JP6044215B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
このような電力変換装置には、IGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)やFWD(フリーホイーリングダイオード)などのパワーデバイスを実装した回路基板を複数配置してモールド樹脂材料で所定形状に封止した半導体モジュールで構成される半導体装置が用いられている。
この半導体装置では、半導体チップから発熱することから半導体チップの温度管理が問題となる。
また、複数のIGBT素子を配置したときに、冷却効率が良好なIGBT素子のゲート抵抗値を大きく設定し、冷却効率が悪いIGBT素子のゲート抵抗値を小さく設定するようにしたパワー制御回路が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、ゲート抵抗を設けるのみで複数の半導体チップの温度を平均化することができる半導体装置を提供することを目的としている。
また、本発明に係る半導体装置の第3の態様は、前記回路基板の配置方向に対して交差する方向に冷媒流を供給する場合に、両端部の回路基板に対して中央部の回路基板の前記ゲート抵抗の前記半導体チップとの配置距離を長く設定されている。
また、本発明に係る半導体装置の第5の態様は、前記回路基板が、前記半導体チップの近傍の前記ゲート抵抗配設領域に、ディスクリート抵抗を接続する接続パッドを前記配置距離の選択を可能とするように複数有する並列配線パターンを形成している。
また、本発明に係る半導体装置の第6の態様は、前記ゲート抵抗が縦方向の電流経路を形成する縦型拡散構造を有している。
また、本発明に係る半導体装置の第7の態様は、前記半導体チップが絶縁ゲートバイポーラトランジスタで構成されている。
図1は、本発明の第1の実施形態を示す半導体装置の外観斜視図、図2(a)及び(b)は第1の実施形態を示す回路構成の概略構成図及び温度分布を示す特性線図である。
半導体装置1は、側面から見て凸形状を有するケース体2内にケース体の長手方向(図1における左右方向)に延長する例えば8個の半導体回路CS1〜CS8が並列に配置され、これら半導体回路CS1〜CS8をモールド成型して構成されるパワー半導体モジュール3を備えている。これら半導体回路CS1〜CS8のそれぞれは、図2(a)で特に明らかなように、絶縁基板4上に半導体チップ5A,5Bを実装している。
そして、奇数の半導体回路CS1、CS3、CS5及びCS7の各半導体チップ5Aのゲート端子Gはゲート抵抗Rg1、Rg3、Rg5及びRg7を個別に介して図示しないゲート信号形成回路からのゲート信号が入力される共通のゲート信号入力端子tg1に接続されている。
ここで、各ゲート抵抗Rg1〜Rg8のそれぞれは、図3に示すように、温度の上昇に応じて抵抗値が上昇する正の温度特性を有する抵抗で構成されている。
すなわち、温度が一番高い(冷却性能が低い)中央部の半導体回路CS4及びCS5におけるゲート抵抗Rg4及びRg5の半導体チップ5Aに対する配置距離を一番長く設定している。そして、この中央部の半導体回路CS4及びCS5から外側に行くに従いゲート抵抗の半導体チップに対する配置距離を温度に応じた短い距離に設定している。
そして、各上下アームを正極側電源ラインLp及び負極側電源ラインLnに並列に接続して、電力変換装置を構成するインバータの一相分が構成されている。
前述したように、パワー半導体モジュール3の長手方向に対して直交する方向に冷却風を供給して冷却する。この状態で、各半導体回路CS1〜CS8のゲート端子に異なる所定タイミングで例えばパルス幅変調(PWM)信号でなるゲート信号をゲート信号入力端子tg1及びtg2に供給する。このゲート信号は各ゲート抵抗Rgを介して半導体チップ5Aを構成する絶縁ゲートバイポーラトランジスタのゲート端子に供給される。
そして、コレクタ−エミッタ間電圧VCEが十分低い定常状態のオン電圧になった時点で、ターンオンを完了するとともに、ミラー容量の変化はなくなり、ゲート−エミッタ間電圧VGEは再び上昇し、ゲート電圧に達して一定になる。
このように、ゲート抵抗Rgiが小さい抵抗値であるときには、ターンオン時間が短くスイッチング速度が速いので、スイッチング損失は小さくなる。
これに対して、ゲート抵抗Rgの抵抗値が大きい場合には、図5(a)〜(d)で点線図示のように、コレクタ電流Icの増加勾配が緩やかになるとともにコレクタ−エミッタ間電圧VCEの減少も遅れることになり、ターンオン時間が長くなる。このため、スイッチング速度が遅くなり、スイッチング損失が大きくなる。
ところで、本実施形態では、パワー半導体モジュール3の冷却風による冷却効果が低く発熱温度が高くなる長手方向の中央部における半導体チップ5A及びゲート抵抗Rg4,Rg5間の配置距離が長く設定され、中央部から外側に行くに従い半導体チップ5A及びゲート抵抗Rg間の配置距離が短く設定されている。
なお、上記第1の実施形態では、冷却風の供給方向がパワー半導体モジュール3の長手方向と直交する後側から前側へ供給する場合について説明したが、前側から後方側へ冷却風を供給する場合でも上記と同様の作用効果を得ることができる。
この第2の実施形態では、冷却風の供給方向をパワー半導体モジュール3の長手方向に沿って供給するようにしたものである。これに応じてパワー半導体モジュール3の下面に装着する冷却フィンの延長方向をパワー半導体モジュール3の長手方向に一致させる。
すなわち、第2の実施形態では、図7(a)に示すように、前述した第1の実施形態と同様の構成を有するパワー半導体モジュール3の長手方向に沿って例えば右側から左側へ冷却風を供給するようにしている。この場合には、各半導体回路CS1〜CS8のゲート抵抗Rg1〜Rg8の抵抗値を等しく設定するとともに、ゲート抵抗Rg1〜Rg8と半導体チップ5Aとの間の配置距離を等しくした場合には、図7(b)で点線図示のように、冷却風が供給される上流側すなわち右側の温度が低く、下流側に行くに従い温度が上昇する温度分布となる。
この第3の実施形態では、図8(a)に示すように、前述した第1の実施形態において、パワー半導体モジュール3の中央部の半導体回路CS4及びCS5のゲート抵抗Rg4及びRg5と半導体チップ5Aとの配置距離を最小とし、これら半導体回路CS4及びCS5から外側に行くに従いゲート抵抗及び半導体チップ5A間の配置距離を順に長くなるように設定している。
また、半導体回路CS3及びCS6の半導体チップ5Aを構成する絶縁ゲートバイポーラトランジスタのゲート端子を両端より内側の半導体回路CS2及びCS7に形成したゲート抵抗Rg2及びRg7を介してゲート信号入力端子tg1及びtg2に接続している。
さらにまた、両端側の半導体回路CS1及びCS8の半導体チップ5Aを構成する絶縁ゲートバイポーラトランジスタのゲート端子を中央部の半導体回路CS4及びCS5に形成したゲート抵抗Rg4及びRg5を介してゲート信号入力端子tg1及びtg2に接続している。
この結果、パワー半導体モジュール3の長手方向の温度分布は、図8(b)に示すように、第1の実施形態に比較してより平均化することができるとともに、最高温度をより低下することができ、各半導体回路CS1〜CS8の半導体チップ5Aの許容電流量をより増加させることができる。
さらに、上記第1〜第3の実施形態においては、半導体回路CS1〜CS8に1組の半導体チップ5A及び5Bを実装した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、2組以上の半導体チップ5A及び5Bを実装するようにしてもよい。
また、上記第1〜第3の実施形態においては、冷却媒体として冷却風を適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、冷却水等の他の冷却媒体を適用することができる。
また、本発明は上述した電力変換用インバータ装置に限定されるものではなく、パワー半導体モジュールを使用する他の電力変換装置や高周波用途のスイッチングIC等の他の半導体装置に本発明を適用することができる。
Claims (6)
- ゲート端子を有する一つ以上の半導体チップと前記ゲート端子に接続されるゲート抵抗とが少なくとも実装された回路基板を複数並列に配置した半導体モジュールを備え、
前記半導体チップの温度に基づいて前記ゲート抵抗の前記半導体チップとの配置距離を設定し、
前記ゲート抵抗及び前記半導体チップとの配置距離は、当該半導体チップの温度が高い場合に長く設定し、当該半導体チップの温度が低い場合に短く設定することを特徴とする半導体装置。 - ゲート端子を有する一つ以上の半導体チップと前記ゲート端子に接続されるゲート抵抗とが少なくとも実装された回路基板を複数並列に配置した半導体モジュールを備え、
前記半導体チップの温度に基づいて前記ゲート抵抗の前記半導体チップとの配置距離を設定し、
前記回路基板の配置方向に対して交差する方向に冷媒流を供給する場合に、両端部の回路基板に対して中央部の回路基板の前記ゲート抵抗の前記半導体チップとの配置距離を長く設定したことを特徴とする半導体装置。 - ゲート端子を有する一つ以上の半導体チップと前記ゲート端子に接続されるゲート抵抗とが少なくとも実装された回路基板を複数並列に配置した半導体モジュールを備え、
前記半導体チップの温度に基づいて前記ゲート抵抗の前記半導体チップとの配置距離を設定し、
前記回路基板の配置方向に冷媒流を供給する場合に、上流側の回路基板の前記ゲート抵抗の前記半導体チップとの配置距離に対して下流側の回路基板の前記ゲート抵抗の前記半導体チップとの配置距離を長く設定したことを特徴とする半導体装置。 - 前記回路基板は、前記半導体チップの近傍の前記ゲート抵抗配設領域に、ディスクリート抵抗を接続する接続パッドを前記配置距離の選択を可能とするように複数有する並列配線パターンが形成されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記ゲート抵抗は縦方向の電流経路を形成する縦型拡散構造を有することを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップは絶縁ゲートバイポーラトランジスタであることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の半導体装置。
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