JP6018821B2 - クリーンルームの監視装置及びクリーンルームの監視方法 - Google Patents

Description

本発明は、クリーンルームの監視装置及びクリーンルームの監視方法に関する。

従来から、例えば半導体装置を製造するための半導体製造ラインでは、多数の半導体製造装置が、清浄雰囲気とされたクリーンルーム内に配設されている。このようなクリーンルームでは、内部に天井部から床部に向けて流れる清浄空気のダウンフローが形成されており、クリーンルーム内の塵埃を、このダウンフローの流れで外部に排出するようになっている。

このようなクリーンルームでは、上述したダウンフローを形成するため、床部分には多数の開口を有するグレーチングが配設されている。また、グレーチングの下部にはダウンフローが流通される空間部が配設されている。さらに、グレーチングは、取り外し可能となっており、グレーチングを取り外した状態で、グレーチング下部の空間部に作業員が入り作業を行えるようになっている。

上記のようにグレーチングを取り外した場合、床部に開口部が形成されるため、作業員がこの開口部から下部へ落下する危険性がある。このため、グレーチングを取り外した際には、開口部の周囲にパイロンを置く、トラテープを張る等して作業員に注意を促すことが行われている。なお、建築現場等における開口部からの落下を防止するためのものとしては、例えば、開口部用巾木の支持装置等が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０１０−１２６８７６号公報

上記のように従来においては、クリーンルーム内でグレーチングを取り外した際には、パイロンやトラテープ等によって作業員に注意を促している。しかしながら、グレーチングを取り外した際に、パイロンやトラテープ等の設置が速やかに行われず、この結果作業員が開口部の存在に気付かず、開口部から落下してしまうという事故が発生する可能性がある。また、パイロンやトラテープ等が設置されていたとしても、パイロンやトラテープの存在に気付かずに、作業員が開口部から落下してしまうという事故が発生する可能性がある。

本発明は、上記従来の事情に対処してなされたものであり、グレーチングを取り外した開口部からの作業員の落下を防止することのできるクリーンルームの監視装置及びクリーンルームの監視方法を提供することを目的とする。

本発明のクリーンルームの監視装置は、床部に取り外し可能な床面が配置されたクリーンルームの内部を監視するためのクリーンルームの監視装置であって、作業員が通行可能な通路の前記取り外し可能な床面を撮像する監視カメラと、前記監視カメラで得られた画像信号から前記取り外し可能な床面が取り外された開口部の有無を検出し、開口部が有る場合は当該開口部に接近する作業員の有無を前記監視カメラで得られた画像信号から検出し、前記作業員が検出された際に警報信号を出力する監視部と、前記監視部から前記警報信号を受け、警報を発する警報発生手段とを具備したことを特徴とする。

本発明のクリーンルームの監視方法は、床部に取り外し可能な床面が配置されたクリーンルームの内部を監視するためのクリーンルームの監視方法であって、作業員が通行可能な通路の前記取り外し可能な床面を監視カメラによって撮像する撮像工程と、前記撮像工程で得られた前記監視カメラの画像信号から前記取り外し可能な床面が取り外された開口部の有無を検出する開口部検出工程と、前記開口部検出工程で前記開口部が検出された場合、当該開口部に接近する作業員の有無を前記監視カメラの画像信号から検出する監視工程と、前記監視工程で前記開口部に接近する作業員が検出された際に警報を発する警報発生工程とを具備したことを特徴とする。

本発明によれば、グレーチングを取り外した開口部からの作業員の落下を防止することのできるクリーンルームの監視装置及びクリーンルームの監視方法を提供することができる。

本発明の一実施形態のクリーンルームの監視装置の概略構成を示す図。 クリーンルームの監視装置の設置状態の例を説明するための図。 クリーンルームの監視装置の設置状態の例を説明するための図。 クリーンルームの監視動作を示すフローチャート。

以下、本発明のクリーンルームの監視装置及びクリーンルームの監視方法の一実施形態を、図面を参照して説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係るクリーンルームの監視装置の概略構成を示すブロック図である。図１に示すように、クリーンルームの監視装置１００は、コンピュータ等からなる監視部１０１と、デジタルカメラ等からなる監視カメラ１０２と、光及び警報音等によって警報を発生する警報発生部１０３を具備している。なお、警報発生部１０３は、例えば、回転灯と警報音を発生するスピーカー等を備えている。

図２に示すように、監視カメラ１０２は、例えば、クリーンルーム内に配設された半導体製造装置１１０の天井部等に取り付けられており、上方からクリーンルームの床面（グレーチング）を撮像できるようになっている。クリーンルームの床面には、通常時にはグレーチングが配設されており、天井部から床部に向けて形成された清浄空気のダウンフローがグレーチングを介して床面の下方の空間部に流入するようになっている。このグレーチング下方の空間部の高さは、クリーンルームによるが、例えば、１メートルから５メートル程度とされており、クリーンルームの床からこの空間部に作業員が落下すると非常に危険である。

監視カメラ１０２は、半導体製造装置１１０の間に形成された通路の床面（グレーチング）を撮像するためのものである。図２に示す例では、半導体製造装置１１０の周囲に、半導体製造装置１１０を囲むように通路１１１が形成されており、これらの通路１１１を作業員が通行可能となっている。このため、半導体製造装置１１０の四方を撮像するように、４つの監視カメラ１０２が配設されている。

図３に示すように、クリーンルーム内には多数の半導体製造装置１１０が配設されている。そして、監視カメラ１０２は、クリーンルーム内の全ての通路のグレーチングが何れかの監視カメラ１０２の視野内に入るように、これらの半導体製造装置１１０に設置されている。なお、図３に示す例では、警報発生部１０３についても、半導体製造装置１１０に配設した場合について示してあるが、半導体製造装置１１０以外の場所に警報発生部１０３を配設してもよい。

図３に示す例では、グレーチングの一部が取外され、床面には、開口部１１３が形成されている。監視部１０１では、監視カメラ１０２からの画像信号を解析し、クリーンルーム内に開口部１１３が形成されているか否かを監視する。

上記のように、監視カメラ１０２は、クリーンルーム内の全ての通路１１１のグレーチングが何れかの監視カメラ１０２の視野内に入るように設置されている。したがって、クリーンルーム内の通路１１１の何れのグレーチングが取り外された場合でも、何れかの監視カメラ１０２によってこれを検出することができ、開口部１１３が形成されていることを検知することができるようになっている。

なお、監視カメラ１０２は、半導体製造装置１１０以外の部分、例えば、クリーンルームの天井部や壁部に設置してもよく、これらの部分に配設した監視カメラ１０２を組み合わせて使用することもできる。

次に、図４のフローチャートを参照して、クリーンルームの監視装置１００の動作について説明する。

クリーンルームの監視装置１００におけるクリーンルームの監視が開始されると（ステップ３００）、監視部１０１は、各監視カメラ１０２から、撮像された通路１１１の床面（グレーチング）の画像信号を取り込む（ステップ３０１）。

次に、監視部１０１は、各監視カメラ１０２から取り込んだ画像信号を解析して、通路１１１の床面からグレーチングが取り外され、通路１１１に開口部１１３が形成されている部位が存在するか否かを判断する（ステップ３０２）。

そして、通路１１１に開口部１１３が形成されている部位が存在しないと判断された場合は、次に処理を終了するか否かを判断し（ステップ３０５）、処理を終了しない場合は、ステップ３０１からの動作を繰り返す。一方、処理を終了する場合は、監視のための処理を終了する（ステップ３０６）。

一方、ステップ３０２において、グレーチングが取り外され、通路１１１に開口部１１３が形成されていると判断された場合は、次に、その開口部１１３に接近する作業員がいるか否かを監視カメラ１０２の画像信号から検出する（ステップ３０３）。

そして、開口部１１３に接近する作業員がいないと判断された場合は、次に処理を終了するか否かを判断し（ステップ３０５）、処理を終了しない場合は、ステップ３０１からの動作を繰り返す。一方、処理を終了する場合は、監視のための処理を終了する（ステップ３０６）。

一方、開口部に接近する作業員がいると判断された場合は、監視部１０１から警報発生部１０３に警報信号が出力され、警報発生部１０３において、光及び警報音等による警報が発せられる（ステップ３０４）。この警報発生部１０３からの警報によって開口部１１３に接近する作業員は危険な状態が迫っていることを認知することができ、開口部１１３に転落するような事態になることを未然に防止することができる。

次に、処理を終了するか否かを判断する（ステップ３０５）。そして、処理を終了しない場合は、ステップ３０１からの動作を繰り返す。一方、処理を終了する場合は、監視のための処理を終了する（ステップ３０６）。

以上の通り、本実施形態に係るクリーンルームの監視装置及びクリーンルームの監視方法では、クリーンルーム内のグレーチングが取り外され、クリーンルームの床面に開口部１１３が形成されると、この開口部１１３を自動的に検出し、開口部１１３に近接する作業員が検出されると警報を発して作業員に注意を喚起する。したがって、開口部１１３の周囲にパイロンやトラテープ等を設置し忘れたような場合であっても、作業員に開口部１１３の存在を気付かせることができる。これによって、グレーチングが取り外されることによって形成された開口部１１３からの作業員の転落事故が発生することを、防止することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、各種の変形が可能であることは勿論である。

１００……クリーンルームの監視装置、１０１……監視部、１０２……監視カメラ、１０３……警報発生部、１１０……半導体製造装置、１１１……通路、１１３……開口部。

Claims (5)

1. 床部に取り外し可能な床面が配置されたクリーンルームの内部を監視するためのクリーンルームの監視装置であって、
   作業員が通行可能な通路の前記取り外し可能な床面を撮像する監視カメラと、
   前記監視カメラで得られた画像信号から前記取り外し可能な床面が取り外された開口部の有無を検出し、開口部が有る場合は当該開口部に接近する作業員の有無を前記監視カメラの画像信号から検出し、前記作業員が検出された際に警報信号を出力する監視部と、
   前記監視部から前記警報信号を受け、警報を発する警報発生手段と
   を具備したことを特徴とするクリーンルームの監視装置。
2. 請求項１記載のクリーンルームの監視装置であって、
   前記監視カメラが、前記クリーンルーム内に設置された半導体製造装置に複数配設されていることを特徴とするクリーンルームの監視装置。
3. 請求項１又は２記載のクリーンルームの監視装置であって、
   前記警報発生手段が、光と音によって警報を発することを特徴とするクリーンルームの監視装置。
4. 請求項１〜３いずれか１項記載のクリーンルームの監視装置であって、
   前記警報発生手段が、前記クリーンルーム内に設置された半導体製造装置に複数配設されていることを特徴とするクリーンルームの監視装置。
5. 床部に取り外し可能な床面が配置されたクリーンルームの内部を監視するためのクリーンルームの監視方法であって、
   作業員が通行可能な通路の前記取り外し可能な床面を監視カメラによって撮像する撮像工程と、
   前記撮像工程で得られた前記監視カメラの画像信号から前記取り外し可能な床面が取り外された開口部の有無を検出する開口部検出工程と、
   前記開口部検出工程で前記開口部が検出された場合、当該開口部に接近する作業員の有無を前記監視カメラの画像信号から検出する監視工程と、
   前記監視工程で前記開口部に接近する作業員が検出された際に警報を発する警報発生工程と
   を具備したことを特徴とするクリーンルームの監視方法。

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