JP6120677B2 - インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態のインプリント装置100について、図1を参照しながら説明する。インプリント装置100は、半導体デバイスなどの製造に使用され、パターンが形成されたモールド7を基板上のインプリント材(樹脂)に接触させた状態でインプリント材を硬化させる。そして、インプリント装置100は、基板11とモールド7との間隔を広げ、硬化したインプリント材からモールド7を剥離することによって基板上にモールド7のパターンを転写することができる。インプリント材を硬化する方法には、熱を用いる熱サイクル法と光を用いる光硬化法とがあり、第1実施形態のインプリント装置100は光硬化法を採用している。光硬化法とは、インプリント材として未硬化の紫外線硬化樹脂(以下、樹脂14)を基板上に供給し、モールド7と樹脂14とを接触させた状態で樹脂14に紫外線を照射することにより当該樹脂14を硬化させる方法である。紫外線の照射により樹脂14が硬化した後、樹脂14からモールド7を剥離することによって基板上にパターンを形成することができる。
本発明の実施形態にかける物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された樹脂に上記のインプリント装置を用いてパターンを形成する工程(基板にインプリント処理を行う工程)と、かかる工程でパターンが形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (9)
- パターンが形成されたパターン領域を有するモールドと基板上のインプリント材とを接触させ、前記インプリント材を硬化させることにより前記基板上のショット領域に前記インプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板を加熱して前記ショット領域を変形させる加熱部と、
前記基板の面に沿った面方向における前記パターン領域と前記ショット領域との位置ずれ量と、前記パターン領域の形状と前記ショット領域の形状との差を示す形状差とを計測する計測部と、
前記計測部の計測結果に基づいて、前記加熱部による加熱と前記モールドおよび前記基板の少なくとも一方の駆動とを制御し、前記パターン領域と前記ショット領域との位置合わせを行う制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記形状差が補正されるように前記基板を前記加熱部により加熱することで前記ショット領域が前記面方向にシフトする量を示すシフト量を、前記加熱部による加熱を制御するための情報に基づいて推定し、
前記位置合わせにおいて、前記パターン領域と前記ショット領域との前記面方向における位置の差が許容範囲に収まるように前記位置ずれ量と前記シフト量とに基づいて前記駆動を制御する、ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記基板における複数の部分の各々に加えられる保持力をそれぞれ変更可能な基板保持部を更に含み、
前記複数の部分は、前記位置合わせの対象とするショット領域を有する第1部分と、前記第1部分とは異なる第2部分とを含み、
前記制御部は、前記位置合わせにおいて、前記第1部分に加えられる保持力が、前記第2部分に加えられる保持力より小さくなるように前記基板保持部を制御する、ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記加熱部による前記基板の加熱において前記第2部分が前記面方向にシフトしないと仮定し、前記加熱部により前記基板を加熱することで前記ショット領域における代表位置が前記第2部分を基準としてシフトする量を前記シフト量として推定する、ことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記加熱部による前記基板の加熱量、前記加熱部により加熱される前記基板上の範囲、前記加熱部により加熱されるショット領域の前記基板上における位置、および前記基板の物性値のうち少なくとも1つを用いて前記シフト量を推定する、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記加熱部は、光を射出する光源を含み、当該光源から射出された光を前記モールドを介して前記基板に照射することにより前記基板を加熱して前記ショット領域を変形させる、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記位置合わせを行った後に前記計測部に計測を行わせ、前記形状差が許容範囲に収まっていることを確認する、ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記加熱部による加熱を制御するための情報は、前記加熱部による前記基板の加熱量、前記加熱部により加熱される前記基板上の範囲、及び、前記加熱部により加熱されるショット領域の前記基板上における位置の少なくとも1つを含む、ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成するステップと、
前記ステップでパターンが形成された前記基板を加工するステップと、
を含む、ことを特徴とする物品の製造方法。 - 基板を加熱して前記基板上のショット領域を変形させる加熱部を含むインプリント装置において、パターンが形成されたパターン領域を有するモールドと前記基板上のインプリント材とを接触させ、前記インプリント材を硬化させることにより前記ショット領域に前記インプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記基板の面に沿った面方向における前記パターン領域と前記ショット領域との位置ずれ量と、前記パターン領域の形状と前記ショット領域の形状との差を示す形状差とを計測する計測工程と、
前記形状差が補正されるように前記基板を前記加熱部により加熱することで前記ショット領域が前記面方向にシフトする量を示すシフト量を、前記加熱部による加熱を制御するための情報に基づいて推定する推定工程と、
前記計測工程における計測結果に基づいて、前記加熱部による加熱と前記モールドおよび前記基板の少なくとも一方の駆動とを制御し、前記パターン領域と前記ショット領域との位置合わせを行う位置合わせ工程と、
を含み、
前記位置合わせ工程では、前記パターン領域と前記ショット領域との前記面方向における位置の差が許容範囲に収まるように前記位置ずれ量と前記シフト量とに基づいて前記駆動を制御する、ことを特徴とするインプリント方法。
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