JP6041693B2 - 液体吐出装置、液体吐出装置の製造方法、カラーフィルターの製造方法および配線の製造方法 - Google Patents
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Description
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Claims (11)
- 互いに対向する第1基板及び第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に高さ方向に対して直交する幅方向に間隔をあけて並設され、長手方向に延びる複数の圧力室を形成する、圧電体で構成された複数の隔壁部と、
前記各隔壁部の両側面に配置され、前記各隔壁部をせん断変形させる複数の電極対と、
前記各圧力室の前記長手方向の第1端部の側に配置され、前記各圧力室に接続される各ノズルが形成されたノズル部材と、を備え、
前記各圧力室は、前記第1端部において前記圧力室の高さ及び幅のうち相対的に短い方が、前記第1端部に対して前記長手方向の反対側の第2端部において、前記第1端部よりも長くなるように形成されていることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記第1端部において前記圧力室の幅が前記圧力室の高さに対して相対的に短いことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記各圧力室の前記第2端部における前記長手方向に垂直な面に沿う断面の断面形状が略正方形であることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置。
- 前記複数の隔壁部は、前記第1基板の一方の面に突設された複数の第1隔壁部と、前記第2基板の一方の面に突設された複数の第2隔壁部と、を有し、
前記第1隔壁部と前記第2隔壁部とが前記幅方向に交互に並設されるように、前記第1隔壁部の先端部が前記第2基板の一方の面に接合されると共に、前記第2隔壁部の先端部が前記第1基板の一方の面に接合されて、前記圧力室が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液体吐出装置。 - 前記第1基板の一方の面には、前記第2隔壁部の先端部が嵌合する第1溝部が形成され、
前記第2基板の一方の面には、前記第1隔壁部の先端部が嵌合する第2溝部が形成されていることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出装置。 - 前記第1隔壁部は、前記第1基板の一方の面から突出し、前記第1基板と一体に形成され、前記高さ方向に分極された第1基端側圧電体と、前記第1基端側圧電体に接合され、前記第1基端側圧電体とは反対方向に分極された第1先端側圧電体と、を有し、
前記第2隔壁部は、前記第2基板の一方の面から突出し、前記第2基板と一体に形成され、前記高さ方向に分極された第2基端側圧電体と、前記第2基端側圧電体に接合され、前記第2基端側圧電体とは反対方向に分極された第2先端側圧電体と、を有することを特徴とする請求項4又は5に記載の液体吐出装置。 - 前記複数の圧力室のうち隣り合う2つの圧力室の間には、前記隔壁部で仕切られた、液体が充填されない空気室が形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 第1基板の一方の面に圧電体からなる複数の第1隔壁部を形成する第1隔壁部形成工程と、
第2基板の一方の面に圧電体からなる複数の第2隔壁部を形成する第2隔壁部形成工程と、
前記第1隔壁部と前記第2隔壁部とが交互に幅方向に並設されるように、前記第1隔壁部の先端部を、前記第2基板の一方の面に接合する共に、前記第2隔壁部の先端部を、前記第1基板の一方の面に接合することで、長手方向に延びる圧力室を形成する圧力室形成工程と、を備え、
前記第1隔壁部形成工程及び前記第2隔壁部形成工程では、前記圧力室形成工程にて形成される前記圧力室の幅が、液体を吐出するノズルに接続する第1端部よりも、前記第1端部に対して前記長手方向の反対側の第2端部において長くなるように、前記第1隔壁部及び前記第2隔壁部を形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - 前記第1基板の一方の面に、前記第2隔壁部の先端部が接合される第1溝部を形成する第1溝部形成工程と、
前記第2基板の一方の面に、前記第1隔壁部の先端部が接合される第2溝部を形成する第2溝部形成工程と、を備えた、ことを特徴とする請求項8に記載の液体吐出装置の製造方法。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液体吐出装置を用いて、カラーフィルターを製造することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液体吐出装置を用いて、配線パターニングを行うことを特徴とする配線の製造方法。
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