JP6104649B2 - 発光装置 - Google Patents

発光装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6104649B2
JP6104649B2 JP2013046907A JP2013046907A JP6104649B2 JP 6104649 B2 JP6104649 B2 JP 6104649B2 JP 2013046907 A JP2013046907 A JP 2013046907A JP 2013046907 A JP2013046907 A JP 2013046907A JP 6104649 B2 JP6104649 B2 JP 6104649B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lower electrode
layer
light emitting
light
emitting unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013046907A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014175165A (ja
Inventor
尚之 千田
尚之 千田
芳隆 道前
芳隆 道前
浩平 横山
浩平 横山
学 二星
学 二星
優人 塚本
優人 塚本
井上 智
智 井上
伸一 川戸
伸一 川戸
菊池 克浩
克浩 菊池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Sharp Corp
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd, Sharp Corp filed Critical Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority to JP2013046907A priority Critical patent/JP6104649B2/ja
Priority to US14/192,062 priority patent/US9209355B2/en
Priority to KR1020140026388A priority patent/KR102249684B1/ko
Priority to CN201410083251.0A priority patent/CN104037195B/zh
Publication of JP2014175165A publication Critical patent/JP2014175165A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6104649B2 publication Critical patent/JP6104649B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/08Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a plurality of light emitting regions, e.g. laterally discontinuous light emitting layer or photoluminescent region integrated within the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/58Optical field-shaping elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/11OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
    • H10K50/125OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers specially adapted for multicolour light emission, e.g. for emitting white light
    • H10K50/13OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers specially adapted for multicolour light emission, e.g. for emitting white light comprising stacked EL layers within one EL unit
    • H10K50/131OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers specially adapted for multicolour light emission, e.g. for emitting white light comprising stacked EL layers within one EL unit with spacer layers between the electroluminescent layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Description

本発明は、発光素子を有する発光装置に関する。
有機ELディスプレイの商品化が加速している。屋外での使用にも耐えられるよう、ディスプレイに求められる輝度は年々増加している。
一方、有機EL素子の発光輝度は電流に比例して大きくなることが知られており、高い輝度で発光させることが可能である。
しかし、大きな電流を流すと有機EL素子の劣化を早めてしまう。このため、少ない電流で高い輝度を得ることができれば、発光素子の寿命を延ばすことが可能である。そこで、少ない電流で高い輝度が得られる発光素子として、複数の発光ユニットが積層されたタンデム素子が提案されている(例えば特許文献1参照)。
なお、本明細書において、発光ユニットとは、両端から注入された電子と正孔が再結合する領域を1つ有する層または積層体をいう。
例えば、二つの発光ユニットを含むタンデム素子は、発光ユニットが一つである発光素子の半分の密度の電流を流すことによって、同等の発光を得ることができる。また、例えば電極間に一の構成の発光ユニットをn個積層する構成とすれば、電流密度を上昇させることなくn倍の輝度を実現できる。
隣接してタンデム素子が設けられた発光パネルにおいては、クロストーク現象の発生という課題がある。クロストーク現象とは、複数の副画素間で、発光層と発光層よりも導電性の高い層とを共通して含む場合に、当該導電性の高い層を介して隣接する副画素に電流がリークしてしまう現象である。例えば、第1の発光層を含む第1の発光ユニットと、第2の発光層を含む第2の発光ユニットとの間に、第1及び第2の発光層よりも導電性の高い層である中間層が設けられたタンデム素子では、当該中間層を介して隣接するタンデム素子に電流がリークして発光してしまう。
なお、キャリア注入層(正孔注入層又は電子注入層)を共通とするシングル素子についても、これと同様にクロストーク現象の発生という課題がある。
タンデム素子では、導電性の高い中間層を介して複数の層を積層しており、構造上導電性の高い層と導電性の低い層とを有する。また、タンデム素子では、駆動電圧の上昇を抑制するために有機化合物と金属酸化物との混合層や導電性高分子等の導電性の高いキャリア注入層を用いることが多い。また、タンデム素子はシングル素子と比較して陽極と陰極極間の電気抵抗が高く、導電性の高い層を経由して隣接画素へ電流が広がりやすい。
図9(A)は、導電性の高い中間層86によってクロストーク現象が発生することを説明するための模式図である。白色を呈する光を発するタンデム素子が3本のストライプ状に設けられた発光パネル(白色パネル)において、第2のタンデム素子のみ駆動させた様子を示す断面図である。
発光パネルは、互いに隣接して配置された第1〜第3のタンデム素子を有している。第1のタンデム素子は、上部電極81と第1の下部電極82との間に配置されている。第2のタンデム素子は、上部電極81と第2の下部電極83との間に配置されている。第3のタンデム素子は、上部電極81と第3の下部電極84との間に配置されている。
第1〜第3のタンデム素子それぞれは、第1の発光ユニット85、中間層86及び第2の発光ユニット87が順に積層されている。例えば、第1の発光ユニット85は青色を呈する光を発する発光層を有し、第2の発光ユニット87は緑色を呈する光を発する発光層及び赤色を呈する光を発する発光層を有する構成とすれば、白色を呈する発光を得ることができる。
透光性を有する上部電極を用いる場合、上部電極上に対向ガラス基板88を配置することができ、反射性を有する電極を下部電極に用いることができる。対向ガラス基板88は図示されていない青色カラーフィルタ、赤色カラーフィルタ及び緑色カラーフィルタを有している。赤色カラーフィルタは第1の下部電極82に重ねられ、青色カラーフィルタは第2の下部電極83に重ねられ、緑色カラーフィルタは第3の下部電極84に重ねられている。
上記の発光パネルにおいて第2の下部電極83と上部電極81に電圧を印加して青ライン(第2のタンデム素子)のみを駆動する際に、導電性の高い中間層86を介して隣接する第1のタンデム素子または第3のタンデム素子に電流がリークし、赤ライン(第1のタンデム素子)または緑ライン(第3のタンデム素子)が発光してクロストーク現象が発生することがある。
図9(B)は、導電性の高いキャリア注入層(正孔注入層または電子注入層)89によってクロストーク現象が発生することを説明するための模式図であり、発光パネル(白色パネル)において青ライン(第2のタンデム素子)のみ駆動させた様子を示す図である。
第1〜第3のタンデム素子それぞれは、導電性の高いキャリア注入層89を含む第1の発光ユニット85と、中間層86と、第2の発光ユニット87と、が順に積層されている。キャリア注入層89としては例えば有機化合物と金属酸化物との混合材料や導電性高分子等を用いた導電性の高い層が挙げられる。
特開2008−234885号公報
本発明の一態様は、発光装置のクロストーク現象の発生を抑制することを課題とする。
本発明の一態様は、絶縁層と、前記絶縁層上に形成された第1の下部電極と、前記絶縁層上に形成された第2の下部電極と、前記絶縁層上に形成され、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極の間に位置する構造物と、前記第1の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第1の下部電極の端部を覆う第1の隔壁と、前記第2の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第2の下部電極の端部を覆う第2の隔壁と、前記第1の下部電極、前記第1の隔壁、前記構造物、前記第2の隔壁及び前記第2の下部電極の上に形成された第1の発光ユニットと、前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、を具備することを特徴とする発光装置である。
本発明の一態様は、絶縁層と、前記絶縁層上に形成された第1の下部電極と、前記絶縁層上に形成された第2の下部電極と、前記絶縁層上に形成され、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極の間に位置する構造物と、前記絶縁層に形成され、前記第1の下部電極と前記構造物の間、及び、前記第2の下部電極と前記構造物の間に位置する溝部と、前記第1の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第1の下部電極の端部を覆う第1の隔壁と、前記第2の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第2の下部電極の端部を覆う第2の隔壁と、前記第1の下部電極、前記第1の隔壁、前記構造物、前記第2の隔壁及び前記第2の下部電極の上に形成された第1の発光ユニットと、前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、を具備することを特徴とする発光装置である。
本発明の一態様は、絶縁層と、前記絶縁層上に形成された第1の下部電極と、前記絶縁層上に形成された第2の下部電極と、前記絶縁層に形成され、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極との間に位置する溝部と、前記絶縁層上であって、前記溝部内に位置する構造物と、前記第1の下部電極の端部を覆うように、前記溝部内及び前記絶縁層上に形成された第1の隔壁と、前記第2の下部電極の端部を覆うように、前記溝部内及び前記絶縁層上に形成された第2の隔壁と、前記第1の下部電極、前記第1の隔壁、前記構造物、前記第2の隔壁及び前記第2の下部電極の上に形成された第1の発光ユニットと、前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、を具備することを特徴とする発光装置である。
また、上記の本発明の一態様において、前記第1の下部電極と前記第1の発光ユニットとの間、及び前記第2の下部電極と前記第1の発光ユニットとの間の少なくとも一方に形成された光学調整層を有し、前記構造物は、前記第1の下部電極と同一層によって形成された層と前記光学調整層と同一層によって形成された層の積層体であるとよい。
また、上記の本発明の一態様において、前記構造物の側面上に位置する前記中間層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記中間層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いとよい。
また、上記の本発明の一態様において、前記第1の発光ユニットはキャリア注入層を有し、前記構造物の側面上に位置する前記キャリア注入層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記キャリア注入層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いとよい。
また、上記の本発明の一態様において、EL層は前記第1の発光ユニット、前記中間層及び前記第2の発光ユニットを有し、前記構造物の側面上に位置する前記EL層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記EL層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いとよい。
また、上記の本発明の一態様において、前記構造物の側面と底面で作る角度は60°〜110°であるとよい。
また、上記の本発明の一態様において、前記構造物は、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極の間を仕切るように配置されているとよい。
また、上記の本発明の一態様において、前記構造物は前記第1の下部電極と同一層によって形成されているとよい。
また、上記の本発明の一態様において、前記第1の隔壁及び前記第2の隔壁の上に位置する前記上部電極と近接または接するカラーフィルタを有し、前記カラーフィルタは、前記第1の下部電極と重なる第1の色と、前記第2の下部電極と重なる第2の色を有するとよい。
また、上記の本発明の一態様において、前記第1の隔壁及び前記第2の隔壁は着色されているとよい。
本発明の一態様は、絶縁層と、前記絶縁層上に形成された複数の下部電極と、前記絶縁層上に形成され、前記複数の下部電極の相互間に位置し、且つ前記複数の下部電極それぞれを囲むように配置された構造物と、前記絶縁層上に形成され、前記構造物と前記複数の下部電極それぞれとの間に位置し、且つ前記複数の下部電極それぞれを囲むように配置された隔壁と、前記複数の下部電極、前記隔壁及び前記構造物の上に形成された第1の発光ユニットと、前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、を具備することを特徴とする発光装置である。
なお、本明細書中における発光装置は、発光素子を画素(または副画素)に備える表示装置を含むものとする。また、発光パネルは、発光素子を備える画素が隣接して設けられる表示パネルを含むものとする。なお、発光モジュールは発光素子を含んで構成され、発光素子は発光層を含む発光ユニットを備える。
本発明の一態様を適用することで、クロストーク現象の発生を抑制することができる。
(A)は本発明の一態様の表示装置に用いることができる表示パネルの構造の上面図、(B)は(A)の切断線A−BおよびC−Dにおける断面を含む構造の側面図。 (A)は画素402の平面図、(B)は(A)の切断線E−Fにおける断面図、(C)は副画素間に設けられる構造物419の拡大図。 (A)及び(B)は画素402の変形例を示す平面図。 (A)は図2(A)の切断線E−Fに相当する断面図、(B)は図2(A)の切断線E−Fにおける副画素402Bに相当する断面図。 (A)は図2(A)の切断線E−Fに相当する断面図、(B)は(A)の画素462の変形例を示す断面図。 (A)は実施例の表示パネルに含まれる画素562の模式図、(B)は比較例の表示パネルに含まれる画素662の模式図。 (A)は実施例の発光パネルの副画素562B及び副画素562G間における断面写真、(B)及び(C)は構造物549の側面の領域を拡大した断面写真、(D)は比較例の発光パネルの副画素662B及び副画素662G間における断面写真。 発光パネルのNTSC比の輝度依存性を測定した測定結果を示す図。 (A)は導電性の高い中間層によってクロストーク現象が発生することを説明するための模式図、(B)は導電性の高いキャリア注入層によってクロストーク現象が発生することを説明するための模式図。
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
(実施の形態1)
<表示パネルの構成>
本発明の一態様の表示装置に用いることができる表示パネルの構成を図1に示す。図1(A)は本発明の一態様の表示装置に用いることができる表示パネルの構造の上面図であり、図1(B)は図1(A)の切断線A−BおよびC−Dにおける断面を含む構造の側面図である。
本実施の形態で例示して説明する表示パネル400は、第1の基板410上に表示部401を有し、表示部401には画素402が複数設けられている。また、画素402には複数(例えば3つ)の副画素が設けられている(図1(A)参照)。また、第1の基板410上には表示部401と共に当該表示部401を駆動するソース側の駆動回路部403s、ゲート側の駆動回路部403gが設けられている。なお、駆動回路部を第1の基板410上ではなく外部に形成することもできる。
表示パネル400は外部入力端子を備え、FPC(フレキシブルプリントサーキット)409を介して、ビデオ信号、クロック信号、スタート信号、リセット信号等を受け取る。
シール材405は、第1の基板410と第2の基板440を貼り合わせ、その間に形成された空間431に表示部401が封止されている(図1(A)及び(B)参照)。
表示パネル400の断面を含む構造を図1(B)参照して説明する。表示パネル400は、ソース側の駆動回路部403sと、画素402に含まれる副画素402Gと、引き回し配線408を備える。なお、本実施の形態で例示する表示パネル400の表示部401は、図中に示す矢印の方向に光を射出して、画像を表示する。
ソース側の駆動回路部403sはnチャネル型トランジスタ413と、pチャネル型トランジスタ414とを組み合わせたCMOS回路を含む。なお、駆動回路はこの構成に限定されず、種々のCMOS回路、PMOS回路またはNMOS回路で構成しても良い。
引き回し配線408は外部入力端子から入力される信号をソース側の駆動回路部403sおよびゲート側の駆動回路部403gに伝送する。
副画素402Gは、スイッチング用のトランジスタ411と電流制御用のトランジスタ412と第2の発光素子420bとカラーフィルタ441Gを有する。また、副画素402Gと、隣接する副画素との間には、構造物419が設けられている。トランジスタ411等の上には、絶縁層416が形成されている。
第2の発光素子420bは、第2の下部電極421bと上部電極422と、これらに挟持された発光性の有機化合物を含む層(以下「EL層」ともいう。)423とを有する。また、第2の下部電極421bの端部は、第2の隔壁418bによって覆われている。第2の発光素子420bにおいて光射出側に設ける電極には、EL層423からの発光に対して透光性を有する電極を用い、光射出側とは反対に設ける電極には、該発光に対して反射性を有する材料を用いる。また、光射出側にカラーフィルタ441Gが設けられている。本実施の形態で例示する第2の発光素子420bでは、第2の下部電極421bが反射性を有し、上部電極422が透光性を有する構成とする。なお、表示部401が画像を表示する方向は、第2の発光素子420bが発する光が取り出される方向により決定される。
また、カラーフィルタ441Gを囲むように遮光性の膜442が形成されている。遮光性の膜442は表示パネル400が外光を反射する現象を防ぐ膜であり、表示部401が表示する画像のコントラストを高める効果を奏する。なお、カラーフィルタ441Gと遮光性の膜442は、第2の基板440に形成されている。
絶縁層416は、トランジスタ411等の構造に由来して生じる段差を平坦化、または、トランジスタ411等への不純物の拡散を抑制するための、絶縁性の層であり、単一の層であっても複数の層の積層体であってもよい。第1〜第3の隔壁418a,418b,418cは発光素子の下部電極の端部を覆い、下部電極間でパターニングされ、下部電極の縁に形成され、開口部を有する絶縁性の層である。第2の隔壁418bは第2の下部電極421bの端部を覆っている。第1の隔壁418a及び第3の隔壁418cはそれぞれ、副画素420Gと隣接する副画素に含まれる発光素子の下部電極の端部を覆っている。また、第2の発光素子420bは第2の隔壁418bの開口部に形成される。
構造物419は、第2の隔壁418bと第1の隔壁418aの間、及び第2の隔壁418bと第3の隔壁418cの間に設けられ、遮光性の膜442に重なる位置に配置されている。構造物419の側面及び上面はEL層423と接している。構造物419の詳細な説明については後述する。
<トランジスタの構成>
図1(A)に例示する表示パネル400には、トップゲート型のトランジスタが適用されているがこれに限られず、ボトムゲート型のトランジスタも適用することができる。ソース側の駆動回路部403s、ゲート側の駆動回路部403g並びに副画素にはさまざまな構造のトランジスタを適用できる。また、これらのトランジスタのチャネルが形成される領域には、さまざまな半導体を用いることができる。具体的には、アモルファスシリコン、ポリシリコン、単結晶シリコンの他、酸化物半導体などを用いることができる。酸化物半導体の一例としては、少なくともインジウム(In)あるいは亜鉛(Zn)を含む酸化物半導体を挙げることができ、InとZnを含む酸化物半導体が好ましい。また、これらの酸化物半導体が、ガリウム(Ga)またはスズ(Sn)から選ばれた一種または複数を含むと、特に好ましい。
トランジスタのチャネルが形成される領域に単結晶半導体を用いると、トランジスタサイズを微細化することが可能となるため、表示部において画素をさらに高精細化することができる。
半導体層を構成する単結晶半導体としては、単結晶シリコン基板などの半導体基板の他、絶縁表面上に単結晶半導体層が設けられたSOI(Silicon On Insulator)基板を用いることができる。
<封止構造>
本実施の形態で例示する表示パネル400は、第1の基板410、第2の基板440、およびシール材405で囲まれた空間431に、発光素子を封止する構造を備える(図1参照)。
空間431は、不活性気体(窒素やアルゴン等)で充填される場合の他、樹脂で充填される場合もある。また、不純物(代表的には水および/または酸素)の吸着材(例えば、乾燥剤など)を空間431に導入しても良い。
シール材405および第2の基板440は、大気中の不純物(代表的には水および/または酸素)をできるだけ透過しない材料であることが望ましい。シール材405にはエポキシ系樹脂や、ガラスフリット等を用いることができる。
第2の基板440に用いることができる材料としては、ガラス基板や石英基板の他、PVF(ポリビニルフロライド)、ポリエステルまたはアクリル等からなるプラスチック基板や、FRP(Fiberglass−Reinforced Plastics)等をその例に挙げることができる。
次に、画素の構成の具体例について画素の構成1〜5に分けて説明する。
<画素の構成1>
表示部401に設けられた画素402の構成について、図2を参照して説明する。図2(A)は画素402の平面図であり、図2(B)は図2(A)の切断線E−Fにおける断面図である。また、図2(C)は、副画素間に設けられる構造物419の拡大図である。なお、図2(A)の平面図においては、画素402の構成要素の一部(例えば、カラーフィルタ441B〜441Rなど)を図面の煩雑を避けるために、省略してある。
本実施の形態で例示する画素402は青色を呈する光Bを射出する副画素402B、緑色を呈する光Gを射出する副画素402G、赤色を呈する光Rを射出する副画素402Rを有する(図2(A)参照)。副画素402Bは、駆動用トランジスタと第1の発光素子420aとカラーフィルタ441Bを備える。副画素402Gは、駆動用トランジスタと第2の発光素子420bとカラーフィルタ441Gを備える。副画素402Rは、駆動用トランジスタと第3の発光素子420cとカラーフィルタ441Rを備える。第1の発光素子420aは、第1の下部電極421aと、上部電極422と、EL層423とを有する。第2の発光素子420bは、第2の下部電極421bと、上部電極422と、EL層423とを有する。第3の発光素子420cは、第3の下部電極421cと、上部電極422と、EL層423とを有する。また、第1の下部電極421aの端部は第1の隔壁418aに覆われ、第2の下部電極421bの端部は第2の隔壁418bに覆われ、第3の下部電極421cの端部は第3の隔壁418cに覆われている。
EL層423は、発光物質を含む発光層と、発光層よりも導電性の高い層とを、少なくとも含む積層膜である。発光層よりも導電性の高い層としては、例えば、キャリア注入層(正孔注入層または電子注入層)または、中間層が挙げられる。本実施の形態において、EL層423は、少なくとも、第1の発光ユニット423aと、第2の発光ユニット423bと、第1の発光ユニット423aと第2の発光ユニット423bの間に設けられた中間層424と、を含む(図2(B)参照)。中間層424の導電性は、第1及び第2の発光ユニット423a,423bより高い。
なお、発光ユニットは、発光物質を含む発光層を少なくとも1つ以上備えていればよく、発光層以外の層と積層された構造であっても良い。発光層以外の層としては、例えば正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔輸送性に乏しい(ブロッキングする)物質、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、並びにバイポーラ性(電子及び正孔の輸送性の高い)の物質等を含む層が挙げられる。
副画素402Bは、第1の発光素子420aと重なるように上部電極422の側に、青色の光Bを取り出すことが可能なカラーフィルタ441Bを含む(図2(B)参照)。同様に、副画素402Gは、第2の発光素子420bと重なるように緑色の光Gを取り出すことが可能なカラーフィルタ441Gを含む。また、副画素402Rは、第3の発光素子420cと重なるように赤色の光Rを取り出すことが可能なカラーフィルタ441Rを含む。各副画素に含まれる第1〜第3の発光素子420a,420b,420cの構成は、副画素間で共通している。第1〜第3の発光素子420a,420b,420cとして、赤、青及び緑色の光を含んで白色に発光する発光素子を用いることで、フルカラー表示が可能な表示パネルとすることができる。
≪構造物419≫
絶縁層416上に形成された構造物419は、第1〜第3の下部電極421a,421b,421cの相互間に位置し、且つ第1〜第3の下部電極421a,421b,421cそれぞれを囲むように配置されている。即ち、構造物419は格子状に設けられている。別言すれば、構造物419は画素402の周囲及び副画素402B,402G,402Rの周囲に形成されている(図2(A)参照)。
絶縁層416上に形成された第1〜第3の隔壁418a,418b,418cは、構造物419と第1〜第3の下部電極421a,421b,421cそれぞれとの間に位置し、且つ第1〜第3の下部電極421a,421b,421cの端部をそれぞれ囲むように配置されている。別言すれば、第1〜第3の隔壁418a,418b,418cは副画素402B,402G,402Rの周囲に形成されている(図2(A)参照)。隔壁418の材料としては、ポジ型やネガ型の感光性樹脂を用いることができる。
構造物419の側面のテーパ角θ(即ち構造物419の側面と底面で作る角度)は60°〜110°であることが好ましい(図2(C)参照)。構造物419は、絶縁材料でもよいし、導電性を有する材料でもよいが、テーパ角θを大きくすることができるため、無機材料、または金属材料を用いることが好ましい。
本画素の構成1において、構造物419は第1〜第3の下部電極421a,421b,421cと同一層によって形成されている。ここでいう「同一層によって形成され」とは、第1〜第3の下部電極421a,421b,421cと同じ工程で形成されることを意味する。このようにすることで、フォトリソグラフィ工程のマスク枚数を増やすことなく、構造物419を形成することができ、製造工程を簡略化することができる。
また、第1〜第3の隔壁418a,418b,418cは第1〜第3の下部電極421a,421b,421cそれぞれの端部を覆って形成されている。このため、第1〜第3の隔壁418a,418b,418cの構造物419側の斜面の高低差は、構造物419と反対側の斜面(すなわち、第1〜第3の下部電極421a,421b,421c側の斜面)の高低差よりも大きい。よって、第1〜第3の隔壁418a,418b,418cの構造物419側の斜面は、構造物419と反対側の斜面に比べて大きな傾斜を有する(図2(B)参照)。
なお、本画素の構成1では、図2(A)に示すように構造物419を副画素402B,402G,402Rの周囲に形成しているが、この構成に限定されるものではなく、例えば図3(A)及び図3(B)に示すように、第1〜第3の下部電極421a,421b,421cそれぞれの相互間にのみ構造物419を形成してもよい。別言すれば、第1〜第3の下部電極421a,421b,421cそれぞれの相互間を仕切るように構造物419を配置してもよい。つまり、異色の副画素間に構造物419(459A,459B)を形成し、同色の副画素間には構造物を形成しない構成を採用してもよい。なお、図3(A)に示す構成は、一つの副画素に対応して、一つの構造物459Aを配置した例である。また、図3(B)は、異色の副画素間にストライプ状に構造物459Bを配置した例である。
第1〜第3の下部電極421a,421b,421c、第1〜第3の隔壁418a,418b,418c及び構造物419の上には第1の発光ユニット423aが成膜されており、第1の発光ユニット423a上には中間層424が成膜されている。中間層424上には第2の発光ユニット423bが成膜されており、第2の発光ユニット423b上には上部電極422が成膜されている。なお、上部電極422は、スパッタリング法によって成膜されてもよいし、蒸着法または基板表面に対して斜め方向からの蒸着法によって成膜されてもよい。
構造物419の側面は、構造物419の上面と比較してEL層423が成膜されにくいため、構造物419の側面のEL層423には局所的に膜厚の薄い領域423cが形成される(図2(C)参照)。当該領域423cでは、EL層423に含まれる導電性の高い層(例えば、中間層424)の厚さも薄くなることで当該導電性の高い層の抵抗が高くなる。これにより、隣接する副画素へ電流が流れにくくなるため、クロストークを抑制することができる。
EL層423は、第2の下部電極421bに垂直な方向についての厚さに比べて、構造物419の側面に垂直な方向についての厚さが薄くなる。このため、EL層423に含まれる導電性の高い層(例えばキャリア注入層423a1等)の厚さについても同様に、第2の下部電極421bに垂直な方向についての厚さに比べて、構造物419の側面に垂直な方向についての厚さが薄くなる(図2(C)参照)。これにより、構造物419の側面に重なる部分の導電性の高い層は電気抵抗が高くなり導電性が損なわれ、その結果、導電性の高い層に流れる電流が抑制され、隣の発光色が異なる画素間、または副画素間でのクロストーク現象を抑制することができる。
また、第2の下部電極421bに垂直な方向についての中間層の厚さに比べて、構造物419の側面に垂直な方向についての中間層424の厚さが薄くなる。これにより、構造物419の側面に重なる部分の中間層424は電気抵抗が高くなり導電性が損なわれ、その結果、中間層に流れる電流が抑制され、隣の発光色が異なる画素間、または副画素間でのクロストーク現象を抑制することができる。
なお、構造物419の側面上に位置する中間層424を含むEL層423及び上部電極422それぞれは、一部切断されていてもよいが、上部電極422は切断(断線)されないことが好ましい。上部電極422を断線させないと、隣接する画素において、上部電極422の電位が等しくなり、上部電極422が面状に等電位、好ましくは上部電極422の全体が等電位となり、電圧降下を抑制できる等の効果がある。
第1の隔壁418aの構造物419側の斜面及び第2の隔壁418bの構造物419側の斜面は、第1及び第2の下部電極421a,421bによって高低差が大きくなるため、EL層423が成膜されにくい。その結果、当該斜面上に位置するEL層423には局所的に膜厚の薄い領域が形成される(図2(B)参照)。
EL層423は、第2の下部電極421bに垂直な方向についての厚さに比べて、第1の隔壁418aの構造物419側の斜面及び第2の隔壁418bの構造物419側の斜面それぞれに垂直な方向についての厚さが薄くなる。このため、EL層423に含まれる導電性の高い層(例えばキャリア注入層等)の厚さについても同様に、第2の下部電極421bに垂直な方向についての厚さに比べて、当該斜面に垂直な方向についての厚さが薄くなる(図2(B)参照)。これにより、当該斜面に重なる部分の導電性の高い層は電気抵抗が高くなり導電性が損なわれ、その結果、導電性の高い層に流れる電流が抑制され、隣の発光色が異なる画素間、または副画素間でのクロストーク現象を抑制することができる。
また、第2の下部電極421bに垂直な方向についての中間層の厚さに比べて、第1の隔壁418aの構造物419側の斜面及び第2の隔壁418bの構造物419側の斜面それぞれに垂直な方向についての中間層424の厚さが薄くなる。これにより、当該斜面に重なる部分の中間層424は電気抵抗が高くなり導電性が損なわれ、その結果、中間層に流れる電流が抑制され、隣の発光色が異なる画素間、または副画素間でのクロストーク現象を抑制することができる。
また、第1の隔壁418aの構造物419側の斜面及び第2の隔壁418bの構造物419側の斜面それぞれの上に位置する中間層424を含むEL層423及び上部電極422それぞれは、一部切断されていてもよいが、上部電極422は断線しないことが好ましい。上部電極422を断線させないと、隣接する画素において、上部電極422の電位が等しくなり、上部電極422が面状に等電位、好ましくは上部電極422の全体が等電位となり、電圧降下を抑制できる等の効果がある。
また、構造物419を設けることにより、一方の副画素から他方の副画素に流れる電流の経路が長くなる。つまり、構造物419上の中間層424の長さが構造物419のない場合に比べて長くなる。このため、構造物419上の中間層424の電気抵抗を高くすることができる。これにより、中間層に流れる電流が抑制され、画素間、または副画素間でのクロストーク現象を抑制できる。
つまり、隔壁の高さを高くすることなく、中間層424を流れる電流の経路を長くすることで、電気的なクロストークを防止できる。
また、カラーフィルタ441Gを隔壁418上に位置する上部電極422に近接または接するように配置することにより、カラーフィルタ441Gを第2の発光素子420bに近接して設けることができる。このため、副画素に対して斜め方向から観察した時に生じる光学的なクロストーク(光漏れともいうことができる)を防止できる。
詳細には、カラーフィルタ441Gと第2の発光素子420bの距離が離れていると、発光させる第2の発光素子420bに隣接するカラーフィルタ441B,441Rに光が混じる現象が起こり、色純度が低下する。これに対し、第1の下部電極421aの端部を覆う第1の隔壁418aと第2の下部電極421bの端部を覆う第2の隔壁418bとの間に構造物419を形成することで、構造物419を形成しない場合に比べて、第1及び第2の隔壁418a,418bの高さを低くすることができる。このため、高さを低くした第1及び第2の隔壁418a,418b上に位置する上部電極422に近接または接するカラーフィルタ441Gを、第2の発光素子420bに重ねて設けると、カラーフィルタ441Gと第2の発光素子420bの間の距離を、構造物419を形成しない場合に比べて縮めることができ、パネルの色純度を向上させることができる。
また、第1の隔壁418aと第2の隔壁418bの間に構造物419を形成すると、導波光が直進できなくなるため、一方の画素の光が第1及び第2の隔壁418a,418bを通過して隣接する画素に到達することが困難になる。その結果、光学的なクロストークの発生を抑制できる。
また、構造物419を設け、且つ隔壁418に可視光を吸収する材料を適用して隔壁418を着色されたものとすることで、隔壁内に入り込んだ発光素子の導波光を吸収することができる。従って、隣接する発光素子の一方から他方へ光が漏れる現象を抑制する効果を奏する。
また、第1〜第3の下部電極421a,421b,421cを含む下部電極として半透過・半反射膜を第1の基板410側に設けて、第1〜第3の発光素子420a,420b,420cが発する光を第1の基板410側に取り出すことにより、画像を第1の基板410側に表示してもよい。
<画素の構成2>
表示部に設けられた画素452の構成について、図4(A)を参照して説明する。図4(A)は図2(A)の切断線E−Fに相当する断面図である。図4(A)に示された画素452、副画素452B,452G,452Rは、それぞれ図2(A)に示された画素402、副画素402B,402G,402Rに対応する。
なお、図4(A)において上記の画素の構成1と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
≪構造物419≫
第1〜第3の下部電極421a,421b,421c及び構造物419それぞれの下層の絶縁層416をエッチングすることで、当該絶縁層416の構造物419と第1〜第3の下部電極421a,421b,421cとの間の領域に、溝部416aを形成する。溝部416aを設けることで、EL層423の被成膜面の高低差を図2(B)に示す場合に比べて大きくすることができる。その結果、EL層423は、第1〜第3の下部電極421a,421b,421cに垂直な方向についての厚さに比べて、構造物419の側面、溝部416aの側面、及び第1〜第3の隔壁418a,418b,418cの構造物419側の斜面それぞれに垂直な方向についての厚さがより薄くなる(図4(A)参照)。従って、隣の発光色が異なる画素間、または副画素間でのクロストーク現象を効果的に抑制することができる。
絶縁層416に溝部416aを形成する方法は、構造物419を第1〜第3の下部電極421a,421b,421cと同一層によって形成する場合に、第1〜第3の下部電極421a,421b,421c及び構造物419を形成するフォトリソグラフィ工程において、オーバーエッチングを行うことで形成してもよいし、第1〜第3の下部電極421a,421b,421c及び構造物419をマスクとして絶縁層416をエッチングすることで形成してもよい。この方法によれば、マスクを増加させることなく溝部416aを形成できるため、好ましい。
<画素の構成3>
表示部に設けられた画素の構成について、図4(B)を参照して説明する。図4(B)は図2(A)の切断線E−Fにおける副画素402Bに相当する断面図である。図4(B)では図2(B)に示すような第2の基板440を図示していない。
なお、図4(B)において上記の画素の構成1と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
≪構造物419≫
図4(B)に示すように、駆動用トランジスタと、第1の下部電極421aを接続するためのコンタクトホール415aを絶縁層416に形成する工程と同時に、第1の下部電極421aと第2の下部電極421bの間に位置する溝部415bを絶縁層416に形成している。
溝部415b内には構造物419が形成されている。溝部415b内及び絶縁層416上には、構造物419と第1の下部電極421aの間に位置する第1の隔壁418aと、構造物419と第2の下部電極の間に位置する第2の隔壁418bと、が形成されている。第1の下部電極421a、第1の隔壁418a、構造物419、第2の隔壁418b及び第2の下部電極の上にはEL層423が形成されている。EL層423上には上部電極422が形成されている。
本画素の構成3によれば、EL層423の被成膜面の高低差を図2(B)に示す場合に比べて大きくすることができる。その結果、EL層423は、第1の下部電極421aに垂直な方向についての厚さに比べて、構造物419の側面、及び第1の隔壁418aの構造物419側の斜面それぞれに垂直な方向についての厚さがより薄くなる(図4(B)参照)。従って、隣の発光色が異なる画素間、または副画素間でのクロストーク現象を効果的に抑制することができる。
また、本画素の構成3では、コンタクトホール415aを絶縁層416に形成する工程と同時に、溝部415bを形成するため、マスクを増加させることなく溝部415bを形成できるため、好ましい。
<画素の構成4>
表示部に設けられた画素462の構成について、図5(A)を参照して説明する。
画素462は、図2に示すカラーフィルタに代えて、微小共振器を設けた例である。
なお、図5(A)において上記の画素の構成2と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
図5(A)は図2(A)の切断線E−Fに相当する断面図である。図5(A)に示された画素462、副画素462B,462G,462R、構造物449は、それぞれ図2(A)に示された画素402、副画素402B,402G,402R、構造物419に対応する。
なお、図5(A)において上記の画素の構成1と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
図5(A)で例示する画素462は青色を呈する光を射出する副画素462B、緑色を呈する光を射出する副画素462G、赤色を呈する光を射出する副画素462Rを有する。副画素462Bは、駆動用トランジスタと第1の発光素子450Bとを備える。副画素462Gは、駆動用トランジスタと第2の発光素子450Gとを備える。副画素462Rは、駆動用トランジスタと第3の発光素子450Rとを備える。また、それぞれの副画素の間には、第1の構造物449a及び第2の構造物449bを含む構造物449が設けられている。
副画素462B,462G,462Rに含まれる第1〜第3の発光素子450B,450G,450Rは、反射膜と半透過・半反射膜とを重ねることで微小共振器を形成し、その間にEL層423を設けた構成を有する。図5(A)では、反射膜として反射性を有する第1〜第3の下部電極454a,454b,454cを設け、半透過・半反射膜として半透過・半反射性を有する上部電極456を設ける。このような構成とすることで、半透過・半反射性を有する上部電極456から特定の波長の光を効率良く取り出せる。また、取り出す光が強め合うように微小共振器の光学距離を設けると、光を取り出す効率を高められる。取り出す光の波長は、反射膜と半透過・半反射膜の間の距離に依存し、その距離は、反射膜と半透過・半反射膜の間に光学調整層を形成して調整できる。なお、EL層423及び上部電極456は、各副画素間で共通している。
副画素462Bに含まれる第1の発光素子450Bは、反射性を有する第1の下部電極454aと、半透過・半反射性を有する上部電極456との間に、青色の光(400nm以上500nm未満の波長の光)を強め合うように第1の下部電極454aと上部電極456との光学距離を調整するための光学調整層431Bを含む。光学調整層431Bを設けることで、青色の光を効率良く取り出すことができる。
副画素462Gに含まれる第2の発光素子450Gは、反射性を有する第2の下部電極454bと、半透過・半反射性を有する上部電極456との間に、緑色の光(500nm以上600nm未満の波長の光)を強め合うように第2の下部電極454bと上部電極456との光学距離を調整するための光学調整層431Gを含む。光学調整層431Gを設けることで、緑色の光を効率良く取り出すことができる。
副画素462Rに含まれる第3の発光素子450Rは、反射性を有する第3の下部電極454cと、半透過・半反射性を有する上部電極456との間に、赤色の光(600nm以上800nm未満の波長の光)を強め合うように第3の下部電極454cと上部電極456との光学距離を調整するための光学調整層431Rを含む。光学調整層431Rを設けることで、赤色の光を効率良く取り出すことができる。
このような構成の第1〜第3の発光素子450B,450G,450Rは、反射膜と半透過・半反射膜の間でEL層423が発する光が干渉し合い、400nm以上800nm未満の波長を有する光のうち特定の光が強め合う。
光学調整層に用いることができる材料としては、可視光に対して透光性を有する導電膜の他、発光性の有機化合物を含む層を適用できる。例えば、電荷発生領域の厚さを調整することにより、電荷発生領域が光学調整層を兼ねる構成としてもよい。または、正孔輸送性の高い物質と正孔輸送性の物質に対してアクセプター性の物質を含む領域の厚さを調整することにより、当該混合材料層が光学調整層を兼ねる構成としてもよく、この構成を用いると、光学調整層が厚い構成であっても駆動電圧の上昇を抑制できるため好ましい。
光学調整層の厚さは、発光素子から取り出す光の波長の長さに応じて調整する。
≪構造物449≫
図5(A)において副画素間に設けられる構造物449は、第1〜第3の発光素子450B,450G,450Rそれぞれの第1〜第3の下部電極454a,454b,454cと同じ工程で作製される第1の構造物449aと、第3の発光素子450Rの光学調整層431Rと同じ工程で作製される第2の構造物449bとの積層構造を含む場合を例に示す。但し、本発明の実施の形態はこれに限られず、例えば、第1の構造物449aと、第1の発光素子450Bの光学調整層450Bと同じ工程で作製される電極層との積層構造としてもよいし、また第1の構造物449aと、第2の発光素子450Gの光学調整層450Gと同じ工程で作製される電極層との積層構造としてもよい。
<画素の構成5>
表示部に設けられた画素472の構成について、図5(B)を参照して説明する。
図5(B)に示す画素472は、図5(A)の画素462の変形例であり、第2の基板440側にカラーフィルタ441B,441G,441Rと遮光性の膜442を設けた構成である。つまり、画素472は、カラーフィルタと微小共振器の双方を設けた例である。
図5(B)において副画素472Bは、駆動用トランジスタと、第1の発光素子450Bと、青色を呈する光を透過するカラーフィルタ441Bとを含む。また、副画素472Gは、駆動用トランジスタと、第2の発光素子450Gと、緑色を呈する光を透過するカラーフィルタ441Gとを含む。また、副画素472Rは、駆動用トランジスタと、第3の発光素子450Rと、赤色を呈する光を透過するカラーフィルタ441Rとを含む。
図5(A)に示す構成にさらにカラーフィルタを設けることで、該カラーフィルタが不要な光を吸収するため色純度を高めることができる。
なお、カラーフィルタ以外の構成は、図5(A)と同様であるため、詳細な説明は省略する。
本実施例では、本発明の一態様に係る表示パネル及び比較例の表示パネルを作製し、副画素間に作製された構造物によるクロストークの低減効果を確認した。
<本実施例の表示パネル>
本実施例の表示パネルに含まれる画素562の模式図を図6(A)に示す。画素562は、青色の光を射出する副画素562B、緑色の光を射出する副画素562G、及び赤色の光を射出する副画素562Rを含む。副画素562Bは、カラーフィルタ層541B及び発光素子550Bを含む。副画素562Gは、カラーフィルタ層541G及び発光素子550Gを含む。副画素562Rは、カラーフィルタ層541R及び発光素子550Rを含む。
本実施例の表示パネルの作製方法を以下に示す。なお、本実施例の表示パネルは上記の画素の構成5に相当する。
まずガラス基板510上に、下地絶縁層517として、膜厚300nmの酸化シリコン膜をスパッタリング法で形成した。次いで、後に形成される発光素子の下部電極と電気的に接続するための配線560a,560b,560cを形成した。配線560a,560b,560cは、実施の形態における電流制御用のトランジスタのソース電極又はドレイン電極に相当する。
配線560a,560b,560cは、膜厚100nmのチタン膜、膜厚900nmのアルミニウム膜及び膜厚100nmのチタン膜を積層構造とした。また、配線560aと配線560bとの間隔、または配線560bと配線560cとの間隔は、12μmとした。
次いで、配線560a,560b,560c上に絶縁層516として膜厚1.4μmのポリイミド膜を形成した。その後、絶縁層516上に、スパッタリング法でランタンを含むアルミニウム−ニッケル合金膜(Al−Ni−La)を膜厚200nmで形成し、さらにスパッタリング法でチタン膜を膜厚6nmで形成した。
成膜したAl−Ni−La膜及びチタン膜をフォトリソグラフィ工程によって加工して、第1〜第3の下部電極554a,554b,554c及び構造物549を形成した。構造物549は、第1〜第3の下部電極554a,554b,554cそれぞれの相互間にストライプ状に、副画素間に設けられている。
ここで、第1の下部電極554aと第2の下部電極554bの間隔、または、第2の下部電極554bと第3の下部電極554cとの間隔は、8μmとした。また、図6(A)の断面図における構造物549の幅は2μmとした。本実施例における構造物549のテーパ角は110°狙いとした。
なお、第1〜第3の下部電極554a,554b,554c及び構造物549を形成する際に、オーバーエッチングを行うことで、第1〜第3の下部電極554a,554b,554c及び構造物549と重ならない領域の絶縁層516をエッチングした。これにより、第1〜第3の下部電極554a,554b,554cと、構造物549との間に溝部を形成した。
次いで、第2及び第3の下部電極554b,554c上に、光学調整層を形成した。本実施例においては、第2の下部電極554b上に、光学調整層531Gとして40nmの酸化シリコンを含むインジウム錫酸化物(ITSO)膜を形成した。また、第3の下部電極554c上に、光学調整層531Rとして80nmのITSO膜を形成した。なお、第1の下部電極554a上には、光学調整層を形成しなかった。
次いで、ポリイミド膜を膜厚1.4μmで形成し、フォトリソグラフィ工程によって加工して、第1〜第3の下部電極554a,554b,554cの端部を覆う第1〜第3の隔壁層518a,518b,518cを形成した。本実施例において、第1の下部電極554a上の第1の隔壁層518aの端部と第2の下部電極554b上の第2の隔壁層518bの端部の間隔(図6(A)のL1)は、11μmとした。なお、第2の下部電極554b上の第2の隔壁層518bの端部と第3の下部電極554c上の第3の隔壁層518cの端部の間隔についても同様である。また、副画素間における第1の隔壁層518aと第2の隔壁層518bの最短の間隔(図6(A)のL2)は、6μmとした。第2の隔壁層518bと第3の隔壁層518cの最短の間隔についても同様である。
その後、第1〜第3の隔壁層518a,518b,518c、第1〜第3の下部電極554a,554b,554c、構造物549、及び光学調整層531G,531R上にEL層522を膜厚195.3nmで形成した。
EL層522上に上部電極523として、膜厚1.1nmのマグネシウム銀合金膜、膜厚13.9nmの銀膜、及び膜厚70nmのインジウム錫酸化物膜を形成した。
以上によって、発光素子550B,550G,550Rを形成した。
次いで、対向基板540の作製方法を以下に示す。
対向基板540は、ガラス基板上に下地膜543として膜厚100nmの酸化窒化シリコン膜をスパッタリング法で成膜し、下地膜543上に、遮光層542を形成した。遮光層542の材料には、黒色樹脂(カーボンブラック)を含む有機樹脂を用いた。そして、遮光層542上に、カラーフィルタ層541B,541G,541Rを形成した。
ガラス基板510を、対向基板540と貼り合わせて本実施例の表示パネルを作製した。
<比較例の表示パネル>
比較例の表示パネルに含まれる画素662の模式図を図6(B)に示す。画素662は、青色の光を射出する副画素662B,緑色の光を射出する副画素662G,及び赤色の光を射出する副画素662Rを含み、副画素間に構造物を有しない点及び下部電極間に溝部を有しない点において本実施例の発光パネルと相違する。その他の構成は、本実施例の発光パネルと同様であるため、詳細な説明は省略する。
副画素662Bは、発光素子650B及びカラーフィルタ層541Bを含み、副画素662Gは、発光素子650G及びカラーフィルタ層541Gを含み、副画素662Rは、発光素子650R及びカラーフィルタ層541Rを含む。また、それぞれの発光素子は、第1〜第3の下部電極554a,554b,554cと上部電極623との間に、EL層622を有する。発光素子650Gでは、第2の下部電極554b上に光学調整層531Gを含み、発光素子650Rでは、第3の下部電極554c上に光学調整層531Rを含む。
比較例の表示パネルにおいて、隔壁層618は、第1〜第3の下部電極554a,554b,554cの端部を覆うように形成される。
作製した本実施例の発光パネルの副画素562B及び副画素562G間における断面写真を図7(A)に示す。また、構造物549の側面の領域を拡大した断面写真を図7(B)及び図7(C)に示す。また、比較例の発光パネルの副画素662B及び副画素662G間における断面写真を図7(D)に示す。
図7(D)より、比較例の発光パネルにおいては、隔壁層618と重ならず、且つ第2の下部電極554bと重なる領域B1における上部電極の膜厚は179nmであった。また、隔壁層618の側面と重なる領域B2における上部電極の膜厚は140nmであった。また、第1の下部電極554aと第2の下部電極554bの間と重なる領域B3における上部電極の膜厚は194nmであった。すなわち、比較例の発光パネルに含まれる上部電極の膜厚は、第1の下部電極554aと第2の下部電極554bの全領域において、概略一様であることが確認された。ここから、比較例の発光パネルに含まれるEL層の膜厚も、第1の下部電極554aと第2の下部電極554bの全領域において、概略一様であることが示唆される。
一方、図7(A)及び図7(B)より、本実施例の発光パネルでは、第2の隔壁層518bと重ならず、且つ第2の下部電極554bと重なる領域A1における上部電極の膜厚は180nmであるのに対して、第2の隔壁層518bの側面と重なる領域A2における上部電極の膜厚は87nmと、膜厚の減少が確認された。また、構造物549の側面周辺の領域A3(より具体的には、構造物549をマスクとしてエッチングされた絶縁層516の溝部と接する領域)における上部電極の膜厚は38nmと、さらなる膜厚の減少が確認された。ここから、本実施例の発光パネルに含まれるEL層の膜厚は、第2の隔壁層518bの側面と重なる領域A2及び構造物549の側面周辺の領域A3において膜厚が減少していることが示唆される。また、図7(C)より、構造物549のテーパ角は109°であった。
次いで、作製した発光パネルのNTSC(National Television Standards Committee)比の輝度依存性を測定した。測定結果を図8に示す。
図8において、横軸は、輝度(cd/m)を表し、縦軸は、NTSC比の変化率(%)を示す。なお、図8においては、輝度を150cd/mで発光させた際のNTSC比の値を100%として変化率を規格化している。
図8より、比較例の発光パネルにおいては、低輝度とするにつれてNTSC比の低下が確認された。一方、本実施例の発光パネルにおいては、輝度を1cd/mとした場合であっても、輝度を150cd/mで発光させた場合の97.3%のNTSC比を維持していた。
よって、本実施例の発光パネルにおいては、局所的に膜厚の薄い領域を有するEL層を形成することで、クロストークを抑制することが可能であり、特に低輝度側におけるNTSC比の劣化を抑制することができることが示された。
81 上部電極
82 第1の下部電極
83 第2の下部電極
84 第3の下部電極
85 第1の発光ユニット
86 中間層
87 第2の発光ユニット
88 対向ガラス基板
89 キャリア注入層
400 表示パネル
401 表示部
402 画素
402B 青色を呈する光を射出する副画素
402G 緑色を呈する光を射出する副画素
402R 赤を呈する光を射出する副画素
403g ゲート側の駆動回路部
403s ソース側の駆動回路部
405 シール材
408 引き回し配線
409 FPC(フレキシブルプリントサーキット)
410 第1の基板
411 スイッチング用のトランジスタ
412 電流制御用のトランジスタ
413 nチャネル型トランジスタ
414 pチャネル型トランジスタ
415a コンタクトホール
415b 溝部
416 絶縁層
416a 溝部
418a 第1の隔壁
418b 第2の隔壁
418c 第3の隔壁
419 構造物
420a 第1の発光素子
420b 第2の発光素子
420c 第3の発光素子
421a 第1の下部電極
421b 第2の下部電極
421c 第3の下部電極
422 上部電極
423 EL層
423a 第1の発光ユニット
423b 第2の発光ユニット
423c EL層の膜厚の薄い領域
424 中間層
431 空間
431B,431G,431R 光学調整層
440 第2の基板
441B,441G,441R カラーフィルタ
442 遮光性の膜
449 構造物
449a 第1の構造物
449b 第2の構造物
450B 第1の発光素子
450G 第2の発光素子
450R 第3の発光素子
452 画素
452B 青色を呈する光を射出する副画素
452G 緑色を呈する光を射出する副画素
452R 赤を呈する光を射出する副画素
454a 第1の下部電極
454b 第2の下部電極
454c 第3の下部電極
456 上部電極
459A 構造物
459B 構造物
462 画素
462B 青色を呈する光を射出する副画素
462G 緑色を呈する光を射出する副画素
462R 赤を呈する光を射出する副画素
472 画素
472B 青色を呈する光を射出する副画素
472G 緑色を呈する光を射出する副画素
472R 赤を呈する光を射出する副画素
510 ガラス基板
516 絶縁層
517 下地絶縁層
518a 第1の隔壁層
518b 第2の隔壁層
518c 第3の隔壁層
522 EL層
523 上部電極
531G,531R 光学調整層
540 対向基板
541B,541G,541R カラーフィルタ層
542 遮光層
543 下地膜
549 構造物
550B,550G,550R 発光素子
554a 第1の下部電極
554b 第2の下部電極
554c 第3の下部電極
560a,560b,560c 配線
562 画素
562B 青色を呈する光を射出する副画素
562G 緑色を呈する光を射出する副画素
562R 赤を呈する光を射出する副画素
616 絶縁層
618 隔壁層
622 EL層
623 上部電極
662 画素
662B 青色を呈する光を射出する副画素
662G 緑色を呈する光を射出する副画素
662R 赤を呈する光を射出する副画素

Claims (14)

  1. 絶縁層と、
    前記絶縁層上に形成された第1の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成された第2の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成され、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極の間に位置する構造物と、
    前記第1の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第1の下部電極の端部を覆う第1の隔壁と、
    前記第2の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第2の下部電極の端部を覆う第2の隔壁と、
    前記第1の下部電極、前記第1の隔壁、前記構造物、前記第2の隔壁及び前記第2の下部電極の上に形成された第1の発光ユニットと、
    前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、
    前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、
    前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、
    を具備し、
    前記構造物の側面に位置する前記中間層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記中間層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いことを特徴とする発光装置。
  2. 絶縁層と、
    前記絶縁層上に形成された第1の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成された第2の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成され、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極の間に位置する構造物と、
    前記第1の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第1の下部電極の端部を覆う第1の隔壁と、
    前記第2の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第2の下部電極の端部を覆う第2の隔壁と、
    前記第1の下部電極、前記第1の隔壁、前記構造物、前記第2の隔壁及び前記第2の下部電極の上に形成された第1の発光ユニットと、
    前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、
    前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、
    前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、
    を具備し、
    EL層は前記第1の発光ユニット、前記中間層及び前記第2の発光ユニットを有し、
    前記構造物の側面に位置する前記EL層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記EL層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いことを特徴とする発光装置。
  3. 絶縁層と、
    前記絶縁層上に形成された第1の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成された第2の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成され、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極の間に位置する構造物と、
    前記絶縁層に形成され、前記第1の下部電極と前記構造物の間、及び、前記第2の下部電極と前記構造物の間に位置する溝部と、
    前記第1の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第1の下部電極の端部を覆う第1の隔壁と、
    前記第2の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第2の下部電極の端部を覆う第2の隔壁と、
    前記第1の下部電極、前記第1の隔壁、前記構造物、前記第2の隔壁及び前記第2の下部電極の上に形成された第1の発光ユニットと、
    前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、
    前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、
    前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、
    を具備し、
    前記構造物の側面に位置する前記中間層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記中間層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いことを特徴とする発光装置。
  4. 絶縁層と、
    前記絶縁層上に形成された第1の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成された第2の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成され、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極の間に位置する構造物と、
    前記絶縁層に形成され、前記第1の下部電極と前記構造物の間、及び、前記第2の下部電極と前記構造物の間に位置する溝部と、
    前記第1の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第1の下部電極の端部を覆う第1の隔壁と、
    前記第2の下部電極と前記構造物の間に配置され、前記第2の下部電極の端部を覆う第2の隔壁と、
    前記第1の下部電極、前記第1の隔壁、前記構造物、前記第2の隔壁及び前記第2の下部電極の上に形成された第1の発光ユニットと、
    前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、
    前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、
    前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、
    を具備し、
    EL層は前記第1の発光ユニット、前記中間層及び前記第2の発光ユニットを有し、
    前記構造物の側面に位置する前記EL層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記EL層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いことを特徴とする発光装置。
  5. 絶縁層と、
    前記絶縁層上に形成された第1の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成された第2の下部電極と、
    前記絶縁層に形成され、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極との間に位置する溝部と、
    前記絶縁層上であって、前記溝部内に位置する構造物と、
    前記第1の下部電極の端部を覆うように、前記溝部内及び前記絶縁層上に形成された第1の隔壁と、
    前記第2の下部電極の端部を覆うように、前記溝部内及び前記絶縁層上に形成された第2の隔壁と、
    前記第1の下部電極、前記第1の隔壁、前記構造物、前記第2の隔壁及び前記第2の下部電極の上に形成された第1の発光ユニットと、
    前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、
    前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、
    前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、
    を具備し、
    前記構造物の側面に位置する前記中間層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記中間層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いことを特徴とする発光装置。
  6. 絶縁層と、
    前記絶縁層上に形成された第1の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成された第2の下部電極と、
    前記絶縁層に形成され、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極との間に位置する溝部と、
    前記絶縁層上であって、前記溝部内に位置する構造物と、
    前記第1の下部電極の端部を覆うように、前記溝部内及び前記絶縁層上に形成された第1の隔壁と、
    前記第2の下部電極の端部を覆うように、前記溝部内及び前記絶縁層上に形成された第2の隔壁と、
    前記第1の下部電極、前記第1の隔壁、前記構造物、前記第2の隔壁及び前記第2の下部電極の上に形成された第1の発光ユニットと、
    前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、
    前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、
    前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、
    を具備し、
    EL層は前記第1の発光ユニット、前記中間層及び前記第2の発光ユニットを有し、
    前記構造物の側面に位置する前記EL層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記EL層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いことを特徴とする発光装置。
  7. 請求項1乃至のいずれか一項において、
    前記第1の下部電極と前記第1の発光ユニットとの間、及び前記第2の下部電極と前記第1の発光ユニットとの間の少なくとも一方に形成された光学調整層を有し、
    前記構造物は、前記第1の下部電極と同一層によって形成された層と前記光学調整層と同一層によって形成された層の積層体であることを特徴とする発光装置。
  8. 請求項1乃至のいずれか一項において、
    前記第1の発光ユニットはキャリア注入層を有し、
    前記構造物の側面に位置する前記キャリア注入層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記第1の下部電極上に位置する前記キャリア注入層の前記第1の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いことを特徴とする発光装置。
  9. 請求項1乃至のいずれか一項において、
    前記構造物の側面と底面で作る角度は60°〜110°であることを特徴とする発光装置。
  10. 請求項1乃至のいずれか一項において、
    前記構造物は、前記第1の下部電極と前記第2の下部電極の間を仕切るように配置されていることを特徴とする発光装置。
  11. 請求項1乃至のいずれか一項において、
    前記構造物は前記第1の下部電極と同一層によって形成されていることを特徴とする発光装置。
  12. 請求項1乃至11のいずれか一項において、
    前記第1の隔壁及び前記第2の隔壁の上に位置する前記上部電極と近接または接するカラーフィルタを有し、
    前記カラーフィルタは、前記第1の下部電極と重なる第1の色と、前記第2の下部電極と重なる第2の色を有することを特徴とする発光装置。
  13. 請求項1乃至12のいずれか一項において、
    前記第1の隔壁及び前記第2の隔壁は着色されていることを特徴とする発光装置。
  14. 絶縁層と、
    前記絶縁層上に形成された複数の下部電極と、
    前記絶縁層上に形成され、前記複数の下部電極の相互間に位置し、且つ前記複数の下部電極それぞれを囲むように配置された構造物と、
    前記絶縁層上に形成され、前記構造物と前記複数の下部電極それぞれとの間に位置し、且つ前記複数の下部電極それぞれを囲むように配置された隔壁と、
    前記複数の下部電極、前記隔壁及び前記構造物の上に形成された第1の発光ユニットと、
    前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、
    前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、
    前記第2の発光ユニット上に形成された上部電極と、
    を具備し、
    前記構造物の側面に位置する前記中間層の前記側面に垂直な方向についての厚さは、前記複数の下部電極上に位置する前記中間層の前記複数の下部電極に垂直な方向についての厚さより薄いことを特徴とする発光装置。
JP2013046907A 2013-03-08 2013-03-08 発光装置 Active JP6104649B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013046907A JP6104649B2 (ja) 2013-03-08 2013-03-08 発光装置
US14/192,062 US9209355B2 (en) 2013-03-08 2014-02-27 Light-emitting device
KR1020140026388A KR102249684B1 (ko) 2013-03-08 2014-03-06 발광 장치
CN201410083251.0A CN104037195B (zh) 2013-03-08 2014-03-07 发光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013046907A JP6104649B2 (ja) 2013-03-08 2013-03-08 発光装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014175165A JP2014175165A (ja) 2014-09-22
JP6104649B2 true JP6104649B2 (ja) 2017-03-29

Family

ID=51467900

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013046907A Active JP6104649B2 (ja) 2013-03-08 2013-03-08 発光装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9209355B2 (ja)
JP (1) JP6104649B2 (ja)
KR (1) KR102249684B1 (ja)
CN (1) CN104037195B (ja)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6656817B2 (ja) * 2014-04-25 2020-03-04 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置
TWI765679B (zh) 2014-05-30 2022-05-21 日商半導體能源研究所股份有限公司 觸控面板
US10698995B2 (en) 2014-08-28 2020-06-30 Facetec, Inc. Method to verify identity using a previously collected biometric image/data
US10614204B2 (en) 2014-08-28 2020-04-07 Facetec, Inc. Facial recognition authentication system including path parameters
US10803160B2 (en) 2014-08-28 2020-10-13 Facetec, Inc. Method to verify and identify blockchain with user question data
US11256792B2 (en) 2014-08-28 2022-02-22 Facetec, Inc. Method and apparatus for creation and use of digital identification
CA3186147A1 (en) 2014-08-28 2016-02-28 Kevin Alan Tussy Facial recognition authentication system including path parameters
US10915618B2 (en) 2014-08-28 2021-02-09 Facetec, Inc. Method to add remotely collected biometric images / templates to a database record of personal information
KR20170117084A (ko) 2015-02-18 2017-10-20 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 유기 화합물, 발광 소자, 표시 모듈, 조명 모듈, 발광 장치, 표시 장치, 전자 기기, 및 조명 장치
CN104821376A (zh) * 2015-04-24 2015-08-05 京东方科技集团股份有限公司 一种oled面板及其制造方法、显示装置
USD987653S1 (en) 2016-04-26 2023-05-30 Facetec, Inc. Display screen or portion thereof with graphical user interface
KR102656232B1 (ko) * 2016-08-31 2024-04-09 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 어레이 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치
JP6907008B2 (ja) * 2017-04-17 2021-07-21 キヤノン株式会社 有機発光装置、有機発光装置の製造方法、及び撮像装置
KR102248875B1 (ko) * 2017-06-30 2021-05-06 엘지디스플레이 주식회사 전계발광표시장치
KR20200090160A (ko) 2017-11-30 2020-07-28 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 패널, 표시 장치, 표시 모듈, 전자 기기, 및 표시 패널의 제작 방법
US11450694B2 (en) 2018-08-21 2022-09-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display apparatus and electronic device
KR20210018105A (ko) 2019-08-09 2021-02-17 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 유기 화합물, 발광 디바이스, 발광 장치, 전자 기기, 및 조명 장치
JPWO2021130629A1 (ja) 2019-12-25 2021-07-01
CN115997246A (zh) * 2020-07-03 2023-04-21 株式会社半导体能源研究所 显示装置、显示模块及电子设备
CN117178314A (zh) * 2021-04-22 2023-12-05 株式会社半导体能源研究所 显示装置及显示装置的制造方法

Family Cites Families (72)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6472557A (en) 1987-09-11 1989-03-17 Seiko Instr & Electronics Image sensor
JP3520396B2 (ja) 1997-07-02 2004-04-19 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス基板と表示装置
JP3580092B2 (ja) 1997-08-21 2004-10-20 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス型表示装置
US6592933B2 (en) 1997-10-15 2003-07-15 Toray Industries, Inc. Process for manufacturing organic electroluminescent device
CN100550472C (zh) 1998-03-17 2009-10-14 精工爱普生株式会社 薄膜构图的衬底及其表面处理
JPH11339958A (ja) 1998-05-22 1999-12-10 Casio Comput Co Ltd 電界発光素子の製造方法
KR100697413B1 (ko) 1998-07-30 2007-03-19 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 액정 표시 장치, 영상 디스플레이 장치, 정보 처리 장치, 및 그 제조 방법
JP3078268B2 (ja) * 1998-11-12 2000-08-21 ティーディーケイ株式会社 有機el表示装置及びその製造方法
US6469439B2 (en) 1999-06-15 2002-10-22 Toray Industries, Inc. Process for producing an organic electroluminescent device
TW459275B (en) 1999-07-06 2001-10-11 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and method of fabricating the same
JP3809758B2 (ja) 1999-10-28 2006-08-16 ソニー株式会社 表示装置及び表示装置の製造方法
EP1096568A3 (en) 1999-10-28 2007-10-24 Sony Corporation Display apparatus and method for fabricating the same
KR100720066B1 (ko) 1999-11-09 2007-05-18 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광장치 제작방법
JP2001148291A (ja) 1999-11-19 2001-05-29 Sony Corp 表示装置及びその製造方法
US6821827B2 (en) 1999-12-28 2004-11-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of manufacturing a semiconductor device
JP4132528B2 (ja) 2000-01-14 2008-08-13 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法
US6559594B2 (en) 2000-02-03 2003-05-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device
TW484238B (en) 2000-03-27 2002-04-21 Semiconductor Energy Lab Light emitting device and a method of manufacturing the same
US20010030511A1 (en) 2000-04-18 2001-10-18 Shunpei Yamazaki Display device
TW522752B (en) 2000-10-20 2003-03-01 Toshiba Corp Self-luminous display panel and method of manufacturing the same
JP3695308B2 (ja) 2000-10-27 2005-09-14 日本電気株式会社 アクティブマトリクス有機el表示装置及びその製造方法
JP2002208484A (ja) 2001-01-12 2002-07-26 Tohoku Pioneer Corp 有機elディスプレイ及びその製造方法
US6720198B2 (en) 2001-02-19 2004-04-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and manufacturing method thereof
US6992439B2 (en) 2001-02-22 2006-01-31 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device with sealing structure for protecting organic light emitting element
SG118118A1 (en) 2001-02-22 2006-01-27 Semiconductor Energy Lab Organic light emitting device and display using the same
JP4801278B2 (ja) 2001-04-23 2011-10-26 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置及びその作製方法
JP2003059671A (ja) 2001-08-20 2003-02-28 Sony Corp 表示素子及びその製造方法
JP2003123969A (ja) 2001-10-17 2003-04-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 蒸着用マスクおよび有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法
US6852997B2 (en) 2001-10-30 2005-02-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device
US6815723B2 (en) 2001-12-28 2004-11-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device, method of manufacturing the same, and manufacturing apparatus therefor
SG143063A1 (en) 2002-01-24 2008-06-27 Semiconductor Energy Lab Light emitting device and method of manufacturing the same
JP2003243171A (ja) 2002-02-18 2003-08-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルおよびその製造方法
JP3481232B2 (ja) 2002-03-05 2003-12-22 三洋電機株式会社 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法
JP2003317971A (ja) 2002-04-26 2003-11-07 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置およびその作製方法
US7230271B2 (en) 2002-06-11 2007-06-12 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device comprising film having hygroscopic property and transparency and manufacturing method thereof
US7094684B2 (en) 2002-09-20 2006-08-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Manufacturing method of semiconductor device
US7792489B2 (en) 2003-12-26 2010-09-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device, electronic appliance, and method for manufacturing light emitting device
JP4664604B2 (ja) 2004-02-18 2011-04-06 Tdk株式会社 画像表示装置
US7753751B2 (en) 2004-09-29 2010-07-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of fabricating the display device
US8772783B2 (en) 2004-10-14 2014-07-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device
JP2006190570A (ja) 2005-01-06 2006-07-20 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd 表示装置及び表示装置の製造方法
US8026531B2 (en) 2005-03-22 2011-09-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device
JP5078267B2 (ja) 2005-03-22 2012-11-21 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置
CN1842232A (zh) * 2005-03-29 2006-10-04 中华映管股份有限公司 有机电致发光显示面板及其制造方法
TWI363437B (en) * 2008-05-21 2012-05-01 Ind Tech Res Inst Light emitting diode package capable of providing electrostatic discharge circuit protection and process of making the same
EP1760776B1 (en) 2005-08-31 2019-12-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Manufacturing method for semiconductor device with flexible substrate
KR100643404B1 (ko) 2005-09-22 2006-11-10 삼성전자주식회사 디스플레이장치 및 그 제조방법
EP1770676B1 (en) 2005-09-30 2017-05-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and electronic device
TWI460851B (zh) 2005-10-17 2014-11-11 Semiconductor Energy Lab 半導體裝置及其製造方法
JP2007141821A (ja) 2005-10-17 2007-06-07 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
US20070194321A1 (en) 2006-02-17 2007-08-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting element, light emitting device, and electronic device
JP2008135325A (ja) 2006-11-29 2008-06-12 Hitachi Displays Ltd 有機el表示装置とその製造方法
JP2008234885A (ja) 2007-03-19 2008-10-02 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光素子
US7834543B2 (en) 2007-07-03 2010-11-16 Canon Kabushiki Kaisha Organic EL display apparatus and method of manufacturing the same
WO2009128553A1 (en) 2008-04-18 2009-10-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Thin film transistor and method for manufacturing the same
WO2009128522A1 (en) 2008-04-18 2009-10-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Thin film transistor and method for manufacturing the same
KR101310917B1 (ko) 2008-07-17 2013-09-25 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광표시장치와 이의 제조방법
TWI607670B (zh) 2009-01-08 2017-12-01 半導體能源研究所股份有限公司 發光裝置及電子裝置
JP2010280855A (ja) 2009-06-05 2010-12-16 Nippon Polyurethane Ind Co Ltd 車輌用シートクッション用軟質ポリウレタンフォームおよびその製造方法
JP5569023B2 (ja) 2010-02-16 2014-08-13 凸版印刷株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法
JP2012155953A (ja) * 2011-01-25 2012-08-16 Sony Corp 有機el表示装置及び電子機器
DE112012000766T5 (de) * 2011-02-10 2014-02-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd Licht emittierende Einrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben, Beleuchtungsvorrichtung und Anzeigevorrichtung
KR102109009B1 (ko) 2011-02-25 2020-05-11 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치 및 발광 장치를 사용한 전자 기기
JP5708152B2 (ja) * 2011-03-31 2015-04-30 ソニー株式会社 表示装置およびその製造方法
KR101920374B1 (ko) * 2011-04-27 2018-11-20 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치 및 그 제작 방법
KR101995700B1 (ko) 2011-06-24 2019-07-03 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 패널, 발광 패널을 사용한 발광 장치 및 발광 패널의 제작 방법
KR101933952B1 (ko) * 2011-07-01 2018-12-31 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치, 전자 기기 및 조명 장치
KR101821739B1 (ko) * 2011-08-25 2018-01-25 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
JP6204012B2 (ja) 2012-10-17 2017-09-27 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置
JP6076683B2 (ja) 2012-10-17 2017-02-08 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置
JP6124584B2 (ja) 2012-12-21 2017-05-10 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置及びその製造方法
KR102090555B1 (ko) * 2012-12-27 2020-03-18 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US9209355B2 (en) 2015-12-08
US20140252383A1 (en) 2014-09-11
CN104037195A (zh) 2014-09-10
KR20140110766A (ko) 2014-09-17
CN104037195B (zh) 2018-05-22
JP2014175165A (ja) 2014-09-22
KR102249684B1 (ko) 2021-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6104649B2 (ja) 発光装置
JP6216125B2 (ja) 発光装置
US9728693B2 (en) Light-emitting device comprising partition including overhang portion
JP6124584B2 (ja) 発光装置及びその製造方法
US11563198B2 (en) Display unit with organic layer disposed on metal layer and insulation layer
KR102248641B1 (ko) 유기전계 발광소자
JP6076683B2 (ja) 発光装置
US9570706B2 (en) Organic light-emitting diode (OLED) display having a plurality of spacers covering one or more via holes
US9343698B2 (en) Organic EL display and electronic apparatus
US20140295597A1 (en) Fabrication method for organic el device
US9941338B2 (en) Organic light-emitting diode display and method of manufacturing the same
JP6837410B2 (ja) 発光領域を含むディスプレイ装置
JP2018018822A (ja) 表示装置
JP2011138634A (ja) 有機el装置及びその製造方法
US10388708B2 (en) Display device
JP2013051160A (ja) 表示装置
US10566567B2 (en) Display device
JP2018181897A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス表示装置
TW201804610A (zh) 顯示裝置
WO2022176395A1 (ja) 表示装置
JP2023153631A (ja) 表示装置およびその製造方法
JP2023153632A (ja) 表示装置およびその製造方法
KR20230100225A (ko) 표시 장치
JP2024004895A (ja) 表示装置およびその製造方法
CN118301992A (en) Display panel and display device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160224

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20161031

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161206

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170126

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170214

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170301

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6104649

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250