JP2009251033A - 光導波路の製造方法、光導波路及び光送受信装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のクラッド層と、前記第1のクラッド層上に形成された、光が伝搬する層であるコア層と、前記コア層を覆うように前記第1のクラッド層上に形成された第2のクラッド層と、前記コア層を伝搬する前記光の伝搬方向を変換する光伝搬方向変換部とを有する光導波路の製造方法であって、前記第1のクラッド層及び前記コア層を貫通する凹部を形成する凹部形成工程と、前記光伝搬方向変換部の光伝搬方向変換面が、所定の基準面に対して所定の傾斜角をなすように、前記凹部に前記光伝搬方向変換部を挿入する挿入工程と、を有することを特徴とする
【選択図】図10
Description
図2は本発明の第1の実施の形態に係る光導波路10を有する光送受信装置20を例示する断面図である。図3は本発明の第1の実施の形態に係る光導波路10を例示する平面図である。図2及び図3を参照するに、光送受信装置20は、光導波路10と、発光部21aを有する発光素子21と、受光部22aを有する受光素子22とから構成されている。
図11は本発明の第2の実施の形態に係る光導波路30を有する光送受信装置40を例示する断面図である。図12は本発明の第2の実施の形態に係る光導波路30を例示する平面図である。図11及び図12を参照するに、光送受信装置30は、光導波路30と、複数の発光部41aを有する発光素子アレイ41と、複数の受光部42aを有する受光素子アレイ42とから構成されている。
11,31,101 支持基板
12,12a,32,102 コア層
12c,32c コア層12,32の下面
13,33,103 クラッド層
13a,33a,103a 第1クラッド層
13b,33b,103b 第2クラッド層
13c,33c 第2クラッド層13b,33bの上面
14,15,34,35 光伝搬方向変換部
14a,15a,34a,35a 光伝搬方向変換部14,15,34,35の光伝搬方向変換面
16,17,36,37 封止部
16a,17a,36a,37a 封止部16,17,36,37の上面
18,19 凹部
20,40,200 光送受信装置
21,201 発光素子
21a,41a,201a 発光部
22,202 受光素子
22a,42a,202a 受光部
41 発光素子アレイ
42 受光素子アレイ
106,107 金属層
θ1 角度
D1,D2,D3,D4 奥行き
Claims (10)
- 第1のクラッド層と、前記第1のクラッド層上に形成された、光が伝搬する層であるコア層と、前記コア層を覆うように前記第1のクラッド層上に形成された第2のクラッド層と、前記コア層を伝搬する前記光の伝搬方向を変換する光伝搬方向変換部とを有する光導波路の製造方法であって、
前記第1のクラッド層及び前記コア層を貫通する凹部を形成する凹部形成工程と、
前記光伝搬方向変換部の光伝搬方向変換面が、所定の基準面に対して所定の傾斜角をなすように、前記凹部に前記光伝搬方向変換部を挿入する挿入工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。 - 更に、前記光伝搬方向変換部を封止する封止工程を有することを特徴とする請求項1記載の光導波路の製造方法。
- 前記封止工程は、前記光伝搬方向変換部上に、前記コア層の屈折率と同等の屈折率を有する封止剤を塗布し、硬化する工程であることを特徴とする請求項2記載の光導波路の製造方法。
- 前記光伝搬方向変換部は、金属片からなり、前記光伝搬方向変換面は、前記金属片を構成する一つの平面であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項記載の光導波路の製造方法。
- 前記光伝搬方向変換面上に、金属層が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項記載の光導波路の製造方法。
- 第1のクラッド層と、前記第1のクラッド層上に形成された、光が伝搬する層であるコア層と、前記コア層を覆うように前記第1のクラッド層上に形成された第2のクラッド層と、前記コア層を伝搬する前記光の伝搬方向を変換する光伝搬方向変換部とを有する光導波路であって、
前記光伝搬方向変換部は、前記コア層を貫通するとともに、前記光伝搬方向変換部の光伝搬方向変換面が、所定の基準面に対して所定の傾斜角をなすように配置されていることを特徴とする光導波路。 - 更に、前記光伝搬方向変換部を封止する封止部を有することを特徴とする請求項6記載の光導波路。
- 前記封止部は、前記コア層の屈折率と同等の屈折率を有する封止剤から構成されていることを特徴とする請求項7記載の光導波路。
- 前記コア層は、前記第1のクラッド層上に複数個並設され、前記第2のクラッド層は、複数個の前記コア層を覆うように形成されていることを特徴とする請求項6乃至8の何れか一項記載の光導波路。
- 2つの前記光伝搬方向変換部を有する請求項6乃至9の何れか一項記載の光導波路と、発光素子と、受光素子と、基板とを有する光送受信装置であって、
前記光導波路は前記基板上に形成されており、前記発光素子は前記光導波路上に、一方の前記光伝搬方向変換部に対して光を照射可能に配置され、前記受光素子は前記光導波路上に、他方の前記光伝搬方向変換部で伝搬方向を変換された前記光を受光可能に配置されていることを特徴とする光送受信装置。
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