JP6147587B2 - 研削装置及び研削方法 - Google Patents
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Description
また、研削装置は、該測定部と該支持部とが、該保持テーブルの径方向に一直線上に配置されていることが望ましい。
また、支持部13aと測定部14aとを通る直線143a、支持部13bと測定部14bとを通る直線143b、及び、支持部13cと測定部14cとを通る直線143cは、すべて、保持テーブル12の中心を通り、回転軸123と交わる。
また、距離Cbを大きくし、距離Ccを小さくすると、保持テーブル12が傾いて、−Y方向の側が研削手段15に近づき、+Y方向の側が研削手段15から遠ざかる。これにより、領域157の中央に近い部分が、領域157の両端に近い部分よりも薄く研削される。逆に、距離Cbを小さくし、距離Ccを大きくすると、保持テーブル12が傾いて、−Y方向の側が研削手段15から遠ざかり、+Y方向の側が研削手段15に近づく。これにより、領域157の両端に近い部分が、領域157の中央に近い部分よりも薄く研削される。
このように、保持テーブル12の傾きを変えることにより、板状ワーク20の径方向において、より薄く研削される位置を変えることができる。これにより、板状ワーク20が研削される形状を変えることができる。
なお、第1の測定工程31で研削する板状ワーク20は、テスト用のダミーワークであってもよい。また、研削をやり直す際、同じ板状ワーク20を繰り返し使用してもよいし、そのたびに新しい板状ワーク20を使用してもよい。
また、保持テーブル12の傾きを+Z方向から計測するのではなく、測定部14a〜14cが−Z方向から保持テーブル12と基台11との間の距離を測定することにより、保持テーブル12の傾きを計測するので、研削時に板状ワーク20に向けて噴出される研削水の影響を受けることなく、保持テーブル12の傾きを計測することができる。
また、支持部13a〜13cと測定部14a〜14cとが保持テーブル12の中心を挟んだ反対側に配置されているので、保持テーブル12の傾きによって測定部14a〜14cが測定する測定距離に変位が現れやすい。
図4の例において、3つの支持部13a〜13cが、保持テーブル12の中心を重心とする正三角形の頂点に配置されている点、3つの測定部14a〜14cも同様に保持テーブル12の中心を重心とする正三角形の頂点に配置されている点、及び、保持テーブル12の中心と各支持部13a〜13cとを通る直線143a〜143c上に、各測定部14a〜14cが配置されている点は、上述した研削装置10と同じである。しかし、上述した研削装置10では、1本の直線上に配置された支持部13a〜13cと測定部14a〜14cとが保持テーブル12の中心から見て反対側に配置されているのに対し、この例における研削装置10Aでは、1本の直線上に配置された支持部13a〜13cと測定部14a〜14cとが保持テーブル12の中心から見て同じ側に配置されている。すなわち、支持部13aと測定部14aとが同一半径上に位置し、支持部13bと測定部14bとが同一半径上に位置し、支持部13cと測定部14cとが同一半径上に位置しており、支持部と測定部とが径方向に一直線上に配置されている。
また、研削装置10Aでは、支持部13a〜13cの外周側に測定部14a〜14cを配置しているが、測定部14a〜14cの外周側に支持部13a〜13cを配置してもよい。
測定部14a,14b,14cは、保持テーブルの中心を中心として均等間隔に配置されることが望ましいが、必ずしも間隔は均等でなくてもよい。測定部14a,14b,14cの配置によって、測定距離と目標距離とを一致させるために制御部16が傾き調整手段13b,13cをどのように制御すればよいかが変わる。
123,153 回転軸、
13a〜13c 支持部(傾き調整手段)、
131,134 下部、132,135 軸部、133,136 上部、
137 モータ、
14a〜14c 測定部、143a〜143c 直線、
15 研削手段、155 研削砥石、157 領域、
16 制御部、17 記憶部、
20 板状ワーク、
30 研削方法、
31 第1の測定工程、32 記憶工程、33 第2の測定工程、34 傾き調整工程
Claims (4)
- 板状ワークを保持して回転する保持テーブルと、
該保持テーブルが保持した板状ワークを研削する研削手段と、
該保持テーブルの傾きを調整する傾き調整手段と、を少なくとも備えた研削装置であって、
該保持テーブルと基台との間の距離を測定する少なくとも3つの測定部と、
該保持テーブルに保持された板状ワークを該研削手段によって研削することにより板状ワークが均一な厚さに形成された場合に該測定部が測定した距離を記憶する記憶部と、
該傾き調整手段を制御する制御部と、
を備え、
該傾き調整手段は、該保持テーブルと該基台との間に配設され、該保持テーブルの中心を重心とした正三角形の頂点に配設された3つの支持部を備え、
少なくとも1つの支持部は、該保持テーブルと該基台との間の距離を変えることが可能であり、
該制御部は、該保持テーブルが保持した板状ワークを該研削手段が研削している間、該測定部が測定した距離と、該記憶部が記憶した距離とが一致するよう、該傾き調整手段を制御する、
研削装置。 - 前記3つの測定部と前記3つの支持部とが、交互に均等に配置されている、請求項1記載の研削装置。
- 前記測定部と前記支持部とが、前記保持テーブルの径方向に一直線上に配置されている、請求項1記載の研削装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか記載の研削装置を用いた研削方法であって、
前記保持テーブルが保持した第1の板状ワークを前記研削手段により研削して、第1の板状ワークが所定の形状に研削された場合に、該保持テーブルと前記基台との間の距離を前記測定部により測定した距離を前記記憶部に記憶する記憶工程と、
該保持テーブルが保持した第2の板状ワークを該研削手段により研削しながら、該保持テーブルと該基台との間の距離を該測定部により測定する測定工程と、
該測定工程で測定した距離と、該記憶工程で記憶した距離とが一致するよう、前記制御部が前記傾き調整手段を制御する傾き調整工程と、
を備える、研削方法。
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