JP6067001B2 - 薄層の厚さを測定する測定プローブ - Google Patents
薄層の厚さを測定する測定プローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6067001B2 JP6067001B2 JP2014511869A JP2014511869A JP6067001B2 JP 6067001 B2 JP6067001 B2 JP 6067001B2 JP 2014511869 A JP2014511869 A JP 2014511869A JP 2014511869 A JP2014511869 A JP 2014511869A JP 6067001 B2 JP6067001 B2 JP 6067001B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- winding device
- pot core
- probe according
- carrier
- cap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 48
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 66
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 52
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 20
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 7
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- CVOFKRWYWCSDMA-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-n-(2,6-diethylphenyl)-n-(methoxymethyl)acetamide;2,6-dinitro-n,n-dipropyl-4-(trifluoromethyl)aniline Chemical compound CCC1=CC=CC(CC)=C1N(COC)C(=O)CCl.CCCN(CCC)C1=C([N+]([O-])=O)C=C(C(F)(F)F)C=C1[N+]([O-])=O CVOFKRWYWCSDMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001739 density measurement Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
- G01B7/105—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring thickness of coating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49071—Electromagnet, transformer or inductor by winding or coiling
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Description
Claims (16)
- 少なくとも1つセンサ要素(17)を備えた筐体(14)を有し、前記センサ要素(17)は、縦軸(16)に沿って少なくともわずかに移動可能に受けられ、少なくとも1つの第1の巻き取り装置(44)を備え、前記センサ要素(17)は、前記筐体(14)の前記縦軸(16)に配置される磁性ポットコア(41)を有し、前記磁性ポットコア(41)の中心ピン(42)に、第1及び第2のコイル(70、71)が割り振られ、前記中心ピン(42)に、測定すべき物体の測定面を向いた球形位置決めキャップ(21)を有し、前記キャップ(21)は、測定面に対する軸受け表面(57)を備える、薄層の厚さを測定する測定プローブであって、第2の巻き取り装置(48)が、前記球形位置決めキャップ(21)に提供され割り振られ、前記第2の巻き取り装置(48)は、少なくとも1つの第1のアルキメデスコイル(51)を有する円盤状又は環状キャリア(49)から形成されることと、シールドが、少なくとも部分的に前記第1の巻き取り装置(44)と前記第2の巻き取り装置(48)との間に提供されることと、前記球形位置決めキャップ(21)に、フェライト材料から作られたスリーブ(83)が提供され、前記スリーブが、前記第2の巻き取り装置(48)に向かう半径方向において前記シールドを形成することを特徴とする、測定プローブ。
- 前記球形位置決めキャップ(21)が、軟磁性材料から製造され、ポットコア(41)の中心ピン(42)の一部であるか、又は前記ポットコア(41)の前記中心ピン(42)に固定されることを特徴とする、請求項1に記載の測定プローブ。
- 前記球形位置決めキャップ(21)が、前記軸受表面(57)に、硬質金属コーティングにより形成されるポルキャップ(58)を有することを特徴とする、請求項1に記載の測定プローブ。
- 前記球形位置決めキャップ(21)が、前記軸受け表面(57)に、硬質金属芯又は硬質金属ピン(59)により形成されるポルキャップ(58)を有し、前記ポルキャップ(58)は、少なくとも部分的に、前記ポットコア(41)の方向において前記軸受け表面(57)から前記球形位置決めキャップ(21)の前記縦軸(16)に沿って延びることを特徴とする、請求項1に記載の測定プローブ。
- 前記球形位置決めキャップ(21)が、前記軸受け表面(57)と位置合わせして、周縁が先細りする領域(81)を有し、前記領域(81)に、前記スリーブ(83)が提供されることを特徴とする、請求項1に記載の測定プローブ。
- 前記スリーブ(83)の自由前面が、前記球形位置決めキャップ(21)の前記軸受け表面(57)によって丸められることを特徴とする、請求項5に記載の測定プローブ。
- 前記スリーブ(83)が、前記ポットコア(41)に向かう方向において前記軸受け表面(57)から延び、前記スリーブ(83)の長さは、前記第2の巻き取り装置(48)の厚さよりも大きいことを特徴とする、請求項5に記載の測定プローブ。
- 前記第2の巻き取り装置(48)が、前記軸受け表面(57)の近傍に、前記球形位置決めキャップ(21)に対して前記スリーブ(83)の領域に位置決めされることを特徴とする、請求項5に記載の測定プローブ。
- フェライト材料から作られた遮蔽要素(85)が、前記ポットコア(41)内の前記第1の巻き取り装置(44)と前記第2の巻き取り装置(48)との間に提供され、前記第2の巻き取り装置(48)に向かう軸方向において前記シールドを形成することを特徴とする、請求項1に記載の測定プローブ。
- 前記遮蔽要素(85)が、環状体又は円盤体として形成され、前記中心ピン(42)から前記ポットコア(41)の円筒形内壁部に延びることを特徴とする、請求項9に記載の測定プローブ。
- 重複領域(86)が、前記遮蔽要素(85)と前記スリーブ(83)との間に形成されることを特徴とする、請求項10に記載の測定プローブ。
- 少なくとも1つの第2のアルキメデスコイル(50)が前記キャリア(49)に提供され、前記少なくとも1つの第1のアルキメデスコイル(51)を囲み、前記キャリア(49)と同じ側又は逆側に配置されることを特徴とする、請求項1に記載の測定プローブ。
- 少なくとも1つの第2のアルキメデスコイル(50)が前記キャリア(49)に提供され、前記少なくとも1つの第1のアルキメデスコイル(51)の逆側で前記キャリア(49)に配置され、第1のアルキメデスコイル(51)に少なくとも部分的に重なることを特徴とする、請求項1に記載の測定プローブ。
- 前記キャリア(49)が、半導電材料からなり、前記第1又は第2の巻き取り装置(44、48)の実装回路を備えることを特徴とする、請求項1に記載の測定プローブ。
- 前記キャリア(49)が、ポットコア(41)の外側、前記ポットコア(41)内、又は前記筐体(14)の外側を向いた前記ポットコア(41)の前面に配置され、又は少なくとも1つの第2のアルキメデスコイル(50)が前記キャリア(49)に提供され、前記キャリア(49)が、前記第2の巻き取り装置(48)の前記第1のアルキメデスコイル(51)と前記第2のアルキメデスコイル(50)との間に配置されることを特徴とする、請求項14に記載の測定プローブ。
- 保持要素(18)が、第1の面を向いた前記ポットコア(41)の前面又は前記ポットコア(41)の一部に配置され、前記筐体(14)に対して前記センサ要素(17)を受けることを特徴とする、請求項1に記載の測定プローブ。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102011103122.0 | 2011-05-25 | ||
DE102011103123.9 | 2011-05-25 | ||
DE102011103122A DE102011103122A1 (de) | 2011-05-25 | 2011-05-25 | Aufsetzkalotte für eine Messsonde sowie Messsonde zur Messung der Dicke dünner Schichten |
DE102011103123A DE102011103123A1 (de) | 2011-05-25 | 2011-05-25 | Messsonde zur Messung der Dicke dünner Schichten sowie ein Sensorelement für die Messsonde und ein Verfahren zu deren Herstellung |
PCT/EP2012/059690 WO2012160131A1 (de) | 2011-05-25 | 2012-05-24 | Messsonde zur messung der dicke dünner schichten |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014515481A JP2014515481A (ja) | 2014-06-30 |
JP6067001B2 true JP6067001B2 (ja) | 2017-01-25 |
Family
ID=46246048
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014511870A Pending JP2014516157A (ja) | 2011-05-25 | 2012-05-24 | 薄層の厚さを測定する測定プローブ及び測定プローブのセンサ要素の製造方法 |
JP2014511869A Active JP6067001B2 (ja) | 2011-05-25 | 2012-05-24 | 薄層の厚さを測定する測定プローブ |
JP2017074977A Active JP6437586B2 (ja) | 2011-05-25 | 2017-04-05 | 薄層の厚さを測定する測定プローブ及び測定プローブのセンサ要素の製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014511870A Pending JP2014516157A (ja) | 2011-05-25 | 2012-05-24 | 薄層の厚さを測定する測定プローブ及び測定プローブのセンサ要素の製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017074977A Active JP6437586B2 (ja) | 2011-05-25 | 2017-04-05 | 薄層の厚さを測定する測定プローブ及び測定プローブのセンサ要素の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9605940B2 (ja) |
EP (2) | EP2715334B1 (ja) |
JP (3) | JP2014516157A (ja) |
CN (2) | CN103718035B (ja) |
ES (1) | ES2763330T3 (ja) |
WO (2) | WO2012160131A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9605940B2 (en) * | 2011-05-25 | 2017-03-28 | Helmut Fischer GbmH Institut für Elektronik und Messtechnik | Measuring probe for measuring the thickness of thin layers, and method for the production of a sensor element for the measuring probe |
CN103712549A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-04-09 | 江苏瑞新科技股份有限公司 | 一种共轭磁介质电涡流传感器 |
EP2887007B1 (fr) * | 2013-12-19 | 2017-08-02 | Montres Breguet SA | Dispositif de posage pour le contrôle de composants |
US10391610B2 (en) * | 2016-10-21 | 2019-08-27 | Applied Materials, Inc. | Core configuration for in-situ electromagnetic induction monitoring system |
CN106441179A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-02-22 | 武汉优凯检测技术有限公司 | 一种用于球墨铸管测厚的电磁超声换能器 |
US10739381B2 (en) | 2017-05-26 | 2020-08-11 | Tektronix, Inc. | Component attachment technique using a UV-cure conductive adhesive |
US10760445B2 (en) * | 2017-08-03 | 2020-09-01 | Raytheon Technologies Corporation | Electrical resistance wear indicator |
DE102017129150B4 (de) * | 2017-12-07 | 2020-03-05 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke von nicht magnetisierbaren Schichten auf einem magnetisierbaren Grundwerkstoff |
CN110319795B (zh) * | 2018-03-29 | 2021-10-19 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种钢板涂层厚度的测量方法和*** |
DE102019112146B3 (de) * | 2019-05-09 | 2020-09-10 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Vorrichtung zum Messen eines Drehmoments und Spannungswellengetriebe mit dieser Vorrichtung |
DE102019210301A1 (de) * | 2019-07-11 | 2021-01-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Sensoranordnung zum Erfassen einer Auslenkung einer Drahtelektrode |
CN113109424B (zh) * | 2021-04-13 | 2023-06-02 | 广州市果欧电子科技有限公司 | 一种钢结构焊缝检测方法及检测*** |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2933677A (en) * | 1955-08-26 | 1960-04-19 | Unit Process Assemblies | Probe for a thickness testing gage |
US3855561A (en) * | 1971-12-29 | 1974-12-17 | Siemens Ag | High frequency coil having an adjustable ferrite pot core |
DE2410047A1 (de) * | 1974-03-02 | 1975-09-11 | Nix Steingroeve Elektro Physik | Elektromagnetischer schichtdickenmesser mit umschaltbarer mess-frequenz |
DE2556340A1 (de) * | 1975-12-13 | 1977-06-16 | Fischer Gmbh & Co Helmut | Endstueck fuer messtaster |
JPS52155561U (ja) * | 1976-05-20 | 1977-11-25 | ||
JPS52155561A (en) | 1976-06-21 | 1977-12-24 | Ishikawajima Kenzai Kogyo Kk | Apparatus for detecting position between two points |
US4829251A (en) * | 1983-08-31 | 1989-05-09 | Helmut Fischer | Electromagnetic probe for measuring the thickness of thin coatings on magnetic substrates |
DE3331407A1 (de) | 1983-08-31 | 1985-03-14 | Helmut Fischer GmbH & Co Institut für Elektronik und Meßtechnik, 7032 Sindelfingen | Elektromagnetische mess-sonde |
DE3408554C2 (de) * | 1984-03-08 | 1994-02-17 | Helmut Fischer Gmbh & Co | Vorrichtung zum Messen des Eindringverhaltens eines Prüfkörpers in einen zerstörungsfrei zu prüfenden Stoff |
US4618825A (en) * | 1984-10-11 | 1986-10-21 | Helmut Fischer | Electro-magnetic thickness measuring probe |
CH667727A5 (de) | 1985-05-28 | 1988-10-31 | Zellweger Uster Ag | Messkopf zur induktiven messung der dicke einer isolierenden schicht auf einem elektrischen leiter. |
DE4119903C5 (de) * | 1991-06-17 | 2005-06-30 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Messung dünner Schichten |
DE9206076U1 (de) * | 1992-05-07 | 1993-09-09 | Hermann Gmbh Co Heinrich | Etikettiermaschine |
GB9520515D0 (en) * | 1995-10-05 | 1995-12-13 | Elcometer Instr Ltd | A thickness coating measuring instrument |
JPH10335128A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-12-18 | Tdk Corp | 圧粉コア用強磁性粉末、圧粉コアおよびその製造方法 |
SE515190C2 (sv) | 1998-11-26 | 2001-06-25 | Westinghouse Atom Ab | Användning av en elektrisk spole som mäter materialparametrar medelst en induktiv virvelströmsmetod |
JP3504904B2 (ja) * | 2000-03-13 | 2004-03-08 | 株式会社ミツトヨ | 誘導型トランスデューサ及び電子ノギス |
DE10014348B4 (de) | 2000-03-24 | 2009-03-12 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten |
JP4874465B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2012-02-15 | 株式会社東芝 | 渦電流損失測定センサ |
US6593738B2 (en) | 2001-09-17 | 2003-07-15 | Boris Kesil | Method and apparatus for measuring thickness of conductive films with the use of inductive and capacitive sensors |
GB2397652B (en) * | 2002-11-15 | 2005-12-21 | Immobilienges Helmut Fischer | Measurement probe for measurement of the thickness of thin layers |
DE10348652B4 (de) | 2002-11-15 | 2015-12-03 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Messsonde, insbesondere für eine Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten |
JP4390614B2 (ja) * | 2004-01-16 | 2009-12-24 | 株式会社アルバック | 膜厚測定装置 |
JP2006266278A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Ntn Corp | センサ付車輪用軸受 |
DE102005054593B4 (de) * | 2005-11-14 | 2018-04-26 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Messonde zur Messung der Dicke dünner Schichten |
DE102006022882B4 (de) * | 2006-05-15 | 2016-04-14 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Schichten mit einer Messsonde |
WO2010044670A2 (en) * | 2008-10-16 | 2010-04-22 | Automatic Electric Europe Special Products B.V. | Method and device for a controllable coil and/or capacitor and/or circuit |
CN101398286A (zh) * | 2008-11-10 | 2009-04-01 | 王洋 | 用于非铁磁性材料的厚度以及铁制品表面涂层厚度测量的仪器 |
DE102008058369B3 (de) * | 2008-11-20 | 2010-04-08 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik | Vorrichtung und Verfahren zur Messung mechanischer Eigenschaften von Materialien |
US9605940B2 (en) * | 2011-05-25 | 2017-03-28 | Helmut Fischer GbmH Institut für Elektronik und Messtechnik | Measuring probe for measuring the thickness of thin layers, and method for the production of a sensor element for the measuring probe |
-
2012
- 2012-05-24 US US14/119,953 patent/US9605940B2/en active Active
- 2012-05-24 EP EP12726766.4A patent/EP2715334B1/de active Active
- 2012-05-24 WO PCT/EP2012/059690 patent/WO2012160131A1/de active Application Filing
- 2012-05-24 ES ES12726767T patent/ES2763330T3/es active Active
- 2012-05-24 CN CN201280025307.6A patent/CN103718035B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-05-24 JP JP2014511870A patent/JP2014516157A/ja active Pending
- 2012-05-24 CN CN201280025302.3A patent/CN103703362B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-05-24 US US14/119,971 patent/US9435629B2/en active Active
- 2012-05-24 WO PCT/EP2012/059691 patent/WO2012160132A1/de active Application Filing
- 2012-05-24 EP EP12726767.2A patent/EP2715335B1/de active Active
- 2012-05-24 JP JP2014511869A patent/JP6067001B2/ja active Active
-
2017
- 2017-04-05 JP JP2017074977A patent/JP6437586B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2715335A1 (de) | 2014-04-09 |
US9605940B2 (en) | 2017-03-28 |
US20140225602A1 (en) | 2014-08-14 |
US9435629B2 (en) | 2016-09-06 |
WO2012160131A1 (de) | 2012-11-29 |
CN103718035A (zh) | 2014-04-09 |
EP2715335B1 (de) | 2019-10-16 |
JP2014516157A (ja) | 2014-07-07 |
JP2014515481A (ja) | 2014-06-30 |
CN103703362B (zh) | 2017-02-15 |
WO2012160132A1 (de) | 2012-11-29 |
CN103703362A (zh) | 2014-04-02 |
ES2763330T3 (es) | 2020-05-28 |
EP2715334B1 (de) | 2020-04-08 |
US20140203802A1 (en) | 2014-07-24 |
JP2017142258A (ja) | 2017-08-17 |
JP6437586B2 (ja) | 2018-12-12 |
CN103718035B (zh) | 2017-02-15 |
EP2715334A1 (de) | 2014-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6067001B2 (ja) | 薄層の厚さを測定する測定プローブ | |
US7472491B2 (en) | Measuring probe, especially for a device for the measurement of the thickness of thin layers | |
US7690243B2 (en) | Method and apparatus for measurement of the thickness of thin layers by means of measurement probe | |
JP2006317283A (ja) | ポジションセンサ用の検出部、及びそれを用いたポジションセンサ | |
JP3583671B2 (ja) | トルク検出装置 | |
JPH05126505A (ja) | 誘導式測長機 | |
JP3948444B2 (ja) | 近接スイッチ | |
JP2006317284A (ja) | ポジションセンサ用の検出部、及びそれを用いたポジションセンサ | |
JP6778339B2 (ja) | 位置検出装置 | |
RU2204131C2 (ru) | Электромагнитный преобразователь | |
JP2011002348A (ja) | 磁気センサおよび電流測定装置 | |
CN221173257U (zh) | 含有磁感应和涡流效应传感器且装有红宝石的测厚探头 | |
CA3043115A1 (en) | Sensor head for eddy current sensors | |
JP2013003127A (ja) | 電気計測器の電線固定構造 | |
EP1943477A1 (en) | Device for non-destructively examining an object | |
US11747173B2 (en) | Scale and manufacturing method of the same | |
US20220082411A1 (en) | Scale | |
DE102011103123A1 (de) | Messsonde zur Messung der Dicke dünner Schichten sowie ein Sensorelement für die Messsonde und ein Verfahren zu deren Herstellung | |
JP6853441B2 (ja) | 磁気センサ素子、磁気検出器、磁気センサ素子を有するモータ及び磁気検出器を有する装置 | |
JP5014183B2 (ja) | エンジンバルブの変位測定装置、及びそれを備えるエンジン | |
JP2008070215A (ja) | ポジションセンサ用の検出部、及びポジションセンサ | |
JP2019015657A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2017028894A (ja) | ロータリトランス付きモータ | |
JP2012088126A (ja) | 磁性部品の傷検査方法および傷検査装置 | |
JP2004198127A (ja) | 埋め込み型センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160126 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160426 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160627 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6067001 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |