JP6127361B2 - 流体制御装置 - Google Patents
流体制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6127361B2 JP6127361B2 JP2011244053A JP2011244053A JP6127361B2 JP 6127361 B2 JP6127361 B2 JP 6127361B2 JP 2011244053 A JP2011244053 A JP 2011244053A JP 2011244053 A JP2011244053 A JP 2011244053A JP 6127361 B2 JP6127361 B2 JP 6127361B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- diaphragm
- peripheral edge
- flexible plate
- frame plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
図6は特許文献1の流体ポンプの3次共振モードでのポンピング動作を示す図である。図6に示す流体ポンプは、ポンプ本体10と、外周部がポンプ本体10に対して固定された振動板20と、この振動板20の中央部に貼り付けられた圧電素子23と、振動板20の略中央部と対向するポンプ本体10の部位に形成された第1開口部11と、振動板20の中央部と外周部との中間領域又はこの中間領域と対向するポンプ本体の部位に形成された第2開口部12とを備える。振動板20は金属製であり、圧電素子23は第1開口部11を覆い、且つ第2開口部12まで達しない大きさに形成されている。
図7は、同流体ポンプの主要部の構成を示す断面図である。流体ポンプ901は、可撓板35、振動板ユニット38、圧電素子32を備え、それらを順に積層した構造を有している。
前記振動板の一方主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、
孔が設けられており、前記振動板の他方主面に対向して前記枠板に接合されている可撓板と、を備え、
前記枠板は、前記枠板における前記振動板側の縁である内周縁部と、前記内周縁部に対して前記可撓板側へ突出する遮断部と、を有し、
前記遮断部は、前記複数の連結部および前記内周縁部の間であって、前記複数の連結部に対向する位置に形成され、かつ前記内周縁部に対して不連続に複数形成され、
前記枠板の前記内周縁部は、前記内周縁部の前記可撓板側の面が前記可撓板から離れるよう、前記内周縁部より外側で前記可撓板に接合する前記枠板の接合部の厚みより薄く形成されている。
したがって、この構成によれば、接着剤によって振動板の振動が阻害されることをより抑制することができる。
よって、この構成によれば、枠板の内周縁部と可撓板との間の距離を精密に規定できるため、流体制御装置の個体毎の特性のばらつきを抑制できる。
前記枠板の前記外周縁部は、前記外周縁部の前記可撓板側の面が前記可撓板から離れるよう、前記枠板の前記接合部の厚みより薄く形成されている。
図1は、本発明の実施形態に係る圧電ポンプ101の外観斜視図である。図2は、図1に示す圧電ポンプ101の分解斜視図であり、図3は、図1に示す圧電ポンプ101のT−T線の断面図である。図4は、図2に示す振動板ユニット160を可撓板51側から見た同振動板ユニット160の外観斜視図である。
なお、圧電素子142が、本発明の「駆動体」に相当する。
なお、図5(A)は、振動板ユニット160を可撓板51側から見た図であり、図5(B)は、振動板ユニット860を可撓板51側から見た図である。
前記実施形態ではユニモルフ型で屈曲振動するアクチュエータ140を設けたが、振動板141の両面に圧電素子142を貼着してバイモルフ型で屈曲振動するように構成してもよい。
11…第1開口部
12…第2開口部
20…振動板
23…圧電素子
30…アクチュエータ
31…振動板
32…圧電素子
33…枠板
34…連結部
35…可撓板
35A…吸引孔
37…接着剤層
38…振動板ユニット
101…圧電ポンプ
110…蓋部
111…吐出孔
130…スペーサ
135…スペーサ
140…アクチュエータ
141…振動板
142…圧電素子
145…ポンプ室
151…可撓板
152…通気孔
153,172…外部端子
154…可動部
155…固定部
160…振動板ユニット
161…枠板
162…連結部
165…内周縁部
166…遮断部
167…外周縁部
168…接合部
170…電極導通用板
171…枠部位
173…内部端子
180…ポンプ筺体
191…基板
192…開口部
193…流路
195…カバー板
197…吸引孔
860…振動板ユニット
901…流体ポンプ
S…接着剤
Claims (6)
- 振動板と、前記振動板の周囲を囲む枠板と、前記振動板と前記枠板とを連結し、前記枠板に対して前記振動板を弾性支持する複数の連結部と、を有する振動板ユニットと、
前記振動板の一方主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、
孔が設けられており、前記振動板の他方主面に対向して前記枠板に接合されている可撓板と、を備え、
前記枠板は、前記枠板における前記振動板側の縁である内周縁部と、前記内周縁部に対して前記可撓板側へ突出する遮断部と、を有し、
前記遮断部は、前記複数の連結部および前記内周縁部の間であって、前記複数の連結部に対向する位置に形成され、かつ前記内周縁部に対して不連続に複数形成され、
前記枠板の前記内周縁部は、前記内周縁部の前記可撓板側の面が前記可撓板から離れるよう、前記内周縁部より外側で前記可撓板に接合する前記枠板の接合部の厚みより薄く形成されている、流体制御装置。 - 前記振動板および前記複数の連結部は、前記振動板および前記複数の連結部の前記可撓板側の面が前記可撓板から離れるよう、前記枠板の前記接合部の厚みより薄く形成されている、請求項1に記載の流体制御装置。
- 前記枠板の前記内周縁部の厚みは、前記接合部の厚みより薄い、請求項1または2に記載の流体制御装置。
- 前記枠板は、前記枠板における前記振動板と逆側の縁である外周縁部を有し、
前記枠板の前記外周縁部は、前記外周縁部の前記可撓板側の面が前記可撓板から離れるよう、前記枠板の前記接合部の厚みより薄く形成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の流体制御装置。 - 前記振動板ユニットは一体形成されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の流体制御装置。
- 前記可撓板は、前記振動板に対向する前記可撓板の領域の中心又は中心付近に位置し、屈曲振動可能な可動部と、前記領域の前記可動部より外側に位置し、実質的に拘束された固定部と、を有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の流体制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011244053A JP6127361B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 流体制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011244053A JP6127361B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 流体制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013100746A JP2013100746A (ja) | 2013-05-23 |
JP6127361B2 true JP6127361B2 (ja) | 2017-05-17 |
Family
ID=48621566
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011244053A Active JP6127361B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 流体制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6127361B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6237877B2 (ja) | 2014-02-21 | 2017-11-29 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
TWI614857B (zh) * | 2016-11-24 | 2018-02-11 | 研能科技股份有限公司 | 氣冷散熱裝置 |
US10438868B2 (en) | 2017-02-20 | 2019-10-08 | Microjet Technology Co., Ltd. | Air-cooling heat dissipation device |
TWI681120B (zh) | 2018-05-21 | 2020-01-01 | 研能科技股份有限公司 | 微型輸送裝置 |
WO2022230677A1 (ja) * | 2021-04-27 | 2022-11-03 | 株式会社村田製作所 | アクチュエータ、ポンプ、アクチュエータの製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02213200A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-24 | Victor Co Of Japan Ltd | 熱交換器 |
JP2004332705A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Honda Motor Co Ltd | マイクロポンプ |
JP2008180161A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Star Micronics Co Ltd | ダイヤフラムポンプ |
JP2010160128A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-07-22 | Yamaha Corp | 半導体センサ及び半導体センサの製造方法 |
WO2011040320A1 (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-07 | 株式会社村田製作所 | 圧電マイクロブロア |
-
2011
- 2011-11-08 JP JP2011244053A patent/JP6127361B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013100746A (ja) | 2013-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5682513B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP5533823B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP5528404B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP5900155B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP5505559B2 (ja) | 流体制御装置、流体制御装置の調整方法 | |
JP5907256B2 (ja) | バルブ、流体制御装置 | |
JP6028779B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP5177331B1 (ja) | ポンプ装置 | |
WO2011145544A1 (ja) | 流体ポンプ | |
JP6127361B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP2016200067A (ja) | 流体制御装置 | |
JP5500310B2 (ja) | アクティブバルブ、流体制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140829 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150623 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150817 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160406 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161004 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161228 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20170113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170314 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170327 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6127361 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |