JP6041087B2 - 表示パネルの製造方法、その検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態に係る表示パネルの検査装置、検査方法及び製造方法について説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る有機EL表示パネルの検査及びリペアの構成を示す機能ブロック図である。同図に記載された有機EL表示パネルの検査及びリペアの構成は、検査装置1と、表示装置2と、リペア装置3とを備える。なお、本発明の検査方法及び製造方法を実施する対象となるのは表示パネル22であり、表示装置2が有する制御部21、データ線駆動回路23及び走査線駆動回路24は、構成要素としてなくてもよい。
次に、本発明の表示パネルの検査方法及び製造方法について説明する。
2 表示装置
3 リペア装置
11 照射部
12 輝度測定部
13 判定部
21 制御部
22 表示パネル
22B 青色発光画素
22G 緑色発光画素
22R 赤色発光画素
23 データ線駆動回路
24 走査線駆動回路
50 異物
51、52 欠陥部
110 基板
111 平坦化膜
112 陽極
113 正孔注入層
114 発光層
115 電子注入層
116 陰極
117 薄膜封止層
118 封止用樹脂層
119 接着層
120 透明基板
121 ブラックマトリクス
122 カラーフィルタ
122B 青色カラーフィルタ
122G 緑色カラーフィルタ
122R 赤色カラーフィルタ
123 隔壁
130 有機層
221、421 有機EL素子
222 駆動トランジスタ
223 選択トランジスタ
224 コンデンサ
231 データ線
241 走査線
251 正電源線
261 負電源線
422 短絡成分
Claims (9)
- 異なる表示色を有する表示画素を複数含み、前記表示画素の表示色に対応して配置された表示色フィルタを含むカラーフィルタを有する表示パネルの検査方法であって、
前記表示色フィルタのうちいずれかの表示色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す波長においてピーク強度を有する第1照射光を、前記カラーフィルタを介して複数の前記表示画素に照射し、当該照射時における前記複数の表示画素の第1光学像を取得する短波長取得工程と、
前記第1光学像から前記表示色フィルタが配置された表示画素の欠陥部を検出する欠陥検出工程とを含み、
前記欠陥検出工程では、前記第1光学像により測定された輝度値が所定値以上となっている領域を前記欠陥部と判定し、
前記表示色フィルタのうちいずれかの表示色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す波長は、複数存在し、
前記短波長取得工程では、複数の前記波長のうち最短の波長においてピーク強度を有する前記第1照射光を前記表示画素に照射する
表示パネルの検査方法。 - 赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応して配置された赤色フィルタ、緑色フィルタ及び青色フィルタを含むカラーフィルタを有する表示パネルの検査方法であって、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記赤色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す第2波長においてピーク強度を有する第2照射光を照射し、当該照射時における前記各色表示画素の第2光学像を得る赤色短波長取得工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記緑色フィルタの可視光波長域に
おける最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で前記所定の透過率を示す第3波長おいてピーク強度を有する第3照射光を照射し、当該照射時における前記各色表示画素の第3光学像を得る緑色短波長取得工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記青色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で前記所定の透過率を示す第4波長においてピーク強度を有する第4照射光を照射し、当該照射時における前記各色表示画素の第4光学像を得る青色短波長取得工程と、
前記第2光学像、前記第3光学像及び前記第4光学像から前記各色表示画素の欠陥を検出する欠陥検出工程とを含み、
前記欠陥検出工程では、前記第2光学像、前記第3光学像及び前記第4光学像により測定された輝度値が所定値以上となっている領域を前記欠陥部と判定する
表示パネルの検査方法。 - 前記赤色短波長取得工程では、前記第2波長が複数存在する場合には、複数の前記第2波長のうち最短の波長においてピーク強度を有する前記第2照射光を前記表示画素に照射し、
前記緑色短波長取得工程では、前記第3波長が複数存在する場合には、複数の前記第3波長のうち最短の波長においてピーク強度を有する前記第3照射光を前記表示画素に照射し、
前記青色短波長取得工程では、前記第4波長が複数存在する場合には、複数の前記第4波長のうち最短の波長においてピーク強度を有する前記第4照射光を前記表示画素に照射する
請求項2に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記欠陥検出工程では、前記第2光学像、前記第3光学像及び前記第4光学像の露出量をそれぞれ任意に調整して合成した像から前記各色表示画素の欠陥を検出する
請求項2に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記各色表示画素は、陰極及び陽極で挟まれた有機エレクトロルミネッセンス発光層を有し、
前記欠陥検出工程では、前記陰極及び前記陽極が短絡された前記欠陥部を検出する
請求項1〜4のうちいずれか1項に記載の表示パネルの検査方法。 - 赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応して配置された赤色フィルタ、緑色フィルタ及び青色フィルタを含むカラーフィルタを有する表示パネルに対し、前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記赤色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す第2波長においてピーク強度を有する第2照射光を照射し、前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記緑色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す第3波長においてピーク強度を有する第3照射光を照射し、前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記青色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す第4波長においてピーク強度を有する第4照射光を照射する照射部と、
前記照射部から前記第2照射光が照射されている間に、前記各色表示画素の第2光学像を取得し、前記照射部から前記第3照射光が照射されている間に、前記各色表示画素の第3光学像を取得し、前記照射部から前記第4照射光が照射されている間に、前記各色表示画素の第4光学像を取得する輝度測定部と、
前記第2光学像、前記第3光学像及び前記第4光学像により測定された輝度値が所定値以上となっている領域を欠陥部と判定する判定部とを備える
表示パネルの検査装置。 - 赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応して配置された赤色フィルタ、緑色フィルタ及び青色フィルタを含むカラーフィルタを有する表示パネルの製造方法であって、
表示パネル基板上に、前記赤色表示画素、前記緑色表示画素及び前記青色表示画素をマトリクス状に形成し、前記各色表示画素の上に、前記カラーフィルタを形成する表示画素形成工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記赤色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す第2波長においてピーク強度を有する第2照射光を照射し、当該照射時における前記各色表示画素の第2光学像を得る赤色短波長取得工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記緑色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で前記所定の透過率を示す第3波長おいてピーク強度を有する第3照射光を照射し、当該照射時における前記各色表示画素の第3光学像を得る緑色短波長取得工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記青色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で前記所定の透過率を示す第4波長においてピーク強度を有する第4照射光を照射し、当該照射時における前記各色表示画素の第4光学像を得る青色短波長取得工程と、
前記第2光学像、前記第3光学像及び前記第4光学像により測定された輝度値が所定値以上となっている領域を欠陥部として検出する欠陥検出工程と、
前記欠陥検出工程で検出された前記欠陥部について、リペアを行なうリペア工程とを含む
表示パネルの製造方法。 - 異なる表示色を有する表示画素を複数含み、前記表示画素の表示色に対応して配置された表示色フィルタを含むカラーフィルタを有する表示パネルの検査方法であって、
前記表示色フィルタのうちいずれかの表示色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す波長においてピーク強度を有する第1照射光を、前記カラーフィルタを介して複数の前記表示画素に照射し、当該照射時における前記複数の表示画素の第1光学像を取得する短波長取得工程と、
前記第1光学像から前記表示色フィルタが配置された表示画素の欠陥部を検出する欠陥検出工程とを含み、
前記表示色フィルタのうちいずれかの表示色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す波長は、複数存在し、
短波長取得工程では、複数の前記波長のうち最短の波長においてピーク強度を有する前記第1照射光を前記表示画素に照射する
表示パネルの検査方法。 - 赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応して配置された赤色フィルタ、緑色フィルタ及び青色フィルタを含むカラーフィルタを有する表示パネルの検査方法であって、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記赤色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で所定の透過率を示す第2波長においてピーク強度を有する第2照射光を照射し、当該照射時における前記各色表示画素の第2光学像を得る赤色短波長取得工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記緑色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で前記所定の透過率を示す第3波長おいてピーク強度を有する第3照射光を照射し、当該照射時における前記各色表示画素の第3光学像を得る緑色短波長取得工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に、前記青色フィルタの可視光波長域における最大透過率を示す波長よりも短い波長であって前記可視光波長域内で前記所定の透過率を示す第4波長においてピーク強度を有する第4照射光を照射し、当該照射時における前記各色表示画素の第4光学像を得る青色短波長取得工程と、
前記第2光学像、前記第3光学像及び前記第4光学像から前記各色表示画素の欠陥を検出する欠陥検出工程とを含み、
前記赤色短波長取得工程では、前記第2波長が複数存在する場合には、複数の前記第2波長のうち最短の波長においてピーク強度を有する前記第2照射光を前記表示画素に照射し、
前記緑色短波長取得工程では、前記第3波長が複数存在する場合には、複数の前記第3波長のうち最短の波長においてピーク強度を有する前記第3照射光を前記表示画素に照射し、
前記青色短波長取得工程では、前記第4波長が複数存在する場合には、複数の前記第4波長のうち最短の波長においてピーク強度を有する前記第4照射光を前記表示画素に照射する
表示パネルの検査方法。
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