JP6098142B2 - 光導波路の製造方法 - Google Patents
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Description
(1) 並列する線状をなす第1のコア部および第2のコア部と、前記各コア部にそれぞれ設けられ、その位置が前記第1のコア部と前記第2のコア部とで長手方向に互いにずれているミラーと、を有する光導波路を製造する方法であって、
硬化前の硬化性樹脂材料で構成された硬化性樹脂層と、前記硬化性樹脂層をそれぞれ斜めに横切るよう設けられ、平面視で線状をなす第1の傾斜面および第2の傾斜面と、を備えるコア部形成層を用意する工程と、
前記第1の傾斜面の一部分とそこから前記第1の傾斜面の長手方向と交差する方向に伸びる線状の領域であって前記第1のコア部を形成すべき第1の領域と、前記第2の傾斜面の一部分とそこから前記第2の傾斜面の長手方向と交差する方向に伸びる線状の領域であって前記第2のコア部を形成すべき第2の領域と、についてはそれぞれ前記硬化前の硬化性樹脂材料を硬化させるとともに、前記第2の領域と前記第1の傾斜面とが重なる部分については前記硬化前の硬化性樹脂材料を硬化させないように、前記硬化性樹脂層に対して硬化処理を施す工程と、
前記硬化性樹脂層のうち、硬化させなかった前記硬化前の硬化性樹脂材料を除去する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
硬化前の硬化性樹脂材料で構成された硬化性樹脂層を用意し、そのうち前記第1のコア部を形成すべき第1の領域と前記第2のコア部を形成すべき第2の領域とについてはそれぞれ前記硬化前の硬化性樹脂材料を硬化させるとともに、前記第2の領域の途中の一部については前記硬化前の硬化性樹脂材料を硬化させないように、前記硬化性樹脂層に対して硬化処理を施す工程と、
前記硬化性樹脂層をそれぞれ斜めに横切るよう設けられ、前記第1の領域の長手方向と交差する方向に伸びる平面視で線状をなす傾斜面であって前記第2の領域の前記途中の一部に対応する位置に設けられた第1の傾斜面と、前記第2の領域の長手方向と交差する方向に伸びる平面視で線状をなす第2の傾斜面と、を形成する工程と、
前記硬化性樹脂層のうち、硬化させなかった前記硬化前の硬化性樹脂材料を除去する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
当該光導波路の製造方法は、さらに、前記クラッド部を設ける工程を有する上記(1)または(2)に記載の光導波路の製造方法。
前記硬化処理は、硬化させるべき領域またはその領域の反転領域に光を照射する処理である上記(1)ないし(4)のいずれか1項に記載の光導波路の製造方法。
当該光導波路の製造方法は、さらに、前記反射膜を成膜する工程を有する上記(1)ないし(5)のいずれか1項に記載の光導波路の製造方法。
まず、本発明の光導波路の実施形態について説明する。
次に、本発明の光導波路の製造方法について説明する。
≪第1実施形態≫
まず、本発明の光導波路の製造方法の第1実施形態について説明する。
[1−1] まず、層状の下側クラッド部11上に、硬化前の硬化性樹脂材料で構成された硬化性樹脂層100を用意する(図2(a)参照)。硬化前の硬化性樹脂材料とは、熱や光等のエネルギーを付与することにより、硬化反応を生じる材料であり、本硬化する前の状態、すなわち未硬化または半硬化の状態(未固化または半固化の状態も含む。)にある硬化性樹脂材料(固化性樹脂材料も含む。)のことを指す。
図3(c)に示すコア部形成層10のうち、コア部(第1のコア部)131を形成しようとする領域を「第1の領域1310」とし、コア部(第2のコア部)132を形成しようとする領域を「第2の領域1320」とする。具体的には、第1の領域1310および第2の領域1320は、それぞれ、図3(c)の左右方向に延伸する、互いに平行な帯状の領域であり、このうち第1の領域1310は、第1の傾斜面211より左側に向かって延伸している。また、第2の領域1320は、第2の傾斜面221より左側に向かって延伸している。また、第1の領域1310および第2の領域1320は、図3(c)に示すように、平面視において第1の溝210および第2の溝220と交差するよう設定される。
次いで、コア部形成層10において、硬化させなかった硬化前の硬化性樹脂材料を除去する。これにより、硬化させた硬化性樹脂材料のみが残存し、図3(d)に示す第1のコア部131および第2のコア部132が形成される。そして、第1の傾斜面211と第1の領域1310との交差部分は、コア部131に設けられた傾斜面21となる。同様に、第2の傾斜面221と第2の領域1320との交差部分は、コア部132に設けられた傾斜面22となる。
このような処理液としては、例えば、アルカリ現像液といった現像液が用いられる。
次いで、形成した傾斜面21、22にそれぞれ反射膜14を成膜する(図4(e)参照)。
次いで、硬化させた硬化性樹脂層を覆うように、すなわち第1のコア部131および第2のコア部132を覆うように、上側クラッド部12を成膜する。これにより、第1のコア部131および第2のコア部132は、それぞれ下面が下側クラッド部11で覆われ、両側面と上面が上側クラッド部12で覆われる。その結果、入出射面以外がクラッド部で囲われた状態となる。また、途切れた箇所23、24にも、上部クラッド部12が充填される。これにより、図4(f)に示す光導波路1が得られる。
以上のような方法によれば、隣り合うコア部131、132において、傾斜面21、22の位置をコア部の長手方向にずらした光導波路1を製造する際、コア部131、132をそれぞれ横切るように第1の溝210および第2の溝220を形成しさえすれば、コア部131、132に対してそれぞれ異なる位置に傾斜面21、22を加工する場合に比べて、加工の容易性が飛躍的に高まる。これにより、短時間で高精度の傾斜面21、22を形成することができる。その結果、他の光学部品に対して高い結合効率で接続し得る光導波路が得られる。
次に、本発明の光導波路の製造方法の第2実施形態について説明する。
このような本実施形態においても、第1実施形態と同様の作用・効果が得られる。
上述したような本発明の光導波路は、前述したように、ミラーを介した他の光学部品との結合効率が高いものであって、かつ製造が容易なものとなる。このため、本発明の光導波路を備えることにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
10 コア部形成層
100 硬化性樹脂層
11 下側クラッド部
12 上側クラッド部
13、131、132 コア部
1310 第1の領域
1320 第2の領域
1330〜1380 領域
14 反射膜
21、22 傾斜面
210 第1の溝
220 第2の溝
230〜250 溝
211 第1の傾斜面
221 第2の傾斜面
23、24 途切れた箇所
231、241 端面
Claims (6)
- 並列する線状をなす第1のコア部および第2のコア部と、前記各コア部にそれぞれ設けられ、その位置が前記第1のコア部と前記第2のコア部とで長手方向に互いにずれているミラーと、を有する光導波路を製造する方法であって、
硬化前の硬化性樹脂材料で構成された硬化性樹脂層と、前記硬化性樹脂層をそれぞれ斜めに横切るよう設けられ、平面視で線状をなす第1の傾斜面および第2の傾斜面と、を備えるコア部形成層を用意する工程と、
前記第1の傾斜面の一部分とそこから前記第1の傾斜面の長手方向と交差する方向に伸びる線状の領域であって前記第1のコア部を形成すべき第1の領域と、前記第2の傾斜面の一部分とそこから前記第2の傾斜面の長手方向と交差する方向に伸びる線状の領域であって前記第2のコア部を形成すべき第2の領域と、についてはそれぞれ前記硬化前の硬化性樹脂材料を硬化させるとともに、前記第2の領域と前記第1の傾斜面とが重なる部分については前記硬化前の硬化性樹脂材料を硬化させないように、前記硬化性樹脂層に対して硬化処理を施す工程と、
前記硬化性樹脂層のうち、硬化させなかった前記硬化前の硬化性樹脂材料を除去する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。 - 並列する線状をなす第1のコア部および第2のコア部と、前記各コア部にそれぞれ設けられ、その位置が前記第1のコア部と前記第2のコア部とで長手方向に互いにずれているミラーと、を有する光導波路を製造する方法であって、
硬化前の硬化性樹脂材料で構成された硬化性樹脂層を用意し、そのうち前記第1のコア部を形成すべき第1の領域と前記第2のコア部を形成すべき第2の領域とについてはそれぞれ前記硬化前の硬化性樹脂材料を硬化させるとともに、前記第2の領域の途中の一部については前記硬化前の硬化性樹脂材料を硬化させないように、前記硬化性樹脂層に対して硬化処理を施す工程と、
前記硬化性樹脂層をそれぞれ斜めに横切るよう設けられ、前記第1の領域の長手方向と交差する方向に伸びる平面視で線状をなす傾斜面であって前記第2の領域の前記途中の一部に対応する位置に設けられた第1の傾斜面と、前記第2の領域の長手方向と交差する方向に伸びる平面視で線状をなす第2の傾斜面と、を形成する工程と、
前記硬化性樹脂層のうち、硬化させなかった前記硬化前の硬化性樹脂材料を除去する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。 - 前記光導波路は、前記各コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部を有するものであり、
当該光導波路の製造方法は、さらに、前記クラッド部を設ける工程を有する請求項1または2に記載の光導波路の製造方法。 - 前記クラッド部は、前記第2のコア部が途切れた部分を充填するよう構成されている請求項3に記載の光導波路の製造方法。
- 前記硬化性樹脂材料は、光硬化性を有するものであり、
前記硬化処理は、硬化させるべき領域またはその領域の反転領域に光を照射する処理である請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光導波路の製造方法。 - 前記ミラーは、前記各コア部を横切る面と、その上に成膜された反射膜と、を備えたものであり、
当該光導波路の製造方法は、さらに、前記反射膜を成膜する工程を有する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光導波路の製造方法。
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