JP2014109530A - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象物の2次元情報作成用の画像と3次元情報作成用の画像を取得する画像取得手段121と、画像取得手段で取得された2次元情報作成用の画像から作成された2次元情報を用いて位置合わせすると共に位置合わせされた2次元情報作成用の画像の内の全体領域の中から3次元情報を用いた欠陥検査を行う部分的領域を一部特定する3次元検査領域特定手段122と、画像取得手段で取得された3次元情報作成用の画像から検査領域特定手段によって特定された部分的領域のみ3次元情報を作成する3次元情報作成手段123と、特定された部分的領域のみにおいて前記作成された3次元情報と、検査対象物の検査合格品となる基準3次元情報とを比較して検査対象物の欠陥の有無を検査する。
【選択図】図1
Description
検査対象物の欠陥の有無を検査する欠陥検査装置において、
前記検査対象物の2次元情報作成用の画像と3次元情報作成用の画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段で取得された2次元情報作成用の画像から作成された2次元情報を用いて位置合わせすると共に、前記位置合わせされた2次元情報作成用の画像の内の全体領域の中から、3次元情報を用いた欠陥検査を行う部分的領域を一部特定する3次元検査領域特定手段と、
前記画像取得手段で取得された3次元情報作成用の画像から、前記検査領域特定手段によって特定された部分的領域のみ3次元情報を作成する3次元情報作成手段と、
前記特定された部分的領域のみにおいて、前記によって作成された3次元情報と、前記検査対象物の検査合格品となる基準3次元情報とを比較して検査対象物の欠陥の有無を検査する特定領域検査手段を有することを特徴としている。
検査対象物の欠陥の有無を検査する欠陥検査方法において、
前記検査対象物の2次元情報作成用の画像と3次元情報作成用の画像を取得する画像取得ステップと、
前記画像取得ステップで取得された2次元情報作成用の画像から作成された2次元情報を用いて位置合わせすると共に、前記位置合わせされた2次元の画像の内の全体領域の中から、3次元情報を用いた欠陥検査を行う部分的領域を一部特定する3次元検査領域特定ステップと、
前記画像取得ステップで取得された3次元情報作成用の画像から、前記検査領域特定手段によって特定された部分的領域のみ3次元情報を作成する3次元情報作成ステップと、
前記特定された部分的領域のみにおいて、前記によって作成された3次元情報と、前記検査対象物の検査合格品となる基準3次元情報とを比較して検査対象物の欠陥の有無を検査する特定領域検査ステップを有することを特徴としている。
前記3次元情報作成手段の3次元情報は、前記検査領域特定手段によって特定された部分的領域における高さであることを特徴としている。
10 撮像装置
20 投射装置
30 照明装置
50 搬送装置(検査ステージ含む)
100 制御ユニット
110 装置制御部
120 検査制御部
130 メモリ
121 画像取得部
122 検査領域特定部
123 3次元情報作成部
124 欠陥検査部
P 検査対象物
X 2次元情報作成用画像
Y 3次元情報作成用画像
Claims (4)
- 検査対象物の欠陥の有無を検査する欠陥検査装置において、
前記検査対象物の2次元情報作成用の画像と3次元情報作成用の画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段で取得された2次元情報作成用の画像から作成された2次元情報を用いて位置合わせすると共に、前記位置合わせされた2次元情報作成用の画像の内の全体領域の中から、3次元情報を用いた欠陥検査を行う部分的領域を一部特定する3次元検査領域特定手段と、
前記画像取得手段で取得された3次元情報作成用の画像から、前記検査領域特定手段によって特定された部分的領域のみ3次元情報を作成する3次元情報作成手段と、
前記特定された部分的領域のみにおいて、前記によって作成された3次元情報と、前記検査対象物の検査合格品となる基準3次元情報とを比較して検査対象物の欠陥の有無を検査する特定領域検査手段を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記3次元情報作成手段によって作成される3次元情報は、前記検査領域特定手段によって特定された部分的領域における高さであることを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 検査対象物の欠陥の有無を検査する欠陥検査方法において、
前記検査対象物の2次元情報作成用の画像と3次元情報作成用の画像を取得する画像取得ステップと、
前記画像取得ステップで取得された2次元情報作成用の画像から作成された2次元情報を用いて位置合わせすると共に、前記位置合わせされた2次元情報作成用の画像の内の全体領域の中から、3次元情報を用いた欠陥検査を行う部分的領域を一部特定する3次元検査領域特定ステップと、
前記画像取得ステップで取得された3次元情報作成用の画像から、前記検査領域特定手段によって特定された部分的領域のみ3次元情報を作成する3次元情報作成ステップと、
前記特定された部分的領域のみにおいて、前記によって作成された3次元情報と、前記検査対象物の検査合格品となる基準3次元情報とを比較して検査対象物の欠陥の有無を検査する特定領域検査ステップを有することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記3次元情報作成手段によって作成される3次元情報は、前記検査領域特定手段によって特定された部分的領域における高さであることを特徴とする請求項3に記載の欠陥検査方法。
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