JP6116710B2 - 外観検査装置および外観検査方法 - Google Patents
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Description
z=α×x+β×y+γ
としたとき、角度θ、φは次式で求めることができる。
Z=f1(X、Y) …方程式1
が求められ、基板10上の点(X2、Y2、Z2)で反射された後の光L2の軌跡を示す方程式として、
Z=f2(X、Y) …方程式2
が求められる。方程式1で表される光の軌跡は点(X1、Y1、Z1)以外では半田Bの表面に一致しないため、半田Bの表面Bsの三次元形状を示すデータのうち、方程式1を満たすデータは(X1、Y1、Z1)の1つだけである。一方、方程式2で表される光の軌跡は点(X2、Y2、Z2)以外の点(X3、Y3、Z3)でも半田Bの表面Bsに一致する。そのため、データ(X2、Y2、Z2)のみならず、データ(X3、Y3、Z3)も方程式2を満たすこととなる。このように、照り返しが生じている場合には、ステップS114で求められたデータのうち2個(あるいはそれ以上)のデータが反射光を示す方程式を満たす。換言すれば、各点における反射光の軌跡を示す方程式を求め、半田Bの表面Bsの三次元形状を示すデータのうちから同一の方程式を満たすデータが2個以上発見された場合は、当該方程式に対応する光は照り返し光であると判断できる。
10…基板
3…検査ヘッド(計測部)
31…撮像カメラ(光検出器)
32…投影機(照射器)
100…制御装置(計測部、制御部)
110…主制御部
120…投影制御部
130…撮像制御部
140…駆動制御部
150…記憶部
160…画像処理部
200…ユーザーインターフェース(設定部)
A…部品
B…半田
Bs…表面
Gc…凹傾斜領域
Gv…凸傾斜領域
θ…傾斜の方向(方位角)
φ…勾配の角度(仰角)
Ds(S)…撮像データ(光検出結果)
Claims (13)
- 部品を基板に接合する半田の表面の三次元形状を計測する計測部と、
前記三次元形状の計測結果に基づいて、前記半田の前記表面と前記基板との距離が前記部品に近づくに連れて小さくなる傾斜領域Gcを前記半田の前記表面から探索し、前記傾斜領域Gcを探索した結果に基づいて前記半田の状態の良否を判断する制御部と
を備え、
前記制御部は、傾斜の方向が所定の傾斜角度範囲内にあるという探索条件を満たす前記傾斜領域Gcを探索する外観検査装置。 - 部品を基板に接合する半田の表面の三次元形状を計測する計測部と、
前記三次元形状の計測結果に基づいて、前記半田の前記表面と前記基板との距離が前記部品に近づくに連れて小さくなる傾斜領域Gcを前記半田の前記表面から探索し、前記傾斜領域Gcを探索した結果に基づいて前記半田の状態の良否を判断する制御部と
を備え、
前記制御部は、勾配の角度が所定の勾配角度範囲内にあるという探索条件を満たす前記傾斜領域Gcを探索する外観検査装置。 - ユーザーから入力された内容に応じて、前記傾斜領域Gcの前記探索条件を設定する設定部をさらに備える請求項1または2に記載の外観検査装置。
- 部品を基板に接合する半田の表面の三次元形状を計測する計測部と、
前記三次元形状の計測結果に基づいて、前記半田の前記表面と前記基板との距離が前記部品に近づくに連れて小さくなる傾斜領域Gcを前記半田の前記表面から探索し、前記傾斜領域Gcを探索した結果に基づいて前記半田の状態の良否を判断する制御部と
を備え、
前記制御部は、前記傾斜領域Gcを探索した結果、所定の面積より広い前記傾斜領域Gcを探知した場合には、前記半田の状態が悪いと判断する外観検査装置。 - 前記制御部は、前記計測部の計測結果に基づいて、前記半田の前記表面と前記基板との距離が前記部品に近づくに連れて大きくなる傾斜領域Gvを前記半田の前記表面から探索し、前記傾斜領域Gvを探索した結果に基づいて前記半田の状態の良否を判断する請求項4に記載の外観検査装置。
- 前記制御部は、前記傾斜領域Gvを探索した結果、所定の面積より広い前記傾斜領域Gvを探知しない場合には、前記半田の状態が悪いと判断する請求項5に記載の外観検査装置。
- 前記計測部は、前記半田の前記表面に光を照射する照射器および光検出器を有し、前記照射器から照射されて前記半田の表面で反射された光を前記光検出器で検出して光検出結果を取得する光検出動作を実行し、
前記制御部は、前記光検出結果に基づいて前記三次元形状を算出する請求項1ないし6のいずれか一項に記載の外観検査装置。 - 前記制御部は、前記照射器から射出されてから反射された後に前記半田に入射する照り返し光を探索した結果に基づいて、前記三次元形状を算出する請求項7に記載の外観検査装置。
- 前記計測部は、複数の前記照射器を有し、
前記各照射器を個別に点灯させて前記光検出動作を実行して前記各照射器について前記光検出結果を取得し、
前記制御部は、前記照り返し光が探知された場合は、前記照り返し光を照射する前記照射器を特定した結果に基づいて、前記三次元形状を算出する請求項8に記載の外観検査装置。 - 前記制御部は、前記三次元形状を算出するために、前記照り返し光が入射する照り返し箇所と前記基板との距離を算出するにあたっては、所定の光量より大きい照り返し光を照射する前記照射器を点灯させることで取得された前記光検出結果を除いて前記照り返し箇所の高さを算出する請求項9に記載の外観検査装置。
- 部品を基板に接合する半田の表面の三次元形状を計測する工程と、
前記三次元形状の計測結果に基づいて、前記半田の前記表面と前記基板との距離が前記部品に近づくに連れて小さくなる傾斜領域を前記半田の前記表面から探索する工程と、
前記傾斜領域を探索した結果に基づいて前記半田の状態の良否を判断する工程と
を備え、
傾斜の方向が所定の傾斜角度範囲内にあるという探索条件を満たす前記傾斜領域を探索する外観検査方法。 - 部品を基板に接合する半田の表面の三次元形状を計測する工程と、
前記三次元形状の計測結果に基づいて、前記半田の前記表面と前記基板との距離が前記部品に近づくに連れて小さくなる傾斜領域を前記半田の前記表面から探索する工程と、
前記傾斜領域を探索した結果に基づいて前記半田の状態の良否を判断する工程と
を備え、
勾配の角度が所定の勾配角度範囲内にあるという探索条件を満たす前記傾斜領域を探索する外観検査方法。 - 部品を基板に接合する半田の表面の三次元形状を計測する工程と、
前記三次元形状の計測結果に基づいて、前記半田の前記表面と前記基板との距離が前記部品に近づくに連れて小さくなる傾斜領域を前記半田の前記表面から探索する工程と、
前記傾斜領域を探索した結果に基づいて前記半田の状態の良否を判断する工程と
を備え、
前記傾斜領域を探索した結果、所定の面積より広い前記傾斜領域を探知した場合には、前記半田の状態が悪いと判断する外観検査方法。
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