JP6018369B2 - Substrate processing system, management apparatus, and display method in substrate processing system - Google Patents
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Description
本発明は、少なくとも１台の基板処理装置に関する情報を処理する基板処理システムに関するものである。 The present invention relates to a substrate processing system for processing information related to at least one substrate processing apparatus.
基板処理装置は、基板処理装置の各部から基板処理に関する情報を収集し、基板処理装置を管理する群管理装置に送信する。群管理装置には、ＧＵＩ（Graphical User Interface）を備えた端末装置が接続され、群管理装置は、端末装置からの要求に基づいて、基板処理に関する情報を送信する。このような構成によって、端末装置の操作者は、群管理装置を介して、いずれの端末装置においても、基板処理装置に関する情報を表示させることができる。 The substrate processing apparatus collects information related to substrate processing from each part of the substrate processing apparatus and transmits the information to a group management apparatus that manages the substrate processing apparatus. A terminal device having a GUI (Graphical User Interface) is connected to the group management device, and the group management device transmits information related to substrate processing based on a request from the terminal device. With such a configuration, the operator of the terminal device can display information regarding the substrate processing apparatus in any terminal device via the group management device.
従来、端末操作での表示形式（表示内容、表示色及び表示位置など）を操作者ごとに保存することができず、操作者は、端末装置にログインするたびに、前回ログアウトした時点の表示形式を再現するための操作を行う必要があり、作業効率が低下していた。 Conventionally, the display format (display content, display color, display position, etc.) for the terminal operation cannot be saved for each operator, and the display format at the time when the operator logged out the last time each time the user logs in to the terminal device. It was necessary to perform an operation to reproduce the above, and the work efficiency was reduced.
本発明の目的は、作業効率の低下を防止する基板処理システムを提供することにある。 The objective of this invention is providing the substrate processing system which prevents the fall of work efficiency.
上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理システムは、基板処理を実行する基板処理装置と、前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置とからなる基板処理システムであって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段とを有する。 In order to achieve the above object, a substrate processing system according to the present invention includes a substrate processing apparatus that executes substrate processing, a group management apparatus that collectively acquires information on the substrate processing apparatus from the substrate processing apparatus, and the group A substrate processing system comprising a terminal device that acquires information related to the substrate processing apparatus via a management device, the information relating to display of information related to an operator of the terminal device and information related to the substrate processing apparatus in the terminal device Based on the storage means for storing the information, the information on the operator of the terminal device stored in the storage means, and the information on the display of the information on the substrate processing apparatus in the terminal device. Control means for controlling display of information relating to the substrate processing.
本発明に係る群管理装置は、基板処理を実行する基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置であって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報が変更された場合、変更内容を保存する保存手段とを有する。 The group management apparatus according to the present invention is a group management apparatus that collectively acquires information related to a substrate processing apparatus that performs substrate processing, and that is related to an operator of the terminal apparatus and information related to the substrate processing apparatus in the terminal apparatus. Storage means for storing the information related to the display, and storage means for saving the change contents when the information related to the display of the information related to the substrate processing apparatus in the terminal device stored in the storage means is changed. .
本発明に係る基板処理システムは、基板処理を実行する基板処理装置と、前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置とからなる基板処理システムであって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報と、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段とを有する。 A substrate processing system according to the present invention includes a substrate processing apparatus that performs substrate processing, a group management apparatus that collectively acquires information on the substrate processing apparatus from the substrate processing apparatus, and the substrate via the group management apparatus. A substrate processing system comprising a terminal device that acquires information relating to a processing apparatus, wherein the information relating to an operator of the terminal device, information relating to display of information relating to the substrate processing apparatus in the terminal device, and operation of the terminal device Storage means for storing information relating to the display on the terminal device at the time when the user logs out, information relating to the operator of the terminal device stored in the storage means, and information relating to the substrate processing apparatus in the terminal device Control means for controlling the display of the information relating to the substrate processing in the terminal device based on the information relating to the display. With the door.
