JP5546292B2 - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Description
33…レーザー計測器
33a…照射部
33b…受光部
41…演算処理部(制御部)
100…外観検査装置(検査装置)
110…実装済基板(被検査基板)
111…測定対象物
112…段差(表面形状、特定の表面形状)
113c…境界線
120…部品
D1…第1方向
D2…第2方向
L1…入射経路
L2…反射経路
Claims (8)
- 部品が実装された実装済基板を被検査基板とし、前記被検査基板の測定対象物を光学的に検査する検査装置において、
前記測定対象物に光を照射する照射部と、前記照射部から照射された前記光が前記測定対象物で反射された反射光を受光する受光部とを有するレーザー計測器と、
前記レーザー計測器を回転軸まわりに回転させることにより、前記照射部および前記受光部の少なくとも一方を回転方向に移動させて所定の位置で停止して位置決めすることによって、前記照射部から前記測定対象物に進む前記光の入射経路と、前記測定対象物から前記受光部に進む前記反射光の反射経路との前記測定対象物から見た入受光関係を設定する駆動部と、
前記測定対象物または前記測定対象物を含む周辺領域での前記被検査基板の表面の画像を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された画像に基づき前記駆動部を制御して前記入射経路と前記反射経路とのなす角を維持したまま前記入受光関係を調整する制御部と
を備え、
前記制御部は、前記実装済基板に実装される部品の外観に関する情報と、前記撮像部により撮像された画像とに基づき、前記入射経路と前記反射経路が前記部品と干渉しないように前記駆動部を制御して前記入受光関係を調整することを特徴とする検査装置。 - 前記照射部は前記被検査基板の表面に対して垂直な方向から前記光を前記測定対象物に照射し、
前記受光部は前記光の入射経路から離れた位置で前記反射光のうち拡散反射成分を受光し、
前記駆動部は前記光の入射経路と同心な軸を前記回転軸として前記照射部および前記受光部を一体的に回転移動させる請求項1に記載の検査装置。 - 前記回転軸は前記被検査基板の表面に対して垂直な方向に延びる軸であり、
前記照射部は前記測定対象物から前記回転軸に対して傾斜して前記光を前記測定対象物に照射し、
前記受光部は前記回転軸に対して前記照射部の反対側で前記反射光を受光し、
前記駆動部は前記回転軸回りに前記照射部および前記受光部を一体的に回転移動させる請求項1に記載の検査装置。 - 前記制御部は、前記撮像部により撮像された画像に含まれる前記被検査基板の表面形状を求め、前記表面形状に応じて前記駆動部を制御して前記入受光関係を調整する請求項1ないし3のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記撮像部により撮像された前記被検査基板の特定の表面形状の画像を記憶する記憶部をさらに備え、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記画像と前記記憶部に記憶されている前記画像とを比較することで、前記撮像部により撮像された画像に前記特定の表面形状が含まれるか否かを判定し、前記特定の表面形状が含まれると判定すると、前記特定の表面形状に応じて前記駆動部を制御して前記入受光関係を調整する請求項4に記載の検査装置。 - 前記制御部は、前記表面形状が第1方向に延設される段差形状であると判定すると、前記入射経路と前記反射経路とを含む平面が前記第1方向と平行となるように前記駆動部を制御して前記入受光関係を調整する請求項4または5に記載の検査装置。
- 前記制御部は、前記撮像部により撮像された画像に互いに異なる色をした隣り合う2色の領域が含まれるとき、前記2色の領域の境界線が延びる第2方向に対して前記入射経路と前記反射経路とを含む平面が平行となるように、前記駆動部を制御して前記入受光関係を調整する請求項1ないし3のいずれか一項に記載の検査装置。
- 部品が実装された実装済基板を被検査基板とし、前記被検査基板の測定対象物または前記測定対象物を含む周辺領域での前記被検査基板の表面の画像を撮像する第1工程と、
前記被検査基板上の測定対象物にレーザー計測器の照射部から光を照射するとともに、前記測定対象物で反射された反射光を前記レーザー計測器の受光部で受光して前記測定対象物を光学的に検査する第2工程とを備え、
前記第2工程は、前記実装済基板に実装される部品の外観に関する情報と前記第1工程により撮像された画像とに基づき、前記レーザー計測器を回転軸まわりに回転させることにより前記照射部および前記受光部の少なくとも一方を移動させて所定の位置で停止して位置決めすることによって、前記照射部から前記測定対象物に進む前記光の入射経路と、前記測定対象物から前記受光部に進む前記反射光の反射経路との前記測定対象物から見た入受光関係を前記入射経路と前記反射経路とのなす角を維持したまま、前記入射経路と前記反射経路とが前記部品と干渉しないように調整する工程を有することを特徴とする検査方法。
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