JP6062625B2 - 光学式位置測定装置 - Google Patents
光学式位置測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6062625B2 JP6062625B2 JP2011258593A JP2011258593A JP6062625B2 JP 6062625 B2 JP6062625 B2 JP 6062625B2 JP 2011258593 A JP2011258593 A JP 2011258593A JP 2011258593 A JP2011258593 A JP 2011258593A JP 6062625 B2 JP6062625 B2 JP 6062625B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- measurement
- spectral
- scanning detection
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 205
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 335
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 173
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 161
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 53
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 47
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 8
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 241000282461 Canis lupus Species 0.000 description 1
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
− 少なくとも一つの偏光光学構成要素が、分割された分光光束の光路に配設されており、それを介して、測定目盛で分割された二つの分光光束が、直線または円の直角偏光を互いの間で受け、そして
− 検知ユニットにおいて複数の光電子式ディテクタ要素の前に、ポラライザが配設されている
ようにしていることがある。
− 分光光束の直角偏光が、直径方向に配設された二つの扇形で生じるか、又は
− 方位方向で位置に関係して180°の範囲に亘って回転する直線偏光を生じるか
のいずれかであることがある。
更にリフレクタ要素が、偏光光学構成要素として構成されていることがある。
第一走査検知目盛が、
ΦA1(r):=半径に関係する位相関数
r:=半径
dM:=測定目盛の目盛周期
r0:=回折性リングレンズに当たる主光線のラジアル方向間隔
による二次位相関数を有する回折性レンズとして構成されていると利点がある。
最後に、第一走査検知目盛およびリフレクタ要素が、偏光光学構成要素を例外として、光学軸に対して円筒対象で構成されており、そして光源により発せられた光束が、光学軸に沿って進むことがある。
− 一次元の直線目盛として、または
− 二次元の直線目盛として、または
− ラジアル目盛として、または
− 円環目盛として
構成されているようにしていることがある。
本発明による光学式位置測定装置の別の変形例では、分光光束の光路において光学的位相差区間が配設されていることがある。
本発明の別の利点および詳細は、複数の実施例について添付の図を使った以下の説明で分かる。
基準尺体ないしその上に配設された反射性または透過性の測定目盛は、光学軸に沿って光源の−好ましくは平行光線化された−光束により照光されるようになっている。測定目盛では入射する光束が、+1/−1次回折次数で二つの分光光束に分割ないし回折され、それが走査検知ユニットの方向に進む。続いて分光光束は、第一走査検知目盛を介して、光路で後に配設されたリフレクタ要素に集束される。そこで第一走査検知目盛は、円筒対称の回折性リングレンズとして構成されていると好ましい。リフレクタ要素の具体的な構成に関しては多数の可能性があり、それを具体的な実施例を使って更に詳細に説明する。それで例えばリフレクタ要素が、反射性の第二走査検知目盛として、またはミラーおよび一つまたは複数の偏光光学構成要素の組合せとして構成されていることもある。そのリフレクタ要素は、円筒対称の回折性リングレンズの焦点面に配設されている。引き続いてリフレクタ要素により、第一走査検知目盛の方向への二つの分光光束の逆反射が行われる。
二回通過する第一走査検知目盛の回折性リングレンズおよび焦点面に配設されたリフレクタ要素の組合せから、光学的作用に関して逆反射リフレクタが得られる。これは入射するフラット光束を、反対方向に逆進する同じくフラットな光束に変換する。円環格子とは対照的に、ここでは顕著な光波前面歪みが発生しない。
直線偏光され平行光線化された光源21の照光光束は、まず屈曲されずに非偏光性分光器要素22を通過し、そして光学軸Zに沿って走査検知プレート23の中央窓範囲を通って基準尺体10の方向に向けられる。基準尺体10の表面にある直線測定目盛11、その格子定数ないし目盛周期を以下においてはdMで表すが、その直線測定目盛が、入射する光束を±1次回折次数で二つの反射分光光束に分割する。そして二つの反射分光光束は、走査検知プレート23の前側に配設されていると共に基準尺体10から間隔DAを有する透過性の第一走査検知目盛24に、光学軸Zに対して対称的に当たる;間隔DAは、以下において走査検知間隔DAとも表すことにする。ここで走査検知プレート23の前側として、走査検知プレート23で基準尺体10に対向する側を、後側として走査検知プレート23でその反対側を表す。この実施例では第一走査検知目盛24が、透過する回折性リングレンズとして構成されており、それが入射する二つの分光光束を光学軸Zに対して平行に向けると同時に、走査検知プレート23の後側に集束する。走査検知プレート厚みDGを有する走査検知プレート23の後側には、リフレクタ要素25が配設されている。よって第一走査検知目盛24を介して、それに入射する分光光束のリフレクタ要素25への集束が行われる。これは呈示の実施例においては、ゼロ次回折次数でのみ反射する反射性高周波格子の形態をしたリング状第二走査検知目盛として構成されている。高周波格子は以下で更に詳しく説明するように、それに衝突する二つの分光光束を直角偏光するために使用する。そうでなければ、高周波格子は光学的にミラーのように作用するので、それに入射する二つの分光光束、本来の入射する光線の進みに対して反対に光線ズレなしで逆進する。そして二つの分光光束は再び、走査検知プレート23の前側にある第一走査検知目盛24に到達する。回折性リングレンズとして構成された第一走査検知目盛を介して、分光光束は通過時に平行光線化されると同時に、光学軸Zに対して傾斜して屈曲される。引き続いて二つの分光光束は、重なり合って基準尺体10に再び当たり、その基準尺体がそれを+1ないし−1次回折次数で改めて回折した後に反射し、光学軸Zに沿って共軸で重ね合わせる。重ね合わされた光束は続いて、走査検知プレート23の内側窓範囲を改めて通過し、非偏光性分光器要素22により検知ユニット26に向けて方向転換される。検知ユニット26では、−以下において更に詳細に説明するように−位相のずれた走査検知信号が生成される。
光源21は、波長範囲λ=400nm〜1500nmにある光線を発する半導体レーザダイオードとして構成されていると好ましい。光源21として特に適しているのは、例えばストライプ導体レーザダイオードまたはVCSEL光源(垂直共振器面発光レーザー)である。測定誤差の原因となる長手方向モードスプリングを避けるために、例えば本出願人によるDE102004053082A1号公報に記載されているように、半導体レーザダイオードを電流変調して使用することがある。そこで変調周波数は、検知ユニット26で図示していないフォト要素増幅器の入力バンド幅より高いと好ましく、それにより走査検知信号の対応する変調が現れることがない。このような半導体レーザダイオードの電流変調は、場合により発生することのある妨害光束との干渉もなくす。これは場合により、0次回折次数で走査検知プレート23の窓範囲ないし測定目盛11において照光光束が反射することにより発生することがある。同じ理由から、本発明による光学式位置測定装置用の適切な光源21として、1mm以下の短いコヒーレント長を有する長手方向および/または横方向マルチモード半導体レーザダイオードが優先される。特別なケース、特に小さい走査検知間隔DAないし小さい走査検知プレート厚みDGの時には、光源21としてLEDも使用することができる。
理想的には干渉性リングレンズから、理想的な光波前面を有する分光光束が出るに違いなく、それが走査検知プレート23の後側で回折制限された焦点を生成する。そのような理想的な光波前面Φideal(x,y)は、
nG:=走査検知プレートの屈折率
(xF,yF):=求める横方向焦点位置
DG:=走査検知プレートの厚み
で得られる。
ここで半径r0は、回折性リングレンズに当たる主光線のラジアル方向間隔を表し、測定目盛での回折により次のように規定されている:
そして、回折性リングレンズから出る光波前面の光波前面収差δΦA1(x,y)は、理想的な光波前面Φideal(x,y)と対比して次で得られる:
第一走査検知目盛124は、この本発明による光学式位置測定装置の変形例では、透過する回折性リングレンズとして構成されているが、それは、最初の通過後に出る分光光束を垂直方向に対して角度αだけラジアル方向に屈曲する作用をする。二つの分光光束の焦点は、同じく第二走査検知目盛として構成されているリフレクタ要素125にある。角度αがあることにより、焦点の光学軸Zからのラジアル方向間隔r1は、第一走査検知目盛124での分光光束のラジアル方向間隔r0と同一ではない。よって第二走査検知目盛は、直角偏光に加えて分光光束を、再び逆進させるためにラジアル方向に屈曲せねばならない。この追加のラジアル方向屈曲は、第二走査検知目盛の高周波格子が円形状格子線を備えた重ね合わせ円環格子構造を有していることにより達成する。そのために、円環格子のラジアル方向格子定数dRを次のように選ぶ:
同じく第一走査検知目盛224を、透過する回折性リングレンズとして構成するようにしている。リングレンズを最初に通過する時に出て行く分光光束は、第一実施例のように光学軸Zに対して平行に向けられる(α=0)。それが続いてλ/8位相差プレート227.1,227.2を通過した後に、呈示のようにミラーとして構成されているリフレクタ要素225に当たる。この本発明による光学式位置測定装置の例では、λ/8位相差プレート227.1,227.2とミラーの組合せが、前の二つの実施例の第二走査検知格子と置き換わっている。
この変形例においては先に説明した例との違いとして、走査検知目盛224が走査検知プレート223の後側に、そしてリフレクタ要素225ないし第二走査検知目盛が走査検知プレート223の前側に設けられている。第一走査検知目盛224もリフレクタ要素225の走査検知目盛も、ここでは反射を利用している。それにより、これらの走査検知目盛は、例えば指紋または水分凝縮のような汚れから特に良好に保護される。このような形式と方法により、位置測定装置の汚染に対する感度の度合が著しく鈍化する。
r1=r0:=第二走査検知目盛における二つの分光光束の焦点の半径
dP:=高周波格子の局所的格子定数
arctan2=arctan関数の二乗
そのとき直径方向で反対位置にある局所的な格子線方向は、−少なくとも半径r1において−互いに直角である。二つの分光光束は、基準尺体310の任意のモアレ傾斜Rzの時に、そのような直径方向位置に正確に当たるので、それらは常に互いの間で直角に偏光される。尤も、モアレ傾斜Rzの時に二つの分光光束の偏光は、半分の角度だけ一緒に回転するので、適切な走査検知信号を生成するためには特別な検知ユニット326が必要である。
直線偏光:S0:0°、S45:45°、S90:90°、S135:135°;
円偏光:S+:左円、S−:右円
以上のようにして、重ね合わせ光束の各偏光状態を検知することができ、それはポワンカレ図示においてポワンカレ球上の正確な位置に相当している。
光源421により発せられた光束を平行光線化するために、ここではレンズ機能を備えた回折性構造427が使用される。その構造427は、走査検知プレート423の上側の範囲に配設されており、それを光源421により発せられた光束が通過する。この実施例で具体的にはその構造427が、走査検知プレート423の上側にある第一走査検知目盛424の回折性リングレンズの内側に挿入されている。その回折性構造427が、光源421から入射する散光光束を平行光線化する。
この変形例において意図しているのは、上に配設された反射性測定目盛511が十字格子、即ち、二次元直線格子として構成されている基準尺体510の検知走査である。その十字格子は、規定のXとY方向で同じ目盛周期を有しており、例えばチェス盤構造で180°の位相変化量を有する位相格子として構成されていることがある。走査検知ユニット520の側には説明した第一実施例に類似して、殆ど同一の二つの走査検知光学系が設けられている。第一走査検知目盛524.1,524.2およびリフレクタ要素525.1,525.2が、共通の走査検知プレート523で対向する二つの側に設けられている。各走査検知位置において測定目盛511が、光源521.1,521.2の入射する照光光束を、XないしY方向に対して二つの指数で表す四つの一次回折次数:(1,0)、(−1,0)、(0,1)、(0,−1)で回折する。四つの一次回折次数全てが、走査検知プレート523の前側で回折性リングレンズとして構成された第一走査検知格子524.1,524.2により、走査検知プレート523の後側に集束される。第一実施形態と違って、第二走査検知目盛として構成されたリフレクタ要素525.1,525.2は、扇形状に境界を設けている。図14で図示しているように各走査検知位置には、リフレクタ要素525.1,5252.2の直径方向で対向する二つの扇形が関連配置されており、それにはそれぞれ高周波格子を含んでおり、その格子線は図14で分かるように互いの間で直角に延伸している。よって各走査検知位置では、二つの扇形の一つに当たる直径方向分光光束のみが反射される。二つの走査検知位置の扇形は、互いの間で90°回転しているので、第一走査検知位置では、測定目盛のX方向で屈曲された回折次数(1,0)と(−1,0)のみが反射され、第二走査検知位置では、Y方向で屈曲された回折次数(0,1)と(0,−1)のみが反射される。このようにすることにより、第一走査検知位置がX方向でのみ、第二走査検知位置がY方向でのみ測定することが確保される。第二走査検知目盛の扇形の開口角度は、最大90°であり、それにより約±45°の最大モアレ傾斜許容度となる。
