JP6073281B2 - インピーダンスマッチング方法及びこの方法のためのマッチングシステム - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
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Description
101、101a、101b;負荷
102、102a、102b;電源
103;送信線
104、104a、104b;マッチングシステム
111;第1可変キャパシタ
112;第2可変キャパシタ
115;受動素子
116;キャパシタ
117、118;インダクター
141;センサ部
200;処理部
201,201a、201b;測定結果分析部
202;特性ベクトル抽出部
203;変位ベクトル抽出部
204;駆動ベクトル抽出部
205、205a、205b;制御部
206、206a、206b;入出力信号処理部
207、207a、207b;データ格納所
210、210a、210b;ノイズ除去部
211、211a、211b;パルスモード処理部
212、212a、212b;制御パラメーター抽出部
301、301a、301b、302、302a、302b;可変リアクティブ素子
900;チャンバー装置
901;チャンバー
911;上部電極
912;下部電極
921;上部電源
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941;上部センサ部
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951;上部マッチングシステム
952;下部マッチングシステム
Claims (15)
- 電源、負荷、送信線及びマッチングシステムを含む電気装置のマッチング方法であって、
前記送信線の電気的特性を測定するステップと、
前記電源のパルスモードを判断するステップと、
前記送信線の電気的特性からインピーダンスマッチングのための制御パラメーターを抽出するステップと、
前記制御パラメーターを使用して前記マッチングシステムを制御するステップと、を含み、
前記マッチングシステムは、前記パルスモードに応じて異なるように制御される、
前記電源のパルスモードを判断するステップは、
前記電源がオン状態(on state)であるオンタイム区間と前記電源がオフ状態(o
ff state)であるオフタイム(off time)区間とを判別するステップを含むことを特徴とするマッチング方法。 - 前記電源のパルスモードを判断するステップは、
前記電源がi番目のオン状態からi+1番目のオン状態になるまでの時間の間の間隔で定義されるパルス周期を判断するステップをさらに含み、
前記パルス周期に応じて前記制御パラメーターを異なるように設定して、前記マッチングシステムを制御することを特徴とする請求項1に記載のマッチング方法。 - 前記電源のパルスモードを判断するステップは、
前記パルス周期が所定の時間より大きな場合に、スローパルスモードと判断し、前記パルス周期が前記所定の時間より小さな場合には、ファーストパルスモードと判断するステップをさらに含み、
前記電源のパルスモードに応じて前記制御パラメーターを異なるように設定して前記マッチングシステムを制御することを特徴とする請求項2に記載のマッチング方法。 - 前記パルスモードが前記スローパルスモードである場合に、前記電源がオフタイム区間にある間に前記マッチングシステムをアイドル状態にするステップを含むことを特徴とする請求項3に記載のマッチング方法。
- 前記パルスモードが前記ファーストパルスモードである場合に、前記電源がオフタイム区間にある間に前記制御パラメーターを使用して前記マッチングシステムを制御するステップを含むことを特徴とする請求項3に記載のマッチング方法。
- 前記電源のオフタイムが臨界オフタイムC_OFF_T以上持続すると、前記制御パラメーターをプリセット状態に設定して前記マッチングシステムを制御することを特徴とする請求項1に記載のマッチング方法。
- 前記電源のパルスモードを処理するステップは、
前記電源のパルスモードの発生前に、一定時間のCWモードを行うステップをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のマッチング方法。 - 前記送信線の電気的特性を測定するステップは、
前記送信線のノイズを除去することをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のマッチング方法。 - 前記送信線のノイズを除去することは、ロックイン感知を利用することを特徴とする請求項8に記載のマッチング方法。
- 前記送信線の電気的特性からインピーダンスマッチングのための制御パラメーターを抽出するステップは、
送信線の電気的特性を規格化された特性ベクトルに変換するステップと、
分析座標系で特性ベクトルを分析して、変位ベクトルを抽出するステップと、
変位ベクトルを換算された素子ベクトルに変換するステップと、
前記換算された素子ベクトルを駆動ベクトルに変換するステップと、を含むことを特徴とする請求項1に記載のマッチング方法。 - 前記送信線の電気的特性からインピーダンスマッチングのための制御パラメーターを抽出するステップは、
インピーダンスの絶対値を特性インピーダンスと比較して、制御パラメーターを抽出するステップと、
インピーダンスの位相を基準値と比較して、制御パラメーターを抽出するステップと、を含むことを特徴とする請求項1に記載のマッチング方法。 - 前記送信線の電気的特性からインピーダンスマッチングのための制御パラメーターを抽出するステップは、
インピーダンスを利用して負荷のインピーダンスを計算するステップと、
前記負荷のインピーダンスを利用して、制御パラメーターを抽出するステップと、を含むことを特徴とする請求項1に記載のマッチング方法。 - 電源、負荷、送信線及びマッチングシステムを含む電気装置であって、
前記送信線の電気的特性を測定するセンサ部と、
前記電気的特性を処理する測定結果分析部と、
前記電源に応じてパルスモードを処理するパルスモード処理部と、
前記送信線の電気的特性からインピーダンスマッチングのための制御パラメーターを抽出する制御パラメーター抽出部と、
前記パルスモードに応じて前記制御パラメーターを使用して、前記マッチングシステムを制御する制御部と、を備える、
前記パルスモード処理部は、
前記電源がオン状態であるオンタイム区間と前記電源がオフ状態であるオフタイム区間とを判別するように構成されることを特徴とするマッチング装置。 - 前記パルスモード処理部は、
パルスの周期が所定の時間より大きな場合にスローモードと判断し、前記パルスの周期が所定の時間より小さな場合にはファーストモードと判断し、
前記電源のパルスモードに応じて異なるように制御パラメーターを設定するように構成されることを特徴とする請求項13に記載のマッチング装置。 - 前記測定結果分析部は、
前記送信線の電気的特性からノイズを除去するノイズ除去部をさらに備えることを特徴とする請求項13に記載のマッチング装置。
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