JP5682513B2 - 流体制御装置 - Google Patents
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Description
図1は特許文献1の流体ポンプの3次共振モードでのポンピング動作を示す図である。図1に示す流体ポンプは、ポンプ本体10と、外周部がポンプ本体10に対して固定された振動板20と、この振動板20の中央部に貼り付けられた圧電素子23と、振動板20の略中央部と対向するポンプ本体10の部位に形成された第1開口部11と、振動板20の中央部と外周部との中間領域又はこの中間領域と対向するポンプ本体の部位に形成された第2開口部12とを備える。振動板20は金属製であり、圧電素子23は第1開口部11を覆い、且つ第2開口部12まで達しない大きさに形成されている。
図2は、同流体ポンプの主要部の構成を示す断面図である。流体ポンプ901は、可撓板35、振動板ユニット38、圧電素子32を備え、それらを順に積層した構造を有している。
前記振動板の一方主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、
孔が設けられており、前記振動板の他方主面に対向して前記枠板に固定されている可撓板と、を備え、
少なくとも前記振動板の一部および前記連結部は、前記振動板の一部および前記連結部の前記可撓板側の面が前記可撓板から離れるよう、前記枠板の厚みより薄い厚みに形成されている。
図3は、本発明の実施形態に係る圧電ポンプ101の外観斜視図である。図4は、図3に示す圧電ポンプ101の分解斜視図であり、図5は、図3に示す圧電ポンプ101のT−T線の断面図である。図6は、図4に示す振動板ユニット160を可撓板51側から見た同振動板ユニット160の外観斜視図である。
なお、圧電素子142が、本発明の「駆動体」に相当する。
前記実施形態ではユニモルフ型で屈曲振動するアクチュエータ140を設けたが、振動板141の両面に圧電素子142を貼着してバイモルフ型で屈曲振動するように構成してもよい。
11…第1開口部
12…第2開口部
20…振動板
23…圧電素子
30…アクチュエータ
31…振動板
32…圧電素子
33…枠板
34…連結部
35…可撓板
35A…吸引孔
37…接着剤層
38…振動板ユニット
101…圧電ポンプ
110…蓋部
111…吐出孔
130…スペーサ
135…スペーサ
140…アクチュエータ
141…振動板
142…圧電素子
145…ポンプ室
151…可撓板
152…通気孔
153…外部端子
154…可動部
155…固定部
160…振動板ユニット
161…枠板
162…連結部
170…電極導通用板
171…枠部位
172…外部端子
173…内部端子
180…ポンプ筺体
191…基板
192…開口部
193…流路
195…カバー板
197…吸引孔
198…孔部
901…流体ポンプ
Claims (7)
- 振動板と、間隙を介して前記振動板の周囲を囲む枠板と、前記振動板と前記枠板とを連結し、前記枠板に対して前記振動板を弾性支持する連結部と、を有する振動板ユニットと、
前記振動板の一方主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、
孔が設けられており、前記振動板の他方主面に対向して前記枠板に固定されている可撓板と、を備え、
前記連結部は、前記間隙に沿って延伸する延伸部と、前記延伸部及び前記振動板を連結する第1連結部と、前記延伸部及び前記枠板を連結する第2連結部と、を有し、
前記延伸部が延伸する方向において、前記第1連結部が前記振動板と接続される位置は、前記第2連結部が前記枠板と接続される位置と異なり、
少なくとも前記振動板の一部および前記連結部は、前記振動板の一部および前記連結部の前記可撓板側の面が前記可撓板から離れるよう、前記枠板の厚みより薄い厚みに形成されている、流体制御装置。 - 前記振動板ユニットは一体形成されている、請求項1に記載の流体制御装置。
- 少なくとも前記振動板の一部および前記連結部は、エッチングにより前記枠板の厚みより薄い厚みに形成されている、請求項1または2に記載の流体制御装置。
- 前記振動板の一部は、前記振動板の周縁部である、請求項1から3のいずれか1項に記載の流体制御装置。
- 前記可撓板の前記連結部と対向する領域には孔部が形成された、請求項1から4のいずれか1項に記載の流体制御装置。
- 前記振動板および前記駆動体はアクチュエータを構成し、
前記アクチュエータは円板状である、請求項1から5のいずれか1項に記載の流体制御装置。 - 前記可撓板は、前記可撓板の前記振動板に対向する領域の中心又は中心付近に位置し、屈曲振動可能な可動部と、前記領域の前記可動部より外側に位置し、実質的に拘束された固定部と、を有する、請求項1から6のいずれか1項に記載の流体制御装置。
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