JP2006317284A - ポジションセンサ用の検出部、及びそれを用いたポジションセンサ - Google Patents

Abstract

【課題】
使用環境による誘導電圧やインピーダンス変化等の影響を低減できるポジションセンサ用の検出部、及びそれを用いたポジションセンサを提供する。
【解決手段】
ポジションセンサ用の検出部１は、検出コイルＬと、検出コイルＬが巻装されるコイルボビン３と、検出コイルＬ内に出没自在に設けられ、検出コイルＬに対してその中心軸（巻軸）方向に相対変位するコア２と、検出コイルＬの外周面を覆う磁気シールド用のシールド部材４と、これら検出コイルＬが巻装されたコイルボビン３とコア２とシールド部材４とが収納されるケース５とを備え、シールド部材４は、コイルボビン３に被嵌される内殻部４ａと、内殻部４ａの外周面を覆う外殻部４ｂとで構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、ポジションセンサと、ポジションセンサ用の検出部に関する。

従来から、図６（ａ）に示すようなポジションセンサが提供されており、このようなポジションセンサは、検出部１００と、駆動回路２００と、信号処理回路３００とで構成されている（特許文献１）。

ここで、検出部１００は、図６（ｂ）に示すように、中空の検出コイル１０１と、検出コイル１０１が外周面に巻装される円筒状のコイルボビン１０２と、コイルボビン１０２内（検出コイル１０１の巻線内）に出没自在に設けられ、検出コイル１０１に対してその中心軸（巻軸）方向に相対変位する磁性材料からなる棒状のコア１０３とを備えており、樹脂製のケースに収納された状態や、樹脂モールドされた状態で用いられる。

駆動回路２００は、検出コイル１０１に所定の周波数及び振幅の定電流を出力する定電流回路であり、所定の振幅の直流電圧に所定の周波数及び振幅の交流電圧を重畳した定電圧を発生する発振回路２０１と、発振回路２０１が出力する定電圧を定電流に変換するＶ−Ｉ回路（電圧−電流変換回路）２０２とから構成されている。

信号処理回路３００は、駆動回路２００が出力する定電流及び検出コイル１０１のインピーダンスにより決まる検出コイルの両端電圧（検出信号）のピーク値Ｖ１に応じて、コア１０３と検出コイル１０１との位置情報を示す出力信号Ｖｏｕｔを出力するものであり、ピークホールド回路３０１と、ＡＤ変換回路３０２と、レベルシフト部３０３ａ、温度補償部３０３ｂ、及び増幅部３０３ｃを有するデジタル演算ブロック３０３とから構成されている。ピークホールド回路３０１では、検出コイル１０１の両端電圧のピーク値Ｖ１を抽出し、ＡＤ変換回路３０２では、ピーク値Ｖ１をデジタル信号ＤＶ１に変換するようになっている。そして、デジタル演算ブロック３０３では、デジタル信号演算としてレベルシフト部３０３ａで所定のデジタル量を加算してレベルシフトを行ったデジタル信号ＤＶ２を出力し、温度補償部３０３ｂでは、温度補償を実行する演算をデジタル信号ＤＶ２に対して行い、増幅部３０３ｃでは、温度補償部３０３ｂが出力するデジタル信号を増幅して、デジタル信号の出力信号Ｖｏｕｔを出力するようになっている。
特開２００４−２９００２号公報（第２７図、第４３図）

上記のポジションセンサに用いられる検出部１００は、樹脂製のケースに収納された状態や、樹脂モールドされた状態で用いられるので、ポジションセンサを設置した際に、検出部１００の近傍に外部電線が存在すると、外部電線に流れる電流により発生する磁界の影響によって、検出コイル１０１に誘導起電力が発生する場合がある。特に、図６（ａ）に示すようなピークホールド回路３０１を備えるポジションセンサでは、このような誘導起電力によって出力電圧Ｖｏｕｔが変動するおそれがある。

また、検出部１００の周囲に鉄や、アルミニウム、真鍮等の金属が配置されている場合には、これら周囲金属によって検出コイル１０１のインピーダンスが変化してしまうので、設置場所ごとに検出コイル１０１のインピーダンスがばらつくおそれがある。

このようなポジションセンサの設置場所（つまりは使用環境）による影響は、一般的な電子機器であれば特に無視できる程度のものであった。しかしながら、自動車や航空機等、特別な安全性が要求される使用環境では、各種の環境試験に要求される試験条件が一般的な電子機器に比べて非常に厳しくなっている。たとえばセンサの出力値の変動許容値が一般的な電子機器に比べて小さくなっているので、上述した誘導起電力やインピーダンス変化によって、センサの出力値の変動が規定の変動許容値を超えてしまうおそれがある。このように、自動車や航空機等、特別な安全性が要求される使用環境では、センサの設置場所による影響が無視できなくなる。

本発明は上述の点に鑑みて為されたもので、その目的は、使用環境による誘導起電力やインピーダンス変化等の影響を低減できるポジションセンサ用の検出部、及びそれを用いたポジションセンサを提供することである。

上記の課題を解決するために、請求項１のポジションセンサ用の検出部では、中空の検出コイルと、検出コイル内に出没自在に設けられ検出コイルに対してその中心軸方向に相対変位するコアと、少なくとも検出コイルの外周面を覆う磁気シールド用のシールド部材とを備え、シールド部材は、鉄系金属材料からなる内殻部と、前記鉄系金属材料よりも導電性が高い導電性材料からなる外殻部とで構成されていることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、シールド部材を備えているので、検出部の近傍に検出コイルの巻軸方向に交差する方向の外部電線が配置されていても、この外部電線から発生する磁界の磁束はほとんどがシールド部材中を通過することになって、シールド部材で覆われた検出コイルとは鎖交しないので、磁界によって検出コイルに誘導起電力が生じることを防止できる。また、シールド部材は磁性材料である鉄系金属材料からなる内殻部を有しているので、数百ｋＨｚ〜数十ＭＨｚの輻射ノイズの影響を低減することができる。さらに、シールド部材は内殻部に加えて前記鉄系金属材料よりも導電性が高い導電性材料からなる外殻部を有しているので、検出部の近傍に配置された金属板等に起因する検出コイルのインピーダンス変化を内殻部だけの場合に比べて低減することができる。

請求項２のポジションセンサ用の検出部では、請求項１の構成に加えて、内殻部を構成する鉄系金属材料は、磁気焼鈍されていることを特徴とする。

請求項２の発明によれば、鉄系金属材料の内部応力を低減して導磁率を向上させることができ、磁気シールド効果をより高めることができる。

請求項３のポジションセンサ用の検出部では、請求項１又は２の構成に加えて、外殻部は、内殻部の表面全面に設けられていることを特徴とする。

請求項３の発明によれば、内殻部を構成する鉄系金属材料の防錆効果を得ることができる。

請求項４のポジションセンサ用の検出部では、請求項１〜３のいずれか１項の構成に加えて、コアを被検出体に連結する非磁性体のシャフトと、コアの可動範囲外において該シャフトを前記中心軸方向に摺動自在に支持する軸受け部とを有していることを特徴とする。

請求項４の発明によれば、シャフトと軸受け部とによりコアの移動方向が検出コイルの中心軸方向のみに規制されるから、コアが前記中心軸方向以外の方向に移動して他の部材に当たることがなくなる。これによりコアに歪や応力が生じなくなるので、ビラリ効果によってコアの透磁率が変化することがなくなり、このような透磁率の変化に起因する検出コイルのインピーダンス変化を防止することができる。

請求項５のポジションセンサ用の検出部では、請求項１〜３のいずれか１項の構成に加えて、コアに固定されてコアと共動する第１摺動部と、検出コイルに固定されて第１摺動部が前記中心軸方向に摺動自在に当接される第２摺動部とで構成されるガイドを備え、第１摺動部とコアは、前記中心軸方向に並行していることを特徴とする。

請求項５の発明によれば、ガイドによってコアの移動方向が検出コイルの中心軸方向のみに規制されるから、コアが前記中心軸方向以外の方向に移動して他の部材に当たることがなくなる。これによりコアに歪や応力が生じなくなるので、ビラリ効果によってコアの透磁率が変化することがなくなり、このような透磁率の変化に起因する検出コイルのインピーダンス変化を防止することができる。しかも、第２摺動部に当接される第１摺動部とコアとが前記中心軸方向に並行しているので、コアの可動範囲内で両摺動部が当接することになり、これにより検出部を大型化しなくて済む。

請求項６のポジションセンサ用の検出部では、請求項１〜５のいずれか１項の構成に加えて、シールド部材は、コアの可動範囲全体を覆うように形成されていることを特徴とする。

請求項６の発明によれば、コアの可動範囲内ではコアがその位置によらずに常にシールド部材で覆われることになるので、外部磁界の磁束がコア中を通ることがなくなり、これにより、外部磁界の磁束によってコアの磁気特性が変化してしまうことを防止でき、コアの磁気特性の変化に起因するセンサの出力電圧の変動が生じることがなくなる。

請求項７のポジションセンサ用の検出部では、請求項５の構成に加えて、第１摺動部と第２摺動部は、コアの可動範囲内においてコアが検出コイルから最も離間した状態で両摺動部の当接部分が最も少なくなるとともに、コアの可動範囲内においてコアが検出コイル内に最も没入した状態で両摺動部の当接部分が最も多くなるように配置され、前記中心軸方向においてコアが検出コイルから離間する方向側の第２摺動部の端面は、検出コイルに固定されてコアと相対変位する部材の前記方向側の端面の中で最も前記方向側に位置し、前記方向側のコアの端面は、前記のコアが検出コイル内に最も没入した状態で前記方向側の第２摺動部の端面と前記中心軸方向で略同じ位置に位置していることを特徴とする。

請求項７の発明によれば、コアの可動範囲内においてコアが検出コイル内に最も没入した状態で、前記中心軸方向においてコアが検出コイルから離間する方向側のコアの端面が、前記方向側の第２摺動部の端面と前記中心軸方向で略同じ位置に位置しているので、コアと被検出体とを連結するための部材の長さ寸法に、前記コアの端面と前記第２摺動部の端面との間の長さ寸法分を確保する必要がなくなり、これにより、検出部を小型化することが可能になる。

請求項８のポジションセンサ用の検出部では、請求項７の構成に加えて、コアに固定されてコアと共動するとともにシールド部材で覆われていないコアの部位を覆う強磁性体部を備えていることを特徴とする。

請求項８の発明によれば、外部磁界の磁束や輻射ノイズ等から常にコアを防護することができる。

請求項９のポジションセンサでは、請求項１〜８のいずれか１項に記載のポジションセンサ用の検出部と、検出コイルに所定の周波数及び振幅の定電流を出力する駆動回路と、定電流及び検出コイルのインピーダンスにより決まる電圧信号をコアと検出コイルとの位置情報を示す出力信号に変換する信号処理回路とを備えていることを特徴とする。

請求項９の発明によれば、使用環境による誘導起電力やインピーダンス変化等の影響を低減できるポジションセンサを得ることができる。

請求項１０のポジションセンサでは、請求項９の構成に加えて、シールド部材は、駆動回路又は信号処理回路の安定電位点に電気的に接続されていることを特徴とする。

請求項１０の発明によれば、シールド部材が安定電位点に電気的に接続されているので、輻射ノイズに対してさらに大きなシールド効果を得ることができる。

本発明は、磁性材料である鉄系金属材料からなる内殻部と、前記鉄系金属材料よりも導電性の高い導電性材料からなる外殻部とで構成されたシールド部材を備えるので、検出部の近傍に検出コイルの巻軸方向に交差する方向の外部電線が配置されたとしても、外部電線の磁界によって検出コイルに誘導起電力が生じることを防止できるという効果があり、また、数百ｋＨｚ〜数十ＭＨｚの輻射ノイズの影響を低減することができるという効果があり、さらに、検出部の近傍に配置された金属板等に起因する検出コイルのインピーダンス変化を低減できるという効果がある。

以下に、本発明の実施形態について図１〜図５を用いて説明する。尚、特に断りがない限りは、図１の上方を検出部の上方とし、図１の下方を検出部の下方とする。また尚、図１、４，５では説明の簡略化のために、図２とは縦横の比率を異ならせてある。

（実施形態１）
本実施形態のポジションセンサは、図１に示すように、中空の検出コイルＬと、検出コイルＬ内に出没自在に設けられ検出コイルＬに対してその中心軸（巻軸）方向（図１における上下方向）に相対変位するコア２と、検出コイルＬの外周面を覆う磁気シールド用のシールド部材４とを備える検出部１を有するとともに、検出部１の検出コイルＬに所定の周波数及び振幅の定電流を出力する駆動回路（図示せず）と、前記定電流及び検出コイルＬのインピーダンスにより決まる電圧信号をコア２と検出コイルＬとの位置情報を示す出力信号に変換する信号処理回路（図示せず）とを備えている。尚、上記の駆動回路及び信号処理回路は、図６（ａ）に示す従来例と同様のものを用いることができるので、これらの説明は省略する。

検出部１は、図２（ａ）に示すように、フェライト等の磁性材料を用いて長尺の丸棒状に形成されたコア２と、検出コイルＬが巻装されたコイルボビン３と、検出コイルＬの外周面を覆うシールド部材４と、これらコア２とコイルボビン３とシールド部材４とが収納されるケース５とで構成されている。

コイルボビン３は、たとえば熱硬化性樹脂等を用いて形成されており、図１に示すように、両端が開口した長尺円筒状の巻胴部３ａと、巻胴部３ａの上端側に形成される円環状の第１鍔部３ｂと、巻胴部３ａの下端側に下端開口を閉塞するように形成される円盤状の第２鍔部３ｃと、第２鍔部３ｃの下端側に設けられる円盤状の台部３ｄとを一体に備えている。ここで、巻胴部３ａは、軸方向（上下方向）の長さ寸法がコア２の軸方向（上下方向）の長さ寸法よりも大きく形成されるとともに、内径がコア２の外径よりも大きく形成されて、コア２がコイルボビン３内に自在に出没できるようになっている。また、台部３ｄは、第２鍔部３ｃよりも大きい外径を有しており、この台部３ｄ上にはシールド部材４が載置される。

シールド部材４は、図１に示すように、コイルボビン３に被嵌される内殻部４ａと、内殻部４ａの表面（外周面）の全面を覆う外殻部４ｂとで構成されている。

内殻部４ａは、たとえば、鉄を用いて長尺の円筒状に形成されている。また、内殻部４ａは、内径がコイルボビン３の両鍔部３ｂ，３ｃを内包できる程度の大きさに形成されるとともに、外径がコイルボビン３の台部３ｄの外径と略等しくなるように形成されており、軸方向（上下方向）の長さ寸法がコイルボビン３の第１鍔部３ｂと台部３ｄの上面間の距離と略等しくなるように形成されている。さらに、内殻部４ａには、図２（ａ）に示すように、軸方向（上下方向）にスリット４ｃが形成されており、軸方向に交差する方向における内殻部４ａの断面形状は略Ｃ字状となっている。

このように強磁性体金属である鉄を用いてシールド部材４の母材となる内殻部４ａを形成することで、磁気シールド効果を得ることができる。ここで、内殻部４ａを形成する際には、たとえば焼鈍温度８５０℃で鉄を磁気焼鈍しておくことが好ましく、このように磁気焼鈍することによって鉄の内部応力を低減して導磁率を向上させることができ、磁気シールド効果を一層高めることができる。

ところで、内殻部４ａを形成する材料は、鉄に限られるものではなく、強磁性体である鉄系金属であってもよいが、以下の理由により鉄が最適である。つまり、一般的なポジションセンサは、数百ｋＨｚ〜数十ＭＨｚの周波数帯に自己共振周波数を有しているために、数百ｋＨｚ〜数十ＭＨｚの周波数帯の輻射ノイズの影響を受けやすいが、鉄は数百ｋＨｚ〜数十ＭＨｚの周波数帯に対して大きなシールド効果を有しているので、鉄を用いることで上記の数百ｋＨｚ〜数十ＭＨｚの周波数帯の輻射ノイズの影響を低減することが可能になる。また、鉄は様々な加工が可能である点も有益な点の１つである。ただし、鉄は錆を発生するため、悪環境で使用する場合には適切な防錆処理を行うことが望ましい。このような防錆処理としては、単純に防錆油を塗布するほか、亜鉛クロメートめっき等の適切なめっき処理を施す方法がある。

外殻部４ｂは、たとえば、内殻部４ａの外周面の全面に形成された銅めっき層からなる。ここで、外殻部４ｂに用いられる金属材料は銅に限られるものではなく、内殻部４ａに用いられる鉄系金属材料（本実施形態では鉄）よりも高い導電性を有する導電性材料（良導体）であればよい。たとえば、銅ニッケルめっき層や、銀めっき層、金めっき層等を外殻部４ｂとして用いることができ、また、その形成方法もめっき処理に限らず金属蒸着等、状況に応じて好適なものを採用することができる。

このように鉄製の内殻部４ａの外周面に銅めっき層からなる外殻部４ｂを形成することで、検出コイルＬの近傍に配置された金属板Ｍ（図３（ａ）〜（ｃ）参照）による検出コイルＬのインピーダンス変化を、内殻部４ａだけの場合に比べて抑えることができることが後述する試験によりわかっている。

前述の試験は、以下に述べるセッティングＡ〜Ｃのそれぞれについて、金属板Ｍを配置していない場合の検出コイルＬのインピーダンスと、検出コイルＬの中心軸に所定の間隔ｄ２を隔てて金属板Ｍを配置した場合の検出コイルＬのインピーダンスとを測定し、その変動量を求めるものである。セッティングＡは図３（ａ）に示すように検出コイルＬにシールド部材４を配置していないものであり、セッティングＢは図３（ｂ）に示すように検出コイルＬの中心軸に所定の間隔ｄ１を隔てて鉄製の内殻部４ａのみを配置したものであり、セッティングＣは図３（ｃ）に示すように検出コイルＬの中心軸に所定の間隔ｄ１を隔てて鉄製の内殻部４ａと銅めっき層からなる外殻部４ｂを備えるシールド部材４を配置したものである。

また、金属板Ｍとしては、同じ板厚の鉄、アルミ、真鍮製の３種類の金属板を用い、各金属板についてそれぞれ同様に試験を行った。尚、その他の条件（コアの挿入量やインピーダンスの測定周波数等）は固定条件としている。

この試験により得られた結果を表１に示す。

この結果から明らかなように、鉄製の内殻部４ａと、銅めっき層からなる外殻部４ｂとで構成されたシールド部材４を用いることで、周囲金属に起因する検出コイルＬのインピーダンス変化を最も抑えることができることがわかる。

ケース５は、たとえば、絶縁性樹脂を用いて、上面が開口した有底の長尺円筒状に形成されている。また、ケース５は、内径がシールド部材４の外径と略等しくなるように形成されるとともに、軸方向（上下方向）の長さ寸法がコイルボビン３の軸方向（上下方向）の長さ寸法よりも大きく形成されている。

以上の部材により検出部１は構成されており、各部材は次のようにして取り付けられている。コイルボビン３の巻胴部３ａには、検出コイルＬがコイルボビン３の軸方向を中心軸方向（巻軸方向）として巻装されている。このように検出コイルＬが巻装されたコイルボビン３には、検出コイルＬの外周面を覆うようにしてシールド部材４が被嵌され、この状態では、図１に示すように、シールド部材４の内部にコイルボビン３の両鍔部３ｂ，３ｃが配置され、シールド部材４の下端面が台部３ｄの上面に当接している。そして、コイルボビン３はシールド部材４とともにケース５に収納され、この後に検出コイルＬの中心軸方向を移動方向とするコア２がコイルボビン３内（つまりは検出コイルＬ内）に出没自在に配置される。以上により図１に示す検出部１が得られ、この検出部１では、コア２、コイルボビン３、シールド部材４、及びケース５が同一の中心軸を有するように配置されている。

このように構成された検出部１は、シールド部材４を備えているので、図１に示すように検出コイルＬの中心軸方向に交差する方向の外部電線Ｓが検出部１の近傍に配置されていたとしても、外部電線Ｓから発生する外部磁界Ｅの磁束はほとんどがシールド部材４中（主に内殻部４ａ）を通過することになる。そのため外部磁界Ｅの磁束は検出コイルＬと鎖交せず、これにより外部磁界Ｅによって検出コイルＬに誘導起電力が生じることを防止できる。

また、シールド部材４が、鉄製の内殻部４ａと、内殻部４ａの外周面を覆う銅めっき層からなる外殻部４ｂとで構成されているので、検出部１の近傍に金属板や、検出部１用の金属製の取付部材等が配置された際にも、このような周囲金属による検出コイルＬのインピーダンス変化を内殻部４ａだけの場合に比べて低減することができる（表１参照）。しかも、内殻部４ａの外周面の全面に亘って外殻部４ｂを設けていることにより、内殻部４ａの鉄の防錆効果を得ることができ、これにより内殻部４ａに別途防錆処理を行わなくて済む。

一方、検出コイルＬと対向するシールド部材４の内殻部４ａは、導電性を有する鉄から形成されているので、検出コイルＬが発生する磁界を打ち消す環状電流（渦電流）が内殻部４ａに流れるおそれがあり、このような環状電流が流れると、検出コイルＬのインピーダンスが減少して、センサの検出感度が悪化してしまうという問題が生じる。このような問題は、シールド部材４を検出コイルＬから離し、シールド部材４と検出コイルＬとの間に環状電流防止用の隙間を設けることで解決できていた。しかしながら、環状電流防止用の隙間を設けた場合には、検出部１の大型化という問題が新たに生じることになる。

かかる問題に対して、本実施形態では内殻部４ａにスリット４ｃを設けて内殻部４ａが周方向において不連続となるようにして、シールド部材４に周方向の電路が形成されないようにしているので、環状電流が内殻部４ａに発生することがなくなる。これにより、シールド部材４と検出コイルＬとの間に環状電流防止用の隙間を設けなくても、環状電流の発生を防止できるから、検出部１を大型化せずにセンサの検出感度の悪化を防止できる。尚、このようなスリット４ｃを通った外部磁界Ｅの磁束が検出コイルＬに悪影響を与えてしまうことが懸念されるが、スリット４ｃの幅が十分に小さければ、検出コイルＬへの影響は無視できる。

また、本実施形態のシールド部材４は、スリット４ｃを設けたものに限られず、図２（ｂ）に示すように、スリット４ｃを有していない鉄製の内殻部４ａと、銅めっき層からなる外殻部４ｂとで構成されたものを用いることができるが、当然ながらこのようなシールド部材４では環状電流の影響を抑える効果は弱くなる。

（実施形態２）
ところで、上記実施形態１では、図１に示すように、検出コイルＬの外周面をシールド部材４で覆うようにしているので、外部電線Ｓの外部磁界Ｅによって検出コイルＬに誘導起電力が生じることを防止できていたが、図４（ａ）に示すように、シールド部材４で覆われた検出コイルＬからコア２が出ている場合には、コア２は磁性体であるため、外部磁界Ｅの磁束がコア２中を通ることになる。

このとき、外部磁界Ｅが大きくその時間変化が遅いと、コア２の磁気特性が変化してしまう（透磁率が減少してしまう）場合がある。このような原因によりコア２の磁気特性が変化すると、コア２の検出コイルＬに対する相対位置が変化しなくても検出コイルＬのインピーダンスが変化し、これにより、センサの出力電圧が変動してしまうという問題があった。

本実施形態のポジションセンサは、かかる問題を解決するためのものであり、検出部１０のシールド部材とケースの構成に特徴があり、その他の構成は上記実施形態１と同様であるので、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

シールド部材４０は、図４（ｂ）に示すように、内殻部４０ａと、内殻部４０ａの外周面の全面を覆う外殻部４０ｂとで構成され、内殻部４０ａには軸方向にスリット（図示せず）が形成されている。内殻部４０ａは、上記実施形態１と同様の構成のものであるが、その軸方向の長さ寸法がコア２の可動範囲の長さ寸法以上となるようにすることで、コア２の可動範囲全体を覆うように形成されており、これにより、コア２の可動範囲内では、コア２の位置によらずにコア２の外周面を覆うことができるようになっている。外殻部４０ｂは、上記実施形態１と同様にして内殻部４０ａの外周面に形成されている。

ケース５０は、たとえば、絶縁性樹脂を用いて、上面が開口した有底の長尺円筒状に形成されており、内径がシールド部材４０の外径と略等しくなるように形成されるとともに、軸方向（上下方向）の長さ寸法がシールド部材４０の軸方向（上下方向）の長さ寸法よりも大きく形成されている。

以上述べたシールド部材４０、及びケース５０、並びに前述のコア２、コイルボビン３、及び検出コイルＬにより検出部１０は構成されており、各部材は次のようにして取り付けられている。コイルボビン３の巻胴部３ａには、検出コイルＬがコイルボビン３の軸方向（上下方向）を中心軸方向（巻軸方向）として巻装されている。このように検出コイルＬが巻装されたコイルボビン３には、検出コイルＬの外周面を覆うようにシールド部材４０が被嵌され、この状態では、シールド部材４０の内部にコイルボビン３の両鍔部３ｂ，３ｃが配置され、シールド部材４０の下端面が台部３ｄの上面に当接している。

そして、コイルボビン３はシールド部材４０とともにケース５０に収納され、この後に被検出体（図示せず）と連動するように設けられたコア２が検出コイルＬの中心軸方向を移動方向としてコイルボビン３内に出没自在に配置される。これにより図４（ｂ）に示す検出部１０が得られ、この検出部１０では、シールド部材４０の軸方向の長さ寸法がコア２の可動範囲の長さ寸法以上となっているので、コア２の外周面は、変位位置によらず常にシールド部材４０で囲まれるようになっている。

このように構成された検出部１０は、上記実施形態１と同様に、鉄製の内殻部４０ａと、内殻部４０ａの外周面を覆う外殻部４０ｂとで構成されるとともに、スリット（図示せず）を有するシールド部材４０を備えているので、上記実施形態１と同様の効果を得ることができる。

上記効果に加え、検出部１０では、図４（ｂ）に示すように、シールド部材４０をコア２の可動範囲全体を覆うように形成して、コア２を常にシールド部材４０で覆うようにしているので、外部磁界Ｅの磁束がコア２中を通ることがなくなる。これにより、外部磁界Ｅの磁束によってコア２の磁気特性が変化してしまう（透磁率が減少してしまう）ことを防止でき、コア２の磁気特性の変化に起因するセンサの出力電圧の変動が生じることがなくなる。

（実施形態３）
一方、上記実施形態１，２では、コア２がコイルボビン３内を移動する際等に、コア２がコイルボビン３の内周面に当たってコア２に歪や応力が生じる場合があった。一般に、ポジションセンサのコア２として用いられるフェライト等の磁性金属体は、外力により歪や応力が加えられると透磁率が変化する性質（ビラリ効果）を有しているので、上述したようにコア２に歪や応力が生じた際には、コア２の透磁率が変化し、これにより検出コイルＬのインピーダンスも変化してしまうという問題があった。また、場合によってはコア２が塑性変形してしまうおそれがあった。

本実施形態のポジションセンサは、かかる問題を解決するためのものであり、図５（ａ）に示すように、検出部１１に、コア２を被検出体（図示せず）に連結するシャフト６と、コア２の可動範囲外においてシャフト６を検出コイルＬの中心軸方向に摺動自在に支持する軸受け部７と、ケース５０の上面開口に被着されるカバー８とを備えていることに特徴があり、その他の構成は上記実施形態２と同様であるので、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

シャフト６は、たとえば、非磁性体からコア２と略同程度の外径を有する長尺の丸棒状に形成されている。シャフト６は、下端部がコア２の上端部と連結されるとともに、シャフト６の図示しない上端側が被検出体に連結され、これによりコア２が被検出体と共動するようになっている。

軸受け部７は、図５（ａ）に示すように、両端が開口した円筒部７ａと、円筒部７ａの下端部から外方へ突出した環状のフランジ部７ｂとを一体に備えている。円筒部７ａは、内径がシャフト６の外径と同程度に形成されており、これによりシャフト６が軸方向（上下方向）に摺動自在に挿通できるようになっている。また、フランジ部７ｂは、外径がケース５０の内径と同程度に形成されている。

カバー８は、たとえば、絶縁性樹脂を用いて、ケース５０の上面開口を閉塞できる程度の大きさの円盤状に形成されており、略中央部には、軸受け部７の円筒部７ａが挿通される孔部８ａが形成されている。

以上述べたシャフト６、軸受け部７、及びカバー８、並びに前述のコア２、コイルボビン３、検出コイルＬ、シールド部材４０、及びケース５０により検出部１１は構成されており、各部材は次のようにして取り付けられている。コイルボビン３の巻胴部３ａには、検出コイルＬがコイルボビン３の軸方向を中心軸方向として巻装されている。このように検出コイルＬが巻装されたコイルボビン３には、検出コイルＬの外周面を覆うようにシールド部材４０が被嵌され、この状態では、シールド部材４０の内部にコイルボビン３の両鍔部３ｂ，３ｃが配置され、シールド部材４０の下端面が台部３ｄの上面に当接している。ここで、シールド部材４０は上記実施形態２と同様のものであるから、コア２の変位位置によらずに常にコア２を覆うことができるようになっている。

そして、コイルボビン３はシールド部材４０及び軸受け部７とともにケース５０に収納される。このとき、軸受け部７は、フランジ部７ｂがシールド部材４０の上端面に載置されるとともに、円筒部７ａがケース５０から上方へ突出された状態でケース５０に収納されている。この後に、カバー８が、孔部８ａから円筒部７ａを突出させた状態でケース５０の上面側に被着される。最後に、被検出体にシャフト６を介して連結されたコア２がコイルボビン３内に検出コイルＬの中心軸方向を移動方向として出没自在に配置されるとともに、シャフト６が軸受け部７の円筒部７ａを挿通するように配置されて、図５（ａ）に示す検出部１１が得られる。

次に、この検出部１１の動作について説明する。図５（ａ）は、コア２がコイルボビン３から離間した状態を示している。この状態から、被検出体の移動に伴ってシャフト６が下方へ移動していくと、シャフト６に押されてコア２が下方へと移動してコイルボビン３内へと入っていく。このとき、シャフト６は軸受け部７によってコイルボビン３の軸方向（つまりは検出コイルＬの中心軸方向）に摺動自在に支持されているので、シャフト６と軸受け部７とによりコア２の移動方向が検出コイルＬの中心軸方向のみに規制される。これによりコア２と検出コイルＬとが軸ずれしたり、傾いたりすることが防止されて、コア２が検出コイルＬに対して同一の軌道で相対変位することになる。この点は、被検出体の移動に伴なってシャフト６が上方へ移動する場合においても同様である。

以上述べた検出部１１によれば、シャフト６と軸受け部７とによりコア２の移動方向が検出コイルＬの中心軸方向のみに規制されるので、コア２がその移動方向以外の方向へ移動することがなくなる。そのため、コア２がコイルボビン３の内周面等に当たってコア２に歪や応力が生じることがなくなり、これによりビラリ効果によるコア２の透磁率の変化を防止でき、このような透磁率の変化に起因する検出コイルＬのインピーダンス変化も防止することができる。

また、コア２の可動範囲外でシャフト６を軸受け部７に支持させているので、シャフト６にコア２の移動方向以外の方向の力が作用した際に、シャフト６に歪や応力が生じることがあっても、コア２が軸受け部７に当たってコア２に歪や応力が生じてしまうことがない。

（実施形態４）
上記の実施形態３では、コア２が軸受け部７に当たることがないように、コア２の可動範囲外でシャフト６を軸受け部７に支持させているが、軸受け部７をコア２の可動範囲外に設けた分だけ、検出部が大型化してしまうという問題が生じていた。

本実施形態のポジションセンサは、かかる問題を解決するためのものであり、検出部１２に上記実施形態３のような軸受け部７とカバー８とを設ける代わりに、図５（ｂ）に示すようにコア２と共動する第１摺動部９ａを備える共動部９、及びカバー８０を設け、シールド部材４０を第１摺動部９ａとともにガイドを構成する第２摺動部として用いていることに特徴があり、その他の構成は上記実施形態３と同様であるので、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

共動部９は、たとえば、非磁性材料から形成されており、円筒状の第１摺動部９ａと、第１摺動部９ａの上面開口を閉塞する円盤状の連結部９ｂとを一体に備えている。第１摺動部９ａの外径は、シールド部材４０の内径（内殻部４０ａの内径）と略同程度の大きさに形成されており、連結部９ｂの略中央部には、シャフト６が挿通される孔部９ｃが形成されている。また、第１摺動部９ａの軸方向（上下方向）の長さ寸法は、コア２の軸方向（上下方向）の長さ寸法よりやや大きくなるように形成されている。ここで、孔部９ｃと連結部９ｂの中心軸が一致するようにすれば、共動部９をケース５０内で回転させることが可能になる点で好ましい。また、共動部９の第１摺動部９ａが導電性を有しているならば、このような第１摺動部９ａに上記シールド部材４０と同様にスリットを形成して、検出コイルＬの周方向において不連続となるようにし、これにより第１摺動部９ａに環状電流が生じないようにすることが好ましい。さらに、この第１摺動部９ａがシールド部材４０のスリットと重複した際に第１摺動部９ａを介してシールド部材４０に環状電流が流れないように第１摺動部９ａとシールド部材４０との間には絶縁処理を施しておくことが好ましい。

カバー８０は、たとえば、絶縁性樹脂を用いて、ケース５０の上面開口を閉塞できる程度の大きさの円盤状に形成されており、略中央部には、コア２及びシャフト６の外径以上の内径を有する孔部８０ａが形成されている。また、本実施形態において、ケース５０の上端面の内周縁部には、カバー８０嵌入用の凹部５０ａが形成されている。

以上述べた共動部９、及びカバー８０、並びに前述のコア２、コイルボビン３、検出コイルＬ、シールド部材４０、ケース５０、及びシャフト６とで検出部１２は構成されており、各部材は次のようにして取り付けられている。検出コイルＬ、コイルボビン３、及びシールド部材４０は、上記実施形態３と同様にしてケース５０に収納されている。この後に、被検出体にシャフト６を介して連結されたコア２がコイルボビン３内に出没自在に配置されるのであるが、このシャフト６には共動部９が次のようにして固着されている。共動部９は、連結部９ｂの孔部９ｃにシャフト６の下端部を挿通させた状態でシャフト６に固着されており、これにより共動部９がコア２に固定されることになる。また、共動部９がコア２に固定された状態では、共動部９の第１摺動部９ａとコア２とは、検出コイルＬの中心軸方向に並行するとともに、第１摺動部９ａの下端面がコア２の下端面よりもやや下方に位置している。

このようにシャフト６に固着された共動部９は、図５（ｂ）に示すように、第１摺動部９ａの外周面がシールド部材４０の内周面に検出コイルＬの中心軸方向に摺動自在に当接するように配置されており、第１摺動部９ａとシールド部材４０とによってコア２の移動方向を検出コイルＬの中心軸方向のみに規制するガイドが構成されている。つまり、ここではシールド部材４０が、第１摺動部９ａを検出コイルＬの中心軸方向に摺動自在に支持する第２摺動部として用いられている。

最後に、カバー８０の孔部８０ａにシャフト６を挿通させるとともに、ケース５０の凹部５０ａにカバー８０を嵌入することで、図５（ｂ）に示す検出部１２が得られる。

次に、この検出部１２の動作について説明する。図５（ｂ）は、コア２がコイルボビン３から離間した状態を示している。この状態から、被検出体の移動に伴ってシャフト６及び第１摺動部９ａが下方へ移動していくと、シャフト６に押されてコア２は下方へと移動してコイルボビン３内へと入っていく。このとき、第１摺動部９ａはシールド部材４０によってコイルボビン３の軸方向（つまりは検出コイルＬの中心軸方向）に摺動自在に支持されているので、第１摺動部９ａとシールド部材４０とからなるガイドによりコア２の移動方向が検出コイルＬの中心軸方向のみに規制される。これによりコア２と検出コイルＬとが軸ずれしたり、傾いたりすることが防止されて、コア２が検出コイルＬに対して同一の軌道で相対変位することになる。この点は、被検出体の移動に伴なってシャフト６が上方へ移動する場合においても同様である。

以上述べた検出部１２によれば、第１摺動部９ａと、第２摺動部であるシールド部材４０とからなるガイドによりコア２の移動方向が検出コイルＬの中心軸方向のみに規制されるので、上記実施形態３と同様に、ビラリ効果によるコア２の透磁率の変化を防止でき、透磁率の変化に起因する検出コイルＬのインピーダンス変化も防止することができる。

加えて、第１摺動部９ａとコア２を検出コイルＬの中心軸方向に並行させることで、両摺動部の当接部位をコア２の可動範囲内に設けているので、上記実施形態３のようにコア２の可動範囲外でシャフト６を軸受け部７に支持させるものに比べて、検出部を大型化しなくて済むようになる。

（実施形態５）
上記実施形態４の場合、コア２が検出コイルＬ内に最も没入した状態では、検出コイルＬに固定されてコア２と相対変位する部材の中で最も上方に位置する端面（つまりはカバー８０の上面）よりもコア２の上端面が下方へ位置している。そのため、シャフト６の長さ寸法を少なくともコア２の上端面とカバー８０の上面との間の長さ寸法以上とする必要があり、シャフト６の長さ寸法がこれより小さいと被検出体がカバー８０にぶつかって被検出体の正しい変位を検出できなくなる。

つまり、上記実施形態４では、コア２の上端面と、検出コイルＬに固定されてコア２と相対変位する部材の中で最も上方に位置する端面（カバー８０の上面）との間の長さ寸法分だけシャフト６の長さ寸法を余分に大きくしなければならなかった。

本実施形態のポジションセンサはかかる問題を解決するためのものであり、検出部１３は、後述するシールド部材４１、及びケース５１、並びに前述のコア２、コイルボビン３、検出コイルＬ、共動部９、及びシャフト６とで構成されている。

前述のシールド部材４１は、図５（ｃ）に示すように、内殻部４１ａと、内殻部４１ａの外周面の全面を覆う外殻部４１ｂとで構成されている。内殻部４１ａは、上記実施形態１と同様の構成のものであり、軸方向（上下方向）の長さ寸法がコイルボビン３の軸方向（上下方向）の長さ寸法と同程度となるように形成されるとともに、軸方向にスリット（図示せず）が形成されている。また、外殻部４１ｂは、上記実施形態１と同様にして内殻部４１ａの外周面に形成されている。

前述のケース５１は、たとえば、絶縁性樹脂を用いて、上面が開口した有底の長尺円筒状に形成されており、内径がシールド部材４１の外径と略等しくなるように形成されている。また、ケース５１の軸方向（上下方向）の長さ寸法は、コイルボビン３とシールド部材４１を収納した際に、シールド部材４１の上端面とケース５１の上端面とが同じ高さに位置するような大きさに設定されている。

これらシールド部材４１、及びケース５１、並びに前述のコア２、コイルボビン３、検出コイルＬ、共動部９、及びシャフト６によって検出部１３は構成されており、各部材は次のようにして取り付けられている。上記実施形態１と同様にして検出コイルＬが巻装されたコイルボビン３には、検出コイルＬの外周面を覆うようにシールド部材４１が被嵌されている。この状態では、シールド部材４１の内部にコイルボビン３の両鍔部３ｂ，３ｃが配置され、シールド部材４１の下端面が台部３ｄの上面に当接している。また、シールド部材４１の上端面がコイルボビン３の上端面よりもやや上方に位置している。

そして、コイルボビン３はシールド部材４１とともにケース５１に収納され、この状態では、図５（ｃ）に示すように、シールド部材４１の上端面とケース５１の上端面とが略同じ高さに位置している。すなわち、検出コイルＬの中心軸方向においてコア２が検出コイルＬから離間する方向側のシールド部材４１の端面（つまりはシールド部材４１の上端面）が、検出コイルＬに固定されてコア２と相対変位する部材（ここでは、コイルボビン３、シールド部材４１、ケース５１）の上端面の中で最も上側に位置している。

この後に、被検出体にシャフト６を介して連結されたコア２がコイルボビン３内に出没自在に配置されるのであるが、このシャフト６には、共動部９が上記実施形態４と同様にして固着されている。共動部９は、図５（ｃ）に示すように、第１摺動部９ａの外周面がシールド部材４１の内周面に検出コイルＬの中心軸方向に摺動自在に当接するように配置され、第１摺動部９ａと、シールド部材４１とによりコア２の移動方向を検出コイルＬの中心軸方向のみに規制するガイドが構成されている。

ここで、第１摺動部９ａと、第２摺動部であるシールド部材４１とは、コア２の可動範囲内においてコア２が検出コイルＬから最も離間した状態で両者の当接部分が最も少なくなり、コア２の可動範囲内においてコア２が検出コイルＬ内に最も没入した状態で両者の当接部分が最も多くなるように配置されており、検出コイルＬに対するコア２の相対変位によって所謂入れ子式に運動することになる。また、前記のコア２が検出コイルＬ内に最も没入した状態では、コア２の上端面がシールド４１の上端面と上下方向で略同じ位置に位置している。

以上により、図５（ｃ）に示す検出部１３が得られ、次に、この検出部１３の動作について説明する。図５（ｃ）は、コア２の可動範囲内においてコア２が検出コイルＬから最も離間した状態を示している。この状態では、第１摺動部９ａとシールド部材４１は、第１摺動部９ａの下端部とシールド部材４１の上端部でのみ当接しており、第１摺動部９ａとシールド部材４１の当接部分が最も少なくなっている。このようにコア２が検出コイルＬから最も離間した状態でも第１摺動部９ａとシールド部材４１とを当接させていることにより、ガイドの機能が失われないようにしている。

この状態から、被検出体の移動に伴ってシャフト６が下方へ移動していくと、シャフト６に押されてコア２は下方へと移動し、コイルボビン３内へと入っていく。同時に、シャフト６に固着されている共動部９も下方へと移動し、これに伴ない第１摺動部９ａとシールド部材４１の当接部分が増えていく。尚、共動部９は上記実施形態４と同様にシールド部材４１とともにガイドを構成しているので、コア２を同一の軌道で移動させることが可能になる。

そして、コア２が検出コイルＬ内に最も没入した状態では、第１摺動部９ａはシールド部材４１内に収納され、第１摺動部９ａとシールド部材４１の当接部分が最も多くなっている。また、コア２の上端面がシールド４１の上端面と略同じ高さ位置に位置しており、この状態での検出部１３の上下方向の長さ寸法は、シャフト６を除けばケース５１の軸方向（上下方向）の長さ寸法に等しくなる。一方、この状態から、被検出体の移動に伴なってシャフト６が上方へ移動する場合は、共動部９が徐々に上方へ移動するとともに、第１摺動部９ａとシールド部材４１の当接部分が少なくなっていき、やがて図５（ｃ）に示す状態となる。

以上述べた検出部１３によれば、コア２の可動範囲内においてコア２が検出コイルＬ内に最も没入した状態で、コア２の上端面がシールド部材４１の上端面と略同じ高さ位置に位置するようになっているので、シャフト６の長さ寸法に、コア２の上端面とシールド部材４１の上端面との間の長さ寸法分を確保する必要がなくなり、これにより、上記実施形態４よりもシャフト６を短くして検出部を小型化することが可能になる。

また、共動部９をシールド部材と同様に鉄等の強磁性体金属を用いて形成すれば、常にコア２を磁束や輻射ノイズ等から防護することができ、また、共動部９を樹脂や非磁性体金属等のシールド効果のない材料から形成した際にも、共動部９にコア２を覆うような強磁性体部を付設することで同様の効果を得ることができる。また尚、第１摺動部９ａを備える共動部９がシールド部材４１から抜け出ないように、第１摺動部９ａをシールド部材４１に抜け止めするようにしてもよい。

（実施形態６）
本実施形態のポジションセンサは、検出部の構成に特徴があり、その他の構成は上記実施形態２と同様であるから、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

本実施形態では、検出部１４は、図５（ｄ）に示すように、コア２と、検出コイルＬが巻装されたコイルボビン３０と、検出コイルＬの外周面を覆うシールド部材４２と、駆動回路及び信号処理回路が実装されたプリント基板Ｐと、これらコア２とコイルボビン３０とシールド部材４２とプリント基板Ｐとが収納されるケース５２とで構成されている。

ここで、コイルボビン３０は、たとえば熱硬化性樹脂等を用いて形成されており、図５（ｄ）に示すように、両端が開口した長尺円筒状の巻胴部３０ａと、巻胴部３０ａの上端側に形成される円環状の第１鍔部３０ｂと、巻胴部３０ａの下端側の開口を閉塞するようにして巻胴部３０ａの下端側に形成される円盤状の第２鍔部３０ｃとを一体に備えている。また、巻胴部３０ａは、軸方向（上下方向）の長さ寸法がコア２の軸方向（上下方向）の長さ寸法よりも大きく形成されるとともに、内径がコア２の外径よりも大きく形成されており、コア２がコイルボビン３０内に自在に出没できるようになっている。

シールド部材４２は、図５（ｄ）に示すように、コイルボビン３０に被嵌される内殻部４２ａと、内殻部４２ａの外周面の全面を覆う外殻部４２ｂとで構成されている。

内殻部４２ａは、たとえば、鉄を用いて長尺の円筒状に形成されている。また、内殻部４２ａは、内径がコイルボビン３０の両鍔部３０ｂ，３０ｃを内包できる程度の大きさに形成されるとともに、軸方向（上下方向）の長さ寸法がコア２の可動範囲の長さ寸法以上となるように形成されている。したがって、内殻部４２ａは、上記実施形態２と同様にコア２の可動範囲全体を覆うようになっており、これによりコア２の位置によらずにコア２を覆うことができるようになっている。さらに、内殻部４２ａの下端部には、下方へ向けて突片４２ｃが一体に突設されている。一方、外殻部４２ｂは、上記実施形態１と同様にして内殻部４０ａの外周面に形成されている。尚、上記実施形態１と同様に、内殻部４２ａには軸方向（上下方向）にスリット（図示せず）が形成されている。

プリント基板Ｐは、たとえば、図６（ａ）に示すような、検出コイルＬに所定の周波数及び振幅の定電流を出力する駆動回路と、定電流及び検出コイルＬのインピーダンスにより決まる電圧信号をコア２と検出コイルＬとの位置情報を示す出力信号に変換する信号処理回路とを構成する電子部品が表面側（図５（ｄ）における下面側）に実装されたプリント配線板からなり、裏面側（図５（ｄ）における上面側）にグラウンド等の安定電位点用の配線パターンが形成されている。

ケース５２は、上面及び下面が開口した円筒状の本体部５３と、本体部５３の下面開口を閉塞する円盤状の底板部５４とで構成されている。

本体部５３は、たとえば、絶縁性樹脂を用いて、上面及び下面が開口した長尺円筒状に形成されるとともに、一体に形成された中板部５５によって内部が上下に仕切られており、中板部５５より上側の第１収納部５３ａには、コア２、コイルボビン３０、及びシールド部材４２が収納され、中板部５５より下側の第２収納部５３ｂには、プリント基板Ｐが収納される。ここで、第１収納部５３ａの内径は、シールド部材４２の外径と同程度となるように形成されるとともに、軸方向（上下方向）の長さ寸法がシールド部材４２の軸方向（上下方向）の長さ寸法よりも大きく形成されている。また、第２収納部５３ｂの側壁部の一部には、プリント基板Ｐに外部電源等の接続線を接続するための切欠部５３ｃが形成されている。

中板部５５の上面側には、シールド部材４２の下端部が嵌入される環状の凹部５５ａが形成されるとともに、凹部５５ａの底部の一部には、シールド部材４２の突片４２ｃを第２収納部５３ｂ側へ露出させるための貫通孔５５ｂが形成されている。また、中板部５５の上面中央部には、コイルボビン３０の第２鍔部３０ｃが嵌入される円形状の穴部５５ｃが形成されている。

そして、各部材が次のようにして取り付けられて検出部１４が構成されている。コイルボビン３０の巻胴部３０ａには、検出コイルＬがコイルボビン３０の軸方向（上下方向）を巻軸方向（上下方向）として巻装されている。このように検出コイルＬが巻装されたコイルボビン３０は、図５（ｄ）に示すように、第２鍔部３０ｃを中板部５５の穴部５５ｃに嵌入した状態でケース５２の第１収納部５３ａに収納される。また、シールド部材４２は、下端部を凹部５５ａに嵌入するとともに、突片４２ｃを貫通孔５５ｂから第２収納部５３ｂに露出させた状態で、第１収納部５３ａに収納され、この状態では、シールド部材４２の内部にコイルボビン３０の両鍔部３０ｂ，３０ｃが配置されている。一方、プリント基板Ｐは、中板部５５の下面側に取り付けられた状態で、第２収納部５３ｂに収納されるのであるが、この収納時にはシールド部材４２の突片４２ｃとプリント基板Ｐの安定電位点用の配線パターンとを半田付け、圧接、溶接等によって電気的に接続しておく。そして、コイルボビン３０、シールド部材４２、及びプリント基板Ｐが収納された本体部５３に、底板部５４を取り付けるとともに、コア２を所定の位置に配置することで、図５（ｄ）に示す検出部１４が得られる。

この検出部１４によれば、シールド部材４２がスリットを有する鉄製の内殻部４２ａと、銅めっき層からなる外殻部４２ｂとで構成されるとともに、シールド部材４２によってコア２がその変位位置によらずに常に覆われているので、実施形態１，２と同様の効果を得ることができる。

加えて、シールド部材４２が突片４２ｃを介してプリント基板Ｐの安定電位点に電気的に接続されているので、輻射ノイズに対してさらに大きなシールド効果を得ることができる。

尚、プリント基板Ｐの安定電位点に接続される突片４２ｃの下面に半田めっき又は金めっき等を施せば、プリント基板Ｐとの接触信頼性を向上できるため、突片４２ｃには半田めっき又は金めっきを施すことが望ましい。

以上述べた本実施形態のポジションセンサ、及び実施形態１〜５のポジションセンサは、直線型（直線運動タイプ）のポジションセンサであったが、本発明のポジションセンサは、このような直線型のものに限られるものではなく、回転型のポジションセンサにも採用できる。また、状況に応じて検出コイルの数を増やしてもよい。

本発明の実施形態１のポジションセンサの要部の概略断面図である。 （ａ）は、同上の分解斜視図であり、（ｂ）は、シールド部材の一例を示す斜視図である。 （ａ）は、セッティングＡを示す説明図であり、（ｂ）は、セッティングＢを示す説明図であり、（ｃ）は、セッティングＣを示す説明図である。 （ａ）は、本発明の実施形態１のポジションセンサの要部の概略断面図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態２のポジションセンサの要部の概略断面図である。 （ａ）は、本発明の実施形態３のポジションセンサの要部の概略断面図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態４のポジションセンサの要部の概略断面図であり、（ｃ）は、本発明の実施形態５のポジションセンサの要部の概略断面図であり、（ｄ）は、本発明の実施形態６のポジションセンサの要部の概略断面図である。 （ａ）は、従来例のポジションセンサのブロック図であり、（ｂ）は、従来例のポジションセンサの要部の説明図である。

符号の説明

１ 検出部
２ コア
３ コイルボビン
４ シールド部材
４ａ 内殻部
４ｂ 外殻部
５ ケース
Ｌ 検出コイル

Claims (10)

1. 中空の検出コイルと、検出コイル内に出没自在に設けられ検出コイルに対してその中心軸方向に相対変位するコアと、少なくとも検出コイルの外周面を覆う磁気シールド用のシールド部材とを備え、シールド部材は、鉄系金属材料からなる内殻部と、前記鉄系金属材料よりも導電性が高い導電性材料からなる外殻部とで構成されていることを特徴とするポジションセンサ用の検出部。
2. 内殻部を構成する鉄系金属材料は、磁気焼鈍されていることを特徴とする請求項１に記載のポジションセンサ用の検出部。
3. 外殻部は、内殻部の表面全面に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のポジションセンサ用の検出部。
4. コアを被検出体に連結する非磁性体のシャフトと、コアの可動範囲外において該シャフトを前記中心軸方向に摺動自在に支持する軸受け部とを有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のポジションセンサ用の検出部。
5. コアに固定されてコアと共動する第１摺動部と、検出コイルに固定されて第１摺動部が前記中心軸方向に摺動自在に当接される第２摺動部とで構成されるガイドを備え、第１摺動部とコアは、前記中心軸方向に並行していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のポジションセンサ用の検出部。
6. シールド部材は、コアの可動範囲全体を覆うように形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のポジションセンサ用の検出部。
7. 第１摺動部と第２摺動部は、コアの可動範囲内においてコアが検出コイルから最も離間した状態で両摺動部の当接部分が最も少なくなるとともに、コアの可動範囲内においてコアが検出コイル内に最も没入した状態で両摺動部の当接部分が最も多くなるように配置され、前記中心軸方向においてコアが検出コイルから離間する方向側の第２摺動部の端面は、検出コイルに固定されてコアと相対変位する部材の前記方向側の端面の中で最も前記方向側に位置し、前記方向側のコアの端面は、前記のコアが検出コイル内に最も没入した状態で前記方向側の第２摺動部の端面と前記中心軸方向で略同じ位置に位置していることを特徴とする請求項５に記載のポジションセンサ用の検出部。
8. コアに固定されてコアと共動するとともにシールド部材で覆われていないコアの部位を覆う強磁性体部を備えていることを特徴とする請求項７に記載のポジションセンサ用の検出部。
9. 請求項１〜８のいずれか１項に記載のポジションセンサ用の検出部と、検出コイルに所定の周波数及び振幅の定電流を出力する駆動回路と、定電流及び検出コイルのインピーダンスにより決まる電圧信号をコアと検出コイルとの位置情報を示す出力信号に変換する信号処理回路とを備えていることを特徴とするポジションセンサ。
10. シールド部材は、駆動回路又は信号処理回路の安定電位点に電気的に接続されていることを特徴とする請求項９に記載のポジションセンサ。

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