JP5568563B2 - 接触子及び電気的接続装置 - Google Patents
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Description
まず、図5〜9に基づいて、本実施形態の電気的接続装置11を説明する。電気的接続装置11は、被検査体12の通電試験等に用いる装置である。被検査体12は、集積回路等の半導体デバイスである。被検査体12は、その下側面に複数のバンプ電極13(図8参照)が設けられている。このバンプ電極13は、被検査体12の下側面に設けられた電極である。各バンプ電極13は、被検査体12の下側面に、一列、複数列、マトリクス状又は他の配列で備えられている。
次に、本発明の第2の実施形態に係る接触子について説明する。本実施形態の接触子は、前記第1実施形態の接触子20に対して、第1プランジャーを2つ設けて、ケルビンコンタクトを構成したものである。本実施形態の接触子の全体構成は、前記第1実施形態の接触子20とほぼ同様である。即ち、本実施形態の接触子86は、図18,19に示すように、第1プランジャー87が異なる構造になっていること、圧縮コイルスプリング64の材質が絶縁性を有する事を除いて、他の部材は前記第1実施形態と同様である。このため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
次に、本発明の第3の実施形態に係る接触子及び電気的接続装置について説明する。なお、本実施形態の電気的接続装置は、第1実施形態の電気的接続装置と同様の構成を有するため、ここでは接触子を中心に説明する。
前記第1実施形態では、圧縮コイルスプリング64は、中央部が大径で、その両端部に小径の密着小径部84を形成したが、圧縮コイルスプリング64は、中央部が大径で、両端に向けて徐々に小径になるように形成されて、その両端部に最小径の密着小径部84を形成した樽型でも良く、また他の形状でもよい。
Claims (10)
- 一方の部材に接触する板状の第1のプランジャーと、
他方の部材に接触する板状のものであって、前記第1のプランジャーと板同士で重ね合わさった状態で前記第1のプランジャーと接触し、前記第1のプランジャーと協働して前記一方の部材と前記他方の部材との間を電気的に導通させる第2のプランジャーと、
前記第1のプランジャーと前記第2のプランジャーを互いにその接触片を反対向きの状態に結合する部材であって、前記第1のプランジャー及び前記第2のプランジャーの結合部の外周を覆い、かつ、前記第1のプランジャー及び前記第2のプランジャーのバネ受け部のそれぞれに当接して、前記第1のプランジャー及び前記第2のプランジャーを相対的にスライド可能に支持する圧縮コイルスプリングと
を備えて構成され、
前記第1のプランジャー及び前記第2のプランジャーのうちいずれか一方を1つ、他方を2つ備え、前記第1のプランジャー及び前記第2のプランジャーのうちいずれか一方の1つのプランジャーの結合部を、他方の2つのプランジャーの結合部で挟んで構成された
ことを特徴とする接触子。 - 請求項1に記載の接触子において、
前記第1のプランジャー及び前記第2のプランジャーは、前記結合部と、当該結合部より幅寸法の大きな前記接触片とで構成され、前記バネ受け部は、前記結合部と前記接触片の境界部分に設けられた段差であることを特徴とする接触子。 - 請求項1又は2に記載の接触子において、
一方の1つのプランジャーの結合部の幅寸法は、他方の2つのプランジャーの結合部の幅寸法より大きいことを特徴とする接触子。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の接触子において、
前記他方の2つのプランジャーが、前記一方の1つのプランジャーを挟んだ状態で互いに独立してスライドすることを特徴とする接触子。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の接触子において、
前記他方の2つのプランジャーの前記接触片の先端が、互いに開く方向にテーパ面を備えたことを特徴とする接触子。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の接触子において、
前記他方の2つのプランジャーの前記接触片の先端には凹部が設けられ、2つの切っ先状に形成されていることを特徴とする接触子。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の接触子において、
前記第1のプランジャー及び前記第2のプランジャーの前記結合部は、前記バネ受け部と反対の端部に、前記結合部の前記圧縮コイルスプリングからの抜けを止める抜け止部を形成されていることを特徴とする接触子。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の接触子において、
前記第1のプランジャー又は前記第2のプランジャーの前記接触片に、複数の突起が設けられると共に、各突起を分離するようにそれらの間にスリットが設けられたことを特徴とする接触子。 - 請求項8に記載の接触子において、
前記スリットにより、各突起を先端部にそれぞれ設けた複数の突起棒部が形成され、各突起棒部が、各突起を支持して自由に撓むことを特徴とする接触子。 - 被検査体の電極に接触して試験を行う電気的接続装置において、
前記被検査体の各電極に対応する位置に配設され当該各電極に接触して通電する接触子を備え、
当該接触子として前記請求項1乃至9のいずれか1項に記載の接触子を用いたことを特徴とする電気的接続装置。
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