この実施形態では位相差区間が、分割された二つの分光光束の一つの光路に挿入されている。図15で示しているように、二つの分光光束用の二つのリフレクタ要素625aおよび625bは、同じ面に配設されておらず、光学軸に沿ってz方向で僅かな量ΔDGだけ互いの間でずれている。走査検知目盛624は対応して二つの半分体に分けられており、それが、付属する分光光束をリフレクタ要素625aないし625bに集束する。nGを走査検知プレート623の屈折率、ΔDGを走査検知プレート623の厚みとする時に、この処置により二つの分光光束は、量nG・ΔDGだけ違いのある異なった長さの光路を通過する。このような形式と方法により分光光束の干渉時に位相ズレが生じ、それは光源621の波長に関係している。そのとき二つの分光光束の直角偏光は、最早必要としない。
11 測定目盛
20 走査検知ユニット
21 光源
22 非偏光性分光器要素
23 走査検知プレート
24 第一走査検知目盛
25 リフレクタ要素
26 検知ユニット
26.1 λ/4位相差プレート
26.2 分光器
26.3 ポラライザ
26.4 ディテクタ要素
123 走査検知プレート
124 第一走査検知目盛
125 リフレクタ要素
126 検知ユニット
211 測定目盛
221 光源
223 走査検知プレート
224 第一走査検知目盛
225 リフレクタ要素
226 検知ユニット
227 λ/8位相差プレート
310 基準尺体
321 光源
322 分光器
323 走査検知プレート
324 第一走査検知目盛
325 リフレクタ要素
326 検知ユニット
326.2 十字格子
326.3 ポラライザ
326.4 ディテクタ要素
326.5 λ/4位相差プレート
411 測定目盛
421 光源
423 走査検知プレート
424 第一走査検知目盛
426.3 ポラライザ
426.4 ディテクタ要素
426.5 λ/4位相差プレート
427 回折性構造
510 基準尺体
511 測定目盛
520 走査検知ユニット
521 光源
523 走査検知プレート
524 第一走査検知目盛
525 リフレクタ要素
621 光源
622 分光器
623 走査検知プレート
624 走査検知目盛
625 リフレクタ要素
626 検知ユニット
626.1 分光器
626.2 格子
626.3 ガラスプレート
626.4 ディテクタ要素
Claims (13)
- 走査検知ユニットおよび測定目盛を備えた基準尺体の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、その走査検知ユニットおよび基準尺体は、少なくとも一つの測定方向(x)に沿って互いの間で移動自在であり、そして
− 走査検知ユニットには、光源、第一円環状走査検知目盛、リフレクタ要素、分光器要素、および検知ユニットを含んでおり、そして
− 光源により発せられた光束が測定目盛に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われ、
− 走査検知ユニットの方向に進む分光光束が、第一円環状走査検知目盛を介してリフレクタ要素に当たり、
− その分光光束が、リフレクタ要素により測定目盛の方向への反射を受け、そして測定目盛へ向かう経路で第一円環状走査検知目盛を通過し、そして
− 再び測定目盛に当たった後に、走査検知ユニットの方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素を介して検知ユニット方向へ方向転換され、そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる、光学式位置測定装置において、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、
− それを介して、それに測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)から入射する分光光束を、リフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)に集束し、
− それを介して分光光束の再平行光線化が行われ、それがリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)での反射の後に、測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)の方向に進むように構成され、
− 少なくとも一つの偏光光学構成要素が、分割された分光光束の光路に配設されており、それを介して、測定目盛(11;111;211;311;411;511)で分割さ
れた二つの分光光束が、直線または円の直角偏光を互いの間で受け、そして
− 検知ユニット(26;126;226;326;526.1,526.2)において複数の光電子式ディテクタ要素(26.4a〜26.4c;126.4a〜126.4c;326.4a〜326.4f;426.4a〜426.4f)の前に、ポラライザ(26.3a〜26.3c;126.3a〜126.3c;326.3a〜326.3f;426.3a〜426.3f)が配設され、
少なくとも一つの偏光光学構成要素を介して、
− 分光光束の直角偏光が、直径方向に配設された二つの扇形で生じるか、又は
− 方位方向で位置に関係して180°の範囲に亘って回転する直線偏光を生じるか、のいずれかである、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 走査検知ユニットおよび測定目盛を備えた基準尺体の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、その走査検知ユニットおよび基準尺体は、少なくとも一つの測定方向(x)に沿って互いの間で移動自在であり、そして
− 走査検知ユニットには、光源、第一円環状走査検知目盛、リフレクタ要素、分光器要素、および検知ユニットを含んでおり、そして
− 光源により発せられた光束が測定目盛に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われ、
− 走査検知ユニットの方向に進む分光光束が、第一円環状走査検知目盛を介してリフレクタ要素に当たり、
− その分光光束が、リフレクタ要素により測定目盛の方向への反射を受け、そして測定目盛へ向かう経路で第一円環状走査検知目盛を通過し、そして
− 再び測定目盛に当たった後に、走査検知ユニットの方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素を介して検知ユニット方向へ方向転換され、そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる、光学式位置測定装置において、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、
− それを介して、それに測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)から入射する分光光束を、リフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)に集束し、
− それを介して分光光束の再平行光線化が行われ、それがリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)での反射の後に、測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)の方向に進むように構成され、
− 少なくとも一つの偏光光学構成要素が、分割された分光光束の光路に配設されており、それを介して、測定目盛(11;111;211;311;411;511)で分割された二つの分光光束が、直線または円の直角偏光を互いの間で受け、そして
− 検知ユニット(26;126;226;326;526.1,526.2)において複数の光電子式ディテクタ要素(26.4a〜26.4c;126.4a〜126.4c;326.4a〜326.4f;426.4a〜426.4f)の前に、ポラライザ(26.3a〜26.3c;126.3a〜126.3c;326.3a〜326.3f;426.3a〜426.3f)が配設され、
偏光光学構成要素として少なくとも一つの高周波格子が、分光光束の走査検知光路に配設されている、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 走査検知ユニットおよび測定目盛を備えた基準尺体の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、その走査検知ユニットおよび基準尺体は、少なくとも一つの測定方向(x)に沿って互いの間で移動自在であり、そして
− 走査検知ユニットには、光源、第一円環状走査検知目盛、リフレクタ要素、分光器要
素、および検知ユニットを含んでおり、そして
− 光源により発せられた光束が測定目盛に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われ、
− 走査検知ユニットの方向に進む分光光束が、第一円環状走査検知目盛を介してリフレクタ要素に当たり、
− その分光光束が、リフレクタ要素により測定目盛の方向への反射を受け、そして測定目盛へ向かう経路で第一円環状走査検知目盛を通過し、そして
− 再び測定目盛に当たった後に、走査検知ユニットの方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素を介して検知ユニット方向へ方向転換され、そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる、光学式位置測定装置において、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、
− それを介して、それに測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)から入射する分光光束を、リフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)に集束し、
− それを介して分光光束の再平行光線化が行われ、それがリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)での反射の後に、測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)の方向に進むように構成され、
− 少なくとも一つの偏光光学構成要素が、分割された分光光束の光路に配設されており、それを介して、測定目盛(11;111;211;311;411;511)で分割された二つの分光光束が、直線または円の直角偏光を互いの間で受け、そして
− 検知ユニット(26;126;226;326;526.1,526.2)において複数の光電子式ディテクタ要素(26.4a〜26.4c;126.4a〜126.4c;326.4a〜326.4f;426.4a〜426.4f)の前に、ポラライザ(26.3a〜26.3c;126.3a〜126.3c;326.3a〜326.3f;426.3a〜426.3f)が配設され、
リフレクタ要素(25;125;525.1,525.2)が、偏光光学構成要素として構成されている、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 走査検知ユニットおよび測定目盛を備えた基準尺体の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、その走査検知ユニットおよび基準尺体は、少なくとも一つの測定方向(x)に沿って互いの間で移動自在であり、そして
− 走査検知ユニットには、光源、第一円環状走査検知目盛、リフレクタ要素、分光器要素、および検知ユニットを含んでおり、そして
− 光源により発せられた光束が測定目盛に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われ、
− 走査検知ユニットの方向に進む分光光束が、第一円環状走査検知目盛を介してリフレクタ要素に当たり、
− その分光光束が、リフレクタ要素により測定目盛の方向への反射を受け、そして測定目盛へ向かう経路で第一円環状走査検知目盛を通過し、そして
− 再び測定目盛に当たった後に、走査検知ユニットの方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素を介して検知ユニット方向へ方向転換され、そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる、光学式位置測定装置において、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、
− それを介して、それに測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)から入射する分光光束を、リフレクタ要素(25;125;225;325;4
25;525.1,525.2;625a,625b)に集束し、
− それを介して分光光束の再平行光線化が行われ、それがリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)での反射の後に、測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)の方向に進むように構成され、
