JP5938692B2 - 表示パネルの製造方法、その検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態に係る表示パネルの検査装置、検査方法及び製造方法について説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る有機EL表示パネルの検査及びリペアの構成を示す機能ブロック図である。同図に記載された有機EL表示パネルの検査及びリペアの構成は、検査装置1と、表示装置2と、リペア装置3とを備える。なお、本発明の検査方法及び製造方法を実施する対象となるのは表示パネル22であり、表示装置2が有する制御部21、データ線駆動回路23及び走査線駆動回路24は、構成要素としてなくてもよい。
次に、本発明の表示パネルの検査方法及び製造方法について説明する。
2 表示装置
3 リペア装置
11 照射部
12 輝度測定部
13 判定部
21 制御部
22 表示パネル
22B 青色発光画素
22G 緑色発光画素
22R 赤色発光画素
23 データ線駆動回路
24 走査線駆動回路
50 異物
51、52 欠陥部
110 基板
111 平坦化膜
112 陽極
113 正孔注入層
114 発光層
115 電子注入層
116 陰極
117 薄膜封止層
118 封止用樹脂層
119 接着層
120 透明基板
121 ブラックマトリクス
122 カラーフィルタ
122B 青色カラーフィルタ
122G 緑色カラーフィルタ
122R 赤色カラーフィルタ
123 隔壁
130 有機層
221、421 有機EL素子
222 駆動トランジスタ
223 選択トランジスタ
224 コンデンサ
231 データ線
241 走査線
251 正電源線
261 負電源線
422 短絡成分
Claims (10)
- 陰極及び陽極で有機エレクトロルミネッセンス発光層が挟まれた構造をそれぞれ有する赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応するカラーフィルタを有する表示パネルの検査方法であって、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に赤外光を照射し、当該照射時の前記各色表示画素の第1光学像を取得する赤外像取得工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に赤色に対応する波長の単色光を照射し、当該照射時の前記各色表示画素の第2光学像を取得する赤色像取得工程と、
前記第1光学像と前記第2光学像とから前記各色表示画素が有する前記構造の欠陥部を検出する欠陥検出工程とを含む
表示パネルの検査方法。 - 陰極及び陽極で有機エレクトロルミネッセンス発光層が挟まれた構造をそれぞれ有する赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応するカラーフィルタを有する表示パネルの検査方法であって、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に赤外光及び赤色に対応する波長の単色光を同時に照射し、当該照射時の前記各色表示画素の第3光学像を取得する赤外赤色像取得工程と、
前記第3光学像から前記各色表示画素が有する前記構造の欠陥部を検出する欠陥検出工程とを含む
表示パネルの検査方法。 - 前記赤外光の波長は、800nm以上1μm以下であり、
前記単色光の波長は、600nm以上800nm未満である
請求項1または2に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記欠陥検出工程では、前記陰極及び前記陽極が短絡された前記欠陥部を検出する
請求項1または2に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記欠陥検出工程では、前記第1光学像または前記第2光学像により測定された輝度値が所定値以上となっている領域を前記欠陥部と判定する
請求項1に記載の表示パネルの検査方法。 - 前記欠陥検出工程では、前記第3光学像により測定された輝度値が所定値以上となっている領域を前記欠陥部と判定する
請求項2に記載の表示パネルの検査方法。 - 陰極及び陽極で有機エレクトロルミネッセンス発光層が挟まれた構造をそれぞれ有する赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応するカラーフィルタを有する表示パネルに対し、前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に赤外光及び赤色に対応する波長の単色光を照射する照射部と、
前記照射部から前記赤外光が照射されている間に、前記各色表示画素の第1光学像を取得し、前記照射部から前記単色光が照射されている間に、前記各色表示画素の第2光学像を取得する輝度測定部と、
前記第1光学像と前記第2光学像とから前記各色表示画素が有する前記構造の欠陥部を判定する判定部とを備える
表示パネルの検査装置。 - 陰極及び陽極で有機エレクトロルミネッセンス発光層が挟まれた構造をそれぞれ有する赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応するカラーフィルタを有する表示パネルに対し、前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に赤外光及び赤色に対応する波長の単色光を同時に照射する照射部と、
前記照射部から前記赤外光及び前記単色光が照射されている間に、前記各色表示画素の第3光学像を取得する輝度測定部と、
前記第3光学像から前記各色表示画素が有する前記構造の欠陥部を判定する判定部とを備える
表示パネルの検査装置。 - 陰極及び陽極で有機エレクトロルミネッセンス発光層が挟まれた構造をそれぞれ有する赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応するカラーフィルタを有する表示パネルの製造方法であって、
表示パネル基板上に、前記赤色表示画素、前記緑色表示画素及び前記青色表示画素をマトリクス状に形成し、前記各色表示画素の上に、前記各色表示画素に対応するカラーフィルタを形成する表示画素形成工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に赤外光を照射し、当該照射時の前記各色表示画素の第1光学像を取得する赤外像取得工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に赤色に対応する波長の単色光を照射し、当該照射時の前記各色表示画素の第2光学像を取得する赤色像取得工程と、
前記第1光学像と前記第2光学像とから前記各色表示画素が有する前記構造の欠陥部を検出する欠陥検出工程と、
前記欠陥検出工程で検出された前記欠陥部について、リペアを行なうリペア工程とを含む
表示パネルの製造方法。 - 陰極及び陽極で有機エレクトロルミネッセンス発光層が挟まれた構造をそれぞれ有する赤色表示画素、緑色表示画素及び青色表示画素を含み、各色表示画素に対応するカラーフィルタを有する表示パネルの製造方法であって、
表示パネル基板上に、前記赤色表示画素、前記緑色表示画素及び前記青色表示画素をマトリクス状に形成し、前記各色表示画素の上に、前記各色表示画素に対応するカラーフィルタを形成する表示画素形成工程と、
前記カラーフィルタを介して前記各色表示画素に赤外光及び赤色に対応する波長の単色光を同時に照射し、当該照射時の前記各色表示画素の第3光学像を取得する赤外赤色像取得工程と、
前記第3光学像から前記各色表示画素が有する前記構造の欠陥部を検出する欠陥検出工程と、
前記欠陥検出工程で検出された前記欠陥部について、リペアを行なうリペア工程とを含む
表示パネルの製造方法。
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