JP6156017B2 - パターン位相差フィルムの製造方法、露光装置及びマスク - Google Patents
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Description
前記基材に光配向材料膜を作製する光配向材料膜作製工程と、
マスクを用いた前記光配向材料膜の露光処理により光配向膜を作製する露光工程と、
前記光配向膜の上に、透過光に対応する位相差を与える第1の領域と、透過光に前記第1の領域とは異なる位相差を与える第2の領域とによる位相差層を作製する位相差層作製工程とを備え、
前記マスクは、
前記第1又は第2の領域に対応するスリットが設けられたメタルマスクであり、
透明板状部材に沿わせて配置され、
前記スリットの幅が、露光対象側に向かって先細りの形状により形成される。
熱膨張係数の絶対値が1ppm/℃以下であり、
前記透明板状部材との熱膨張係数の差が1ppm/℃以下である。
前記透明板状部材が、合成石英ガラスである。
前記マスクは、
前記スリットの長手方向の両端の、端部から外側の部位であって、前記端部から20mm以内の部位で、前記透明板状部材に保持された。
前記透明板状部材には、
少なくとも前記マスクを保持する部位に遮光膜が形成された。
前記マスクが、第1のパターン位相差フィルムに対応する第1のマスクと、第2のパターン位相差フィルムに対応する第2のマスクとであり、
前記第1及び第2のマスクが、前記基材の幅方向に密接して配置された。
光源より出射された露光光を、マスクを介して光配向材料膜に照射することにより、前記光配向膜を作製し、
前記マスクが、
前記パターン位相差フィルムの第1又は第2の領域に対応するスリットが設けられたメタルマスクであり、
透明板状部材に沿わせて配置され、
前記スリットの幅が、露光対象側に向かって先細りの形状により形成された。
前記マスクは、
複数のスリットが設けられたメタルマスクであり、
透明板状部材に沿わせて配置され、
前記スリットの幅が、露光対象側に向かって先細りの形状により形成された。
図1は、本発明の第1実施形態に係る画像表示装置に適用されるパターン位相差フィルムを示す図である。この第1実施形態に係る画像表示装置は、垂直方向(図1においては左右方向)に連続する液晶表示パネルの画素が、順次交互に、右目用の画像を表示する右目用画素、左目用の画像を表示する左目用画素に振り分けられて、それぞれ右目用及び左目用の画像データで駆動される。これにより画像表示装置は、右目用の画像を表示する帯状の領域と、左目用の画像を表示する帯状の領域とに表示画面が交互に区分され、右目用の画像と左目用の画像とを同時に表示する。この画像表示装置は、この液晶表示パネルのパネル面に、この図1に示すパターン位相差フィルム1が配置され、このパターン位相差フィルム1により右目用及び左目用の画素からの出射光にそれぞれ対応する位相差を与える。これによりこの画像表示装置は、パッシブ方式により所望の立体画像を表示する。
また遮光膜20にあっては、例えばクロム等の金属膜により作製してもよく、紫外線を遮光するテープ等を広く適用することができる。また遮光膜20は、要は接着剤20への紫外線の照射を防止することができれば良く、板状部材19の入射面側に金属等の遮光部材を配置しても良く、必要に応じて種々の構成を採用することができる。
この実施形態では、図5との対比により図14に示すように、マスク16のスリットSの長手方向の両縁部に形成される貼り付けしろに矩形の開口を設け、この矩形の開口により、透明板状部材19の遮光膜20を見て取ることができるようにする。この実施形態では、この開口を覆い隠するようにテープを貼り付けることにより、接着剤22に代えて、又は接着剤22に加えてこのテープによりマスク16を透明板状部材19に保持する。なお開口に代えて、幅広のスリットを設けるようにしてもよく、種々の形状を広く適用することができる。なお貼り付けに使用するテープには耐熱温度が100℃以上の耐熱性のあるものが必要になる。具体的にこのテープンには、ポリイミドテープ(例えばプトンテープ(登録商標))等を適用することができる。この実施形態では、透明板状部材19へのマスク16の保持方法が異なる点を除いて第1実施形態と同一に構成される。
図15は、本発明の第3の実施形態に係る露光工程の説明に供する図である。この実施形態は、図15に係る構成が異なる点を除いて、上述の実施形態と同一に構成される。
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態を種々に組み合わせ、さらに上述の実施形態の構成を種々に変更することができる。
2 基材
3 配向膜
4 位相差層
16、16A、16B マスク
17 ロール
19 合成石英ガラス
20 遮光膜
21 中央領域
22 接着剤
Claims (8)
- 長尺透明フィルム材による基材を搬送しながら順次処理してパターン位相差フィルムを作製するパターン位相差フィルムの製造方法において、
前記基材に光配向材料膜を作製する光配向材料膜作製工程と、
マスクを用いた前記光配向材料膜の露光処理により光配向膜を作製する露光工程と、
前記光配向膜の上に、透過光に対応する位相差を与える第1の領域と、透過光に前記第1の領域とは異なる位相差を与える第2の領域とによる位相差層を作製する位相差層作製工程とを備え、
前記マスクは、
前記第1又は第2の領域に対応するスリットが設けられたメタルマスクであり、
透明板状部材に沿わせて配置され、
前記スリットの幅が、露光対象側に向かって先細りの形状により形成された
パターン位相差フィルムの製造方法。 - 前記マスクは、
熱膨張係数の絶対値が1ppm/℃以下であり、
前記透明板状部材との熱膨張係数の差が1ppm/℃以下である
請求項1に記載のパターン位相差フィルムの製造方法。 - 前記透明板状部材が、合成石英ガラスである
請求項1又は請求項2に記載のパターン位相差フィルムの製造方法。 - 前記マスクは、
前記スリットの長手方向の両端の、端部から外側の部位であって、前記端部から20mm以内の部位で、前記透明板状部材に保持された
請求項1、請求項2、請求項3の何れかに記載のパターン位相差フィルムの製造方法。 - 前記透明板状部材には、
少なくとも前記マスクを保持する部位に遮光膜が形成された
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4の何れかに記載のパターン位相差フィルムの製造方法。 - 前記マスクが、第1のパターン位相差フィルムに対応する第1のマスクと、第2のパターン位相差フィルムに対応する第2のマスクとであり、
前記第1及び第2のマスクが、前記基材の幅方向に密接して配置された
請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5の何れかに記載のパターン位相差フィルムの製造方法。 - パターン位相差フィルムに係る光配向膜の製造に供する露光装置において、
光源より出射された露光光を、マスクを介して光配向材料膜に照射することにより、前記光配向膜を作製し、
前記マスクが、
前記光配向膜の上の、透過光に対応する位相差を与える第1の領域、又は、透過光に前記第1の領域とは異なる位相差を与える第2の領域に対応するスリットが設けられたメタルマスクであり、
透明板状部材に沿わせて配置され、
前記スリットの幅が、露光対象側に向かって先細りの形状により形成された
露光装置。 - パターン位相差フィルムに係る光配向膜の製造に供するマスクにおいて、
前記マスクは、
複数のスリットが設けられたメタルマスクであり、
透明板状部材に沿わせて配置され、
前記スリットの幅が、露光対象側に向かって先細りの形状により形成された
マスク。
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