− 少なくとも一つの偏光光学構成要素が、分割された分光光束の光路に配設されており、それを介して、測定目盛(11;111;211;311;411;511)で分割された二つの分光光束が、直線または円の直角偏光を互いの間で受け、そして
− 検知ユニット(26;126;226;326;526.1,526.2)において複数の光電子式ディテクタ要素(26.4a〜26.4c;126.4a〜126.4c;326.4a〜326.4f;426.4a〜426.4f)の前に、ポラライザ(26.3a〜26.3c;126.3a〜126.3c;326.3a〜326.3f;426.3a〜426.3f)が配設され、
位相差プレート(227.1,227.2)として構成された複数の偏光光学構成要素が、分光光束の走査検知光路において測定目盛(211)と第一円環状走査検知目盛(224)の間、または第一円環状走査検知目盛(224)とリフレクタ要素(225)の間に配設されている、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 走査検知ユニットおよび測定目盛を備えた基準尺体の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、その走査検知ユニットおよび基準尺体は、少なくとも一つの測定方向(x)に沿って互いの間で移動自在であり、そして
− 走査検知ユニットには、光源、第一円環状走査検知目盛、リフレクタ要素、分光器要素、および検知ユニットを含んでおり、そして
− 光源により発せられた光束が測定目盛に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われ、
− 走査検知ユニットの方向に進む分光光束が、第一円環状走査検知目盛を介してリフレクタ要素に当たり、
− その分光光束が、リフレクタ要素により測定目盛の方向への反射を受け、そして測定目盛へ向かう経路で第一円環状走査検知目盛を通過し、そして
− 再び測定目盛に当たった後に、走査検知ユニットの方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素を介して検知ユニット方向へ方向転換され、そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる、光学式位置測定装置において、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、
− それを介して、それに測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)から入射する分光光束を、リフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)に集束し、
− それを介して分光光束の再平行光線化が行われ、それがリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)での反射の後に、測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)の方向に進むように構成され、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、
そこで、
ΦA1(r):=半径に関係する位相関数
r:=半径
dM:=測定目盛の目盛周期
r0:=回折性リングレンズに当たる主光線のラジアル方向間隔
による二次位相関数を有する回折性レンズとして構成されている、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 走査検知ユニットおよび測定目盛を備えた基準尺体の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、その走査検知ユニットおよび基準尺体は、少なくとも一つの測定方向(x)に沿って互いの間で移動自在であり、そして
− 走査検知ユニットには、光源、第一円環状走査検知目盛、リフレクタ要素、分光器要素、および検知ユニットを含んでおり、そして
− 光源により発せられた光束が測定目盛に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われ、
− 走査検知ユニットの方向に進む分光光束が、第一円環状走査検知目盛を介してリフレクタ要素に当たり、
− その分光光束が、リフレクタ要素により測定目盛の方向への反射を受け、そして測定目盛へ向かう経路で第一円環状走査検知目盛を通過し、そして
− 再び測定目盛に当たった後に、走査検知ユニットの方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素を介して検知ユニット方向へ方向転換され、そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる、光学式位置測定装置におい
て、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、
− それを介して、それに測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)から入射する分光光束を、リフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)に集束し、
− それを介して分光光束の再平行光線化が行われ、それがリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)での反射の後に、測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)の方向に進むように構成され、
光源(421)により発せられた光束の通過する回折性構造(427)が、走査検知プレート(423)の範囲に配設されており、そこで回折性構造(427)が、光源(421)から入射する光束用の平行光線化レンズとして、および/または測定目盛(411)から入射する重ね合わせ分光光束用の格子分光器としての役割を果たし、そして走査検知プレート(423)の前側と後側に第一円環状走査検知目盛(424)およびリフレクタ要素(425)が、またはその逆で配設されている、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 走査検知ユニットおよび測定目盛を備えた基準尺体の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、その走査検知ユニットおよび基準尺体は、少なくとも一つの測定方向(x)に沿って互いの間で移動自在であり、そして
− 走査検知ユニットには、光源、第一円環状走査検知目盛、リフレクタ要素、分光器要素、および検知ユニットを含んでおり、そして
− 光源により発せられた光束が測定目盛に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われ、
− 走査検知ユニットの方向に進む分光光束が、第一円環状走査検知目盛を介してリフレクタ要素に当たり、
− その分光光束が、リフレクタ要素により測定目盛の方向への反射を受け、そして測定目盛へ向かう経路で第一円環状走査検知目盛を通過し、そして
− 再び測定目盛に当たった後に、走査検知ユニットの方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素を介して検知ユニット方向へ方向転換され、そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる、光学式位置測定装置において、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、
− それを介して、それに測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)から入射する分光光束を、リフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)に集束し、
− それを介して分光光束の再平行光線化が行われ、それがリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)での反射の後に、測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)の方向に進むように構成され、
検知ユニット(26;126;226;326;526.1,526.2)が、入射する重ね合わせ分光光束を空間的に分割する分光器(26.2;126.2;326.2)を有しており、そして分割された分光光束が、それぞれポラライザ(26.3a〜26.3c;126.3a〜126.3c;326.3a〜326.3f;426.3a〜426.3f)を通過した後に光電子式ディテクタ要素(26.4a〜26.4c;126.4a〜126.4c;326.4a〜326.4f;426.4a〜426.4f)に当たる、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 走査検知ユニットおよび測定目盛を備えた基準尺体の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、その走査検知ユニットおよび基準尺体は、少なくとも一つの測定方向(x)に沿って互いの間で移動自在であり、そして
− 走査検知ユニットには、光源、第一円環状走査検知目盛、リフレクタ要素、分光器要素、および検知ユニットを含んでおり、そして
− 光源により発せられた光束が測定目盛に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われ、
− 走査検知ユニットの方向に進む分光光束が、第一円環状走査検知目盛を介してリフレクタ要素に当たり、
− その分光光束が、リフレクタ要素により測定目盛の方向への反射を受け、そして測定目盛へ向かう経路で第一円環状走査検知目盛を通過し、そして
− 再び測定目盛に当たった後に、走査検知ユニットの方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素を介して検知ユニット方向へ方向転換され、そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる、光学式位置測定装置において、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、
− それを介して、それに測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)から入射する分光光束を、リフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)に集束し、
− それを介して分光光束の再平行光線化が行われ、それがリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)での反射の後に、測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)の方向に進むように構成され、
分光光束の光路において、光学的位相差区間(nG・ΔDG)が配設されている、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光学式位置測定装置において、
測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)が、
− 一次元の直線目盛として、または
− 二次元の直線目盛として、または
− ラジアル目盛として、または
− 円環目盛として、構成されている、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光学式位置測定装置において、
二回目に測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)に当たった後に重ね合わせ分光光束が、光学軸に沿って進む、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光学式位置測定装置において、
分光光束が、最初に第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)に当たった後に、光学軸に対して平行に進む、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光学式位置測定装置において、
第一円環状走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2)およびリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2)が、偏光光学構成要素を例外として、光学軸に対して円筒対象で構成されており、そして光源(21;121;221;321;421;521.1,521.2)により発せられた光束が、光学軸に沿って進む、ことを特徴とする光学式位置測定装置。 - 請求項7に記載の光学式位置測定装置において、
分光器(26.2;126.2;326.2)が格子分光器として構成されている、ことを特徴とする光学式位置測定装置。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010063216.3 | 2010-12-16 | ||
DE102010063216 | 2010-12-16 | ||
DE102011082156A DE102011082156A1 (de) | 2010-12-16 | 2011-09-06 | Optische Positionsmesseinrichtung |
DE102011082156.2 | 2011-09-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012127946A JP2012127946A (ja) | 2012-07-05 |
JP6062625B2 true JP6062625B2 (ja) | 2017-01-18 |
Family
ID=45047668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011258593A Active JP6062625B2 (ja) | 2010-12-16 | 2011-11-28 | 光学式位置測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8848184B2 (ja) |
EP (1) | EP2474815B1 (ja) |
JP (1) | JP6062625B2 (ja) |
CN (1) | CN102589420B (ja) |
DE (1) | DE102011082156A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011081879A1 (de) * | 2010-11-03 | 2012-05-03 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Winkelmesseinrichtung |
DE102010063253A1 (de) | 2010-12-16 | 2012-06-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
DE102012218890A1 (de) * | 2012-10-17 | 2014-04-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Absolutes Positionsmessgerät |
DE102013224381A1 (de) * | 2012-12-20 | 2014-06-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
US9465442B2 (en) | 2013-02-05 | 2016-10-11 | Apple Inc. | Optical proximity sensor system having reduced sensitivity to distinct near-field optical effects |
DE102013222383A1 (de) * | 2013-02-06 | 2014-08-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
DE102013203713A1 (de) * | 2013-03-05 | 2014-02-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Inkrementalgeber und Lithographievorrichtung |
GB2514993B (en) * | 2013-03-22 | 2016-03-30 | Lamda Guard Technologies Ltd | Optical diode |
DE102013220190B4 (de) * | 2013-10-07 | 2021-08-12 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Messteilung und lichtelektrische Positionsmesseinrichtung mit dieser Messteilung |
DE102014211004A1 (de) * | 2014-06-10 | 2015-12-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
DE102015201230A1 (de) * | 2015-01-26 | 2016-07-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
DE102015209077A1 (de) * | 2015-05-18 | 2016-11-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Sensoranordnung und verfahren zur ermittlung einer jeweiligen position einer anzahl von spiegeln einer lithographieanlage |
DE102018212719A1 (de) * | 2018-07-31 | 2020-02-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung | Optische Positionsmesseinrichtung |
KR102571918B1 (ko) * | 2018-09-19 | 2023-08-28 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 위치 계측을 위한 계측 센서 |
US10901202B2 (en) * | 2018-09-19 | 2021-01-26 | Illumina, Inc. | Structured illumination of a sample |
DE102019206937A1 (de) * | 2019-05-14 | 2020-11-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3158878B2 (ja) | 1994-07-28 | 2001-04-23 | 松下電器産業株式会社 | 光学式エンコーダ |
JP4846909B2 (ja) | 2000-02-15 | 2011-12-28 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ及び回折格子の変位測定方法 |
JP4713019B2 (ja) * | 2001-06-13 | 2011-06-29 | 株式会社ミツトヨ | 格子干渉型変位検出装置 |
JP2004212243A (ja) | 2003-01-06 | 2004-07-29 | Canon Inc | 格子干渉型光学式エンコーダ |
DE10323088A1 (de) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
DE102004053082A1 (de) | 2004-11-03 | 2006-05-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesssystem |
DE102005029917A1 (de) * | 2005-06-28 | 2007-01-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
US7389595B2 (en) * | 2005-11-09 | 2008-06-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Position-measuring device and method for operating a position-measuring device |
DE102006042743A1 (de) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
DE102007023300A1 (de) * | 2007-05-16 | 2008-11-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Anordnung derselben |
US8115906B2 (en) * | 2007-12-14 | 2012-02-14 | Nikon Corporation | Movable body system, pattern formation apparatus, exposure apparatus and measurement device, and device manufacturing method |
TWI437373B (zh) * | 2008-04-30 | 2014-05-11 | 尼康股份有限公司 | A mounting apparatus, a pattern forming apparatus, an exposure apparatus, a stage driving method, an exposure method, and an element manufacturing method |
JP5235554B2 (ja) * | 2008-08-01 | 2013-07-10 | 株式会社森精機製作所 | 光学式変位測定装置 |
US8334983B2 (en) * | 2009-05-22 | 2012-12-18 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
DE102009027266A1 (de) | 2009-06-29 | 2010-12-30 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Weg- und/oder Drehmessvorrichtung |
-
2011
- 2011-09-06 DE DE102011082156A patent/DE102011082156A1/de not_active Withdrawn
- 2011-11-28 JP JP2011258593A patent/JP6062625B2/ja active Active
- 2011-12-01 US US13/309,021 patent/US8848184B2/en active Active
- 2011-12-01 EP EP11191451.1A patent/EP2474815B1/de active Active
- 2011-12-16 CN CN201110433921.3A patent/CN102589420B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102589420B (zh) | 2016-07-06 |
US20120162646A1 (en) | 2012-06-28 |
DE102011082156A1 (de) | 2012-06-21 |
US8848184B2 (en) | 2014-09-30 |
EP2474815A1 (de) | 2012-07-11 |
CN102589420A (zh) | 2012-07-18 |
JP2012127946A (ja) | 2012-07-05 |
EP2474815B1 (de) | 2015-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6062625B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
CN100425944C (zh) | 位置检测装置和方法 | |
ES2879554T3 (es) | Interferómetro y analizador espectroscópico de transformada de Fourier | |
JP6076589B2 (ja) | 変位検出装置 | |
JP5804899B2 (ja) | 光学式角度測定装置 | |
US9766098B2 (en) | Optical position measuring instrument | |
JP5882673B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
JP2013504068A (ja) | 回転角センサで目盛トラック偏心を光学式に補正する装置および方法 | |
US10634523B2 (en) | Optical rotation angle measuring system | |
KR101828100B1 (ko) | 분광측정장치 | |
US9068811B2 (en) | Device for determining distance interferometrically | |
KR100274131B1 (ko) | 변위정보검출장치 | |
JP5933190B2 (ja) | 光学式距離測定機器 | |
JP4898906B2 (ja) | ロータリエンコーダ装置 | |
JP5322099B2 (ja) | 角度センサ | |
JP5473743B2 (ja) | 軸外透過波面測定装置 | |
JP5511556B2 (ja) | 傾斜センサ、それを備えた加工装置、及びワークの製造方法 | |
JP2000266567A (ja) | ロータリエンコーダ | |
JP5969274B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP2020012784A (ja) | 光学式角度センサ | |
JPH116784A (ja) | 非球面形状測定装置および測定方法 | |
JP2013210228A (ja) | 位置検出装置 | |
JP7042183B2 (ja) | 変位検出装置 | |
JP6756496B2 (ja) | 光学式角度測定装置 | |
JP2009186254A (ja) | 光線角度検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150702 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160330 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160629 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6062625 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |