JP6144663B2 - 流体制御弁 - Google Patents

Description

本発明は、対向する側面に形成された入力ポートと出力ポートとを有するバルブ本体と、該バルブ本体の下端に取り付けられた取付板とを有する流体制御弁に関するものである。

半導体製造装置の洗浄プロセスにおいては、半導体ウェハの大型化やチップの微細化及び配線の多層化等に対応すべく、多くの流体制御弁が使用されている。かかる流体制御弁を容易に設置でき、また設置位置の変更等にも簡単に対応できる弁係止構造が、例えば、本出願人が提案した特許文献１に開示されている。

図１６に示すように、特許文献１の流体制御弁１００は、バルブ本体１０１を取付板１０２に係止する技術である。具体的には、バルブ本体１０１に係止突起１０３を形成し、係止突起１０３に対向する取付板１０２の上端に係止突起１０３と係合する図示しない係止爪を有する係止腕１０４を立設した係止構造である。
取付板１０２の対角位置に係止腕１０４に隣接して略矩形状の取付部１０５が形成され、取付孔１０６が穿設されている。

特開２０１３−１４５０４４号公報

しかしながら、特許文献１に記載された流体制御弁１００には、次のような問題があった。
すなわち、流体制御弁１００では、取付板１０２に固定用の取付ネジを挿入するための取付部１０５が形成されているため、平面的に突出したスペースを設ける必要があった。また、配管後の設置や組み付け後の配管作業をするために周辺スペースを確保する必要があった。
一方、平面的に突出した取付部１０５を形成することを避けるため、製品の底部にネジ穴を加工し、下側から取付ネジで取り付けることも考えられる。しかし、この場合、製造時における工程が複雑となり、コストアップするという問題があった。また、配管後の設置や組み付け後の配管作業をするための周辺スペースを確保する必要があった。

さらに、流体制御弁１００は、取付板１０２とバルブ本体１０１を確実に係止し、バルブ本体１０１のグラツキを防止する。しかし、いったん係止すると、メンテナンス時などにバルブ本体１０１を交換したいときなど、バルブ本体１０１を取付板１０２から取り外すことが困難であり、作業性が悪かった。すなわち、係止腕１０４をドライバ等で無理やり外側へ曲げることによりバルブ本体１０１を取付板１０２から取り外していた。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、スペース効率性を確保しつつ、バルブ本体と取付板とを確実に容易に着脱することができる作業性の良い流体制御弁を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の流体制御弁は、次のような構成を有している。
（１）対向する側面に形成された入力ポートと出力ポートとを有するバルブ本体と、該バルブ本体の下端に取り付けられた取付板とを有する流体制御弁において、前記バルブ本体には、前記対向する側面と直交する方向の他の側面に一対の係止凸部が形成され、前記他の側面の前記入力ポート側または前記出力ポート側端部の少なくとも一方に係止凹部が形成されていること、前記取付板は、１枚のバネ材で形成されており、取付ネジ孔が形成された底面と、前記底面から立設する一対の第１立設部と、前記第１立設部から前記底面と平行に外側に延設された一対の段差部と、前記段差部から立設した一対の第２立設部と、前記段差部から立設したレバーとを有すること、前記第１立設部は、取付ネジの頭部を内包する高さを有し、前記段差部は、前記バルブ本体の下端面が当接し、前記第２立設部は、前記係止凸部と係合する一対の係止爪を有し、前記レバーは、前記係止凹部と係合すること、を特徴とする。

（２）（１）に記載の流体制御弁において、前記第２立設部及び前記レバーの上端は、外側に広がるように屈折部が形成されていること、前記係止凸部の下部は、傾斜部が形成されていること、を特徴とする。
（３）（１）または（２）に記載の流体制御弁において、前記レバーを外側に弾性変形させると、前記レバーと前記係止凹部との係合が外れ、前記バルブ本体を前記底面と平行にスライドした後、前記底面の垂直方向に移動することにより、前記バルブ本体を前記取付板から取り外すことができること、を特徴とする。

（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載の流体制御弁において、前記段差部には、前記入力ポートと前記出力ポートの流れの方向に付勢部が形成され、前記付勢部は、前記バルブ本体を付勢していること、を特徴とする。
（５）（１）乃至（４）のいずれか１つに記載の流体制御弁において、前記係止凹部は、前記バルブ本体の対角位置に２つ形成されていること、を特徴とする。

（１）対向する側面に形成された入力ポートと出力ポートとを有するバルブ本体と、該バルブ本体の下端に取り付けられた取付板とを有する流体制御弁において、バルブ本体には、対向する側面と直交する方向の他の側面に一対の係止凸部が形成され、他の側面の入力ポート側または出力ポート側端部の少なくとも一方に係止凹部が形成されていること、取付板は、１枚のバネ材で形成されており、取付ネジ孔が形成された底面と、底面から立設する一対の第１立設部と、第１立設部から底面と平行に外側に延設された一対の段差部と、段差部から立設した一対の第２立設部と、段差部から立設したレバーとを有すること、第１立設部は、取付ネジの頭部を内包する高さを有し、段差部は、バルブ本体の下端面が当接し、第２立設部は、係止凸部と係合する一対の係止爪を有し、レバーは、係止凹部と係合すること、を特徴とするので、バルブ本体と取付板の間に取付ネジの頭部を納めて垂直構造をとることができるため、取付ネジのための平面的に突出した余分なスペースを要せず、流体制御弁を密着して配置することができるため、スペース効率性を確保することができる。また、上側から取付板に取付ネジを固定することができるため、流体制御弁が密着して配置されていても、上から取付板を固定する作業をすることができ、周辺スペースを要せず、スペース効率性を確保することができる。
また、係止爪がバルブ本体の係止凸部と、レバーが係止凹部と係合するため、バルブ本体２に対する上下方向、前後方向、左右方向の３方向にバルブ本体は規制され、確実に取付板にバルブ本体を取り付けることができる。

（２）（１）に記載の流体制御弁において、第２立設部及びレバーの上端は、外側に広がるように屈折部が形成されていること、係止凸部の下部は、傾斜部が形成されていること、を特徴とするので、バルブ本体を取付板に取り付けるとき、バルブ本体を底面に向けて垂直方向に力を加えるだけで傾斜部が屈折部に沿って進行するため、第２立設部が外側に弾性変形されつつ、係止爪と係止凸部、レバーと係止凹部とを各々係合させることができる。これにより、バルブ本体と取付板とをワンタッチで容易に取り付けることができ、作業性が向上する。

（３）（１）または（２）に記載の流体制御弁において、レバーを外側に弾性変形させると、レバーと係止凹部との係合が外れ、バルブ本体を底面と平行にスライドした後、底面の垂直方向に移動することにより、バルブ本体を取付板から取り外すことができること、を特徴とするので、バルブ本体を取付板から取り外すとき、第１に、レバーを外側に弾性変形させ、係止凹部との係合を外すと、バルブ本体は移動可能となり、第２に、底面と平行にスライドすることができる。また、第３に、垂直方向にバルブ本体を持ち上げることにより取り外すことができる。そのため、バルブ本体に作業者が意図せずぶつかった場合であっても、容易に外れることがない。また、第１~３の手順を行えば、メンテナンス時など、意図すれば簡単にバルブ本体を取り外すことができる。このように、バルブ本体を取付板に確実に取り付けることができ、かつ、意図すれば容易に取り外すことができることを同時に実現する。

（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載の流体制御弁において、段差部には、入力ポートと出力ポートの流れの方向に付勢部が形成され、付勢部は、バルブ本体を付勢していること、を特徴とするので、バルブ本体を取付板に取り付けたとき、付勢部により垂直方向に付勢力が加わることにより、係止爪と係止凸部の係合がより確実にされるため、バルブ本体の上下方向により強固に係合しつつ、前後方向、左右方向にも規制されるため、取付板に確実に取り付けることができる。

（５）（１）乃至（４）のいずれか１つに記載の流体制御弁において、係止凹部は、バルブ本体の対角位置に２つ形成されていること、を特徴とするので、バルブ本体の入力ポートと出力ポートの位置を反転しても、係止凹部とレバーが係合するため、いったん取り付けた取付板をそのまま利用することができ、作業効率が向上する。

本実施形態の流体制御弁の正面図である。 本実施形態の流体制御弁の右側面図である。 本実施形態の流体制御弁の左側面図である。 本実施形態の流体制御弁の背面図である。 本実施形態の流体制御弁の底面図である。 取付板の右側面図である。 取付板の正面図である。 取付板の背面図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 バルブ本体を取付板に取り付けた状態を示す流体制御弁の斜視図である。 バルブ本体を取付板に取り付ける前の状態を示す図である。 バルブ本体を取付板に取り付けた状態を示す図である。 バルブ本体を取付板から取り外す第１手順を示す図である。 バルブ本体を取付板から取り外す第２手順を示す図である。 バルブ本体を取付板から取り外す第３手順を示す図である。 従来の流体制御弁の斜視図である。

本発明の流体制御弁１について、図面を参照しながら以下に詳細に説明する。図１は、流体制御弁１の正面図を示す。図２は、流体制御弁１の右側面図を示し、図３は、流体制御弁１の左側面図を示す。図４は、流体制御弁１の背面図を示し、図５は、流体制御弁１の底面図を示す。図６は、取付板３の右側面図であり、図７はその正面図、図８はその背面図である。図９は、図１のＡ−Ａ断面図を示す。

図１に示すように、流体制御弁１は、バルブ本体２と、バルブ上体４と、バルブ本体２の下端に備えられた取付板３から構成される。
はじめに、バルブ本体２とバルブ上体４の外形について説明する。図１に示すバルブ本体２の右側面には、図２に示すように、入力ポート２１が形成されている。入力ポート２１が形成された側面と対向する側面（図１に示すバルブ本体２の左側面）には、図３に示すように、出力ポート２２が形成されている。入力ポート２１と出力ポート２２を有する側面と直交する方向の他の側面（図１に示すバルブ本体２の正面と図４に示す背面）には、係止凸部２３、２４が各々形成されている。係止凸部２３、２４は、略長方形形状であり、図９に示すように、下部に傾斜部２３ａ、２４ａが形成されている。バルブ本体２の正面の出力ポート２２側端部、及び背面の入力ポート２１側端部に、係止凹部２５、２６が各々Ｌ字状に形成されている。係止凹部２５、２６は、バルブ本体２の対角位置に２つ形成されている。バルブ上体４はハウジング４８に覆われている。

次に、バルブ本体２とバルブ上体４の内部構造及び作用について説明する。なお、本実施形態の流体制御弁１は、一例として電磁弁を用いているが、電磁弁以外の流体制御弁でも良い。
バルブ本体２とバルブ上体４との間には、図９に示すように、弁体４１が挟持されている。弁体４１は、バルブ本体２の中央部に形成される弁座２７と当接または離間する。弁体４１は、弁軸４２と連結している。
図９に示すように、コイル４６に通電していないとき、プランジャ４５は下方に移動し、弁体４１は弁座２７に当接して弁閉状態となる。弁閉状態とは、入力ポート２１と出力ポート２２が遮断された状態をいう。
一方、図示しないが、コイル４６が配線４９により通電すると、付勢バネ４４に抗してプランジャ４５が固定鉄心４７に吸引され、上方に移動する。それと同時に、弁軸４２が弁体バネ４３により上向きに移動し、弁体４１が弁座２７から離間し、弁開状態となる。弁開状態とは、入力ポート２１と出力ポート２２が連通した状態をいう。

次に、本発明の技術的特徴を有する係止構造について説明する。
取付板３の材質は、１枚のステンレス製のバネ材であり、その厚みは約０．５ｍｍである。取付板３が製品と接する底面３１には、図５に示すように、中央部に取付ネジ孔３１１が形成されている。取付ネジ孔３１１は、取付ネジ５の頭部径方向の大きさよりわずかに大きい孔３１１ａと、取付ネジ５の軸部径方向の大きさよりわずかに大きい孔３１１ｂにより形成されている。孔３１１ａと孔３１１ｂは一体となって形成されている。また、底面３１には、図５における下方に、取付ネジ５を取り付けるための開口部３１２が形成されている。孔３１１ｂと開口部３１２に各々取付ネジ５を固定することにより、製品に取付板３を固定する。なお、孔３１１ａは取付ネジ５の頭部を通すことができるため、すでに取付ネジ５が設置してある状態であっても、わざわざ取付ネジ５を外すことなく取付板３を製品に設置することができる。

底面３１は、略長方形形状であり、長辺の側面には、図６に示すように、第１立設部３２、３３が各々垂直に立設している。第１立設部３２、３３の高さは、取付ネジ５の頭部を内包する程度の高さに設定されている。そのため、バルブ本体２と取付板３の間に取付ネジ５の頭部を納めることができる。第１立設部３２、３３には、底面３１と平行に外側に延設された段差部３４、３５が形成されている。段差部３４、３５は、バルブ本体２の下端面が当接することにより、バルブ本体２が取付板３に収納される。
ここで、取付ネジ５の取付部と、バルブ本体２を収納する段差部３４、３５とを垂直構造としているため、取付ネジ５のための平面的に突出した余分なスペースを要せず、上側から取付板３に取付ネジ５を固定することができる。そのため、流体制御弁を密着して配置することできるため、周辺スペースを要せず、スペース効率性を確保することができる。
段差部３４には付勢部３４ａが、段差部３５には付勢部３５ａ、３５ｂが、入力ポート２１と出力ポート２２の流れの方向に形成されている。付勢部３４ａ、３５ａ、３５ｂは、バルブ本体２を上方向に付勢している。

段差部３４、３５には、各々第２立設部３６、３７が垂直に立設して形成されている。第２立設部３６、３７は、図７、８に示すように、上方に延びた縦片部３６１、３７１と、縦片部３６１、３７１から底面３１と平行に延びた横片部３６２、３７２を有する。縦片部３６１、３７１の高さは、係止凸部２３、２４の短辺である縦の長さと同じ程度である。縦片部３６１、３７１及び横片部３６２、３７２により一辺が開口する横孔３６３、３７３が形成されている。横孔３６３、３７３に、係止凸部２３、２４が各々装着される。

図７に示すように、第２立設部３６の横孔３６３が開口している方向に、レバー３８が段差部３４から垂直に立設して形成されている。レバー３８は、上方に延び、その先端は横片部３６２と同じ方向に延設されている。レバー３８の延設された先端は、バルブ本体２に取り付けたとき、図１及び図４に示すように、バルブ本体２からはみ出している。図１に示すように、横片部３６２の開口側端部からレバー３８までの距離Ｃは、係止凸部２３、２４の長辺である横の長さＢよりもわずかに大きい。
また、第２立設部３６、３７の横片部３６２、３７２の上部には、外側に向かって広がって屈折された屈折部３６２ａ、３７２ａが形成されている。レバー３８の上部には、外側に向かって広がって屈折された屈折部３８ａが形成されている。
なお、第２立設部３６のうち、縦片部３６１及び横片部３６２は、請求項に記載する「係止爪」に相当する。

次に、本実施形態の流体制御弁１の作用効果について、図１０から図１５を用いて説明する。
図１０は、バルブ本体２を取付板３に取り付けた状態を示す流体制御弁１の斜視図である。図１１から図１５は、図１０のＤ部を拡大した図であり、バルブ本体２を取付板３に着脱する際の状態を時系列的に順に示している。具体的には、図１１は、バルブ本体２を取付板３に取り付ける前の状態を示し、図１２は、バルブ本体２を取付板３に取り付けた状態を示す。また、図１３から図１５はバルブ本体２を取付板３から取り外す第１から第３までの手順を示す。

はじめに、バルブ本体２を取付板３に取り付ける際の作用について図１１、１２を用いて説明する。バルブ本体２を取付板３に取り付けるとき、図１１に示すように、バルブ本体２を矢印Ｘ１方向に取付板３に押し付ける。係止凸部２３、２４が第２立設部３６、３７と各々が接触すると、係止凸部２３、２４の傾斜部２３ａ、２４ａは屈折部３６２ａ、３７２ａに沿って進行する。これにより、第２立設部３６、３７は外側に向かって広がるように徐々に弾性変形される。係止凸部２３、２４が横片部３６２、３７２から外れると、図１２に示すように、横孔３６３、３７３に係止凸部２３、２４が嵌る。

このように、第２立設部３６、３７が外側に向かって広がるように弾性変形されつつ、縦片部３６１、３７１及び横片部３６２、３７２と、係止凸部２３、２４を各々係合させ、レバー３８と係止凹部２５を係合させることができる。これにより、バルブ本体２を取付板３に押し込むことにより、ワンタッチで容易に取り付けることができ、作業性が向上する。
バルブ本体２を取付板３に取り付けるとき、バルブ本体２の図１における上下方向については、付勢部３４ａ、３５ａ、３５ｂがバルブ本体２を上向きに付勢するため、バルブ本体２の横片部３６２、３７２の下面と係止凸部２３、２４の上面とが係合する。そのため、バルブ本体２は上下方向で規制される。また、バルブ本体２の図１における左右方向については、縦片部３６１、３７１の左面と、係止凸部２３、２４の縦片部３６１、３７１と接する側の右辺とが係合し、レバー３８の右辺と係止凹部２５とが係合する。そのため、バルブ本体２は左右方向で規制される。さらに、バルブ本体２の図１における前後方向については、段差部３４、３５及び第２立設部３６、３７とバルブ本体２とが係合する。そのため、バルブ本体２は前後方向で規制される。すなわち、バルブ本体２は３方向（３次元）で規制されている。これにより、バルブ本体２に作業者が意図せずぶつかった場合であっても、バルブ本体２は取付板３に確実に取り付けられているため、容易に外れることがない。
また、バルブ本体２を入力ポート２１と出力ポート２２の位置を入れ替えるように反転して取り付けたとき、係止凹部２５、２６はバルブ本体２の対角位置にあるため、レバー３８が係合する。そのため、いったん取り付けた取付板３をそのまま利用することができ、作業効率が向上する。

次に、バルブ本体２を取付板３から取り外す際の作用について図１３から図１５を用いて説明する。図１３に示すように、第１手順として、バルブ本体２からはみ出たレバー３８を外側（矢印Ｚ方向）に向かって弾性変形させる。すると、レバー３８と係止凹部２５との係合が外れ、バルブ本体２が移動可能の状態となる。次に、図１４に示すように、第２手順として、バルブ本体２を底面３１と平行（矢印Ｙ方向）にスライドさせることにより、縦片部３６１、３７１及び横片部３６２、３７２と係止凸部２３、２４の係合が外れる。そして、第３手順として、図１５に示すように、底面３１の垂直方向（矢印Ｘ２方向）に移動することにより、バルブ本体２を取付板３から取り外すことができる。

ここで、メンテナンス時、バルブ本体２を取付板３から取り外すとき、第１、２、３手順に従えば、意図すれば、簡単にバルブ本体２を取り外すことができる。そのため、作業性が向上する。
このように、バルブ本体２を取付板３に取り付けたときは、確実に係止することができ、一方、バルブ本体２を取付板３から取り外すときは、簡単に取り外しできるということを同時に実現することができる。

以上、説明したように、本発明の流体制御弁１によれば、
（１）対向する側面に形成された入力ポート２１と出力ポート２２とを有するバルブ本体２と、バルブ本体２の下端面に取り付けられた取付板３とを有する流体制御弁１において、バルブ本体２には、対向する側面と直交する方向の他の側面に一対の係止凸部２３、２４が形成され、他の側面の入力ポート２１側または出力ポート２２側端部の少なくとも一方に係止凹部２５、２６が形成されていること、取付板３は、１枚のバネ材で形成されており、取付ネジ孔３１１が形成された底面３１と、底面３１から立設する一対の第１立設部３２、３３と、第１立設部３２、３３から底面３１と平行に外側に延設された一対の段差部３４、３５と、段差部３４、３５から立設した一対の第２立設部３６、３７と、段差部３４から立設したレバー３８とを有すること、第１立設部３２、３３は、取付ネジ５の頭部を内包する高さを有し、段差部３４、３５は、バルブ本体２の下端面が当接し、第２立設部３６、３７は、係止凸部２３、２４と係合する一対の係止爪（縦片部３６１、３７１及び横片部３６２、３７２）を有し、レバー３８は、係止凹部２５と係合すること、を特徴とするので、バルブ本体２と取付板３の間に取付ネジ５の頭部を納めて垂直構造をとることができるため、取付ネジ５のための平面的に突出した余分なスペースを要せず、流体制御弁１を密着して配置することができるため、スペース効率性を確保することができる。また、上側から取付板３に取付ネジ５を固定することができるため、流体制御弁１が密着して配置されていても、上から取付板３を固定する作業をすることができ、周辺スペースを要せず、スペース効率性を確保することができる。
また、縦片部３６１、３７１及び横片部３６２、３７２がバルブ本体２の係止凸部２３、２４と、レバー３８が係止凹部２５と係合するため、バルブ本体２に対する上下方向、前後方向、左右方向の３方向にバルブ本体２は規制され、確実に取付板３にバルブ本体２を取り付けることができる。

（２）（１）に記載の流体制御弁１において、第２立設部３６、３７及びレバー３８の上端は、外側に広がるように屈折部３６２ａ、３７２ａ、３８ａが形成されていること、係止凸部２３、２４の下部は、傾斜部２３ａ、２４ａが形成されていること、を特徴とするので、バルブ本体２を取付板３に取り付けるとき、バルブ本体２を底面３１に向けて垂直方向に力を加えるだけで傾斜部２３ａ、２４ａが屈折部３６２ａ、３７２ａに沿って進行するため、第２立設部３６、３７が外側に弾性変形されつつ、縦片部３６１、３７１及び横片部３６２、３７２と係止凸部２３、２４、レバー３８と係止凹部２５とを各々係合させることができる。これにより、バルブ本体２と取付板３とをワンタッチで容易に取り付けることができ、作業性が向上する。

（３）（１）または（２）に記載の流体制御弁１において、レバー３８を外側に弾性変形させると、レバー３８と係止凹部２５との係合が外れ、バルブ本体２を底面３１と平行にスライドした後、底面３１の垂直方向に移動することにより、バルブ本体２を取付板３から取り外すことができること、を特徴とするので、バルブ本体２を取付板３から取り外すとき、第１に、レバー３８を外側に弾性変形させ、係止凹部２５との係合を外すと、バルブ本体２は移動可能となり、第２に、底面３１と平行にスライドすることができる。また、第３に、垂直方向にバルブ本体２を持ち上げることにより取り外すことができる。そのため、バルブ本体２に作業者が意図せずぶつかった場合であっても、容易に外れることがない。また、第１~３の手順を行えば、メンテナンス時など、意図すれば簡単にバルブ本体２を取り外すことができる。このように、バルブ本体２を取付板３に確実に取り付けることができ、かつ、意図すれば容易に取り外すことができることを同時に実現する。

（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載の流体制御弁１において、段差部３４、３５には、入力ポート２１と出力ポート２２の流れの方向に付勢部３４ａ、３５ａ、３５ｂが形成され、付勢部３４ａ、３５ａ、３５ｂは、バルブ本体２を付勢していること、を特徴とするので、バルブ本体２を取付板３に取り付けたとき、付勢部３４ａ、３５ａ、３５ｂにより垂直方向に付勢力が加わることにより、縦片部３６１、３７１及び横片部３６２、３７２と係止凸部２３、２４の係合がより確実にされるため、バルブ本体２の上下方向により強固に係合しつつ、前後方向、左右方向にも規制されるため、取付板３に確実に取り付けることができる。

（５）（１）乃至（４）のいずれか１つに記載の流体制御弁１において、係止凹部２５、２６は、バルブ本体２の対角位置に２つ形成されていること、を特徴とするので、バルブ本体２の入力ポート２１と出力ポート２２の位置を反転しても、係止凹部２６とレバーが係合するため、いったん取り付けた取付板３をそのまま利用することができ、作業効率が向上する。

なお、本実施形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で様々な改良、変形が可能である。

１ 流体制御弁
２ バルブ本体
３ 取付板
２１ 入力ポート
２２ 出力ポート
２３、２４ 係止凸部
２３ａ、２４ａ 傾斜部
２５、２６ 係止凹部
３１ 底面
３１１ 取付ネジ孔
３２、３３ 第１立設部
３４、３５ 段差部
３４ａ、３５ａ、３５ｂ 付勢部
３６、３７ 第２立設部
３６１、３７１ 縦片部
３６２、３７２ 横片部
３６２ａ、３７２ａ 屈折部
３８ レバー
３８ａ 屈折部

Claims (5)

1. 対向する側面に形成された入力ポートと出力ポートとを有するバルブ本体と、該バルブ本体の下端に取り付けられた取付板とを有する流体制御弁において、
   前記バルブ本体には、前記対向する側面と直交する方向の他の側面に一対の係止凸部が形成され、前記他の側面の前記入力ポート側または前記出力ポート側端部の少なくとも一方に係止凹部が形成されていること、
   前記取付板は、１枚のバネ材で形成されており、取付ネジ孔が形成された底面と、前記底面から立設する一対の第１立設部と、前記第１立設部から前記底面と平行に外側に延設された一対の段差部と、前記段差部から立設した一対の第２立設部と、前記段差部から立設したレバーとを有すること、
   前記第１立設部は、取付ネジの頭部を内包する高さを有し、
   前記段差部は、前記バルブ本体の下端面が当接し、
   前記第２立設部は、前記係止凸部と係合する一対の係止爪を有し、
   前記レバーは、前記係止凹部と係合すること、
   を特徴とする流体制御弁。
2. 請求項１に記載の流体制御弁において、
   前記第２立設部及び前記レバーの上端は、外側に広がるように屈折部が形成されていること、
   前記係止凸部の下部は、傾斜部が形成されていること、
   を特徴とする流体制御弁。
3. 請求項１または請求項２に記載の流体制御弁において、
   前記レバーを外側に弾性変形させると、前記レバーと前記係止凹部との係合が外れ、前記バルブ本体を前記底面と平行にスライドした後、前記底面の垂直方向に移動することにより、前記バルブ本体を前記取付板から取り外すことができること、
   を特徴とする流体制御弁。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の流体制御弁において、
   前記段差部には、前記入力ポートと前記出力ポートの流れの方向に付勢部が形成され、前記付勢部は、前記バルブ本体を付勢していること、
   を特徴とする流体制御弁。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の流体制御弁において、
   前記係止凹部は、前記バルブ本体の対角位置に２つ形成されていること、
   を特徴とする流体制御弁。

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