JP6061408B2 - ナチュラトロンスパッタ装置 - Google Patents
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H3<H2<H1<H1’<H2’<H3’
となる。
D3>D2>D1>D1’>D2’>D3’
となる。
W3<W2<W1<W1’<W2’<W3’
となる。
2 ナチュラトロンスパッタ装置
3 ターゲットホルダ
4 第一筒体
5 第一フランジ
6 第二フランジ
7 第三フランジ
8 支持板
9 ターゲット
10 第二筒体
11 補足磁石
12 主磁石
13 補足磁石保持部
14 ヨーク
16 シールドカバー
16a 開口
17 蓋部
18 隔壁
18a 開口
19 ガス供給パイプ
20 ガス供給パイプ
22 基板
30 レール部
31 滑動部
100 スパッタ部
Claims (4)
- 真空容器内に、間隔をおいて互いに対向配置された一対のターゲットと、前記一対のターゲットのそれぞれの背面側に配置され、前記一対のターゲット間に磁場空間を形成する一対の磁石とを有するスパッタ部を備え、前記一対のターゲット間の側方に、前記磁場空間に臨んで基板が配置されるナチュラトロンスパッタ装置において、
前記一対の磁石は、前記一対のターゲットを介して異極が対向するように配置され、
前記一対の磁石のそれぞれは、ターゲットの周縁に沿って、該ターゲットの背面と対向した筒形状の主磁石と、前記主磁石に包囲された補足磁石とを有し、
前記主磁石と前記補足磁石とは、前記ターゲットの背面側が同極となるように配置され、
前記一対の磁石のうちの少なくともターゲットの背面側にN極を向けた一方の磁石は、補足磁石のN極からの磁力線を対向するターゲットに向けて走らせるべく、補足磁石のN極の端面が、主磁石のS極の端面よりもターゲット側に位置するように、主磁石と補足磁石とが、前記一対のターゲットの背面に対して接離する方向に相対移動可能に構成されていることを特徴とするナチュラトロンスパッタ装置。 - 前記スパッタ部は、前記補足磁石を前記ターゲットの背面に対して進退可能に保持する補足磁石保持部を有する請求項1に記載のナチュラトロンスパッタ装置。
- 前記主磁石は、角筒形状である請求項1又は2に記載のナチュラトロンスパッタ装置。
- 前記主磁石は、長方形の角筒形状であり、前記補足磁石は、前記主磁石の長辺に対応する内周面と略平行に延びる一対の対向面を有する方形に形成され、且つ前記主磁石の内周面に囲まれた領域の中央部に配置された請求項1〜3のいずれか1項に記載のナチュラトロンスパッタ装置。
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