JP6032924B2 - エンコーダ - Google Patents
エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6032924B2 JP6032924B2 JP2012089035A JP2012089035A JP6032924B2 JP 6032924 B2 JP6032924 B2 JP 6032924B2 JP 2012089035 A JP2012089035 A JP 2012089035A JP 2012089035 A JP2012089035 A JP 2012089035A JP 6032924 B2 JP6032924 B2 JP 6032924B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- unit block
- scale
- region
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 63
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 53
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 9
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000003491 array Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
R(x)=A×rect((x−P・N)/B+P/(2・B)×(・・・((±1/2a)±1/2b)±1/2c)・・・)))−C …(1)
但し、矩形関数rect(x)は次式で与えられるように|x|≦1/2のときに1で|x|≦1/2ではないときに0である。xは中心線Xcからの距離、A、B、Cは任意の係数、a、b、c、…は自然数、Nは整数である。
R1(x)=A・rect(2・x/P−2N+1/6)−C …(3)
R2(x)=A・rect(2・x/P−2N−1/6)−C …(4)
ここで、それぞれ1周期分のみの範囲(−P/2<X<P/2)を考えると次式のようになる。
R1(x)=A・rect(2・x/P+1/6)−C …(5)
R2(x)=A・rect(2・x/P−1/6)−C …(6)
さらに、矩形関数R1(x)、R2(x)の和Y(x)は次式のようになる。
Y(x)=R1(x)+R2(x) …(7)
単位ブロックパターンKAは、反射部24AのY方向の幅の積算が関数Y(x)に等しい。本実施例では、関数Y(x)の最小値が0となるようにC=0とし、関数Y(x)の最大値が単位ブロックパターンKAのY方向の幅になるようにA=W/2としている。これにより、信号に寄与しない開口比1もしくは0の領域を無くし、信号効率を大きくとることができる。この結果、本実施例では、数式5、6は次式に示す2つの矩形関数R1(x)、R2(x)となる。なお、開口比は、各分割領域において前記パターンの面積を前記分割領域の面積で割った値であるパターンの面積比であり、百分率で表すことも可能である。パターンの面積比は隣接する二つの分割領域の間で異なる。
R1(x)=W/2・rect(2・x/P+1/6) …(8)
R2(x)=W/2・rect(2・x/P−1/6) …(9)
R1(x)、R2(x)は図4(a)に示す2つの長方形に対応し、Y(x)は図4(b)に示す関数に対応する。単位ブロックパターンKAの反射領域は、図4(b)に示す関数の相似形であり、図2(b)に示す単位ブロックパターンKAが設計される。
U1(x1)=A/r1・exp(i・2π/λ・r1) …(10)
r1=sqrt(z12+x12) …(11)
更に、スケール面上の開口g(x)を通過し、距離z2だけ離れた受光面での光電界分布U2(x2)は次式のように書くことができる。
U2(x2)=∫U1(x1)/(i・λ・r2)・g(x1)・exp(i・2π/λ・r2)dx1 …(12)
r2=sqrt(z22+(x2−x1)2) …(13)
開口関数g(x)は、スケール上の開口部を1とし遮光部を0とする関数である。以上の結果、受光面上の光強度分布I(x2)は次式で表される。
I(x2)=|U2(x2)2| …(14)
光源とスケール間の距離と、スケールと受光素子アレイ間の距離が等しい場合には、Z1=Z2=Zとなる。以降このZを光学ギャップと呼ぶ。受光面上の総光量は光学ギャップZの増加とともに減少するが、以降に示す高調波成分の光学ギャップ変化に対する特性は、各光学ギャップの総光量で正規化して示す。
S(A)=S(A+)−S(A−) …(15)
S(B)=S(B+)−S(B−) …(16)
信号処理回路30の位相取得手段はパターン領域の光の分布の位相(位相信号)Φ1を次式の演算によって取得する。ATAN2[Y,X]は、象限を判別して0〜2π位相に変換する逆正接演算関数である。
Φ1=ATAN2[S(A),S(B)] …(17)
信号処理回路30は、位相取得手段の出力を相対位置信号として取得する。相対位置信号の変化を計数することによってスケール20が測定開始位置から所定周期として何周期目に位置するかの情報を取得することができる。「相対位置」とは、位置の変化量のことであり、単位時間当たり、或いはサンプリング周期当たり(位置信号を得る周期)の位置の変化方向、変化量のことである。もしくは、この相対位置は、ある基準時点(電源投入時、或いはある基準タイミング)の位置に対しての位置の変化方向、変化量としても構わない。
R1(x)=A×rect(2・x/P+1/6+1/10)−C …(18)
R2(x)=A×rect(2・x/P+1/6−1/10)−C …(19)
R3(x)=A×rect(2・x/P−1/6+1/10)−C …(20)
R4(x)=A×rect(2・x/P−1/6−1/10)−C …(21)
4つの矩形関数R1(x)、R2(x)、R3(x)、R4(x)の和Y(x)は次式で表される。
Y(x)=R1(x)+R2(x)+R3(x)+R4(x) …(22)
単位ブロックパターンKBは、Y方向への反射部24Bの幅の積算が関数Y(x)に等しい。本実施例では、関数Y(x)の最小値が0となるようにC=0とし、関数Y(x)の最大値が単位ブロックパターンKBのY方向の幅になるようにA=W/4としている。これにより、数式18〜21は次式のようになる。
R1(x)=W/4×rect(2・x/P+1/6+1/10) …(23)
R2(x)=W/4×rect(2・x/P+1/6−1/10) …(24)
R3(x)=W/4×rect(2・x/P−1/6+1/10) …(25)
R4(x)=W/4×rect(2・x/P−1/6−1/10) …(26)
R1(x)、R2(x)、R3(x)、R4(x)は図8(a)に示す4つの長方形に対応し、Y(x)は図8(b)に示す関数に対応する。単位ブロックパターンKBの反射領域を図8(b)の関数と相似形のピラミッド型としてもよいが、図7(b)に示すようにY方向に対称形状としたり、4つの開口比の順番を入れ替えたりしても効果は同様である。以上のようにして、図7(b)に示す単位ブロックパターンKBが設計される。
R1(x)=A×rect((60×x/(29×P)+60/58×(1/6+1/10)−C …(27)
R2(x)=A×rect((60×x/(29×P)+60/58×(1/6−1/10)−C …(28)
R3(x)=A×rect((60×x/(29×P)+60/58×(−1/6+1/10)−C …(29)
R4(x)=A×rect((60×x/(29×P)+60/58×(−1/6−1/10)−C …(30)
よって、スケールパターンは、格子開口比がD1´=13P/60、D2´=25P/60、D3´=33P/60、D4´=45P/60となる4領域をY方向に分散させて配置させた形状となる。
R1(x)=A×rect(2・x/P+1/4+1/6)−C …(31)
R2(x)=A×rect(2・x/P+1/4−1/6)−C …(32)
R3(x)=A×rect(2・x/P−1/4+1/6)−C …(33)
R4(x)=A×rect(2・x/P−1/4−1/6)−C …(34)
4つの矩形関数R1(x)、R2(x)、R3(x)、R4(x)の和Y(x)は次式で表される。
Y(x)=R1(x)+R2(x)+R3(x)+R4(x) …(35)
領域25の単位ブロックパターンKDは、Y方向への反射部26の幅の積算が関数Y(x)に等しい。本実施例では、関数Y(x)の最小値が0となるようにC=0とし、関数Y(x)の最大値が単位ブロックパターンKDのY方向の幅になるようにA=W/4としている。
R1(x)=W/4×rect(2・x/P+1/4+1/6) …(36)
R2(x)=W/4×rect(2・x/P+1/4−1/6) …(37)
R3(x)=W/4×rect(2・x/P−1/4+1/6) …(38)
R4(x)=W/4×rect(2・x/P−1/4−1/6) …(39)
R1(x)、R2(x)、R3(x)、R4(x)は図14(a)に示す2つの長方形に対応し、Y(x)は図14(b)に示す関数に対応する。単位ブロックパターンKDの反射領域を図14(b)の関数と相似形のピラミッド型としてもよいが、図13Bに示すようにY方向に対称形状としたり、4つの開口比の順番を入れ替えたりしても効果は同様である。以上のようにして、図13Bに示す単位ブロックパターンKDを設計する。
R1(x)=A×rect(2・x/P+1/4+1/6+1/10)−C …(40)
R2(x)=A×rect(2・x/P+1/4+1/6−1/10)−C …(41)
R3(x)=A×rect(2・x/P+1/4−1/6+1/10)−C …(42)
R4(x)=A×rect(2・x/P+1/4−1/6−1/10)−C …(43)
R5(x)=A×rect(2・x/P−1/4+1/6+1/10)−C …(44)
R6(x)=A×rect(2・x/P−1/4+1/6−1/10)−C …(45)
R7(x)=A×rect(2・x/P−1/4−1/6+1/10)−C …(46)
R8(x)=A×rect(2・x/P−1/4−1/6−1/10)−C …(47)
8つの矩形関数R1(x)、R2(x)、R3(x)、R4(x)、R5(x)、R6(x)、R7(x)、R8(x)の和Y(x)は次式で表される。
Y(x)=R1(x)+R2(x)+R3(x)+R4(x)+R5(x)+R6(x)+R7(x)+R8(x) …(48)
領域28の単位ブロックパターンKEは、Y方向への反射部29の幅の積算が関数Y(x)に等しい。本実施例では、関数Y(x)の最小値が0となるようにC=A/8とし、関数Y(x)の最大値が単位ブロックパターンのY幅になるようにA=W/6としている。これにより、Y(x)は、下記に示す8つの矩形関数の合計に、8C(=W/6)のDC分を除いた関数となる。
R1´(x)=W/6×rect(2・x/P+1/4+1/6+1/10) …(49)
R2´(x)=W/6×rect(2・x/P+1/4+1/6−1/10) …(50)
R3´(x)=W/6×rect(2・x/P+1/4−1/6+1/10) …(51)
R4´(x)=W/6×rect(2・x/P+1/4−1/6−1/10) …(52)
R5´(x)=W/6×rect(2・x/P−1/4+1/6+1/10) …(53)
R6´(x)=W/6×rect(2・x/P−1/4+1/6−1/10) …(54)
R7´(x)=W/6×rect(2・x/P−1/4−1/6+1/10) …(55)
R8´(x)=W/6×rect(2・x/P−1/4−1/6−1/10) …(56)
R1´(x)、R2´(x)、R3´(x)、R4´(x)、R5´(x)、R6´(x)、R7´(x)、R8´(x)は図16(a)の8つの長方形に対応し、Y(x)は図16(b)に示す関数に対応する。
Φ2=ATAN2[S(A),S(B)] …(57)
第3の位相取得手段は、(領域28に対応する)受光素子アレイ16の出力信号(デジタル信号)に対して次式に示す逆正接演算を行うことによって領域28からの光の分布の位相(第3の位相)Φ3を取得する。
Φ3=ATAN2[S(A),S(B)] …(58)
移動範囲の片方の端(X=0mm)において、Φ1=Φ2=Φ3=0となるように、スケール20上の3つの周期パターンの初期位相が設定されている。次に、位相信号Φa、Φbを次式の演算によって取得する。
Φa=Φ1−2・Φ2 …(59)
Φb=Φ2−2×Φ3 …(60)
このとき、Φa<0のときはΦa=Φa+2π、Φa>2πのときはΦa=Φa−2πの演算を繰り返し行って0〜2πの出力範囲に変換する。Φbについても同様である。ΦaとΦbのX方向に対する信号周期Ta、Tbはそれぞれ、Ta=20480[μm]、Tb=3413.333[μm]となる。よって、Φaとスケール位置の関係は図20(a)のようになる。また、Φbとスケール位置の関係は図20(b)のようになる。
Sm=(2π・ROUND[((Ta/Tb・Sc−Φb)/
(2π)]+Φb)・Tb/Ta …(61)
ここで、ROUND[x]はxに最も近い整数に変換する関数である。
Sf=(2π・ROUND[((Ta/P3・Sm−Φ3)/
(2π)]+Φ3)・P3/Ta …(62)
更に、信号処理回路30は、下位信号SfとΦ1との同期をとり、下位信号SfからΦ1の周期の何番目にあるかを算出し、Φ1をつなぎ合わせてΦ1の位置精度を持つ絶対位置信号ABSを取得する。
ABS=(ROUND[((Ta/P1・Sf−Φ1)/(2π)]+Φ1/(2π))・P1[μm] …(63)
以上、高精度なインクリメントパターン信号を使用して、長ストロークの絶対位置の情報を取得することができる。
U1(x1)=A・exp(i・2π/λ・z1) …(64)
図22(a)は、受光面上での光強度分布に含まれる3倍波成分の振幅を示すグラフである。横軸は光学ギャップで受光素子アレイ16とスケール20Aとの間の光学的な距離である。単位ブロックパターンKAの周期Pと、光源12の波長λを用いP2/λにより正規化された値となっている。縦軸の振幅の正負は互いに位相が180°反転していることを示している。
Claims (17)
- 光源と、受光素子と、前記光源からの光を反射または透過することによって前記受光素子に導くパターンを含む複数の単位ブロックパターンを含み、前記光源および前記受光素子に対して相対移動可能に設けられたスケールと、を備えるエンコーダであって、
前記複数の単位ブロックパターンは、測位方向に沿って、ピッチPの周期で配置されており、
前記単位ブロックパターンの前記パターンは、前記測位方向に垂直な対称線に関して対称な形状であり、
各単位ブロックパターンは前記測位方向に垂直な方向に沿って複数の分割領域を含み、
各分割領域において前記パターンの面積を前記分割領域の面積で割った値である前記パターンの面積比は、隣接する2つの分割領域の間で異なり、
各分割領域において、前記パターンは、前記測位方向に延びる2つの平行な直線と前記測位方向に垂直な方向に延びる2つの平行な直線によって規定される矩形形状を有し、前記複数の分割領域のうち、少なくとも2つの分割領域によってそれぞれ形成される前記受光素子上の干渉像に含まれる特定次数の高調波成分の位相が反転している
ことを特徴とするエンコーダ。 - 各単位ブロックパターンの前記パターンの前記測位方向に垂直な方向の幅の積算が、
R(x)=A・rect((x−P・N)/B+P/(2・B)×(…((±1/2a)±1/2b)±1/2c)…)))−C
で表される複数の矩形関数の合計に等しくなるような形状を有することを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。
但し、R(x)は前記複数の矩形関数の合計、rect(x)は矩形関数で|x|≦1/2のときに1で|x|≦1/2ではないときに0であり、xは前記対称線からの前記測位方向における距離、A、B、Cは任意の係数、a、b、c、…は自然数、Nは整数である。 - Bは前記ピッチPの半分であることを特徴とする請求項2に記載のエンコーダ。
- 前記複数の矩形関数の合計の最小値が0で、最大値が前記単位ブロックパターンの前記測位方向に垂直な方向の幅であることを特徴とする請求項2又は3に記載のエンコーダ。
- 各単位ブロックパターンの前記パターンは、前記測位方向に延びる対称線に関して対称な形状を有することを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記受光素子は、前記スケールに相対的に移動するように配置され、前記スケールからの光の分布を検出する複数の検出素子が移動方向に並べられた検出素子アレイを有し、
前記光源の発光領域の前記測位方向の大きさが2P以下であり、
前記光源からの発散光が前記スケールに照射され、
mをa、b、c、…の自然数の最大値とするとZは次式を満たすことを特徴とする請求項2乃至4のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。
Z>(P/m)2/λ
但し、λは前記光の波長、Zは前記スケールと前記検出素子の検出面との距離である。 - 前記受光素子は、前記スケールに相対的に移動するように配置され、前記スケールからの光の分布を検出する複数の検出素子が移動方向に並べられた検出素子アレイを有し、
前記エンコーダは前記光源からの光束を平面波に変換するコリメートレンズを更に有し、
該コリメートレンズを通過した前記光源からの光が前記スケールに照射され、
mをa、b、c、…の自然数の最大値とするとZは次式を満たすことを特徴とする請求項2乃至4のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。
Z>(P/m)2/(2・λ)
但し、λは前記光の波長、Zは前記スケールと前記検出素子の検出面との距離である。 - 前記スケールは、前記単位ブロックパターンとは異なる複数の第2の単位ブロックパターンを更に有し、
前記複数の第2の単位ブロックパターンは、前記測位方向に沿って、前記ピッチPとは異なるピッチで配置されており、
前記複数の第2の単位ブロックパターンの各々は、前記光源からの光を反射または透過することによって前記受光素子に導く第2のパターンを含んでおり、
前記第2のパターンは、前記測位方向に垂直な対称線に関して対称な形状であり、
各第2の単位ブロックパターンは前記測位方向に垂直な方向に沿って複数の分割領域を含み、
前記第2の単位ブロックパターンの各分割領域において前記第2のパターンの面積を前記第2の単位ブロックパターンの前記分割領域の面積で割った値である前記第2のパターンの面積比は、前記第2の単位ブロックパターンの隣接する2つの分割領域の間で異なり、
前記第2の単位ブロックパターンの各分割領域において、前記第2のパターンは、前記測位方向に延びる2つの平行な直線と前記測位方向に垂直な方向に延びる2つの平行な直線によって規定される矩形形状を有する
ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記複数の分割領域にうちの1つの分割領域において、前記パターンの前記測位方向の幅と前記単位ブロックパターンの前記測位方向の幅とが一致している
ことを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記複数の分割領域にうちの1つの分割領域には前記パターンがない
ことを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記複数の分割領域は、前記パターンの面積比が最も高い第1の分割領域と、前記パターンの面積比が最も低い第2の分割領域と、前記第1の分割領域と前記第2の分割領域との間に挟まれた1つ以上の分割領域とを含んでおり、
前記1つ以上の分割領域における前記パターンの面積比は、前記第1の分割領域から前記第2の分割領域に向かって単調に減少している、ことを特徴とする請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記第1の分割領域の前記パターンの前記測位方向の幅と前記第1の分割領域の前記測位方向の幅が一致し、前記第2の分割領域には前記パターンがないことを特徴とする請求項11に記載のエンコーダ。
- 前記測位方向は互いに直交する2方向であり、前記測位方向に垂直な方向は前記互いに直交する2方向の一方を測位する場合の前記互いに直交する2方向の他方であることを特徴とする請求項1乃至12のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 移動部と、前記移動部の位置を検出する、請求項1乃至13のうちいずれか1項に記載のエンコーダと、を備えることを特徴とする位置検出装置。
- 移動光学ユニットを含む光学系と、該移動光学ユニットの位置を検出する、請求項1乃至13のうちいずれか1項に記載のエンコーダと、を備えることを特徴とする光学機器。
- 光源からの光を反射または透過することによって受光素子に導くパターンを含む複数の単位ブロックパターンを含み、前記光源および前記受光素子に対して相対移動可能に設けられたスケールであって、
前記複数の単位ブロックパターンは、測位方向に沿って、ピッチPの周期で配置されており、
前記単位ブロックパターンの前記パターンは、前記測位方向に垂直な対称線に関して対称な形状であり、
各単位ブロックパターンは前記測位方向に垂直な方向に沿って複数の分割領域を含み、
各分割領域の前記パターンの面積を前記分割領域の面積で割った値である前記パターンの面積比は、隣接する二つの分割領域の間で異なり、
各分割領域において、前記パターンは、前記測位方向に延びる2つの平行な直線と前記測位方向に垂直な方向に延びる2つの平行な直線によって規定される矩形形状を有し、前記複数の分割領域のうち、少なくとも2つの分割領域によってそれぞれ形成される前記受光素子上の干渉像に含まれる特定次数の高調波成分の位相が反転している
ことを特徴とするスケール。 - 前記パターンの前記測位方向に垂直な方向の幅の積算が、
R(x)=A・rect((x−P・N)/B+P/(2・B)×(…((±1/2a)±1/2b)±1/2c)…)))−C
で表される複数の矩形関数の合計に等しくなるような形状を有することを特徴とする請求項16に記載のスケール。
但し、R(x)は前記複数の矩形関数の合計、rect(x)は矩形関数で|x|≦1/2のときに1で|x|≦1/2ではないときに0であり、xは前記対称線からの前記測位方向における距離、A、B、Cは任意の係数、a、b、c、…は自然数、Nは整数である。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012089035A JP6032924B2 (ja) | 2011-04-13 | 2012-04-10 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011088814 | 2011-04-13 | ||
JP2011088814 | 2011-04-13 | ||
JP2012089035A JP6032924B2 (ja) | 2011-04-13 | 2012-04-10 | エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012230103A JP2012230103A (ja) | 2012-11-22 |
JP6032924B2 true JP6032924B2 (ja) | 2016-11-30 |
Family
ID=46045765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012089035A Active JP6032924B2 (ja) | 2011-04-13 | 2012-04-10 | エンコーダ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9024251B2 (ja) |
EP (1) | EP2511669B1 (ja) |
JP (1) | JP6032924B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6032924B2 (ja) | 2011-04-13 | 2016-11-30 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
JP5755010B2 (ja) | 2011-04-14 | 2015-07-29 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
JP5755009B2 (ja) | 2011-04-14 | 2015-07-29 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
JP5791340B2 (ja) * | 2011-04-14 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
JP6207154B2 (ja) * | 2012-12-28 | 2017-10-04 | キヤノン株式会社 | スケール、変位検出装置、レンズ装置、撮像システム、および、組み立て装置 |
JP6138664B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2017-05-31 | オークマ株式会社 | 光学式エンコーダ |
US9726524B2 (en) | 2014-10-09 | 2017-08-08 | Raytheon Company | Optical position encoder |
EP3015828B1 (en) * | 2014-10-30 | 2016-09-28 | Fagor, S. Coop. | Optoelectronic device and method thereof |
DE102015201230A1 (de) * | 2015-01-26 | 2016-07-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5530603A (en) * | 1978-08-25 | 1980-03-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Position detector |
US4291976A (en) * | 1980-03-10 | 1981-09-29 | Sperry Corporation | Digital fiber optic position sensor |
GB2116313B (en) * | 1982-02-25 | 1985-09-04 | Ferranti Plc | Sine wave generator for position encoder |
US5069547A (en) * | 1988-11-23 | 1991-12-03 | The Boeing Company | Multitrack multilevel sensing system with error detecting |
US5699058A (en) | 1994-03-17 | 1997-12-16 | Copal Company Limited | Absolute encoder generating phase-shifted triangular waveforms to produce multi-bit signals |
JPH09196705A (ja) | 1996-01-23 | 1997-07-31 | Mitsutoyo Corp | 変位測定装置 |
JP2895476B1 (ja) * | 1998-05-19 | 1999-05-24 | 多摩川精機株式会社 | 光学式エンコーダの固定スリット構造 |
WO2000043734A1 (fr) | 1999-01-22 | 2000-07-27 | Citizen Watch Co., Ltd. | Instrument optique servant a mesurer un deplacement |
US6512222B2 (en) | 2000-02-03 | 2003-01-28 | Mitutoyo Corporation | Displacement measuring apparatus |
US6713756B2 (en) | 2000-05-09 | 2004-03-30 | Olympus Corporation | Optical encoder and optical rotary encoder |
US6765195B1 (en) | 2001-05-22 | 2004-07-20 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method and apparatus for two-dimensional absolute optical encoding |
US20040135076A1 (en) * | 2003-01-15 | 2004-07-15 | Xerox Corporation | Method and apparatus for obtaining a high quality sine wave from an analog quadrature encoder |
DE102005036180B4 (de) * | 2005-08-02 | 2020-08-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
JP4724495B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2011-07-13 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
JP2007248359A (ja) | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Citizen Holdings Co Ltd | 位置検出装置 |
US7521669B2 (en) * | 2006-06-02 | 2009-04-21 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Multi-bit absolute position optical encoder with reduced number of tracks |
JP4865470B2 (ja) * | 2006-09-21 | 2012-02-01 | 日機電装株式会社 | エンコーダ |
JP2009198318A (ja) | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
US8188420B2 (en) | 2009-11-14 | 2012-05-29 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | High resolution optical encoder systems having a set of light detecting elements each comprising a pair of complementary detectors (as amended) |
JP5887064B2 (ja) | 2010-04-28 | 2016-03-16 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
US8309906B2 (en) | 2010-06-10 | 2012-11-13 | Mitutoyo Corporation | Absolute optical encoder with long range intensity modulation on scale |
JP6032924B2 (ja) | 2011-04-13 | 2016-11-30 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
JP5755009B2 (ja) | 2011-04-14 | 2015-07-29 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
JP5755010B2 (ja) | 2011-04-14 | 2015-07-29 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
JP5791340B2 (ja) | 2011-04-14 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
-
2012
- 2012-04-10 JP JP2012089035A patent/JP6032924B2/ja active Active
- 2012-04-12 EP EP12163894.4A patent/EP2511669B1/en active Active
- 2012-04-13 US US13/446,587 patent/US9024251B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2511669B1 (en) | 2019-12-18 |
US9024251B2 (en) | 2015-05-05 |
EP2511669A3 (en) | 2014-08-20 |
US20120261562A1 (en) | 2012-10-18 |
EP2511669A2 (en) | 2012-10-17 |
JP2012230103A (ja) | 2012-11-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6032924B2 (ja) | エンコーダ | |
JP5755010B2 (ja) | エンコーダ | |
JP6312505B2 (ja) | 光学式エンコーダおよびこれを備えた装置 | |
KR101240413B1 (ko) | 원점 검출 장치, 변위 측정 장치 및 광학 장치 | |
US8742322B2 (en) | Encoder and interferometer that generate M-phase signals by multiplying N-phase signals by M coefficient sets, where N is not less than 6 and M is not smaller than 2 | |
KR101184167B1 (ko) | 광 위치 인코더 | |
KR100821441B1 (ko) | 광학식 인코더 | |
JP6400036B2 (ja) | 位置検出装置、工作装置、および、露光装置 | |
JP5479255B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP6000759B2 (ja) | スケール、エンコーダ、レンズ装置、および、撮像システム | |
JPH0131127B2 (ja) | ||
JP2017067768A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP7148337B2 (ja) | 位置検出装置、リソグラフィ装置、力覚センサ及び力覚センサを有する装置 | |
Kao et al. | Optical encoder based on the fractional Talbot effect | |
JP2764373B2 (ja) | 多座標測定装置 | |
JP5154072B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JPH09113213A (ja) | 高調波信号成分を濾波する装置 | |
EP2778626B1 (en) | Position detection apparatus, lens apparatus, image pickup system, machine tool apparatus, position detection method, program, and storage medium | |
JP7063743B2 (ja) | エンコーダ | |
JP2018105845A (ja) | エンコーダ | |
JPH0151926B2 (ja) | ||
JP2021179417A (ja) | 光学式エンコーダ及び制御装置 | |
JPS6234243Y2 (ja) | ||
JP2005291794A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP2019158488A (ja) | 距離測定装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160301 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161025 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6032924 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |