一体的に形成されると共に、銅合金等で形成された取付部２にベース部１１ａ，１１ｂがスポット溶接、または、導電性を有する接着剤による接着によって固定されている。したがって、このコンタクトプローブ１では、取付部２に対する薄板部３の固定が完了した時点において、プローブ本体１４の先端部Ｐａから取付部２までの各部が電気的に接続された状態となる。

一方、このコンタクトプローブ１を用いた検査対象基板Ｘの検査（検査対象基板Ｘに対するプロービング）に際しては、まず、コンタクトプローブ１をプローブ案内機構Ｍに取り付ける。具体的には、図１，２に示すように、取付部２に形成されている位置決め用孔Ｈａにプローブ案内機構Ｍの位置決め用凸部Ｍａを挿入することでプローブ案内機構Ｍに対してコンタクトプローブ１を位置決めする。次いで、取付部２に形成されている挿通孔Ｈｂに挿通させるようにして固定用ねじＮをプローブ案内機構Ｍのねじ穴Ｍｂにねじ込むことでプローブ案内機構Ｍにコンタクトプローブ１を固定する。

この際に、本例のコンタクトプローブ１では、前述したように、プローブ本体１４の先端部Ｐａから取付部２までが電気的に接続された状態となっている。このため、上記のように取付部２をプローブ案内機構Ｍに固定することにより、プローブ本体１４の先端部Ｐａがプローブ案内機構Ｍに電気的に接続された状態となる。これにより、プロービングの準備が整う。

一方、プロービングに際しては、図１，２に示すように、プローブ案内機構Ｍが、検査部１１０の制御に従い、図示しない基板保持部によって保持されている検査対象基板Ｘ（検査対象基板）における任意のプロービング位置の上方にプローブ本体１４の先端部Ｐａを位置させた後に、両図に示す矢印Ａの向きで取付部２を検査対象基板Ｘに向けて下降させる（コンタクトプローブ１を検査対象基板Ｘに接近させる）。

この際には、まず、プローブ本体１４の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面に接触させられ、プローブ案内機構Ｍが取付部２を矢印Ａの向きでさらに移動させたときに、図５に示すように、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂが弾性変形させられて、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの一端部（ベース部１１ａ，１１ｂ側の端部）に対して各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの他端部（プローブ本体１４側の端部）が矢印Ｂの向きに変位させられる。なお、同図では、アーム１２ａ，１３ａのみを図示している。

これにより、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂに連結されているプローブ本体１４が、同図に破線で示す状態（先端部Ｐａが検査対象基板Ｘに接触させられた瞬間の状態）から、実線で示す状態（各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂが弾性変形させられたときの状態）となるまで、検査対象基板Ｘに対して傾いたり移動したりせずに、取付部２やベース部１１ａ，１１ｂに対して近似的に直動させられる。これにより、プローブ本体１４の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面における一点に点的に接した状態が維持される。

また、本例のコンタクトプローブ１では、「第１のアーム部」を構成するアーム１２ａ，１３ａの一端部、および「第２のアーム部」を構成するアーム１２ｂ，１３ｂの一端部がプローブ本体１４にそれぞれ連結されている。このため、上記のように各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂが弾性変形させられる際に、アーム１２ａ，１３ａの一端部（ベース部１１ａ側の端部）を中心にして他端部（プローブ本体１４側の端部）が図３に矢印Ｅａで示すように回動するような両アーム１２ａ，１３ａの変形（検査対象基板Ｘの表面に沿って回動するような両アーム１２ａ，１３ａの振れ）がアーム１２ｂ，１３ｂによって阻止されると共に、アーム１２ｂ，１３ｂの一端部（ベース部１１ｂ側の端部）を中心にして他端部（プローブ本体１４側の端部）が矢印Ｅｂで示すように回動するような両アーム１２ｂ，１３ｂの変形（検査対象基板Ｘの表面に沿って回動するような両アーム１２ｂ，１３ｂの振れ）がアーム１２ａ，１３ａによって阻止される。これにより、プローブ本体１４の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面における一点に点的に接した状態が確実に維持される。

また、上記のような各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの一端部に対する他端部の変位に伴い、座屈変形部１５の一端部（プローブ本体１４側の端部）が他端部（ベース部１１ａ側の端部）に接近させられるようにして座屈変形部１５が座屈変形させられる。この際に、本例のコンタクトプローブ１では、前述したように、座屈変形させられる以前の状態において座屈変形部１５の一端部と他端部との間の少なくとも一部にベース部１１ａに向かって突出する向きの曲りが生じているため、座屈変形部１５が意図しない向きに座屈変形させられることなく、図５に示すように、確実かつ容易に座屈変形させられる。

さらに、座屈変形部１５が座屈変形させられた状態においては、座屈変形させられる以前の状態に復帰しようとする弾性復帰力が座屈変形部１５に生じ、この弾性復帰力によってプローブ本体１４の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面に矢印Ｂの向きで付勢される。これにより、プローブ本体１４の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘに対して十分な付勢力で押し付けられた状態となり、プローブ本体１４の先端部Ｐａが押し付けられている検査対象基板Ｘ（導体パターン等）と、プローブ案内機構Ｍとが、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ、ベース部１１ａ，１１ｂおよび取付部２を介して電気的に接続された状態となる。

また、本例のコンタクトプローブ１では、座屈変形させられた状態の座屈変形部１５に生じる上記の弾性復帰力だけでなく、弾性変形させられた状態の各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂに生じる上記の弾性復帰力が、プローブ本体１４の先端部Ｐａを検査対象基板Ｘに向けて付勢する付勢力として働くこととなる。したがって、本例のコンタクトプローブ１では、検査対象基板Ｘの表面に対してプローブ本体１４の先端部Ｐａが十分な押し付け力でプロービングされた状態となる。この後、検査部１１０が、検査対象基板Ｘに対してプロービングさせられているコンタクトプローブ１を介して入出力させた電気信号の電気的パラメータと、検査用基準データとに基づいて検査対象基板Ｘの良否を検査する。

一方、コンタクトプローブ１を介しての電気的パラメータの測定が完了したときには、プローブ案内機構Ｍが、検査部１１０の制御に従い、図５に示す矢印Ｂの向きで取付部２を上昇させる。この際には、座屈変形部１５および各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂに生じている弾性復帰力によって各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂが弾性復帰する（弾性変形させられる以前の状態となる）結果、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの一端部（ベース部１１ａ，１１ｂ側の端部）に対して各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの他端部（プローブ本体１４側の端部）が矢印Ａの向きに変位させられる。

これにより、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂに連結されているプローブ本体１４が、同図に実線で示す状態から、破線で示す状態となるまで、検査対象基板Ｘに対して傾いたり移動したりせずに、取付部２やベース部１１ａ，１１ｂに対して近似的に直動させられる。これにより、プローブ本体１４の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面における一点に点的に接した状態が維持される。また、プローブ案内機構Ｍが取付部２を矢印Ｂの向きにさらに移動させたときには、図１，２に示すように、プローブ本体１４の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘから離間して検査対象基板Ｘの上方に位置した状態となる。これにより、検査対象基板Ｘに対するプローブロービング（検査対象基板Ｘの検査）が完了する。

このように、このコンタクトプローブ１では、プローブ本体１４の先端部Ｐａが「プロービング対象」としての検査対象基板Ｘに接触した状態においてプローブ案内機構Ｍによって「ベース部（取付部２およびベース部１１ａ，１１ｂ）」が検査対象基板Ｘ体に接近する矢印Ａの向きに移動させられたときに各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂにおけるベース部１１ａ，１１ｂ側の一端部に対して各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂにおけるプローブ本体１４が配側の他端部が相対的に変位させられて矢印Ａの向きとは逆向きの矢印Ｂの向きへのプローブ本体１４の近似的直動を許容する「直動案内部」を備えて「プローブ保持部」が構成され、かつ、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂにおける他端部の相対的な変位によって座屈変形部１５が座屈変形すると共に、座屈変形部１５が座屈変形させられる以前の状態に復帰しようとする弾性復帰力によってプローブ本体１４を矢印Ａの向きに付勢するように構成されている。

したがって、このコンタクトプローブ１によれば、プロービング動作時に各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂから離脱させることなくプローブ本体１４を近似的に直動させることができるため、プローブ本体１４の先端部Ｐａを検査対象基板Ｘの表面における任意の一点に接触させた状態を維持することができる。これにより、検査対象基板Ｘの表面に傷付きが生じたり、プローブ本体１４に破損が生じたりする事態を好適に回避することができる。また、座屈変形部１５の弾性復帰力によってプローブ本体１４の先端部Ｐａを十分な付勢力で検査対象基板Ｘに押し付けることができるため、検査対象基板Ｘとプローブ本体１４とを確実に接続させることができる。

また、このコンタクトプローブ１によれば、コンタクトプローブ１を案内する矢印Ａの向きと交差する矢印Ｃ１の向きに沿って配設されると共に、ベース部１１ａ，１１ｂに一端部が連結され、かつプローブ本体１４が他端部に配設されたアーム１２ａ，１２ａ，１２ｂ，１２ｂを備え、各アーム１２ａ，１３ａが矢印Ａの向きに並んで配設されると共に、各アーム１２ｂ，１３ｂが矢印Ａの向きに並んで配設された「アーム部」を備えて「直動案内部」を構成したことにより、比較的簡易な構成であるにも拘わらず、プローブ本体１４を確実に近似的に直動させることができるため、検査対象基板Ｘの表面に傷付きが生じたり、プローブ本体１４に破損が生じたりする事態を一層好適に回避することができる。

さらに、このコンタクトプローブ１によれば、「プローブ保持部」を矢印Ａの向きに沿って見たときに、「第１のアーム部」を構成する両アーム１２ａ，１３ａの延在方向である矢印Ｄ１ａの方向と、「第２のアーム部」を構成するアーム１２ｂ，１３ｂの延在方向である矢印Ｄ１ｂの方向とが交差するように各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂをベース部１１ａ，１１ｂに連結したことにより、一端部側（ベース部１１ａ，１１ｂ側）を中心として各アーム１２ａ，１３ａ，１２ｂ，１３ｂが検査対象基板Ｘの表面に沿って回動するように変形する事態を回避することができるため、検査対象基板Ｘの表面に傷付きが生じたり、プローブ本体１４に破損が生じたりする事態を一層好適に回避することができる。

また、このコンタクトプローブ１によれば、プローブ本体１４および座屈変形部１５を一体的に連続して形成したことにより、「プローブ本体」および「座屈変形部」を別体に形成して一体化する構成と比較して、その製造工程が少なくなる分だけ、コンタクトプローブ１の製造コストを十分に低減することができる。

さらに、このコンタクトプローブ１によれば、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの一端部に対して各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの他端部が相対的に変位させられたときに弾性変形する「弾性変形部」を備えて「直動案内部」を構成した（この例では、各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの全体を「弾性変形部」で構成した）ことにより、座屈変形部１５の弾性復帰力に加えて各アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの弾性復帰力が先端部Ｐａを検査対象基板Ｘに押し付ける付勢力として働く結果、検査対象基板Ｘとプローブ本体１４とを一層確実に接続させることができる。

また、このコンタクトプローブ１によれば、導電性を有する板体を打抜き加工することによってベース部１１ａ，１１ｂ、アーム１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ、プローブ本体１４および座屈変形部１５を一体的に連続して形成したことにより、各構成要素を別体に形成して一体化する構成と比較してコンタクトプローブ１の製造工程が少なくなる分だけ、その製造コストを十分に低減することができる。

さらに、このコンタクトプローブ１によれば、「プローブ保持部」の一端部を介してプローブ案内機構Ｍに固定可能に座屈変形部１５の他端部をベース部１１ａ，１１ｂに連結したことにより、ベース部１１ａ，１１ｂが固定されている取付部２をプローブ案内機構Ｍに固定するだけで、「プローブ保持部」の各構成要素と、座屈変形部１５とをプローブ案内機構Ｍに対して固定することができるため、コンタクトプローブ１を容易に着脱することができる。

また、このコンタクトプローブ１によれば、座屈変形させられる以前の状態において一端部および他端部の間の少なくとも一部に曲りが生じるように座屈変形部１５を形成したことにより、座屈変形部１５に生じさせる座屈変形の向きを強制して、意図しない向きへの座屈変形が生じる事態を回避することができる結果、プロービングに際してコンタクトプローブ１が破損したり、座屈変形部１５の座屈変形が妨げられてプローブ本体１４が過剰に強い力で検査対象基板Ｘに押し付けられたりする事態を好適に回避することができる。

また、この基板検査装置１００によれば、上記のコンタクトプローブ１と、プローブ案内機構Ｍと、プローブ案内機構Ｍによって検査対象基板Ｘにプロービングさせたコンタクトプローブ１を介して検査対象基板Ｘに入出力した電気信号に基づいて検査対象基板Ｘの良否を検査する検査部１１０とを備えて構成したことにより、検査対象基板Ｘに傷付きが生じる事態を回避することができるだけなく、コンタクトプローブ１を介して検査対象基板Ｘに電気信号を確実に入出力させることができるため、良品の検査対象基板Ｘを不良品と誤って検査したり、不良品の検査対象基板Ｘを良品と誤って検査したりする事態を回避して正確に検査することができる。

なお、「コンタクトプローブ」の構成は、上記のコンタクトプローブ１の構成に限定されない。例えば、「第１のアーム部」を構成するアーム１２ａ，１３ａと、「第２のアーム部」を構成するアーム１２ｂ，１３ｂとがプローブ本体１４を介して一体的に連続するように形成した薄板部３を用いてコンタクトプローブ１を構成する例について説明したが、このような薄板部３に代えて、図６に示す薄板部３ａ，３ｂを用いて上記のコンタクトプローブ１と同様のコンタクトプローブを構成することもできる。なお、同図および後に参照する図７において上記のコンタクトプローブ１における薄板部３と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。

この場合、薄板部３ａ，３ｂは、上記の薄板部３をプローブ本体１４の中央部において分割した板体であり、具体的には、薄板部３において組立てに際して折り曲げた部位（図４における矢印Ｆの部位）でプローブ本体１４を分割してプローブ本体１４ａ，１４ｂが形成されている。より具体的には、ベース部１１ａ、アーム１２ａ，１３ａ、プローブ本体１４ａおよび座屈変形部１５が打ち抜き加工によって一体的に連続して形成されて薄板部３ａが構成されると共に、ベース部１１ｂ、アーム１２ｂ，１３ｂおよびプローブ本体１４ｂが打ち抜き加工によって一体的に連続して形成されて薄板部３ｂが構成されている。

この薄板部３ａ，３ｂを用いたコンタクトプローブの製造に際しては、一例として、プローブ本体１４ａ，１４ｂを当接させるようにして薄板部３ａのベース部１１ａおよび薄板部３ｂのベース部１１ｂを取付部２にそれぞれ固定した後に、スポット溶接、または、導電性を有する接着剤による接着によってプローブ本体１４ａ，１４ｂを相互に固定する。これにより、上記のコンタクトプローブ１と同様のコンタクトプローブが完成する。なお、薄板部３ａ，３ｂを用いたコンタクトプローブの動作に関しては、前述したコンタクトプローブ１と同様のため、その図示および説明を省略する。

また、「座屈変形部」を１つだけ備えた構成を例に挙げて説明したが、２つ以上の「座屈変形部」を設けて「コンタクトプローブ」を構成することもできる。具体的には、一例として、図６に示す薄板部３ｂに代えて、図７に示す薄板部３ｃを薄板部３ａと共に使用して「コンタクトプローブ」を構成することもできる。なお、薄板部３ａに関しては、図６を参照しつつ説明した上記の例と同様のため、詳細な説明を省略する。

また、薄板部３ｃは、上記の薄板部３ｂにおけるベース部１１ｂに代えてベース部１１ｃを備え、かつ薄板部３ｂにおけるプローブ本体１４ｂに代えてプローブ本体１４ｃを備えると共に、「座屈変形部」の他の一例である座屈変形部１５ｃを備えている。この薄板部３ｃは、薄板部３ａにおけるプローブ本体１４ａの先端部Ｐａ側に対応する部位が存在しない点を除き、薄板部３ａと同様の形状に形成されている。したがって、この薄板部３ｃでは、座屈変形部１５ｃの一端部がプローブ本体１４ｂの後端部Ｐｂに連結されると共に、座屈変形部１５ｃの他端部がベース部１１ｃに連結されている。

この薄板部３ａ，３ｃを用いたコンタクトプローブの製造に際しては、一例として、プローブ本体１４ａ，１４ｃを当接させるようにして薄板部３ａのベース部１１ａおよび薄板部３ｃのベース部１１ｃを取付部２にそれぞれ固定した後に、スポット溶接、または、導電性を有する接着剤による接着によってプローブ本体１４ａ，１４ｃを相互に固定する。これにより、コンタクトプローブが完成する。この薄板部３ａ，３ｃを用いたコンタクトプローブの動作に関しては、座屈変形部１５に加えて座屈変形部１５ｃが座屈変形させられる点を除き、前述したコンタクトプローブ１と同様のため、その図示および説明を省略する。なお、薄板部３ａ，３ｃに代えて、両薄板部３ａ，３ｃにおける各構成要素１１ａ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｃ，１５，１５ｃを一体的に連続して形成した薄板部（図示せず）を用いて「コンタクトプローブ」を構成することもできる。

また、座屈変形部１５（１５ｃ）の一端部をプローブ本体１４（１４ａ，１４ｂ）の後端部Ｐｂに連結した構成を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「プローブ保持部」の他端部、具体的には、「プローブ保持部」における「直動案内部」の他端部（「プローブ本体」側の端部）に「座屈変形部」の一端部を連結することもできる（図示せず）。このような構成を採用した場合においても、座屈変形させられた際に「座屈変形部」に生じる弾性復帰力によって「プローブ本体」の先端部を検査対象基板Ｘに対して十分な付勢力で押し付けた状態とすることができる。

さらに、取付部２に薄板部３を取り付けたコンタクトプローブ１や、取付部２に薄板部３ａ〜３ｃのいずれかを取り付けた「コンタクトプローブ」を例に挙げて説明したが、これらの構成に代えて、取付部２を設けることなく、上記の薄板部３，３ａ〜３ｃをプローブ案内機構Ｍに直接取り付ける構成（薄板部３，３ａ〜３ｃを「コンタクトプローブ」とする構成）を採用することができる。このような構成を採用する際には、一例として、取付部２における位置決め用孔Ｈａやねじ穴Ｍｂに代わる孔（プローブ案内機構Ｍに取り付けるための孔）を薄板部３，３ａ，３ｂのベース部１１ａ，１１ｂや薄板部３ｃのベース部１１ａ，１１ｃに形成すればよい（図示せず）。

また、「ベース部」、「直動案内部」、「プローブ本体」および「座屈変形部」を一体的に連続して形成した構成を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「プローブ本体」や「座屈変形部」を「ベース部」や「直動案内部」とは別体に形成した後に一体化する構成を採用することもできる。具体的には、一例として、図８〜１０に示すコンタクトプローブ１Ａのような構成を採用することもできる。

コンタクトプローブ１Ａは、「コンタクトプローブ」の他の一例であって、取付部２ａ、薄板部４，４（４ａ，４ｂ）、プローブ本体５、座屈変形部６および接続用配線部７を備え、基板検査装置１００のプローブ案内機構Ｍに取り付け可能に構成されている。この場合、薄板部４，４は、後述するように、その大きさおよび形状等が互いに等しく形成されている。なお、コンタクトプローブ１Ａの構成に関する理解を容易とするために、以下、上方に位置する薄板部４を薄板部４ａともいい、下方に位置する薄板部４を薄板部４ｂともいう。また、このコンタクトプローブ１Ａでは、上記のプローブ本体５、座屈変形部６および接続用配線部７がＳＫＨ（高速工具鋼）細線や、タングステンのワイヤー等で一体的に連続して形成されている。以下、このプローブ本体５、座屈変形部６および接続用配線部７を合わせて「導線８」ともいう。

取付部２ａは、プローブ案内機構Ｍに固定するための平板状の本体部２１、薄板部４ａ，４ｂを取り付けるための板体取付部２２、および導線８（座屈変形部６における接続用配線部７側の端部、および接続用配線部７における座屈変形部６側の端部の部位）を保持する保持部２３がポリアセタール等の樹脂材料を用いた射出成形処理によって一体形成されている。この場合、図９〜１１に示すように、本体部２１には、前述したコンタクトプローブ１の取付部２と同様に位置決め用孔Ｈａおよび挿通孔Ｈｂがそれぞれ形成されている。また、保持部２３には、導線８を挿通可能な挿通用孔２３ａが形成されている。

薄板部４ａ，４ｂは、図１１に示すように、ニッケル合金等の導電性材料で形成された薄板を打ち抜き加工することにより、取付部２ａの板体取付部２２に固定するための固定部３１ａ，３１ｂと、アーム３２ａ，３２ｂとが一体的に連続して形成され、平面視Ｖ字状に形成されている。この場合、アーム３２ａ，３２ｂの先端部（Ｖ字形の頂角の部位）には、導線８を挿通可能なスリットＳが形成されている。

なお、このコンタクトプローブ１Ａでは、取付部２ａ、および両薄板部４ａ，４ｂにおける固定部３１ａ，３１ｂが相俟って「ベース部」を構成すると共に、両薄板部４ａ，４ｂのアーム３２ａ，３２ａが「第１のアーム部」を構成し、かつアーム３２ｂ，３２ｂが「第２のアーム部」を構成する（「少なくとも２本」が「２本」の構成の他の例）。したがって、このコンタクトプローブ１Ａでは、上記の各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂが相俟って「直動案内部」を構成すると共に、これらの各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂと、固定部３１ａ，３１ａ，３１ｂ，３１ｂおよび取付部２ａとが相俟って「プローブ保持部」が構成されている。

このコンタクトプローブ１Ａでは、図８，９に示すように、上記の「プローブ保持部」の一端部（この例では、「ベース部」を構成する取付部２ａの本体部２１）がプローブ案内機構Ｍに固定され、かつ「プローブ保持部」の他端部（この例では、「直動案内部」を構成する各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂにおける取付部２ａ側とは逆側の端部）にプローブ本体５が配設され、これにより、「プローブ保持部」がプローブ案内機構Ｍによる案内に従ってプローブ本体５の先端部Ｐａを検査対象基板Ｘに接触させる構成が採用されている。

また、コンタクトプローブ１Ａでは、プローブ本体５の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘに接触した状態においてプローブ案内機構Ｍによって取付部２ａが検査対象基板Ｘに接近する矢印Ａの向き（「第１の向き」の一例）に移動させられたときに、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂが弾性変形して、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの一端部（取付部２ａ側の端部）に対して、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの他端部（プローブ本体５が配設されている側の端部）が相対的に変位させられることにより、上記の矢印Ａの向きとは逆向きの矢印Ｂの向き（「第２の向き」の一例）へのプローブ本体５の近似的直動が許容される構成が採用されている。

この場合、図８に示すように、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂがプローブ案内機構Ｍによるコンタクトプローブ１Ａの案内方向である上記の矢印Ａの向きと交差する矢印Ｃ２の向き（「第３の向き」の他の一例）に沿って配設されると共に、図９に示すように、アーム３２ａ，３２ａの２本が矢印Ａの向きで並んで配設され、かつアーム３２ｂ．３２ｂの２本が矢印Ａの向きで並んで配設されている。なお、図８では、アーム３２ａ，３２ａだけを図示している。

また、図１０に示すように、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂをプローブ案内機構Ｍによる案内方向に沿って見たときに、「第１のアーム部」を構成するアーム３２ａ，３２ａの延在方向である矢印Ｄ２ａの方向（「第１の延在方向」の他の一例）と、「第２のアーム部」を構成するアーム３２ｂ，３２ｂの延在方向である矢印Ｄ２ｂの方向（「第２の延在方向」の他の一例）とが交差するようにアーム３２ａ，３２ａが固定部３１ａを介して板体取付部２２に固定され、かつ、アーム３２ｂ，３２ｂが固定部３１ｂを介して板体取付部２２に固定されている。

さらに、プローブ本体５、座屈変形部６および接続用配線部７が１本の導線８で構成されている本例のコンタクトプローブ１Ａでは、プローブ本体５の後端部Ｐｂが座屈変形部６の一端部（プローブ本体５側の端部）に連結された状態（プローブ本体５および座屈変形部６が連続している状態）となっている。また、本例のコンタクトプローブ１では、「ベース部」を構成する取付部２ａの保持部２３に形成された挿通用孔２３ａに座屈変形部６の他端部（接続用配線部７側の端部）が挿通させられた状体で導線８が挿通用孔２３ａに接着剤等で固定され、これにより、座屈変形部６の他端部が取付部２ａを介してプローブ案内機構Ｍに固定される構成が採用されている。

この場合、図８に示すように、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、座屈変形部６における一端部（プローブ本体５側の端部）と他端部（接続用配線部７側の端部）との間を取付部２ａの本体部２１に向かって撓ませられている。これにより、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、座屈変形させられる以前の状態において座屈変形部６の一端部と他端部との間の少なくとも一部に本体部２１に向かって突出する向きの曲りが生じた状態となっており、後述するプロービング時に座屈変形部６に生じさせる座屈変形の向きが強制（規制）されている。

また、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの一端部（取付部２ａ側の端部）に対する他端部（プローブ本体５側の端部）の相対的な変位によって、座屈変形部６の一端部（プローブ本体５側の端部）が、座屈変形部６の他端部（この例では、保持部２３側の端部）に接近し、かつ座屈変形部６の一端部および他端部の間（中間部位）が取付部２ａの本体部２１に接近するように座屈変形部６が座屈変形させられ、この際に、座屈変形部６が座屈変形させられる以前の状態に復帰しようとする弾性復帰力によってプローブ本体５（先端部Ｐａ）を矢印Ａの向きに付勢する構成が採用されている。

また、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、「直動案内部」を構成する各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの全体が弾性変形可能に構成されている（「直動案内部」の全体が「弾性変形部」の構成の例）。これにより、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、上記したように座屈変形部６が座屈変形させられた状態から弾性復帰しようとする力に加えて、座屈変形部６と共に弾性変形させられている各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂが弾性復帰しようとする力がプローブ本体５（先端部Ｐａ）を検査対象基板Ｘに向けて付勢する付勢力に加算される構成が採用されている。

このコンタクトプローブ１Ａの製造に際しては、まず、取付部２ａおよび薄板部４ａ，４ｂをそれぞれ製作する。具体的には、ＡＢＳ樹脂等の樹脂材料を用いた射出成形処理によって取付部２ａを製作すると共に、ニッケル合金等の薄板を打ち抜き加工することによって薄板部４ａ，４ｂを製作する。次いで、接着、または超音波溶着によって固定部３１ａ，３１ｂを板体取付部２２に固定することにより、取付部２ａに薄板部４ａ，４ｂを取り付ける。

続いて、保持部２３の挿通用孔２３ａ、薄板部４ａのスリットＳ、および薄板部４ｂのスリットＳに導線８を順次挿通させた後に、一例として、挿通用孔２３ａの口縁部、および両スリットＳの口縁部と導線８との間に接着剤を注入することにより、保持部２３および薄板部４ａ，４ｂに導線８を固定する。この際には、図８に示すように、保持部２３の挿通用孔２３ａと薄板部４ａのスリットＳとの間の導線８を本体部２１に向かって撓ませた状態とする。これにより、導線８の先端部Ｐａから薄板部４ａのスリットＳに固定された部位までの間がプローブ本体５として機能し、かつ、薄板部４ａのスリットＳに固定されている部位から保持部２３の挿通用孔２３ａに固定されている部位までの間が座屈変形部６として機能すると共に、挿通用孔２３ａに固定されている部位以降の部位が接続用配線部７として機能する状態となり、コンタクトプローブ１Ａが完成する。

一方、このコンタクトプローブ１Ａを用いた検査対象基板Ｘの検査（検査対象基板Ｘに対するプロービング）に際しては、まず、コンタクトプローブ１Ａをプローブ案内機構Ｍに取り付ける。具体的には、図８，９に示すように、取付部２ａに形成されている位置決め用孔Ｈａにプローブ案内機構Ｍの位置決め用凸部Ｍａを挿入することでプローブ案内機構Ｍに対してコンタクトプローブ１Ａを位置決めする。次いで、取付部２ａに形成されている挿通孔Ｈｂに挿通させるようにして固定用ねじＮをプローブ案内機構Ｍのねじ穴Ｍｂにねじ込むことでプローブ案内機構Ｍにコンタクトプローブ１Ａを固定する。続いて、接続用配線部７の図示しない後端部を基板検査装置１００の検査部１１０に接続する。これにより、プロービングの準備が整う。

また、プロービングに際しては、プローブ案内機構Ｍが、検査部１１０の制御に従い、図示しない基板保持部によって保持されている検査対象基板Ｘ（検査対象基板）における任意のプロービング位置の上方にプローブ本体５の先端部Ｐａを位置させた後に、両図に示す矢印Ａの向きで取付部２ａを検査対象基板Ｘに向けて下降させる（コンタクトプローブ１Ａを検査対象基板Ｘに接近させる）。

この際には、まず、プローブ本体５の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面に接触させられ、プローブ案内機構Ｍが取付部２ａを矢印Ａの向きでさらに移動させたときに、図１２に示すように、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂが弾性変形させられて、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの一端部（取付部２ａ側の端部）に対して各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの他端部（プローブ本体５側の端部）が矢印Ｂの向きに変位させられる。なお、同図では、アーム３２ａ，３２ａのみを図示している。

これにより、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂに連結されているプローブ本体５が、同図に破線で示す状態（先端部Ｐａが検査対象基板Ｘに接触させられた瞬間の状態）から、実線で示す状態（各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂが弾性変形させられたときの状態）となるまで、検査対象基板Ｘに対して傾いたり移動したりせずに、取付部２ａや、薄板部４ａ，４ｂの固定部３１ａ，３１ｂに対して近似的に直動させられる。これにより、プローブ本体５の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面における一点に点的に接した状態が維持される。

また、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、「第１のアーム部」を構成するアーム３２ａ，３２ａの一端部、および「第２のアーム部」を構成するアーム３２ｂ，３２ｂの一端部がプローブ本体５にそれぞれ連結されている。このため、上記のように各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂが弾性変形させられる際に、アーム３２ａ，３２ａの一端部（取付部２ａ側の端部）を中心にして他端部（プローブ本体５側の端部）が図１０に矢印Ｅａで示すように回動するような両アーム３２ａ，３２ａの変形（検査対象基板Ｘの表面に沿って回動するような両アーム３２ａ，３２ａの振れ）がアーム３２ｂ，３２ｂによって阻止されると共に、アーム３２ｂ，３２ｂの一端部（取付部２ａ側の端部）を中心にして他端部（プローブ本体５側の端部）が矢印Ｅｂで示すように回動するような両アーム３２ｂ，３２ｂの変形（検査対象基板Ｘの表面に沿って回動するような両アーム３２ｂ，３２ｂの振れ）がアーム３２ａ，３２ａによって阻止される。これにより、プローブ本体５の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面における一点に点的に接した状態が確実に維持される。

また、上記のような各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの一端部に対する他端部の変位に伴い、座屈変形部６の一端部（プローブ本体５側の端部）が他端部（保持部２３側の端部）に接近させられるようにして座屈変形部６が座屈変形させられる。この際に、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、前述したように、座屈変形させられる以前の状態において座屈変形部６の一端部と他端部との間の少なくとも一部に本体部２１に向かって突出する向きの曲りが生じているため、座屈変形部６が意図しない向きに座屈変形させられることなく、図１２に示すように、確実かつ容易に座屈変形させられる。

さらに、座屈変形部６が座屈変形させられた状態においては、座屈変形させられる以前の状態に復帰しようとする弾性復帰力が座屈変形部６に生じ、この弾性復帰力によってプローブ本体５の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面に矢印Ｂの向きで付勢される。これにより、プローブ本体５の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘに対して十分な付勢力で押し付けられた状態となる。

また、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、座屈変形させられた状態の座屈変形部６に生じる上記の弾性復帰力だけでなく、弾性変形させられた状態の各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂに生じる上記の弾性復帰力が、プローブ本体５の先端部Ｐａを検査対象基板Ｘに向けて付勢する付勢力として働くこととなる。したがって、本例のコンタクトプローブ１Ａでは、検査対象基板Ｘの表面に対してプローブ本体５の先端部Ｐａが十分な押し付け力でプロービングされた状態となる。この後、検査部１１０が、検査対象基板Ｘに対してプロービングさせられているコンタクトプローブ１Ａを介して入出力させた電気信号の電気的パラメータと、検査用基準データとに基づいて検査対象基板Ｘの良否を検査する。

一方、コンタクトプローブ１Ａを介しての電気的パラメータの測定が完了したときには、プローブ案内機構Ｍが、検査部１１０の制御に従い、図１２に示す矢印Ｂの向きで取付部２ａを上昇させる。この際には、座屈変形部６および各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂに生じている弾性復帰力によって各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂが弾性復帰する（弾性変形させられる以前の状態となる）結果、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの一端部（取付部２ａ側の端部）に対して各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの他端部（プローブ本体５側の端部）が矢印Ａの向きに変位させられる。

これにより、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂに連結されているプローブ本体５が、同図に実線で示す状態から、破線で示す状態となるまで、検査対象基板Ｘに対して傾いたり移動したりせずに、取付部２ａや固定部３１ａ，３１ｂに対して近似的に直動させられる。これにより、プローブ本体５の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘの表面における一点に点的に接した状態が維持される。また、プローブ案内機構Ｍが取付部２ａを矢印Ｂの向きにさらに移動させたときには、図８，９に示すように、プローブ本体５の先端部Ｐａが検査対象基板Ｘから離間して検査対象基板Ｘの上方に位置した状態となる。これにより、検査対象基板Ｘに対するプローブロービング（検査対象基板Ｘの検査）が完了する。

このように、このコンタクトプローブ１Ａでは、プローブ本体５の先端部Ｐａが「プロービング対象」としての検査対象基板Ｘに接触した状態においてプローブ案内機構Ｍによって「ベース部（本例では、取付部２ａ、および薄板部４ａ，４ｂにおいて板体取付部２２に固定されている側の端部）」が検査対象基板Ｘ体に接近する矢印Ａの向きに移動させられたときに各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂにおける「ベース部」側の一端部に対して各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂにおけるプローブ本体５側の他端部が相対的に変位させられて矢印Ａの向きとは逆向きの矢印Ｂの向きへのプローブ本体５の近似的直動を許容する「直動案内部」を備えて「プローブ保持部」が構成され、かつ、「直動案内部」における他端部の相対的な変位によって座屈変形部６が座屈変形すると共に、座屈変形部６が座屈変形させられる以前の状態に復帰しようとする弾性復帰力によってプローブ本体５を矢印Ａの向きに付勢するように構成されている。

したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、プロービング動作時に各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂから離脱させることなくプローブ本体５を近似的に直動させることができるため、プローブ本体５の先端部Ｐａを検査対象基板Ｘの表面における任意の一点に接触させた状態を維持することができる。これにより、検査対象基板Ｘの表面に傷付きが生じたり、プローブ本体５に破損が生じたりする事態を好適に回避することができる。また、座屈変形部６の弾性復帰力によってプローブ本体５の先端部Ｐａを十分な付勢力で検査対象基板Ｘに押し付けることができるため、検査対象基板Ｘとプローブ本体５とを確実に接続させることができる。

また、このコンタクトプローブ１Ａによれば、コンタクトプローブ１Ａを案内する矢印Ａの向きと交差する矢印Ｃ２の向きに沿って配設されると共に、「ベース部」に一端部が連結され、かつプローブ本体５が他端部に固定されたアーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂを備え、各アーム３２ａ，３２ａが矢印Ａの向きに並んで配設されると共に、各アーム３２ｂ，３２ｂが矢印Ａの向きに並んで配設された「アーム部」を備えて「直動案内部」を構成したことにより、比較的簡易な構成であるにも拘わらず、プローブ本体５を確実に近似的に直動させることができるため、検査対象基板Ｘの表面に傷付きが生じたり、プローブ本体５に破損が生じたりする事態を一層好適に回避することができる。

さらに、このコンタクトプローブ１Ａによれば、「プローブ保持部」を矢印Ａの向きに沿って見たときに、「第１のアーム部」を構成する両アーム３２ａ，３２ａの延在方向である矢印Ｄ２ａの方向と、「第２のアーム部」を構成する両アーム３２ｂ，３２ｂの延在方向である矢印Ｄ２ｂの方向とが交差するように各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂを取付部２ａの板体取付部２２に連結したことにより、一端部側（取付部２ａ側）を中心として各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂが検査対象基板Ｘの表面に沿って回動するように変形する事態を回避することができるため、検査対象基板Ｘの表面に傷付きが生じたり、プローブ本体５に破損が生じたりする事態を一層好適に回避することができる。

また、このコンタクトプローブ１Ａによれば、プローブ本体５と座屈変形部６部とを一体的に連続して形成したことにより、「プローブ本体」および「座屈変形部」を別体に形成して一体化する構成と比較して、その製造工程が少なくなる分だけ、コンタクトプローブ１の製造コストを十分に低減することができる。

さらに、このコンタクトプローブ１Ａによれば、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの一端部に対して各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの他端部が相対的に変位させられたときに弾性変形する「弾性変形部」を備えて「直動案内部」を構成した（この例では、各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの全体を「弾性変形部」で構成した）ことにより、座屈変形部６の弾性復帰力に加えて各アーム３２ａ，３２ａ，３２ｂ，３２ｂの弾性復帰力が先端部Ｐａを検査対象基板Ｘに押し付ける付勢力として働く結果、検査対象基板Ｘとプローブ本体５とを一層確実に接続させることができる。

さらに、このコンタクトプローブ１Ａによれば、「プローブ保持部」の一端部を介してプローブ案内機構Ｍに固定可能に座屈変形部６の他端部を取付部２ａの保持部２３に連結したことにより、取付部２ａをプローブ案内機構Ｍに固定するだけで、「プローブ保持部」の各構成要素と、座屈変形部６とをプローブ案内機構Ｍに対して固定することができるため、コンタクトプローブ１Ａを容易に着脱することができる。

また、このコンタクトプローブ１Ａによれば、座屈変形させられる以前の状態において一端部および他端部の間の少なくとも一部に曲りが生じるように座屈変形部６を形成したことにより、前述したコンタクトプローブ１と同様にして、座屈変形部６に生じさせる座屈変形の向きを強制して、意図しない向きへの座屈変形が生じる事態を回避することができる結果、プロービングに際してコンタクトプローブ１Ａが破損したり、座屈変形部６の座屈変形が妨げられてプローブ本体５が過剰に強い力で検査対象基板Ｘに押し付けられたりする事態を好適に回避することができる。

また、このコンタクトプローブ１Ａを備えた基板検査装置１００によれば、前述したコンタクトプローブ１を備えた基板検査装置１００と同様にして、検査対象基板Ｘに傷付きが生じる事態を回避することができるだけなく、コンタクトプローブ１Ａを介して検査対象基板Ｘに電気信号を確実に入出力させることができるため、良品の検査対象基板Ｘを不良品と誤って検査したり、不良品の検査対象基板Ｘを良品と誤って検査したりする事態を回避して正確に検査することができる。

また、「座屈変形部」の他端部を「ベース部」に連結して、「ベース部」を介して「座屈変形部」をプローブ案内機構Ｍに固定する構成のコンタクトプローブ１，１Ａ等を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「座屈変形部」の他端部を「プローブ案内機構」に直接固定する構成を採用することもできる（図示せず）。また、「直動案内部」の他端部に「プローブ本体」を直接配設した構成のコンタクトプローブ１，１Ａを例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「プローブ本体」を保持可能な「保持部」を「直動案内部」の他端部に連結し、この「保持部」に「プローブ本体」を保持させることで「保持部」を介して「直動案内部」の他端部に「プローブ本体」を配設する構成を採用することもできる（図示せず）。

さらに、「プローブ保持部」の構成は、上記の例に限定されず、例えば、特許第４００８５９９号公報や、特許第４７１７１４４号公報において出願人が開示しているコンタクトプローブ固定具の構成などを採用して「プローブ保持部」を構成することができる。

１，１Ａ コンタクトプローブ
２，２ａ 取付部
３，３ａ〜３ｃ，４ａ，４ｂ 薄板部
５，１４，１４ａ〜１４ｃ プローブ本体
６，１５，１５ｃ 座屈変形部
７ 接続用配線部
８ 導線
１１ａ〜１１ｃ ベース部
１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，３２ａ，３２ｂ アーム
２１ 本体部
２２ 板体取付部
２３ 保持部
２３ａ 挿通用孔
３１ａ，３１ｂ 固定部
１００ 基板検査装置
１１０ 検査部
Ｈａ 位置決め用孔
Ｈｂ 挿通孔
Ｍ プローブ案内機構
Ｍａ 位置決め用凸部
Ｍｂ ねじ穴
Ｎ 固定用ねじ
Ｐａ 先端部
Ｐｂ 後端部
Ｓ スリット
Ｘ 検査対象基板

Claims (7)

1. プローブ本体と、プローブ案内機構に一端部が固定され、かつ前記プローブ本体が他端部に配設されると共に、当該プローブ案内機構による案内に従って当該プローブ本体の先端部をプロービング対象に接触させるプローブ保持部と、前記プローブ本体の後端部および前記プローブ保持部の前記他端部のいずれかに一端部が連結されると共に、直接、または前記プローブ保持部の前記一端部を介して前記プローブ案内機構に他端部が固定される座屈変形部とを備え、
   前記プローブ保持部は、前記プローブ案内機構に固定可能に形成されて当該プローブ保持部の前記一端部を構成するベース部と、当該ベース部に一端部が連結され、かつ前記プローブ本体が他端部に配設されると共に、当該プローブ本体の前記先端部が前記プロービング対象に接触した状態において前記プローブ案内機構によって当該ベース部が当該プロービング対象体に接近する第１の向きに移動させられたときに当該ベース部に連結されている当該一端部に対して当該プローブ本体が配設されている当該他端部が相対的に変位させられて当該第１の向きとは逆向きの第２の向きへの当該プローブ本体の直動または近似的直動を許容する直動案内部とを備え、
   前記座屈変形部は、前記直動案内部における前記他端部の前記相対的な変位によって当該座屈変形部の前記一端部が当該座屈変形部の前記他端部に接近するように当該一端部および当該他端部の間が座屈変形させられると共に、当該座屈変形させられる以前の状態に復帰しようとする弾性復帰力によって前記プローブ本体を前記第１の向きに付勢し、
   前記直動案内部は、前記第１の向きと交差する第３の向きに沿って配設されると共に、前記ベース部に一端部が連結され、かつ前記プローブ本体が他端部に配設された少なくとも２本のアームを有するアーム部を備え、
   前記アーム部は、前記各アームが前記第１の向きに並んで配設されて構成されているコンタクトプローブであって、
   前記プローブ保持部は、前記アーム部としての第１のアーム部および第２のアーム部を備えると共に、当該プローブ保持部を前記第１の向きに沿って見たときに、前記第１のアーム部における前記各アームの第１の延在方向と、前記第２のアーム部における前記各アームの第２の延在方向とが交差するように当該第１のアーム部および当該第２のアーム部が前記ベース部に連結されているコンタクトプローブ。
2. 前記プローブ本体と前記座屈変形部とが一体的に連続して形成されている請求項１記載のコンタクトプローブ。
3. 前記直動案内部は、当該直動案内部の前記一端部に対して当該直動案内部の前記他端部が相対的に変位させられたときに弾性変形する弾性変形部を備えている請求項１または２記載のコンタクトプローブ。
4. 導電性を有する板体を打抜き加工することによって前記プローブ本体、前記プローブ保持部および前記座屈変形部が一体的に連続して形成されている請求項３記載のコンタクトプローブ。
5. 前記座屈変形部は、前記プローブ保持部の前記一端部を介して前記プローブ案内機構に固定可能に当該プローブ保持部の前記ベース部に前記他端部が連結されている請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
6. 前記座屈変形部は、座屈変形させられる以前の状態において前記一端部および前記他端部の間の少なくとも一部に曲りが生じるように形成されている請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
7. 請求項１から６のいずれかに記載のコンタクトプローブと、
   前記プローブ案内機構と、
   前記プローブ案内機構によって前記プロービング対象としての検査対象基板にプロービングさせた前記コンタクトプローブを介して当該検査対象基板に入出力した電気信号に基づいて当該検査対象基板の良否を検査する検査部とを備えている基板検査装置。

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