JP6104711B2 - ワーク搬送装置 - Google Patents
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Description
前記多数のワークを載置した複数枚のキャリヤを収容する多段のマガジンと、
このマガジンから前記キャリヤを受け取り保持する移動ステージと、
前記気密室の外側に取り付けたモータにより送りネジ機構を介して駆動され前記移動ステージをX−Y方向に移動させるX−Y搬送手段と、
気密室の外側に取り付けたモータにより回転される偏芯カムにより前記キャリヤを前記移動ステージの復帰位置でZ方向に昇降させる昇降手段と、
この移動ステージにより前記所定の処理位置に搬送された前記キャリヤに所定の処理を施す処理装置と、を備え、
前記昇降手段は、前記復帰位置で、前記偏芯カムが前記キャリヤを上昇させてキャリヤの搬入出を可能にすると共に、前記偏芯カムが前記キャリヤを下降させて位置決めしつつ移動ステージのX−Y方向への移動を許容することを特徴とするワーク搬送装置、により達成される。
12 キャリヤ
14 気密室(真空室、筐体)
16 中間バッファ部
18 移動ステージ
20 受け台
22、23、24 モータ
26 昇降レール
28 リニヤブッシュ
30 リニヤシャフト
36 ローラ
40 偏芯カム軸
42 偏芯カム
44 コイルばね
46、50、60 リニヤ軸受け
51、52 送りネジ軸
54 移動体
56 ガイド軸
58 摺動体
62 処理装置
Claims (5)
- 所定雰囲気の気密室内で、所定の処理位置で多数のワークに所定の処理を施す処理装置にワークを搬入出するためのワーク搬送装置であって、
前記多数のワークを載置した複数枚のキャリヤを収容する多段のマガジンと、
このマガジンから前記キャリヤを受け取り保持する移動ステージと、
前記気密室の外側に取り付けたモータにより送りネジ機構を介して駆動され前記移動ステージをX−Y方向に移動させるX−Y搬送手段と、
気密室の外側に取り付けたモータにより回転される偏芯カムにより前記キャリヤを前記移動ステージの復帰位置でZ方向に昇降させる昇降手段と、
この移動ステージにより前記所定の処理位置に搬送された前記キャリヤに所定の処理を施す処理装置と、を備え、
前記昇降手段は、前記復帰位置で、前記偏芯カムが前記キャリヤを上昇させてキャリヤの搬入出を可能にすると共に、前記偏芯カムが前記キャリヤを下降させて位置決めしつつ移動ステージのX−Y方向への移動を許容することを特徴とするワーク搬送装置。 - 移動ステージにはキャリヤの対向2辺を下方から支持する一対の昇降レールが設けられ、前記昇降手段はこれらの昇降レールを昇降させる請求項1のワーク搬送装置。
- 2つの移動ステージが共通の受け台に固定され、前記受け台がX−Y方向へ移動される
請求項1のワーク搬送装置。 - 気密室内には2つの処理装置が設けられ、X−Y搬送手段は2つのキャリヤをこれらの処理装置に搬送して処理する請求項3のワーク搬送装置。
- ワークは半導体パッケージであり、処理装置はこのパッケージにキャップをシーム接合する接合装置である請求項1のワーク搬送装置。
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