JP6076788B2 - 被検査基板の基板固定装置およびその基板固定方法 - Google Patents
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Description
駆動手段により、基板チャック部を、その狭持面が支持プレート部の先端部よりも後退した非チャック位置と、狭持面が非チャック位置から支持プレート部の先端部にまで前進するチャック位置とに駆動するようにし、
基板チャック部がチャック位置に前進して、その狭持面が被検査基板に当接した際に生ずる反力にて、支持プレート部が付勢手段に抗して反開口部側に後退するようにしたことにより、被検査基板をその底面全体が開口部内に露出するようにして固定することができる。
20 基台
21 基台面
22 支持台
30 基板保持部
31 支持プレート部
311 突出片
312 載置エリア
32 基板チャック部
321 狭持面
40 付勢手段
50 駆動手段
51 ガイドロッド
52 シリンダ室
53 エア給排出口
P 基板
Pe 側縁部
Pf 端面
S 開口部
Claims (6)
- 被検査基板の底面側の検査領域を露出させる開口部を備える基台と、上記開口部を挟んで上記基台上に配置される一対の基板保持部とを含み、上記一対の基板保持部により上記被検査基板の対向する側縁部を狭持して、上記被検査基板を上記開口部の位置に固定するようにした被検査基板の基板固定装置において、
上記基板保持部の各々は、上記基台上に上記開口部側に向けて進退可能に配設され、所定の付勢手段により常時開口部側に向けて付勢される支持プレート部と、上記被検査基板の対向する側縁部の端面と面接触可能な狭持面を有するとともに、上記支持プレート部上で所定の駆動手段により上記開口部側に向けて進退するように駆動される基板チャック部とを有し、
上記基板チャック部は、上記駆動手段により、上記狭持面が上記支持プレート部の先端部よりも後退した非チャック位置と、上記狭持面が上記非チャック位置から上記支持プレート部の先端部にまで前進するチャック位置とに駆動され、
上記基板チャック部が上記チャック位置に前進して、上記狭持面が上記被検査基板に当接した際に生ずる反力にて上記支持プレート部が上記付勢手段に抗して反開口部側に後退することを特徴とする被検査基板の基板固定装置。 - 上記駆動手段より上記基板チャック部にかけられる上記チャック位置に向けての推力をFc,上記付勢手段により上記支持プレート部にかけられる上記開口部に向けての推力をFsして、Fc>Fsであることを特徴とする請求項1に記載の被検査基板の基板固定装置。
- 上記付勢手段が圧縮ばねであることを特徴とする請求項1または2に記載の被検査基板の基板固定装置。
- 上記駆動手段がエアシリンダもしくは油圧シリンダであることを特徴とする請求項1または2に記載の被検査基板の基板固定装置。
- 上記基台と上記支持プレート部との間および上記支持プレート部と上記基板チャック部との間には、それぞれ直線運動ガイド手段が設けられていることを特徴とする請求項1,2,3または4のいずれか1項に記載の被検査基板の基板固定装置。
- 被検査基板の底面側の検査領域を露出させる開口部を備える基台と、上記開口部を挟んで上記基台上に配置される一対の基板保持部とを含み、上記一対の基板保持部により上記被検査基板の対向する側縁部を狭持して、上記被検査基板を上記開口部の位置に固定するようにした被検査基板の基板固定方法において、
上記基板保持部の各々は、上記基台上に上記開口部側に向かって進退可能に配設され、所定の付勢手段により常時上記開口部側に向けて付勢され支持プレート部と、上記被検査基板の対向する側縁部の端面と面接触可能な狭持面を有するとともに、上記支持プレート部上で所定の駆動手段により上記開口部側に向けて進退するように駆動される基板チャック部とを有し、
上記基板チャック部は、上記駆動手段により、上記狭持面が上記支持プレート部の先端部よりも後退した非チャック位置と、上記狭持面が上記非チャック位置から上記支持プレート部の先端部にまで前進するチャック位置とに駆動され、上記駆動手段により上記基板チャック部にかけられる上記チャック位置に向けての推力をFc,上記付勢手段により上記支持プレート部にかけられる上記開口部側に向けての推力をFsとしてFc>Fsであり、
上記基板チャック部を上記非チャック位置として、上記被検査基板の対向する側縁部を上記支持プレート部の先端部側に跨がるように載置したのち、上記基板チャック部を上記チャック位置にまで前進させて上記基板チャック部の上記狭持面間で上記被検査基板を狭持して固定し、これに伴って上記支持プレート部が上記付勢手段の推力に抗して反開口部側に後退し、上記被検査基板の底面全体が上記開口部内に露出するようにしたことを特徴とする被検査基板の基板固定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013061272A JP6076788B2 (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 被検査基板の基板固定装置およびその基板固定方法 |
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JP2014185950A JP2014185950A (ja) | 2014-10-02 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6076788B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220060732A (ko) * | 2020-11-05 | 2022-05-12 | 에이엠티 주식회사 | 3d비젼 테스트핸들러의 pcb 모듈 정렬장치 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3175058B2 (ja) * | 1991-10-16 | 2001-06-11 | 株式会社ニコン | 基板の位置決め装置および基板の位置決め方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014185950A (ja) | 2014-10-02 |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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