JP6043828B2 - 焦電型赤外線センサ - Google Patents
焦電型赤外線センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6043828B2 JP6043828B2 JP2015072193A JP2015072193A JP6043828B2 JP 6043828 B2 JP6043828 B2 JP 6043828B2 JP 2015072193 A JP2015072193 A JP 2015072193A JP 2015072193 A JP2015072193 A JP 2015072193A JP 6043828 B2 JP6043828 B2 JP 6043828B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base substrate
- pyroelectric
- sensor element
- infrared sensor
- pyroelectric infrared
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 44
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 29
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 23
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
前記ベース基板には、前記焦電センサ素子が電気的に接続される電極が形成されており、前記電極と前記焦電センサ素子の間には、バンプが介在している。以上の構成によれば、前記ベース基板と前記焦電センサ素子の間に隙間が確保されるので、前記焦電センサ素子が前記ベース基板から遠ざかり、もって、前記ベース基板自体の発熱による前記焦電センサ素子の感度低下を抑制することができる。
前記ベース基板は、前記枠体の前記内側側面よりも外側に広がる金属膜を有する。以上の構成によれば、前記焦電センサ素子の耐電磁ノイズ性が向上する。
前記焦電センサ素子は、前記ベース基板の略中央に配置されている。以上の構成によれば、前記焦電センサ素子の視野角を効果的に確保することができる。
2 素子収容体
3 焦電センサ素子
4 回路部品
5 光学フィルタ
6 ベース基板
7 枠体
8 素子搭載面
9 底面
10 内側側面
11 金属層
12 電極
13 光学フィルタ搭載面
14 ベース対向面
15 金属膜
16 レジスト
17 接着剤
18 封止樹脂
19 素子電極
20 バンプ
21 空隙
Claims (4)
- ベース基板と、
前記ベース基板上に搭載された焦電センサ素子と、
前記ベース基板上に搭載され、前記焦電センサ素子を囲む筒状の枠体と、
を備え、
前記枠体は、多層プリント基板によって構成されており、
前記枠体の内側側面の全域、前記枠体の前記ベース基板に対向する面であるベース対向面、前記枠体の前記ベース対向面と反対側の面である光学フィルタ搭載面に金属膜が形成されている、
焦電型赤外線センサ。 - 請求項1に記載の焦電型赤外線センサであって、
前記ベース基板には、前記焦電センサ素子が電気的に接続される電極が形成されており、
前記電極と前記焦電センサ素子の間には、バンプを形成している、
焦電型赤外線センサ。 - 請求項1又は2に記載の焦電型赤外線センサであって、
前記ベース基板は、前記枠体の前記内側側面よりも外側に広がる金属膜を有する、
焦電型赤外線センサ。 - 請求項1〜3の何れかに記載の焦電型赤外線センサであって、
前記焦電センサ素子は、前記ベース基板の略中央に配置されている、
焦電型赤外線センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015072193A JP6043828B2 (ja) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 焦電型赤外線センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015072193A JP6043828B2 (ja) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 焦電型赤外線センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016191644A JP2016191644A (ja) | 2016-11-10 |
JP6043828B2 true JP6043828B2 (ja) | 2016-12-14 |
Family
ID=57245426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015072193A Active JP6043828B2 (ja) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 焦電型赤外線センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6043828B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3049276B2 (ja) * | 1990-12-28 | 2000-06-05 | 京セラ株式会社 | 静電潜像現像用トナー |
JP4158830B2 (ja) * | 2005-11-25 | 2008-10-01 | 松下電工株式会社 | 熱型赤外線検出装置の製造方法 |
JP5837778B2 (ja) * | 2011-08-30 | 2015-12-24 | シチズン電子株式会社 | 焦電型赤外線センサおよびその製造方法 |
JP5465288B2 (ja) * | 2012-08-08 | 2014-04-09 | Necトーキン株式会社 | 赤外線センサ |
JP6236929B2 (ja) * | 2012-09-26 | 2017-11-29 | 日本電気株式会社 | 気密封止パッケージ及びその製造方法 |
JP6225564B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2017-11-08 | オムロン株式会社 | 赤外線センサモジュール |
-
2015
- 2015-03-31 JP JP2015072193A patent/JP6043828B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016191644A (ja) | 2016-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4947169B2 (ja) | 半導体装置及びマイクロフォン | |
JP5465288B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP5287906B2 (ja) | 赤外線温度センサ、電子機器、および赤外線温度センサの製造方法 | |
JP2007081614A (ja) | コンデンサマイクロホン | |
JP2007043327A (ja) | コンデンサマイクロホン | |
US20170261455A1 (en) | Gas sensor package | |
JP4944760B2 (ja) | エレクトレットコンデンサマイクロホン | |
JP5962746B2 (ja) | 圧電トランス装置 | |
JP6043828B2 (ja) | 焦電型赤外線センサ | |
KR102522099B1 (ko) | 센서 및 이의 제조 방법 | |
JP5481290B2 (ja) | 焦電型赤外線センサ | |
KR102212845B1 (ko) | 가스 센서 패키지 | |
TW201929527A (zh) | 基板積層體、及攝像裝置 | |
JP5333641B2 (ja) | 赤外線温度センサ、電子機器、および赤外線温度センサの製造方法 | |
JP6983490B2 (ja) | 電子部品 | |
JP5550937B2 (ja) | 力検出器 | |
KR102479586B1 (ko) | 센서 및 이의 제조 방법 | |
JP6555960B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよび電子装置 | |
JP6669553B2 (ja) | 電子部品 | |
JP5921090B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2006210579A (ja) | コモンモードチョークコイルアレイ部品 | |
JP2009094168A (ja) | 回路基板 | |
JP2010237162A5 (ja) | ||
WO2018173527A1 (ja) | 振動センサ | |
JP2021047203A (ja) | 電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160830 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6043828 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |