JP6072462B2 - プラズマ処理装置およびマイクロ波出力装置 - Google Patents
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Description
図3を用いてマイクロ波出力装置の変形例を説明する。図3は、図1に示す実施例に係るマイクロ波出力装置の変形例を示すブロック図である。
図8を用いて、図2に示す実施例の別の変形例について説明する。図8は、図2に示す実施例に係るマイクロ波出力装置の別の変形例を模式的に示すブロック図である。
2・・・一次整流平滑回路
3・・・スイッチング回路
4・・・昇圧トランス
5・・・二次整流平滑回路
6・・・アノード電流検出回路
7・・・マグネトロン
8・・・マイクロ波出力検出器
9・・・誤差アンプ
10・・・高圧電源
11・・・出力指令信号
12・・・アノード電流モニタ信号
13・・・マイクロ波出力モニタ信号
14・・・マイクロ波出力
15・・・出力制御信号
16・・・交流成分検出回路
17・・・検波回路
18・・・アラーム信号
20・・・フィラメント電源
21・・・上位制御装置
100・・・プラズマ処理装置
101・・・真空容器
102・・・導波管
103・・・真空ポンプ
104・・・磁場コイル
105・・・マイクロ波出力装置
106・・・マイクロ波透過部材
107・・・プラズマ
108・・・ウエハ
109・・・ウエハステージ
110・・・RFバイアス電源
112・・・マイクロ波自動整合器
113・・・アイソレータ
121・・・円偏波発生器
122・・・処理室
123・・・空洞共振部。
Claims (8)
- マグネトロンにより形成したマイクロ波を用いて処理室内にプラズマを形成して前記処理室内に配置されたウエハを処理するプラズマ処理装置であって、
前記マグネトロンに高圧電力を供給する高圧電源と前記マグネトロンからのマイクロ波出力を検出する検出器とを有し、この検出器からの出力及び前記高圧電源の出力から検出した電流の交流成分を加えた信号と前記高圧電源の出力の設定値とを比較した結果に基づいて前記高圧電源の出力を調節するプラズマ処理装置。
- 請求項1に記載のプラズマ処理装置であって、前記検出器からの出力及び前記高圧電源から出力されるアノード電流の交流成分を加えた信号と前記高圧電源の出力の設定値とを比較した結果に基づいて前記高圧電源の出力を調節するプラズマ処理装置。
- マグネトロンにより形成したマイクロ波を用いて処理室内にプラズマを形成して前記処理室内に配置されたウエハを処理するプラズマ処理装置であって、
前記マグネトロンに高圧電力を供給する高圧電源と前記マグネトロンからのマイクロ波出力を検出する検出器とを有し、この検出器からの出力と前記高圧電源の出力の設定値とを比較した結果得られた信号と前記高圧電源の出力から検出した電流の値を示す信号とを比較した結果に基づいて前記高圧電源の出力を調節するプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至3の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、前記高圧電源の出力からの電流の交流成分を検波して得られた信号をアラーム信号として出力するプラズマ処理装置。
- マグネトロンにより形成したマイクロ波を用いて処理室内にプラズマを形成して前記処理室内に配置されたウエハを処理するプラズマ処理装置に用いられるマイクロ波出力装置であって、
前記マグネトロンに高圧電力を供給する高圧電源と前記マグネトロンからのマイクロ波出力を検出する検出器とを有し、この検出器からの出力及び前記高圧電源の出力から検出した電流の交流成分を加えた信号と前記高圧電源の出力の設定値とを比較した結果に基づいて前記高圧電源の出力を調節するマイクロ波出力装置。
- 請求項5に記載のマイクロ波出力装置であって、前記検出器からの出力及び前記高圧電源から出力されるアノード電流の交流成分を加えた信号と前記高圧電源の出力の設定値とを比較した結果に基づいて前記高圧電源の出力を調節するマイクロ波出力装置。
- マグネトロンにより形成したマイクロ波を用いて処理室内にプラズマを形成して前記処理室内に配置されたウエハを処理するプラズマ処理装置に用いられるマイクロ波出力装置であって、
前記マグネトロンに高圧電力を供給する高圧電源と前記マグネトロンからのマイクロ波出力を検出する検出器とを有し、この検出器からの出力と前記高圧電源の出力の設定値とを比較した結果得られた信号と前記高圧電源の出力から検出した電流の値を示す信号とを比較した結果に基づいて前記高圧電源の出力を調節するマイクロ波出力装置。
- 請求項5乃至7の何れかに記載のマイクロ波出力装置であって、前記高圧電源の出力からの電流の交流成分を検波して得られた信号をアラーム信号として出力するマイクロ波出力装置。
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