JP6121711B2 - 渦電流探傷装置および渦電流探傷方法 - Google Patents

Description

本発明は、断面形状が同じで、奥行きの長い溝状部位（スロット部）の内壁面の欠陥検査に好適な渦電流探傷装置、渦電流探傷プローブおよび渦電流探傷方法に関する。

被検査体内部の欠陥を検出する方法として渦電流探傷法がある。渦電流探傷法では、コイル電流によって発生する交流磁場を導電性の被検査体に印加し、そのとき被検査体内部に誘起する渦電流の乱れをコイルインピーダンスの変化によって検出し、被検査体内部における欠陥の有無を評価する。

近年、タービンディスクの翼植込み部（ダブテール部ともいう）や発電機などの回転部のスロット部といった溝状部位の内壁面に発生する欠陥を検出する方法として、しばしば、渦電流探傷が利用されている。例えば、特許文献１には、ダブテール部などの溝状部位が奥行き方向（長さ方向）に沿って断面形状が同じである（変化しない）という特徴を利用して、その断面形状に合わせた部材にコイルを埋め込んで構成した渦電流探傷プローブの例が開示されている。また、特許文献２には、可撓性を有するプリント基板にコイル状の配線を形成して構成した渦電流探傷プローブの例が開示されている。この場合、可撓性を有するプリント基板を、溝状部位の断面形状に合わせて、その溝状部位の内壁面に接触させることができる。

特許４１３０５３９号公報 特許４４６４０９６号公報

しかしながら、特許文献１に開示された渦電流探傷プローブは、検査対象の溝状部位の形状に合わせた部材で構成されるため、検査対象の溝状部位の大きさや形状が異なれば、その都度、それぞれ別々に渦電流探傷プローブを製作することが必要であった。そのため、渦電流探傷プローブを製作するコストや時間が余計に発生していた。

また、特許文献２に開示された渦電流探傷プローブは、可撓性のある薄いプリント基板で構成されているため、検査対象の溝状部位の断面形状が丸みの多いものであれば、そのプリント基板で構成された渦電流探傷プローブを、検査対象の溝状部位の断面形状に合わせて自在に接触させるができる。しかしながら、検査対象の溝状部位の断面形状に角部があれば、その角部では、プリント基板の曲げの限界から、プリント基板で構成された渦電流探傷プローブを溝状部位の断面にぴったり接触させることはできない。従って、検査対象の溝状部位の角部付近では、渦電流探傷の検査精度が劣化することになる。

ところで、ダブテール部などの溝状部位部における欠陥は、その内壁面のあらゆる部分で一様に生じるのではなく、その使用状態において強い力がかかる部分に多く生じる。従って、その溝状部位の内壁面の探傷は、その欠陥が多く生じる部分に対して実施すればよい。すなわち、溝状部位の内壁面のすべての部分ではなく、特定の部位の内壁の渦電流探傷をするのであれば、その内壁の形状に合わせて渦電流探傷プローブを製作することも容易になり、また、角部付近にける渦電流探傷の検査精度の劣化の問題も解決し易くなると考えられる。

以上のような従来の技術課題に鑑み、本発明は、検査対象の溝状部位の断面形状の相違に対応し易く、かつ、断面形状の角部付近での検査精度の劣化を抑制することが可能な渦電流探傷プローブ、渦電流探傷装置および渦電流探傷方法を提供することにある。

本発明に係る渦電流探傷装置は、容器内の底部に渦電流探傷コイルが配置されて構成された渦電流探傷プローブと、前記渦電流探傷プローブを押圧し、被検査体に形成されたスロット部の内壁面の一部に前記渦電流探傷プローブの底部を接触させる押圧機構と、前記押圧機構および前記渦電流探傷プローブを搭載して、前記スロット部の奥行き方向に沿って走行する台車と、前記渦電流探傷コイルから渦電流検出信号を取得して、前記スロット部の内壁面の欠陥を検出する制御を行う渦電流探傷制御装置と、を含んで構成されることを特徴とする。

また、本発明に係る渦電流探傷プローブは、容器内の底部に複数の渦電流探傷コイルが配置されて構成された第１のコイル保持部材と、前記容器の１の側面に着脱可能に、かつ、前記容器の１の側面に接するように取り付けられ、その両端部の底部にそれぞれに１つ以上の渦電流探傷コイルが配置されて構成された第２のコイル保持部材と、を備え、前記第２のコイル保持部材が、その両端部の離間距離を調整する長さ調整部材を有していることを特徴とする。

本発明によれば、検査対象の溝状部位の断面形状の相違に対応し易く、かつ、断面形状の角部付近での検査精度の劣化を抑制することが可能な渦電流探傷装置、渦電流探傷プローブおよび渦電流探傷方法を提供することができる。

本発明の第１の実施形態に係る渦電流探傷プローブが被検査体のスロット部の内壁面に配置された様子を、模式的な断面図の形で示した図。 本発明の第１の実施形態に係る渦電流探傷プローブの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、側面図、（ｃ）は、探傷幅調整部材の側面図。 本発明の第１の実施形態に係る渦電流探傷プローブの中央部探傷プローブの構造の例を模式的に示した図。 図１〜図３を用いて説明した渦電流探傷プローブが、図１に示したスロット部の内壁面を探傷する様子を模式的に示した図。 本発明の第１の実施形態の変形例１に係る中央部探傷プローブの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図、（ｃ）は、右側面図。 本発明の第１の実施形態の変形例２に係る中央部探傷プローブの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図、（ｃ）は、右側面図。 本発明の第１の実施形態の変形例３に係る中央部探傷プローブの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図、（ｃ）は、右側面図。 本発明の第１の実施形態の変形例４に係る中央部探傷プローブの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図。 本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷装置の構成の例、および、その渦電流探傷装置が被検査体のスロット部の内壁面の探傷に適用される様子を模式的に示した図。 本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷制御装置の構成の例を示した図。 本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷装置を用いてスロット部の内壁面の渦電流探傷を行う場合に必要となる作業手順の例を示した図。 本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷制御装置における渦電流探傷制御の処理フローの例を示した図。 本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷制御装置によって表示装置に表示される渦電流探傷結果表示画面の例を示した図。 本発明の第３の実施形態に係る渦電流探傷装置の構成の例、および、その渦電流探傷装置が被検査体のスロット部の内壁面の探傷に適用される様子を模式的に示した図。 本発明の第３の実施形態に係る渦電流探傷装置において渦電流探傷プローブ２００渦電流探傷プローブ保持部材に保持される構造の例を模式的に示した図。 本発明の第３の実施形態に係る渦電流探傷装置で用いられる渦電流探傷プローブの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図。 本発明の第３の実施形態の変形例２において、渦電流探傷プローブが渦電流探傷プローブ保持部材に保持される構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、左側面図。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る渦電流探傷プローブ１が被検査体のスロット部９１の内壁面に配置された様子を、模式的な断面図の形で示した図である。図１に示すように、被検査体９には、奥行き方向（図面では紙面に垂直な方向）に長い溝状のスロット部９１が形成されているものとする。すなわち、スロット部９１は、複数の角部で区切られた奥行き方向に細長い複数の平坦な内壁面（内壁面Ａ、内壁面Ｂ、内壁面Ｃなど）で囲まれた空間であり、その断面形状は、奥行き方向のいずれの位置でも同じであるとする。なお、ここでは、被検査体９としては、例えば、タービンディクスなどを想定しており、その場合、スロット部９１は、ダブテール部に相当するが、同様の構造を有するものであれば、それに限定されない。

このとき、本実施形態に係る渦電流探傷プローブ１は、スロット部９１内の平面状の内壁面のいずれかに接触するように配置され（図１の例では、内壁面Ｂに接触）、その内壁面（例えば、内壁面Ｂ）を奥行き方向に移動することにより、その内壁面（例えば、内壁面Ｂ）の被検査体９の表面またはその内部に存在する傷などの欠陥を探傷する。

また、図１に示すように、渦電流探傷プローブ１は、中央部探傷プローブ２と端部探傷プローブ３とにより構成されている。ここで、端部探傷プローブ３は、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）の両端部、すなわち、他の内壁面と接する角部の近傍部分の欠陥を探傷する役割を担い、中央部探傷プローブ２は、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）の両端部以外の部分の欠陥を探傷する役割を担う。

また、端部探傷プローブ３は、コイル保持部材４，５、角部位置合わせ部材６，７、探傷幅調整部材８などにより構成される。ここで、コイル保持部材５は、中央部探傷プローブ２に着脱可能に固定され、また、コイル保持部材４は、探傷幅調整部材８を介してコイル保持部材５に連結されている。さらに、コイル保持部材４，５には、それぞれの回転軸１３，１４を介して、角部位置合わせ部材６，７が回転自在に取り付けられている。

図２は、本発明の第１の実施形態に係る渦電流探傷プローブ１の構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、側面図、（ｃ）は、探傷幅調整部材８の側面図である。ここで、中央部探傷プローブ２は、直方体の形状の容器の底部に渦電流探傷用の複数のコイル（図示省略）が配置されて構成される。そして、端部探傷プローブ３を構成するコイル保持部材４，５、角部位置合わせ部材６，７、探傷幅調整部材８などが中央部探傷プローブ２の容器の３つの側面に接するように配設されている。なお、図２では、主に、端部探傷プローブ３の詳細な構造について説明し、中央部探傷プローブ２の詳細な構造については、別途、図３を参照して説明する。

図２（ａ）、（ｂ）に示すように、コイル保持部材５は、上面から見てコの字型の形状をした部材であり、コの字の内側が中央部探傷プローブ２の容器の３つの側面に接するように配設される。このとき、コイル保持部材５が接する中央部探傷プローブ２の容器の少なくとも２つの側面には、上面から底面に到る直線状の凹部２１が形成され、また、コイル保持部材５には、その凹部２１に嵌合する凸部１７が形成されている。なお、凹部２１や凸部１７は、平坦な面に一条の溝部や突起部として形成されたものをいう。

従って、コイル保持部材５は、その凸部１７を中央部探傷プローブ２の容器の側面に形成された凹部２１に嵌合させることにより、中央部探傷プローブ２の容器の側面に固定される。

その場合、コイル保持部材５は、凸部１７を中央部探傷プローブ２の容器の凹部２１に、例えば、中央部探傷プローブ２の上部から挿入され、さらに凹部２１に沿って下方（図２（ａ）で、紙面を表から裏に貫く方向）にスライドされ、図２（ｂ）に示すように、中央部探傷プローブ２の底面とコイル保持部材５の底面が揃った位置で固定される。よって、コイル保持部材５は、中央部探傷プローブ２に着脱可能に固定される。ここで、底面とは、渦電流探傷時に検査対象の面に向き合い接触する面をいう。

また、この例におけるコイル保持部材４は、同型の２つの部材からなり、それぞれ、探傷幅調整部材８を介してコの字形のコイル保持部材５の両端部に連結される。従って、コイル保持部材５に２つのコイル保持部材４が連結された形状は、横長のコの字型となり、コイル保持部材４も中央部探傷プローブ２の容器の２つの側面に接することになる。

探傷幅調整部材８は、図２（ｃ）に示すように、円板状の回転部８０と、回転部８０の両側面に固定されたネジ足８１，８２と、によって構成される。このとき、ネジ足８１，８２のネジ山は逆回りに形成されている。また、この探傷幅調整部材８を介して連結されるコイル保持部材４，５の連結部分には、ネジ足８１，８２に螺合するネジ穴１５，１６が形成されている。従って、回転部８０を適宜回転させることによって、コイル保持部材４，５の相互の離間距離を調整することができる。

さらに、図２（ａ）に示すように、少なくとも一方のコイル保持部材４の内部の、他方のコイル保持部材５が連結されていない側の端部の底部には、探傷用のコイル１１が配設され、さらに、コイル保持部材５の内部の、コの字型の曲がり角部近傍の端部には、コイル１１とは別の探傷用のコイル１２が配設されている。従って、探傷幅調整部材８の回転部８０を適宜回転させることによって、コイル１１とコイル１２との離間距離を調整することができる。なお、図２（ａ）では、コイル１１，１２は、それぞれ１つずつしか描かれていないが、それぞれ、複数個のコイル１１，１２であってもよい。

また、コイル保持部材４の、コイル保持部材５が連結される端部と反対側の端部の側面には、回転軸１３が設けられ、その回転軸１３には、逆コの字型の角部位置合わせ部材６が回転自在に取り付けられている。同様に、コイル保持部材５のコの字型の曲がり角近傍の側面には、回転軸１４が設けられ、その回転軸１４には、コの字型の角部位置合わせ部材７が回転自在に取り付けられている。

さらに、図２（ｂ）に示すように、中央部探傷プローブ２の底面およびコイル保持部材４，５の底面は、同一平面に接する位置に揃えられる。そして、これらの揃えられた底面は、図１に示したように、被検査体９のスロット部９１の検査対象の内壁面（図１の例では、内壁面Ｂ）に接するように配置される。なお、このとき、中央部探傷プローブ２の容器は、図示しない押圧機構（詳細後記）により、その上面側から押圧されるため、中央部探傷プローブ２の底面およびコイル保持部材４，５の底面は、スロット部９１の検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）に接触することになる。

また、角部位置合わせ部材６，７および探傷幅調整部材８は、コイル１１とコイル１２との離間距離を検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）の幅に合わせる際に用いられる。すなわち、探傷幅調整部材８の回転部８０を適宜回転させることにより、コイル保持部材４，５の離間距離を調整して、角部位置合わせ部材６，７の底面を、それぞれ、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）に隣接する内壁面（図１の例では、内壁面Ａ，Ｃ）に接触させる。その結果、端部探傷用のコイル１１，１２は、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）の両端部に配置されることになる。

図３は、本発明の第１の実施形態に係る渦電流探傷プローブ１の中央部探傷プローブ２の構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図である。図３に示すように、中央部探傷プローブ２の容器内部の底部には、探傷用の複数のコイル２２がアレー状に配置されている。また、前記したように、中央部探傷プローブ２の側面には、上面から底面に到る直線状の凹部２１が形成されている。この凹部２１には、コイル保持部材５に形成された凸部１７が嵌め込まれる。

アレー状に配置された複数のコイル２２は、端部探傷プローブ３のコイル１１，１２を含め、それぞれが励磁コイルまたは検出コイルとなるように、適宜、電子的に替えられ、これらのコイル２２，１１，１２を用いて渦電流探傷が行われる。なお、アレー状に配置された複数のコイル２２は、しばしば、アレーコイルとも呼ばれる。図３では、複数のコイル２２は、１列のアレーコイルであるが、２列や３列など２次元配列のアレーコイルであってもよい。

図４は、図１〜図３を用いて説明した渦電流探傷プローブ１が、図１に示したスロット部９１の内壁面を探傷する様子を模式的に示した図である。すなわち、図４では、渦電流探傷プローブ１は、図１に示したスロット部９１の内壁面Ｂを探傷するものとしている。このとき、渦電流探傷プローブ１は、内壁面Ｂに接触させられた状態で、左から右へ移動させられ、内壁面Ｂの探傷が行われる。なお、以下の説明では、渦電流探傷プローブ１を検査対象の内壁面に接触させた状態で探傷することを、「走査する」ともいう。

図４において、内壁面Ｂのうち内壁面Ａ，Ｃにそれぞれ接する角部９３，９４の探傷には、端部探傷プローブ３のコイル１１，１２が用いられ、内壁面Ｂの中央部９２の探傷には、中央部探傷プローブ２の複数のコイル２２（アレーコイル）が用いられる。従って、本実施形態では、検査対象のスロット部９１の内壁面Ｂを探傷するには、渦電流探傷プローブ１を内壁面Ｂに接触させた状態で内壁面Ｂ上を１回走査させるだけでよい。

また、本実施形態では、前記したように、角部位置合わせ部材６，７および探傷幅調整部材８を用いれば、コイル保持部材４，５に保持されたコイル１１，１２の離間距離を検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）の幅に合わせることができる。従って、本実施形態に係る渦電流探傷プローブ１は、検査対象の内壁面の幅が異なる様々な形状を有するスロット部９１の内壁面の探傷に適用することができる。

ただし、本実施形態では、探傷可能な内壁面の最大幅は、中央部探傷プローブ２に搭載されているコイル２２の数によって決定される。従って、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）の幅がその最大幅より小さい場合には、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）の中央部９２から外れた場所に位置するコイル２２から得られる探傷情報は、捨てられるものとする。

以上、本発明の第１の実施形態によれば、角部位置合わせ部材６，７および探傷幅調整部材８を設けたことにより、渦電流探傷プローブ１を適用可能なスロット部９１の形状依存性を減ずることができる。また、端部探傷プローブ３のコイル保持部材４，５の両端部には、検査対象となる内壁面の端部、すなわち、角部９３，９４を探傷するためのコイル１１，１２が設けられている。従って、検査対象となる内壁面の角部９３，９４でもコイル保持部材４，５の端部を内壁面に確実に接触させることができるので、角部９３，９４近傍における検査精度の劣化を抑制することができる。

以上、本発明の第１の実施形態における中央部探傷プローブ２では、渦電流探傷のために、アレー状に配置された複数のコイル２２（アレーコイル）が用いられるが、渦電流探傷のためのコイルは、アレーコイルに限定されない。以下、中央部探傷プローブ２における渦電流探傷用コイルの構造の変形例を示す。

（変形例１）
図５は、本発明の第１の実施形態の変形例１に係る中央部探傷プローブ２ａの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図、（ｃ）は、右側面図である。図５に示すように、中央部探傷プローブ２ａの容器内部の底部には、断面が横長の長方形状（つまり、横長のレーストラック状、以下、同様）の励磁コイル４０および検出コイル４１が配設されている。

ここで、これら長方形状の励磁コイル４０および検出コイル４１の横方向の長さは、検査対象となるスロット部９１の内壁面（例えば、図１の内壁面Ｂ）の幅より長くなるように定められる。従って、この変形例に係る中央部探傷プローブ２ａを用いた渦電流探傷プローブ１は、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）を１回の走査で探傷することができる。

なお、励磁コイル４０および検出コイル４１は、いずれも、図示しない磁性体の磁心を有するが、磁心はなくてもよい。また、中央部探傷プローブ２ａの容器の外形の構造については、その側面に凹部２１（コイル保持部材５の凸部１７（図２参照）が嵌合される）が形成されていることを含め、第１の実施形態の中央部探傷プローブ２の構造と同じである。

（変形例２）
図６は、本発明の第１の実施形態の変形例２に係る中央部探傷プローブ２ｂの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図、（ｃ）は、右側面図である。図６に示すように、中央部探傷プローブ２ｂの容器の内部には、ギャップ４９を有する磁性体の磁心４５およびその磁心４５に巻回された励磁コイル４６が配設され、さらに、ギャップ４９の位置には、検出コイル４７が配設されている。なお、ここでは、上面図（ａ）は、中央部探傷プローブ２ｂを、側面図（ｂ）のＡ−Ａ’ラインおよびＢ−Ｂ’ラインでそれぞれ切断した断面構造を重ね合わせて描いたものとなっている。

本変形例では、励磁コイル４６および検出コイル４７は、横長の長方形状であり、その横方向の長さは、スロット部９１の検査対象の内壁面（例えば、図１の内壁面Ｂ）の幅より長くなるように定められる。従って、この変形例に係る中央部探傷プローブ２ｂを用いた渦電流探傷プローブ１は、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）を１回の走査で探傷することができる。

また、中央部探傷プローブ２ｂの容器の外形の構造については、その側面に凹部２１（コイル保持部材５の凸部１７（図２参照）が嵌合される）が形成されていることを含め、第１の実施形態の中央部探傷プローブ２の構造と同じである。

（変形例３）
図７は、本発明の第１の実施形態の変形例３に係る中央部探傷プローブ２ｃの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図、（ｃ）は、右側面図である。図７に示すように、中央部探傷プローブ２ｃの内部には、ギャップ５３を有する磁性体の磁心５０およびその磁心５０に巻回された励磁コイル５１が配設され、さらに、ギャップ５３の位置には、複数の検出コイル５２がアレー状に配置されている。なお、ここでは、上面図（ａ）は、中央部探傷プローブ２ｃを、側面図（ｂ）のＡ−Ａ’ラインおよびＢ−Ｂ’ラインでそれぞれ切断した断面構造を重ね合わせて描いたものとなっている。

本変形例では、励磁コイル５１は、横長の長方形状であり、その横方向の長さは、スロット部９１の検査対象の内壁面（例えば、図１の内壁面Ｂ）の幅より長くなるように定められる。また、その長さに合わせて、検出コイル５２の径および員数が定められる。従って、この変形例に係る中央部探傷プローブ２ｃを用いた渦電流探傷プローブ１は、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）を１回の走査で探傷することができる。

また、中央部探傷プローブ２ｃの容器の外形の構造については、その側面に凹部２１（コイル保持部材５の凸部１７（図２参照）が嵌合される）が形成されていることを含め、第１の実施形態の中央部探傷プローブ２の構造と同じである。

（変形例４）
図８は、本発明の第１の実施形態の変形例４に係る中央部探傷プローブ２ｄの構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図である。図８に示すように、中央部探傷プローブ２ｄの容器の内部には、磁性体の磁心５５に巻回された励磁コイル５６が等間隔に複数個配置され、さらに、互いに隣接する２つの励磁コイル５６の間には、検出コイル５７が配置されている。なお、ここでは、上面図（ａ）は、中央部探傷プローブ２ｄを、側面図（ｂ）のＡ−Ａ’ラインおよびＢ−Ｂ’ラインでそれぞれ切断した断面構造を重ね合わせて描いたものとなっている。また、上面図（ａ）では、励磁コイル５６の図示が省略されている（磁心５５のみ描かれている）。

ここで、励磁コイル５６の形状は、長方形状であり、その長手の面が互いに対向するように配置される。このとき、互いに隣接する２つの励磁コイル５６の間に配置される検出コイル５７の並びの方向と、励磁コイル５６の長方形状の長手方向とは、ほぼ直交するように配置される。また、図８において、複数の励磁コイル５６および検出コイル５７が配置された全体の長さは、スロット部９１の検査対象の内壁面（例えば、図１の内壁面Ｂ）の幅より長くなるように定められる。従って、この変形例に係る中央部探傷プローブ２ｄを用いた渦電流探傷プローブ１は、検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ）を１回の走査で探傷することができる。

なお、中央部探傷プローブ２ｄの容器の外形の構造については、その側面に凹部２１（コイル保持部材５の凸部１７（図２参照）が嵌合される）が形成されていることを含め、第１の実施形態の中央部探傷プローブ２の構造と同じである。

なお、以上の変形例１〜４のいずれでも、端部探傷プローブ３は、第１の実施形態と同様に用いられる。従って、変形例１〜４のいずれでも、第１の実施形態度と同様の効果が得られることは明らかである。

（第２の実施形態）
図９は、本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷装置１００の構成の例、および、その渦電流探傷装置１００が被検査体９のスロット部９１の内壁面の探傷に適用される様子を模式的に示した図である。図９に示すように、本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷装置１００は、第１の実施形態で示した渦電流探傷プローブ１と、その渦電流探傷プローブ１の底部をスロット部９１の検査対象の内壁面に押圧する機構を備えた押圧機構搭載台車６０と、渦電流探傷時に渦電流探傷データの取得などの制御をする渦電流探傷制御装置７０と、を含んで構成される。
なお、図９の例では、渦電流探傷装置１００は、スロット部９１の内壁面Ｂ，Ｂ’を探傷するために、それぞれ１つずつ、合わせて２つの渦電流探傷プローブ１が用いられる構成となっている。

押圧機構搭載台車６０は、車輪６１を備え、被検査体９のスロット部９１内を走行する走行台車６２と、走行台車６２にバネ部材６３を介して取り付けられ、渦電流探傷プローブ１を検査対象の内壁面に押圧する押圧プレート６４を含んで構成される。この場合、バネ部材６３および押圧プレート６４が押圧機構に相当する。
なお、図９の例では、走行台車６２には、その安定走行を確保するために、複数、好ましくは４つの車輪６１が設けられている。また、２つの渦電流探傷プローブ１をそれぞれ異なる内壁面Ｂ，Ｂ’に押圧するために、２つの押圧プレート６４が設けられている。

すなわち、走行台車６２は、複数の車輪６１を介してスロット部９１の検査対象とは異なる内壁面で支持され、２つの押圧プレート６４を介して、２つの渦電流探傷プローブ１を検査対象の内壁面Ｂ，Ｂ’に押圧する。従って、走行台車６２がスロット部９１の内部を奥行き方向に（例えば、紙面の前面側から裏側方向に）１回走行することにより、検査対象の２つの内壁面Ｂ，Ｂ’を同時に探傷することができる。

なお、走行台車６２がスロット部９１の内部を走行すると、内壁面Ｂ，Ｂ’に押圧された２つの渦電流探傷プローブ１は、内壁面Ｂ，Ｂ’を滑走する。従って、その滑走時の摩擦力は、押圧プレート６４と渦電流探傷プローブ１との間の摩擦力よりも十分に小さいものであることが求められる。そのため、押圧プレート６４の押圧面およびその押圧プレート６４が接触する中央部探傷プローブ２上面の少なくとも一方は、ゴムなど粘着力のある部材で形成されているものとする。

また、図９では、押圧プレート６４の押圧力は、スプリングなどのバネ部材６３を用いて発生させているが、バネ部材６３に代えて、エアーを注入したバルーンなどを用いて、押圧プレート６４の押圧力を発生させるようにしてもよい。

渦電流探傷制御装置７０は、入力装置７５（キーボード、マウス、タッチパネルなど）、表示装置７６（液晶表示装置など）、音声出力装置７７（スピーカなど）などが付属するパーソナルコンピュータを用いて構成することができる。渦電流探傷制御装置７０は、当然ながら、渦電流探傷プローブ１や押圧機構搭載台車６０にも接続されるが、図９では、その接続配線の記載を省略している。

図１０は、本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷制御装置７０の構成の例を示した図である。図１０に示すように、渦電流探傷制御装置７０は、データ処理装置７１、励磁コイル駆動回路７２、渦電流信号検出回路７３などを含んで構成され、渦電流探傷プローブ１や押圧機構搭載台車６０に接続されるとともに、入力装置７５、表示装置７６などに接続される。

データ処理装置７１は、一般的なパーソナルコンピュータと同様に、ＣＰＵ（Central Processing Unit）７１１、主メモリ７１２、ＨＤ（Hard Disk）装置７１３、入出力インターフェース７１４などを含んで構成される。そして、データ処理装置７１は、渦電流探傷に係る様々な制御機能を担うことになるが、その様々な制御機能は、ＣＰＵ７１１が主メモリ７１２またはＨＤ装置７１３にあらかじめ格納されているプログラムを実行することにより実現される。

励磁コイル駆動回路７２は、データ処理装置７１および渦電流探傷プローブ１内の励磁コイル２２１に接続され、データ処理装置７１からの指示に基づき、励磁コイル２２１に所定の周波数（例えば、２０ｋＨｚ）の交流電流を供給する。また、渦電流信号検出回路７３は、データ処理装置７１および検出コイル２２２に接続され、検出コイル２２２のインピーダンスの値またはその電圧変換値などを検出する。

なお、前記したように、アレー状に配置されコイル２２（図３参照）は、電子的に切り替えながら励磁コイル２２１または検出コイル２２２として用いられる場合があるが、その場合には、それぞれのコイル２２は、図示しない切り替え電子回路を介して励磁コイル駆動回路７２および渦電流信号検出回路７３に接続されるものとする。

なお、図１０では、励磁コイル駆動回路７２および渦電流信号検出回路７３は、データ処理装置７１と同じ基板や筐体などに搭載されるように描かれているが、それに限定されず、渦電流探傷プローブ１の中に搭載されるとしてもよい。また、その場合、データ処理装置７１と励磁コイル駆動回路７２および渦電流信号検出回路７３とは、無線で接続されていてもよい。

また、押圧機構搭載台車６０（図９参照）の車輪６１には、その車輪６１が所定の角度回転するたびにパルスを発生するロータリエンコーダなどの回転パルス発生器６５を備えており、そのパルス信号や回転角データは、データ処理装置７１に入力される。従って、データ処理装置７１のＣＰＵ７１１は、そのパルス信号の数、回転角、車輪６１の径などに基づいて、走行台車６２の走行距離、すなわち、走行台車６２の位置を演算することができる。

なお、走行台車６２は、データ処理装置７１からの指示に基づき回転するモータを備えて、自動走行するものであってもよく、あるいは、モータを備えず、作業者が手や棒などで押したり、引いたりすることによって走行するものであってもよい。

図１１は、本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷装置１００を用いてスロット部９１の内壁面の渦電流探傷を行う場合に必要となる作業手順の例を示した図である。なお、この作業開始時点で、その渦電流探傷に用いられる渦電流探傷プローブ１は、中央部探傷プローブ２と端部探傷プローブ３とに分離された状態にあるものとする。以下、図９なども参照しつつ、その作業手順について詳しく説明する。

図１１に示すように、作業者は、まず、端部探傷プローブ３による探傷幅を検査対象のスロット部９１の内壁面の形状に合わせて調整する（ステップＳ１０）。すなわち、作業者は、手作業等で端部探傷プローブ３のコイル保持部材４，５の底面を、検査対象の内壁面（図９の例では、内壁面Ｂ，Ｂ’）に押し当て、さらに、角部位置合わせ部材６，７を隣接する内壁面（例えば、内壁面Ａ，Ｃ）に押し当てる。

このとき、角部位置合わせ部材６，７の底面が隣接する内壁面にうまく当接しない場合には、作業者は、探傷幅調整部材８の回転部８０を適宜回して、コイル保持部材４，５の離間距離を調整する。その結果、角部位置合わせ部材６，７の底面が隣接する内壁面にうまく当接するようになった場合には、そのときをもって、コイル保持部材４，５の離間距離すなわち探傷幅の調整が終了したものと判断する。なお、角部位置合わせ部材６，７が内壁面にうまく当接するとは、角部位置合わせ部材６，７の底面全体が内壁面に全面に渡り密着した状態になることをいう。

次に、作業者は、端部探傷プローブ３を中央部探傷プローブ２に合体させ、渦電流探傷プローブ１を構成する（ステップＳ１１）。すなわち、作業者は、手作業等で端部探傷プローブ３のコイル保持部材５に形成された凸部１７を中央部探傷プローブ２の側面に形成された凹部２１に嵌合させることにより、中央部探傷プローブ２と端部探傷プローブ３とを一体化し、渦電流探傷プローブ１を構成する。なお、この作業では、作業者は、端部探傷プローブ３のコイル保持部材４，５の底面の位置と中央部探傷プローブ２の底面に位置とを揃えておくものとする。

ここで、コイル保持部材５に形成された凸部１７が中央部探傷プローブ２の凹部２１に嵌合されたときの摩擦力は、コイル保持部材５が中央部探傷プローブ２に固定されるのに必要な摩擦力よりも十分に大きいものとする。つまり、押圧機構搭載台車６０の押圧プレート６４は、中央部探傷プローブ２の容器の上部しか押圧しないが（図９参照）、コイル保持部材５の凸部１７が中央部探傷プローブ２の凹部２１に嵌合したときの摩擦力により、その押圧力は、コイル保持部材５にも十分に伝達されるものとする。よって、押圧プレート６４が中央部探傷プローブ２の上部を押圧したときには、中央部探傷プローブ２の底面とともにコイル保持部材４，５の底面も同時に検査対象の内壁面（例えば、内壁面Ｂ，Ｂ’）に接触することになる。

次に、作業者は、以上のようにして構成した渦電流探傷プローブ１および別途準備しておいた押圧機構搭載台車６０を検査対象のスロット部９１に挿入して（ステップＳ１２）、検査対象のスロット部９１の内壁面（例えば、内壁面Ｂ，Ｂ’）の探傷走査を開始させる（ステップＳ１３）。なお、この探傷走査を開始させる作業には、例えば、渦電流探傷制御装置７０の電源を投入したり、渦電流探傷制御装置７０や走行台車６２などに設けられている走査開始ボタン（図１０では図示省略）を押したりする作業が含まれる。ただし、走行台車６２が自動走行機能を有していない場合には、作業者は、探傷走査を開始させた後も、走行台車６２を走行させるなどの作業を継続する必要がある。

図１２は、本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷制御装置７０における渦電流探傷制御の処理フローの例を示した図である。図１２に示すように、渦電流探傷装置１００において探傷走査が開始されると、渦電流探傷制御装置７０のデータ処理装置７１（図１０参照）は、探傷走査の開始を励磁コイル駆動回路７２、渦電流信号検出回路７３、回転パルス発生器６５などに通知する（ステップＳ２０）。

探傷走査の開始の通知を受けると、励磁コイル駆動回路７２は、励磁コイル２２１に対し、励磁用の交流電流の供給を開始し、渦電流信号検出回路７３は、検出コイル２２２による渦電流検出を開始する。また、回転パルス発生器６５は、車輪６１の回転の検知を開始する。さらに、走行台車６２が自動走行用のモータなどを備えているような場合には、データ処理装置７１は、そのモータにも始動を指示し、走行台車６２の走行を開始させる。

次に、データ処理装置７１は、渦電流信号検出回路７３から渦電流検出信号を取得し、回転パルス発生器６５から回転パルス信号を取得する（ステップＳ２１）。なお、このとき、渦電流検出信号は、例えば、検出コイル２２２のインピーダンスを電圧変換した電圧信号として得られ、また、回転パルス信号は、例えば、車輪の回転数とその回転角のデータとして得られる。

次に、データ処理装置７１は、渦電流検出信号を表示装置７６に表示する（ステップＳ２２）とともに、その取得した渦電流検出信号が正常であるか否かを判定する（ステップＳ２３）。なお、渦電流検出信号が正常であるか否かは、例えば、渦電流検出信号として取得された電圧値が、所定のしきい値電圧以下の場合には、正常であると判定し、しきい値電圧を超えた場合には、異常であると判定する。

次に、ステップＳ２３の判定で渦電流検出信号が正常でない（異常）と判定された場合には（ステップＳ２３でＮｏ）、データ処理装置７１は、そのときの走行台車６２の走査位置データを記憶装置（主メモリ７１２、ＨＤ装置７１３など）の記憶し、警報音を音声出力装置７７から出力する（ステップＳ２４）。ここで、走行台車６２の走査位置データは、回転パルス発生器６５から得られた回転パルス信号（例えば、車輪の回転数とその回転角度）と車輪６１の径とを演算して求めることができる。

一方、ステップＳ２３の判定で渦電流検出信号が正常であると判定された場合には（ステップＳ２３でＹｅｓ）、データ処理装置７１は、ステップＳ２４の処理をスキップし、次のステップＳ２５の処理に移る。

次に、データ処理装置７１は、探傷走査が終了したか否かを判定し（ステップＳ２５）探傷走査が終了していない場合には（ステップＳ２５でＮｏ）、ステップＳ２１に戻り、ステップＳ２１以下の処理を繰り返して実行する。一方、探傷走査が終了していた場合には（ステップＳ２５でＹｅｓ）、データ処理装置７１は、探傷の検査結果を表示装置７６に表示した（ステップＳ２６）後、渦電流探傷走査の制御処理を終了する。

なお、データ処理装置７１は、例えば、渦電流探傷制御装置７０や走行台車６２などに設けられている走査終了ボタン（図１０では図示省略）を作業者が押したことを検知することによって、探傷走査の終了を認識する。

また、以上の処理フローでは、データ処理装置７１は、渦電流検出信号の異常を検出した場合でも探傷走査の制御を継続するが、それに限定されず、渦電流検出信号の異常を検出した場合、警報音を出力した（ステップＳ２４）後、直ちに探傷走査の制御を終了するようにしてもよい。この場合、検査対象の内壁面で、探傷走査を停止した位置に何らかの欠陥があることになる。

図１３は、本発明の第２の実施形態に係る渦電流探傷制御装置７０によって表示装置７６に表示される渦電流探傷結果表示画面の例を示した図である。図１３に示すように、探傷の検査結果は、欠陥マップ７６１として表示してもよく、渦電流検出信号の走査位置依存波形７６２として表示してもよい。

欠陥マップ７６１は、渦電流検出信号の異常（欠陥）が検出された走査位置を、検査対象の内壁面の平面形状の中に表示したものである。図１３の欠陥マップ７６１では、ｘ方向を検査対象の内壁面の走査方向、ｙ方向を幅方向として、検査対象の内壁面全体を長方形で表し、欠陥が検出された走査位置にｘ印が付されている。この欠陥マップ７６１により、欠陥の位置が一目で分かるようになる。

渦電流検出信号の走査位置依存波形７６２は、複数の検出コイル２２２のそれぞれから得られる渦電流検出信号値（例えば、インピーダンス値）を走査位置に対応付けて描いた波形である。図１３において、Ｃ１〜Ｃ５は、検出コイル２２２を識別する名称であり、横軸ｘは、走査方向の位置を表している。また、各波形の縦軸は、渦電流検出信号値（例えば、インピーダンス値）である。このような渦電流検出信号の走査位置依存波形７６２により、欠陥の大きさなどの状況をより詳しく推定することができるようになる。

以上、本発明の第２の実施形態では、第１の実施形態に係る渦電流探傷プローブ１を検査対象のスロット部９１の内壁面に押圧するとともに、渦電流探傷プローブ１を内壁面に押圧したまま、スロット部９１内をその長さ方向に走行させるために、車輪６１を有する押圧機構搭載台車６０を導入した。また、押圧機構搭載台車６０が検査対象のスロット部９１を走行する、すなわち、渦電流探傷プローブ１が検査対象の内壁面を走査するとき取得される渦電流検出信号などを取得して処理する渦電流探傷制御装置７０を導入した。よって、探傷作業者の作業負担が軽減され、さらに、作業者は、欠陥の位置や様子を容易に知ることができるようになる。

以上、本発明の第１および第２の実施形態によれば、被検査体９のスロット部９１の形状依存性を小さくできることから、異なる形状を有するスロット部９１にも、同じ渦電流探傷プローブ１を適用することができるようになる。従って、異なる形状を有するスロット部９１ごとに渦電流探傷プローブ１を製作する必要がなくなるので、その製作費用や製作時間を削減することができ、経済的である。また、スロット部９１の検査対象の内壁面の角部でも確実に接触することが可能な渦電流探傷プローブ１（端部探傷プローブ３）を提供できることから、欠陥検出性能を向上させることができる。

（第３の実施形態）
図１４は、本発明の第３の実施形態に係る渦電流探傷装置１０００の構成の例、および、その渦電流探傷装置１０００が被検査体９のスロット部９１の内壁面の探傷に適用される様子を模式的に示した図である。

ここで、被検査体９には、第１の実施形態（図１参照）や第２の実施形態（図９参照）の場合と同様に、奥行き方向（図面では紙面に垂直な方向）に長い溝状のスロット部９１が形成されているものとする。そして、スロット部９１は、複数の角部で区切られた奥行き方向に細長い複数の平坦な内壁面（内壁面Ａ、内壁面Ｂ、内壁面Ｃなど）で囲まれた空間であり、その断面形状は、奥行き方向のいずれの位置でも同じであるとする。

図１４に示すように、本発明の第３の実施形態に係る渦電流探傷装置１０００は、渦電流探傷プローブ２００と、その渦電流探傷プローブ２００の底部をスロット部９１の検査対象の内壁面に押圧する機構を備えた押圧機構搭載台車６００と、渦電流探傷時に渦電流探傷データの取得などの制御をする渦電流探傷制御装置７０と、を含んで構成される。
なお、この図の例では、渦電流探傷装置１０００は、スロット部９１の内壁面Ｂ，Ｂ’を探傷するために、それぞれ１つずつ、合わせて２つの渦電流探傷プローブ２００が用いられる構成となっている。

押圧機構搭載台車６００は、スロット部９１が形成された被検査体９の上面を滑走する走行台車６０２と、走行台車６０２に搭載され、渦電流探傷プローブ２００を検査対象の内壁面に押圧する押圧機構を含んで構成される。

ここで、押圧機構とは、バネ部材６０３と、バネ部材６０３を介して走行台車６０２に取り付けられた上部支持板材６０４と、上部支持板材６０４にボルト６０９を介して懸架され、スロット部９１の内部へ下垂するように設けられた２つの渦電流探傷プローブ保持部材６０８と、その２つの渦電流探傷プローブ保持部材６０８を相互に連結するバネ部材６０７と、を含む部分をいう。

上部支持板材６０４は、走行台車６０２の走行面すなわち被検査体９の外側の上面に略平行になるように、バネ部材６０３を介して走行台車６０２の上面部に取り付けられる。ここで、上部支持板材６０４および走行台車６０２のそれぞれには、ボルト６０９の足を通すための開口部６０４ａ，６０２ａが設けられている。ボルト６０９の足は、上部から開口部６０４ａ、バネ部材６０３、開口部６０２ａを貫通し、渦電流探傷プローブ保持部材６０８の上部に達し、その先端部が渦電流探傷プローブ保持部材６０８の上面部にねじ込まれて（図１４では、ねじ込まれる部分の図示を省略）固定される。

なお、上部支持板材６０４および走行台車６０２それぞれに形成される開口部６０４ａ，６０２ａの上面形状は、スロット部９１の内壁面方向に細長い形状をしており、その幅（短径）は、ボルト６０９の足の経よりもやや大きく、ボルト６０９の頭部の径よりも十分に小さい。従って、渦電流探傷プローブ保持部材６０８は、ボルト６０９を介することにより、スロット部９１の内壁面方向の前後にスライド自在に、上部支持板材６０４に懸架される。

このとき、バネ部材６０３は、その圧縮反発力により、上部支持板材６０４を上部方向へ押圧する。そのため、渦電流探傷プローブ保持部材６０８は、上部に引き上げられる力を受ける。

また、２つの渦電流探傷プローブ保持部材６０８の互いに対向する面の同じ位置には、棒部材６１０を滑らかに挿抜可能な孔部６０８ｂが形成されている。そして、その２つの渦電流探傷プローブ保持部材６０８の互いに対応する位置の孔部６０８ｂのそれぞれには、圧縮されたバネ部材６０７を保持した棒部材６１０の一方の端部および他方の端部が挿入される。従って、バネ部材６０７は、その圧縮反発力により、２つの渦電流探傷プローブ保持部材６０８をそれぞれ横方向（スロット部９１の内壁面側へ向かう方向、図面上では左方向または右方向）へ押圧する。

また、渦電流探傷プローブ保持部材６０８には、スロット部９１の内壁面Ｂ，Ｂ’を探傷するための渦電流探傷プローブ２００が保持されている。そして、内壁面Ｂ，Ｂ’に接触する渦電流探傷プローブ２００の底部（図１４では、その底部は、斜め上方を向いている）には、渦電流探傷用のコイル２０１が設けられている。

以上のように構成された押圧機構により、渦電流探傷プローブ保持部材６０８に保持された渦電流探傷プローブ２００には、バネ部材６０３による上部方向の力を受けるとともに、バネ部材６０７による横方向（左方向または右方向）の力を受ける。従って、これら２つの渦電流探傷プローブ２００は、それぞれ左斜め上方または右斜め上方の力を受けることになるので、そのそれぞれの底部が内壁面Ｂ，Ｂ’に圧着させられ、また、渦電流探傷プローブ保持部材６０８は、内壁面Ａ，Ａ’に圧着させられる。

さらに、図１４を参照すると、上部支持板材６０４の中央部には、スロット部９１の内部へ深く下垂する下垂支持板材６０５が固定して取り付けられている。なお、このとき、走行台車６０２の中央部には、下垂支持板材６０５を通すための開口部６０２ｂが設けられている。

そして、下垂支持板材６０５の下方部には、車輪６０１を保持する車輪保持部６０１ａおよび車輪６０１をバネ部材などにより上方から下方へ押圧する車輪押圧部６０１ｂが設けられており、下垂支持板材６０５は、これらを上方から支持する。

車輪６０１は、下垂支持板材６０５を介して走行台車６０２をスロット部９１の底面で支持する役割というより、走行台車６０２が走行した距離を計測する役割を果たす。そのため、車輪６０１には、ロータリエンコーダなどの回転パルス発生器６５（図１０参照）が付属している。

なお、本実施形態では、走行台車６０２には、台車支持用の車輪の代わりに、走行台車６０２がスロット部９１を有する被検査体９の上面と接する部分に滑走部６０２ｃが設けられている。そのため、滑走部６０２ｃは、被検査体９の上面との摩擦抵抗が小さい、例えば、フッ化樹脂などの部材で構成されている。

また、この第３の実施形態でも、第２の実施形態（図９参照）の場合と同様に、入力装置７５（キーボード、マウス、タッチパネルなど）、表示装置７６（液晶表示装置など）、音声出力装置７７（スピーカなど）などが付属する渦電流探傷制御装置７０が用いられる。渦電流探傷制御装置７０の構成は、図１０を用いて説明した通りであるので、ここでは、その説明を省略する。

図１５は、本発明の第３の実施形態に係る渦電流探傷装置１０００において渦電流探傷プローブ保持部材６０８に渦電流探傷プローブ２００が保持される構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、左側面図である。
図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、渦電流探傷プローブ保持部材６０８の中央部には、渦電流探傷プローブ保持部材６０８を貫通する開口部６０８ａが形成されており、渦電流探傷プローブ２００は、その開口部６０８ａに嵌め合わされて固定される。

このとき、開口部６０８ａの上面および下面は、渦電流探傷プローブ保持部材６０８の上下方向軸に垂直な平面に対し傾斜し、その傾斜角は、内壁面Ｂ，Ｂ’の傾斜角に等しくなるように定められる。すなわち、渦電流探傷プローブ２００を渦電流探傷プローブ保持部材６０８の開口部６０８ａに嵌め合わせたとき、渦電流探傷プローブ２００の底面が渦電流探傷プローブ保持部材６０８の上下方向軸となす角度は、内壁面Ｂ，Ｂ’が内壁面Ａ，Ａ’となす角度に等しい。

また、図１４で説明したように、内壁面Ｂ，Ｂ’に接する渦電流探傷プローブ２００の底部には、渦電流探傷用のコイル２０１，２０２（ただし、図１４および図１５（ａ）では、コイル２０２の図示は省略）が設けられている。このコイル２０１，２０２が設けられている領域の幅Ｌ、すなわち、渦電流探傷プローブ保持部材６０８の開口部６０８ａから突出している渦電流探傷プローブ２００の底面側の長さＬは、内壁面Ｂ，Ｂ’の幅に等しくなるように定められる。

従って、渦電流探傷プローブ保持部材６０８および渦電流探傷プローブ２００は、ほとんどぴったり内壁面Ａ，Ａ’および内壁面Ｂ，Ｂ’に圧着される。

図１５（ａ）、（ｂ）では、バネ部材６０７を保持した棒部材６１０の端部が挿入される孔部６０８ｂの取り付け位置が破線で示されている。すなわち、図１５および図１４から分かるように、２つの渦電流探傷プローブ保持部材６０８は、それぞれバネ部材６０７を保持した４つの棒部材６１０を介して、互いに押圧されるようにして連結される。なお、図１５（ｂ）では、渦電流探傷プローブ保持部材６０８には、４つの孔部６０８ｂが設けられる、すなわち、２つの渦電流探傷プローブ保持部材６０８は、バネ部材６０７を保持した４つの棒部材６１０を介して連結されるとしているが、その数は、４つに限定されるものではない。

図１６は、本発明の第３の実施形態に係る渦電流探傷装置１０００で用いられる渦電流探傷プローブ２００の構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、正面図である。
図１６（ａ）、（ｂ）に示すように、渦電流探傷プローブ２００の底部には、検査対象の内壁面Ｂ，Ｂ’を、その全幅に渡って探傷可能なアレー状に配列された複数のコイル２０１と、内壁面Ｂ，Ｂ’の両端部を精度よく探傷するためのコイル２０２を含んで構成される。なお、図１６（ｂ）では、コイル２０２の図示を省略している。

ここで、図１６に示した渦電流探傷プローブ２００に設けられたコイル２０１，２０２を、図２、図３に示した第１の実施形態における渦電流探傷プローブ１に設けられたコイル１１，１２，２２に対応付けると、コイル２０１は、中央部探傷プローブ２に設けられたコイル２２（図３参照）に対応し、コイル２０２は、端部探傷プローブ３に設けられたコイル１１，１２（図２参照）に対応する。

なお、渦電流探傷プローブ２００の内部にアレー状に配置されたコイル２０１については、図５〜図８に示されている励磁コイル４０，４６，５１，５６および検出コイル４１，４７，５２，５７による構成に置き換えてもよい。また、内壁面Ｂ，Ｂ’の両端部を探傷するためのコイル２０２については、必ずしも設ける必要はない。

また、図１４〜図１６で説明した渦電流探傷装置１０００を用いて、検査対象の内壁面Ｂ，Ｂ’を探傷する方法は、図１１〜図１３に示した方法とほとんど同じであるので、その説明を省略する。

以上、本発明の第３の実施形態によれば、押圧機構によってスロット部９１の内壁面に押圧される渦電流探傷プローブ２００は、渦電流探傷プローブ保持部材６０８へ取り付けられる位置や、取り付け角度が検査対象となる特定の内壁面（例えば、Ｂ，Ｂ’など）の形状にとくに適合するように構成されているため、渦電流探傷プローブ２００による探傷の精度を向上させることができる。

また、本発明の第３の実施形態によれば、検査対象の内壁面（例えば、Ｂ，Ｂ’など）の幅や傾斜角が変わった場合には、渦電流探傷装置１０００全体を新たに製作する必要はなく、簡単な構造部分である渦電流探傷プローブ保持部材６０８および渦電流探傷プローブ２００だけを製作しなおせばよい。従って、本発明の第３の実施形態に係る渦電流探傷装置１０００は、検査対象のスロット部９１の内壁面の構造の相違に対応し易い構造を有しているといえる。

また、本発明の第３の実施形態では、走行台車６０２がスロット部９１の外側に出されているため、渦電流探傷装置１０００を用いてスロット部９１内の特定の内壁面（例えば、内壁面Ｂ，Ｂ’など）の探傷をする場合、探傷を実施する作業者が走行台車６０２を直接手で押したり引いたりして、渦電流探傷装置１０００を自在に走行させることが可能になる。これは、作業者にとっての渦電流探傷装置１０００の操作性が向上することを意味する。

（第３の実施形態の変形例１）
図１５の説明では、渦電流探傷プローブ２００は、渦電流探傷プローブ保持部材６０８に設けられた開口部６０８ａに嵌合して固定され、さらに、渦電流探傷プローブ２００の底部でコイル２０１，２０２が設けられている領域の幅Ｌは、内壁面Ｂ，Ｂ’の幅に等しくなるように定められるものとしている。この場合、その渦電流探傷装置１０００は、内壁面Ｂ，Ｂ’の幅が異なるスロット部９１を有する他の被検査体９の探傷には、適用することができないことを意味する。

そこで、この変形例１では、渦電流探傷プローブ２００を渦電流探傷プローブ保持部材６０８に設けられた開口部６０８ａに嵌合して固定する場合に、その固定を任意の位置で可能なようにする。

これを実現するためには、単に、渦電流探傷プローブ２００を開口部６０８ａにきつく嵌合させ、渦電流探傷プローブ保持部材６０８および渦電流探傷プローブ２００がスロット部９１の内壁面に押圧されたとき、その嵌合させた位置が移動しないようにしておくだけでもよい。あるいは、嵌合させた位置が変わらないようにするために、補助的なネジ部材を用いて、渦電流探傷プローブ２００を開口部６０８ａの任意の位置で固定できるようにしてもよい。

さらに、渦電流探傷プローブ２００の内部では、コイル２０１，２０２が設けられている領域の幅Ｌを大きく設定しておく。

以上のような手段を講じることによって、検査対象の内壁面Ｂ，Ｂ’の幅が互いに異なるスロット部９１を有する複数の被検査体９のいずれに対しても、本変形例に係る渦電流探傷装置１０００の適用が可能となる。すなわち、この変形例では、検査対象の内壁面Ｂ，Ｂ’の幅が変わった場合には、渦電流探傷プローブ２００を渦電流探傷プローブ保持部材６０８の開口部６０８ａから適宜出し入れして、渦電流探傷プローブ２００の底面が開口部６０８ａから突出している部分の長さＬを、内壁面Ｂ，Ｂ’の幅に合うように調節すればよい。

よって、本変形例に係る渦電流探傷装置１０００は、検査対象のスロット部９１の断面形状の相違に対する適用性を向上させることができる。

なお、この変形例では、２つのコイル２０２は、その相互の距離が固定されていることを考慮すれば、検査対象の内壁面Ｂ，Ｂ’の両端部の探傷精度を向上させるという意味がなくなるので、省略してもよい。そして、検査対象の内壁面Ｂ，Ｂ’の両端部を含め、探傷精度の向上を図るなら、例えば、アレー状に配列されたコイル２０１を２列、渦電流探傷プローブ２００内に配置するようにしてもよい。

（第３の実施形態の変形例２）
図１７は、本発明の第３の実施形態の変形例２において、渦電流探傷プローブ２００が渦電流探傷プローブ保持部材６０８に保持される構造の例を模式的に示した図で、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、左側面図である。

図１５に示した第３の実施形態では、渦電流探傷プローブ２００を渦電流探傷プローブ保持部材６０８に形成された開口部６０８ａに嵌め合せるものであったので、渦電流探傷プローブ２００の底面が渦電流探傷プローブ保持部材６０８の上下方向軸となす角度は、固定され変えることができなかった。この場合、その渦電流探傷装置１０００は、内壁面Ｂ，Ｂ’の傾斜角が異なるスロット部９１を有する他の被検査体９の探傷には、適用することができないことを意味する。

そこで、この変形例２では、図１７（ａ）、（ｂ）に示すように、渦電流探傷プローブ保持部材６０８に設ける開口部６０８ｃを広く大きめに形成し、ネジ部材６０８ｄで支持した渦電流探傷プローブ２００が、その開口部６０８ｃ中を、ある角度範囲内で自在に回転できるようにした。そして、ネジ部材６０８ｄをきつく締めることによって、渦電流探傷プローブ２００の底面が渦電流探傷プローブ保持部材６０８の上下方向軸となす角度を自在に設定し、固定することができるようにした。

従って、この変形例２によれば、渦電流探傷プローブ２００の底面と渦電流探傷プローブ保持部材６０８がスロット部９１の内壁面に接する面との角度を、スロット部９１の内壁面Ｂ，Ｂ’と内壁面Ａ，Ａとがなす角度に合わせて調節することが可能になる。’

よって、本変形例に係る渦電流探傷装置１０００は、検査対象のスロット部９１の断面形状の相違に対する適用性を向上させることができる。

なお、本発明は、以上に説明した実施形態に限定されるものでなく、さらに様々な変形例が含まれる。例えば、前記の実施形態は、本発明を分かりやすく説明するために、詳細に説明したものであり、必ずしも説明したすべての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成の一部で置き換えることが可能であり、さらに、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成の一部または全部を加えることも可能である。

１，２００ 渦電流探傷プローブ
２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ 中央部探傷プローブ（第１のコイル保持部材）
３ 端部探傷プローブ
４，５ コイル保持部材（第２のコイル保持部材）
６，７ 角部位置合わせ部材
８ 探傷幅調整部材（長さ調整部材）
９ 被検査体
１１，１２，２２，２０１，２０２ コイル（渦電流探傷コイル）
１３，１４ 回転軸
１５，１６ ネジ穴
１７ 凸部
２１ 凹部
４０，４６，５１，５６ 励磁コイル
４１，４７，５２，５７ 検出コイル
４５，５０，５５ 磁心
４９，５３ ギャップ
６０，６００ 押圧機構搭載台車
６１，６０１ 車輪
６２，６０２ 走行台車
６３，６０３，６０７ バネ部材
６４ 押圧プレート
６５ 回転パルス発生器
６０４ 上部支持板材（支持板材）
６０５ 下垂支持板材
６０８ 渦電流探傷プローブ保持部材
６０９ ボルト
６１０ 棒部材
７０ 渦電流探傷制御装置
７１ データ処理装置
７２ 励磁コイル駆動回路
７３ 渦電流信号検出回路
７５ 入力装置
７６ 表示装置
７７ 音声出力装置
８０ 回転部
８１，８２ ネジ足
９１ スロット部
１００，１０００ 渦電流探傷装置
７１１ ＣＰＵ
７１２ 主メモリ
７１３ ＨＤ装置
７１４ 入出力インターフェース
７６１ 欠陥マップ
７６２ 走査位置依存波形

Claims (4)

1. 容器内の底部に渦電流探傷コイルが配置されて構成された渦電流探傷プローブと、
   前記渦電流探傷プローブを押圧し、被検査体に形成されたスロット部の内壁面の一部に前記渦電流探傷プローブの底部を接触させる押圧機構と、
   前記押圧機構および前記渦電流探傷プローブを搭載して、前記スロット部の奥行き方向に沿って走行する台車と、
   前記渦電流探傷コイルから渦電流検出信号を取得して、前記スロット部の内壁面の欠陥を検出する制御を行う渦電流探傷制御装置と、
   を備え、
   前記台車は、前記スロット部が形成された前記被検査体の外側上面によって支持されて、前記外側上面を前記スロット部に沿って走行し、
   前記台車に搭載された前記押圧機構は、
   第１のバネ部材と、
   第２のバネ部材と、
   前記第１のバネ部材を介して前記台車に取り付けられた支持板材と、
   前記支持板材に懸架され、前記支持板材から前記スロット部の内部へ下垂するとともに、前記第２のバネ部材により互いに連結され、それぞれが前記渦電流探傷プローブを保持した２つの渦電流探傷プローブ保持部材と、
   を含んで構成され、
   前記第１のバネ部材は、その圧縮反発力により前記支持板材および前記支持板材に懸架された前記２つの渦電流探傷プローブ保持部材を上部方向に押圧し、
   前記第２のバネ部材は、その圧縮反発力により前記２つの渦電流探傷プローブ保持部材をそれぞれ前記スロット部の互いに対向する内壁面側へ押圧し、
   前記２つの渦電流探傷プローブ保持部材は、それぞれが貫通した開口部を備え、
   前記渦電流探傷プローブは、前記開口部に嵌合され、前記開口部に対して任意の位置で固定可能であること
   を特徴とする渦電流探傷装置。
2. 前記台車は、車輪と、その車輪の回転量に応じてパルスを発生する回転パルス発生器と、を備えること
   を特徴とする請求項１に記載の渦電流探傷装置。
3. 容器内の底部に渦電流探傷コイルが配置されて構成された渦電流探傷プローブと、
   前記渦電流探傷プローブを押圧し、被検査体に形成されたスロット部の内壁面の一部に前記渦電流探傷プローブの底部を接触させる押圧機構と、
   前記押圧機構および前記渦電流探傷プローブを搭載して、前記スロット部の奥行き方向に沿って走行する台車と、
   前記渦電流探傷コイルから渦電流検出信号を取得して、前記スロット部の内壁面の欠陥を検出する制御を行う渦電流探傷制御装置と、
   を備えた渦電流探傷装置を用い、
   作業者が、前記スロット部の内壁面に接触する前記渦電流探傷プローブの底部の長さを、前記スロット部の内壁面の形状に合わせて調整し、
   前記渦電流探傷制御装置が、
   前記台車が前記スロット部の奥行き方向に沿って走行したときに、前記渦電流探傷プローブを介して前記内壁面から得られる渦電流検出信号を取得し、
   前記取得した渦電流検出信号に異常を検出したときには、警報音を出力すること
   を特徴とする渦電流探傷方法。
4. 前記台車は、車輪と、その車輪の回転量に応じてパルスを発生する回転パルス発生器と、を備え、
   前記渦電流探傷制御装置が、
   前記渦電流検出信号に異常を検出したときには、前記回転パルス発生器から取得される車輪の回転数、回転角度および車輪の径に基づき、その時点までの前記台車の走行距離を算出し、その走行距離を欠陥の位置情報として記憶しておき、前記台車を走行させることによる渦電流探傷終了後に、前記欠陥の位置情報を表示装置にマップ表示すること
   を特徴とする請求項３に記載の渦電流探傷方法。

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