好適には、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報は、前記端末装置に表示されていた画面の名前、該画面の位置、該画面のサイズ、及び、該画面が表示されていた前記端末装置のディスプレイのサイズである。 Preferably, the information related to the display on the terminal device at the time when the operator of the terminal device logs out includes the name of the screen displayed on the terminal device, the position of the screen, the size of the screen, and the screen Is the size of the display of the terminal device on which was displayed.
好適には、ログアウトした前記端末装置の操作者が再度ログインした場合、前記制御手段は、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した情報に基づいて、前記端末装置における表示を制御する。 Preferably, when an operator of the terminal device that has logged out logs in again, the control unit reads information related to display on the terminal device at the time when the operator of the terminal device logs out and reads the information Based on the information, display on the terminal device is controlled.
本発明によれば、作業効率の低下を防止する基板処理システムを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the substrate processing system which prevents the fall of work efficiency can be provided.
まず、本発明の実施形態に係る基板処理システムの概要を説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。図１に示すように、基板処理システム１において、基板処理装置１００−１〜１００−ｎがネットワーク１０２−１を介して群管理装置２に接続されるとともに、群管理装置２がネットワーク１０２−２を介して端末装置３−１〜３−ｎに接続される。
First, an outline of a substrate processing system according to an embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a configuration diagram of a substrate processing system according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, in the
ここで、ｎは１以上の整数であって、ｎが常に同じ数を示すとは限らない。
以下の各図において、実質的に同じ構成部分には、同じ符号が付される。
以下、「基板処理装置１００−１〜１００−ｎ」など、複数存在しうる構成部分のいずれかが、特定されずに示される場合には、単に「基板処理装置」などと略記されることがある。
Here, n is an integer of 1 or more, and n does not always indicate the same number.
In the following drawings, substantially the same components are denoted by the same reference numerals.
Hereinafter, when any of a plurality of constituent parts such as “substrate processing apparatus 100-1 to 100-n” is indicated without being specified, it may be simply abbreviated as “substrate processing apparatus”. is there.
基板処理装置１００は、詳細は図２，３を参照して後述するが、例えば、半導体製造装置である。
群管理装置２は、例えば、データベース管理システムが稼働するデータベースサーバである。群管理装置２は、基板処理装置１００の各部から、基板処理装置１００の各部の状態を示す情報（例えば、処理炉内の温度、ガス流量及び圧力。以下、単に「基板処理情報」と記載）を取得し、自身のデータベースに格納する。群管理装置２内のデータベースには、基板処理情報のほか、端末装置３の操作者に関する情報（以下、単に「操作者情報」と記載。詳細は図４を参照して後述）及び端末装置３の表示に関する情報（以下、単に「表示情報」と記載。詳細は図４を参照して後述）が格納される。群管理装置２は、端末装置３からの指示に基づいて、端末装置３に対して、基板処理情報及び表示情報を送信する。
端末装置３は、例えば、ディスプレイを備えた一般的なコンピュータである。端末装置３は、群管理装置２に対して、操作者から受け付けた指示を送信する。端末装置３の操作者は、ディスプレイを介して、基板処理情報をディスプレイに表示する指示を入力する。
このような構成により、端末装置３の操作者は、群管理装置２を介して、いずれの端末装置３にも、基板処理装置１００から取得した情報を表示させることができる。
The
The
The
With such a configuration, the operator of the
[基板処理装置]
次に、図１に示した基板処理装置１００の具体的な実施形態について説明する。以下、基板処理装置１００は、酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などの処理を基板に施し、半導体装置（ＩＣ）を製造する半導体製造装置であるものとして説明する。
図２は、基板処理装置１００の平面透視図であり、図３は、基板処理装置１００の側面透視図である。
[Substrate processing equipment]
Next, a specific embodiment of the
FIG. 2 is a plan perspective view of the
図２，３に示すように、基板処理装置１００は、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下、「ポッド」と記載）１１０を使用し、筐体１１１を備える。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４がそれぞれ建て付けられる。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設され、ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉される。また、ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置され、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成される。ポッド１１０は、ロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出される。
A pod loading / unloading port (substrate container loading / unloading port) 112 is opened on the front wall 111a of the
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置され、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成される。具体的には、回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上下四段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備え、複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０をそれぞれ載置するように構成される。
A rotary pod shelf (substrate container mounting shelf) 105 is installed at an upper portion of the
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置され、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成され、ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成される。
A pod transfer device (substrate container transfer device) 118 is installed between the
筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築される。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設され、上下段のウエハ搬入搬出口１２０には、一対のポッドオープナ１２１がそれぞれ設置される。
A sub-housing 119 is constructed across the rear end of the lower portion of the
ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する載置台１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３とを備える。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成される。
The
サブ筐体１１９は、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４から構成される。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置され、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成される。ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをが、ウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成される。
The sub-housing 119 includes a
図２に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側と反対側である右側端部には、清浄化した雰囲気又は不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するように、供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置され、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置される。
As shown in FIG. 2, supply is performed so that a clean atmosphere or an inert gas,
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５及びウエハ移載装置１２５ａに流通された後、不図示のダクトにより吸い込まれ、筐体１１１の外部に排気がなされるか、又はクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成される。
The
移載室１２４の後側領域には、大気圧未満の圧力（以下、「負圧」と記載）を維持可能な機密性能を有する筐体（以下、「耐圧筐体」と記載）１４０が設置され、耐圧筐体１４０によりボート２１７を収容可能な容積を有するロードロック方式の待機室であるロードロック室１４１が形成される。
In the rear region of the
耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａにはウエハ搬入搬出開口（基板搬入搬出開口）１４２が開設され、ウエハ搬入搬出開口１４２はゲートバルブ（基板搬入搬出口開閉機構）１４３によって開閉される。耐圧筐体１４０の一対の側壁には、ロードロック室１４１へ窒素ガスを給気するためのガス供給管１４４と、ロードロック室１４１を負圧に排気するための排気管１４５とがそれぞれ接続される。
A wafer loading / unloading opening (substrate loading / unloading opening) 142 is opened on the
ロードロック室１４１上方には、処理炉２０２が設けられる。処理炉２０２の下端部は炉口ゲートバルブ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成される。耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａの上端部には、炉口ゲートバルブ１４７を処理炉２０２の下端部の開放時に収容する炉口ゲートバルブカバー１４９が取り付けられる。
A
図２に示すように、耐圧筐体１４０にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置される。ボートエレベータ１１５に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられ、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成される。
As shown in FIG. 2, a boat elevator (substrate holder lifting mechanism) 115 for raising and lowering the
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成される。
The
次に、基板処理装置１００の動作について説明する。図２，３に示すように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
Next, the operation of the
搬入されたポッド１１０は、回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、又は直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。このとき、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも低く設定される。
The loaded
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、キャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。また、予め内部が大気圧状態とされていたロードロック室１４１のウエハ搬入搬出開口１４２がゲートバルブ１４３の動作により開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、ウエハ搬入搬出開口１４２を通じてロードロック室１４１に搬入され、ボート２１７へ移載されて装填（ウエハチャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。
The
上段（又は下段）のポッドオープナ１２１において、ウエハ移載装置１２５がウエハをボート２１７に装填している間、下段（又は上段）のポッドオープナ１２１には、回転式ポッド棚１０５又はロードポート１１４から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されるとともに、ポッドオープナ１２１がポッド１１０を開放する。
In the upper (or lower)
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、ウエハ搬入搬出開口１４２がゲートバルブ１４３によって閉じられ、ロードロック室１４１は排気管１４５から真空引きされることにより、減圧される。
When a predetermined number of
ロードロック室１４１が処理炉２０２内の圧力と同圧に減圧されると、処理炉２０２の下端部が炉口ゲートバルブ１４７によって開放される。このとき、炉口ゲートバルブ１４７は炉口ゲートバルブカバー１４９の内部に搬入されて収容される。
When the
続いて、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５の昇降台１６１によって上昇されて、シールキャップ２１９に支持されたボート２１７が処理炉２０２内へ搬入（ローディング）される。
Subsequently, the
ローディング後、処理炉２０２にてウエハ２００に所定の処理が実施される。処理が終了した後、ボートエレベータ１１５によりボート２１７が引き出され、さらに、ロードロック室１４０内部を大気圧に復圧させた後にゲートバルブ１４３が開かれる。この後、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、上述した手順とは逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体１１１の外部へ払い出される。
After loading, a predetermined process is performed on the
[操作者情報，表示情報]
図４は、図１の群管理装置２内のデータベースに格納される、操作者情報及び表示情報の一例である。
図４に示すように、操作者情報は、操作者名、操作者のパスワード、操作者の権限、及び、対応付けられる表示情報の種別により構成され、操作者ごとに生成される。ここでは、Yamadaの操作者情報及びSuzukiの操作情報が生成されている。
表示情報には、初期設定された表示情報（デフォルトの表示情報）と、操作者ごとに生成された表示情報との２種類があり、いずれの表示情報も、少なくとも１つのフォーマットを含む。なお、表示情報は、操作者が操作しなくなってからログアウトするまでの時間をさらに含んでもよい。
デフォルトの表示情報は、すべての操作者情報に対応付けられる。つまり、デフォルトの表示情報は、すべての操作者によって利用可能である。これに対し、操作者ごとの表示情報は、操作者が同じである操作者情報にのみ対応付けられる。つまり、操作者ごとの表示情報は、別途表示情報を生成した操作者によってのみ利用可能である。操作者（特に、新たに追加された操作者）は、別途表示情報を生成するまで、デフォルトの表示情報を利用することになる。
[Operator information, display information]
FIG. 4 is an example of operator information and display information stored in the database in the
As shown in FIG. 4, the operator information includes an operator name, an operator password, an operator authority, and a type of display information associated with the operator name, and is generated for each operator. Here, Yamada operator information and Suzuki operation information are generated.
There are two types of display information: initial display information (default display information) and display information generated for each operator, and each display information includes at least one format. The display information may further include a time from when the operator stops operating until logout.
The default display information is associated with all operator information. That is, the default display information can be used by all operators. On the other hand, display information for each operator is associated only with operator information for the same operator. That is, the display information for each operator can be used only by an operator who has separately generated display information. The operator (especially a newly added operator) will use the default display information until separate display information is generated.
ここでは、Yamadaの操作者情報には、デフォルトの表示情報のみが対応付けられ（図中の矢印Ａを参照）、Suzukiの操作者情報には、デフォルトの表示情報（図中の矢印Ｂを参照）及びSuzukiの表示情報（図中の矢印Ｃを参照）が対応付けられている。つまり、操作者Yamadaはデフォルトの表示情報のみ利用可能であり、操作者Suzukiはデフォルトの表示情報及びSuzukiの表示情報の両方が利用可能である。
フォーマットは、表示内容、表示色及び表示位置などをパラメータ等により規定したファイルであり、基板処理装置１００の種別ごとに生成される。例えば、フォーマット１をタイプＡの基板処理装置１００に対応付けることにより、タイプＡの基板処理装置１００の各部に関する情報をフォーマット１で表示する。
後述するように、操作者は、あるフォーマットから別のフォーマットに切り替えることができ、パラメータを書き換えることによりフォーマットを編集することができる。
Here, only the default display information is associated with the operator information of Yamada (see arrow A in the figure), and the default display information (see arrow B in the figure) is assigned to the operator information of Suzuki. ) And Suzuki display information (see arrow C in the figure). That is, the operator Yamada can use only the default display information, and the operator Suzuki can use both the default display information and the display information of Suzuki.
The format is a file in which display contents, display color, display position, and the like are defined by parameters and the like, and is generated for each type of
As will be described later, the operator can switch from one format to another, and can edit the format by rewriting the parameters.
以下、図１の端末装置３のディスプレイに表示される画面を説明する。
図５は、操作者がログインした後に表示される、基板処理装置１００の種別（タイプ）
を一覧表示する画面の一例である。
図５に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には画面名（ここでは、基板処理装置タイプ一覧）が表示され、ボディ３０２には、基板処理装置１００の種別がラベリングされたボタン３０４（ここでは、タイプＡの基板処理装置のボタン３０４−１、タイプＢの基板処理装置のボタン３０４−２、及び、タイプＣの基板処理装置のボタン３０４−３）が表示される。
操作者がいずれかのボタンを押下することにより、押下されたボタンに対応する種別の基板処理装置１００を一覧表示する画面に遷移する。
なお、ログイン画面から基板処理装置１００を一覧表示する画面に遷移するのではなく、基板処理装置１００を一覧表示する画面がログイン画面とは別の画面として表示されてもよい（以下、他の画面についても同様）。
Hereinafter, the screen displayed on the display of the
FIG. 5 shows the type of the
It is an example of the screen which displays a list.
As shown in FIG. 5, this screen includes a
When the operator presses any button, the screen transitions to a screen for displaying a list of the
Instead of transition from the login screen to a screen for displaying a list of
図６は、図５の基板処理装置タイプ一覧画面において、操作者がタイプＡの基板処理装置のボタン３０４−１を押下することにより表示される、タイプＡの基板処理装置１００を一覧表示する画面の一例である。
図６に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には、画面名（ここでは、基板処理装置一覧）が表示され、ボディ３０２には、基板処理装置一覧テーブル３０６、表示切替ボタン３０８及び表示編集ボタン３１０が表示される。基板処理装置一覧テーブル３０６は、通し番号（No.）３１２、基板処理装置名（Equipment）３１４、装置警告数（Alarm）３１６、装置状態（Status）３１８、オンライン接続状態（FA Mode）３２０、プロセス状態（PMC Mode）３２２及び傾向監視警告数（EE Alarm）３２４というデータ項目により構成される。
FIG. 6 is a screen for displaying a list of type A
As shown in FIG. 6, this screen includes a
基板処理装置一覧テーブル３０６の下線は、リンク先があり、操作者がクリック可能であることを意味する。操作者が下線のあるデータ項目をクリックすることにより、クリックされたデータ項目の詳細を表示する画面に遷移する。
例えば、図中の矢印Ａによって示される'Ｅ７５'をクリックすることにより、基板処理装置Ｅ７５の詳細を表示する画面に遷移し、図中の矢印Ｂによって示される'９'をクリックすることにより、９つの各警告の詳細を表示する画面に遷移する。
The underline of the substrate processing apparatus list table 306 means that there is a link destination and the operator can click it. When the operator clicks an underlined data item, the screen transitions to a screen that displays details of the clicked data item.
For example, by clicking on “E75” indicated by an arrow A in the figure, the screen changes to a screen displaying details of the substrate processing apparatus E75, and by clicking on “9” indicated by an arrow B in the figure, Transition to a screen displaying details of each of the nine warnings.
操作者が表示切替ボタン３０８を押下することにより、基板処理装置１００の詳細を表示するためのフォーマットを切り替える画面に遷移する。
ここでは、タイプＡの基板処理装置１００が一覧表示されているので、フォーマットが切り替えられた場合には、タイプＡの基板処理装置１００すべてについて、詳細を表示するにあたり、切替え後のフォーマットが適用されることになる。
タイプＢの基板処理装置１００が一覧表示された基板処理装置一覧画面において、フォーマットが切り替えられた場合には、タイプＢの基板処理装置１００すべてについて、詳細を表示するにあたり、切替え後のフォーマットが適用されることになる。
When the operator presses the
Here, since the list of type A
When the format is switched on the substrate processing apparatus list screen in which the type B
操作者が表示編集ボタン３１０を押下することにより、基板処理装置１００の詳細を表示するためのフォーマットを編集する画面に遷移する。
ここでは、タイプＡの基板処理装置１００が一覧表示されているので、フォーマットが編集された場合には、タイプＡの基板処理装置１００すべてについて、詳細を表示するにあたり、編集された後のフォーマットが適用されることになる。
タイプＢの基板処理装置１００が一覧表示された基板処理装置一覧画面において、フォーマットが編集された場合には、タイプＢの基板処理装置１００すべてについて、詳細を表示するにあたり、編集された後のフォーマットが適用されることになる。
When the operator presses the
Here, since a list of type A
When the format is edited on the substrate processing apparatus list screen in which the type B
[フォーマットの切替え]
図７は、図６の基板処理装置一覧画面において、操作者が表示切替ボタン３０８を押下することにより表示される、基板処理装置１００の詳細を表示するためのフォーマットを切り替える画面の一例である。
図７に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には、画面名（ここでは、フォーマット切替）が表示され、ボディ３０２には、フォーマット一覧テーブル３２６が表示される。フォーマット一覧テーブル３２６は、フォーマット名（Name）３２８、コメント（Comment）３３０及び選択状態（Current）３３２というデータ項目により構成される。
選択状態３３２には、チェックボックスが表示される。選択状態３３２にチェックが入っているフォーマットは、基板処理装置１００の詳細を表示するにあたり、現在適用されていることを示す。ここでは、'TopContentsMin'の選択状態３３２にチェックが入り、'TopContentsMin'が現在適用されているが、'TopContentsMin'の選択状態３３２に入っているチェックを外し、別のフォーマットの選択状態３３２にチェックを入れ直すことにより、'TopContentsMin'から別のフォーマットに切り替えることができる。このようにフォーマットが切り替えられた場合には、切替え後のフォーマットの種別が群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。
[Switch format]
FIG. 7 is an example of a screen for switching the format for displaying details of the
As shown in FIG. 7, this screen includes a
A check box is displayed in the
[フォーマットの編集]
図８は、図６の基板処理装置一覧画面において、操作者が表示編集ボタン３１０を押下することにより表示される、基板処理装置１００の詳細を表示するためのフォーマットを編集する画面の一例である。
図８に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には、画面名（ここでは、フォーマット編集）が表示され、ボディ３０２には、列名入力部（Column Name）３３４、説明入力部（Caption）３３６、表示プロパティ設定部（Display Property）３３８、表示アイテム設定部（Display Item）３４０、色設定部（Color Setting）３４２、セーブボタン（Save）３４４及びキャンセルボタン（Cancel）３４６が表示される。
列名入力部３３４及び説明入力部３３６への入力、並びに、表示プロパティ設定部３３８、表示アイテム設定部３４０及び色設定部３４２における設定を行うことにより、フォーマットを編集することができる。このようにフォーマットが編集された場合には、編集後のフォーマットが群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。
[Edit Format]
FIG. 8 is an example of a screen for editing a format for displaying details of the
As shown in FIG. 8, this screen includes a
The format can be edited by making an input to the column
列名入力部３３４は、追加、削除又は変更したい列の名前の入力を受け付け、説明入力部３３６は、列に関する説明の入力を受け付ける。
表示プロパティ設定部３３８には、テキスト揃え選択部（Text Align）３４８、データ形式選択部（Data Format）３５０、データ長選択部（Data Length）３５２及び表示タイプ選択部（Display Type）３５４がプルダウンメニューとして表示され、テキスト揃え、データ形式、データ長及び表示タイプの選択が受け付けられる。表示タイプは、標準（Normal）、バー表示（Bar）及びコンビネーション表示（Combination）から選択可能である。
The column
In the display
表示アイテム設定部３４０には、追加ボタン（Add）３５６、削除ボタン（Remove）３５８及びアイテム表示部３６０がさらに表示される。
操作者が追加ボタン３５６又は削除ボタン３５８を押下することにより、追加又は削除したいアイテムを選択する画面に遷移する。ここで、アイテムとは、図１の端末装置３に表示されるデータ項目（列）である。選択されたアイテムは、アイテム表示部３６０に表示される。アイテム表示部３６０には、通し番号（No.）３６２、ロケータ（Locator）３６４、エレメント（Element）３６６及び属性名（Attribute Name）３６８というデータ項目が表示される。ここで、ロケータとは、装置内の箇所（部品など）であり、エレメントとは、設定値などのデータ要素である。
後述するように、表示タイプ選択部３５４において選択された表示タイプなどに応じて、アイテム表示部３６０に表示されるデータ項目が異なる。
In the display
When the operator presses the
As will be described later, the data items displayed on the
色設定部３４２には、色タイプ選択部（Color Type）３７０がプルダウンメニューとして表示され、色タイプの選択が受け付けられる。
色タイプは、初期表示（Default）、固定色表示（Fixed）、文字列毎色表示（Enum）、パターン別色表示（Pattern Match）及び上下限色表示（Upper Value）から選択可能である。
In the
The color type can be selected from an initial display (Default), a fixed color display (Fixed), a character string color display (Enum), a pattern-specific color display (Pattern Match), and an upper / lower limit color display (Upper Value).
図９は、図８のフォーマット編集画面において、追加ボタン３５６又は削除ボタン３５８を押下することにより表示される、追加又は削除したいアイテムを選択する画面の一例である。
図９に示すように、この画面は、ヘッダ３００及びボディ３０２により構成される。ヘッダ３００には、画面名（ここでは、アイテム選択）が表示され、ボディ３０２には、装置選択部（Equipment）３７２、ロケータ表示部（Locator）３７４及び属性表示部（Attribute）３７６が表示される。
装置選択部３７２は、追加又は削除したいアイテムに関連する基板処理装置１００の選択を受け付け、ロケータ表示部３７４は、装置選択部３７２によって受け付けられた基板処理装置１００のロケータ及びロケータツリーを表示する。ロケータツリーの各ノードは操作者により選択可能であり、いずれかのノードが選択されることにより、属性表示部３７６には、選択されたノードが採りうる属性が表示される。属性表示部３７６の属性もまた、操作者により選択可能であり、いずれかの属性が選択されることにより、アイテムが選択される。
FIG. 9 is an example of a screen for selecting an item to be added or deleted, which is displayed by pressing the
As shown in FIG. 9, this screen includes a
The
図１０（Ａ）は、図８の表示タイプ選択部３５４においてバー表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内のアイテム表示部３６０に表示されるアイテムの一例である。図１０（Ａ）に示すように、アイテム表示部３６０には、通し番号（No.）３６２、ロケータ（Locator）３６４、エレメント（Element）３６６及び属性名（Attribute Name）３６８のほか、表示／非表示（Value is dispaly）３７８が表示される。表示／非表示３７８には、チェックボックスが表示される。チェックが入っているかロケータは、値が表示されることを示す。
図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のアイテムがフォーマットに追加され、このフォーマットが適用された場合に表示される、基板処理装置１００の詳細を表示する画面（一部）の一例である。
FIG. 10A is an example of items displayed on the
FIG. 10B is an example of a screen (partial) for displaying details of the
図１１（Ａ）は、図８の表示タイプ選択部３５４においてコンビネーション表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内のアイテム表示部３６０に表示されるアイテムの一例である。図１１（Ａ）に示すように、アイテム表示部３６０には、通し番号（No.）３６２、ロケータ（Locator）３６４、エレメント（Element）３６６及び属性名（Attribute Name）３６８のほか、区切り文字（Separate Character）３８０が表示される。区切り文字３８０には、プルダウンメニューが表示され、値の区切り文字が選択される。
図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）のアイテムがフォーマットに追加され、このフォーマットが適用された場合に表示される、基板処理装置１００の詳細を表示する画面（一部）の一例である。
FIG. 11A is an example of items displayed on the
FIG. 11B is an example of a screen (partial) for displaying details of the
図１２は、図８の色タイプ選択部３７０において固定色表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内の色設定部３４２に表示される表示色（Color）の一例である。図１２に示すように、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６が表示色として表示される。
FIG. 12 is an example of the display color (Color) displayed on the
図１３は、図８の色タイプ選択部３７０において文字列毎色表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内の色設定部３４２に表示される文字列毎表示色（Enum Color）の一例である。図１３に示すように、文字列（Enum）３８８、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６が表示色として表示される。
FIG. 13 shows the display color (Enum Color) for each character string displayed in the
図１４は、図８の色タイプ選択部３７０においてパターン別色表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内の色設定部３４２に表示される表示色（Color）及びパターンマッチ（Pattern Match）の一例である。図１４に示すように、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６が表示色として表示される。また、文字列パターン（String Pattern）３９０、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、文字列パターン３９０、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６がパターンマッチとして表示される。
FIG. 14 shows the display color (Color) and pattern match (Pattern Match) displayed in the
図１５は、図８の色タイプ選択部３７０において上下限色表示が選択された場合、図８のフォーマット編集画面内の色設定部３４２に表示される表示色（Color）及び上限値／下限値（Lower/Upper Value）の一例である。図１５に示すように、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６が表示色として表示される。また、下限値（Lower Value）３９２、上限値（Upper Value）３９４、テキスト表示色（Text Color）３８２、背景表示色（Back Color）３８４、並びに、下限値３９２、テキスト表示色３８２及び背景表示色３８４が適用されたサンプル（Sample）３８６がパターンマッチとして表示される。
FIG. 15 shows the display color (Color) and upper limit / lower limit values displayed in the
上述したように、操作者がログインした後、フォーマットが切り替えられた場合には、切替え後のフォーマットの種別が群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。また、操作者がログインした後、フォーマットが編集された場合には、編集後のフォーマットが群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。このことにより、操作者が別の端末装置３から再度ログインした場合であっても、切替え後（又は編集後）のフォーマットが利用可能となり、別の端末装置３において、フォーマットを再度切り替える（又は編集する）作業を省くことができる。
As described above, when the format is switched after the operator logs in, the format type after the switching is transmitted to the
さらに、操作者がログアウトした時点で画面が表示されていた場合、この画面に関する情報（画面名、画面の位置、画面のサイズ、及び、画面が表示されていたディスプレイのサイズ）が群管理装置２に送信され、群管理装置２内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。このことにより、操作者が別の端末装置３から再度ログインした場合であっても、ログアウト時の画面が表示され、別の端末装置３において、ログアウト時に表示されていた画面を再度表示させる作業を省くことができる。
Further, when the screen is displayed when the operator logs out, information on the screen (screen name, screen position, screen size, and display size on which the screen was displayed) is stored in the
図１６は、操作者が再度ログインした端末装置３のディスプレイのサイズが、これより前にログインした端末装置３のディスプレイのサイズと異なる場合、再度ログインした端末装置３において、表示画面のサイズを調整する手順を示すフローチャートである。
なお、以下の各手順は、再度ログインした端末装置３において、ＣＰＵがメモリ等に格納されたプログラムを実行することによって実現される（ＣＰＵ、メモリ及びプログラムは不図示）。
FIG. 16 shows that when the display size of the
Note that the following procedures are realized by the CPU executing a program stored in a memory or the like in the
以下、前にログインされた端末装置を端末装置３−１とし、再度ログインされた端末装置を端末装置３−２とする。端末装置３−１のディスプレイの幅をＷ１、高さをＨ１とし、端末装置３−２のディスプレイの幅をＷ２、高さをＨ２とする。端末装置３−１のディスプレイに表示される画面の横位置をＸ１、縦位置をＹ１とし、端末装置３−２のディスプレイに表示される画面の横位置をＸ２、縦位置をＹ２とする。
Ｗ１，Ｈ１，Ｘ１，Ｙ１は、図１７（Ａ）に示すとおりであり、Ｗ２，Ｈ２，Ｘ２，Ｙ２は、図１７（Ｂ）に示すとおりである。
Hereinafter, the terminal device logged in before is referred to as a terminal device 3-1, and the terminal device logged in again is referred to as a terminal device 3-2. The display width of the terminal device 3-1 is W 1 , the height is H 1 , the display width of the terminal device 3-2 is W 2 , and the height is H 2 . X 1 and lateral position display of a screen displayed in the terminal device 3-1, the vertical position and Y 1, X 2 a lateral position display of a screen displayed in the terminal device 3-2, the vertical position Y 2 And
W 1 , H 1 , X 1 and Y 1 are as shown in FIG. 17 (A), and W 2 , H 2 , X 2 and Y 2 are as shown in FIG. 17 (B).
図１６に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、Ｗ１がＷ２よりも大きいか否かを判定する。Ｗ１がＷ２よりも大きい場合には、ステップ１０２に進み、そうでない場合には、ステップ１０８に進む。
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、Ｘ１を補正する必要があるか否かを判定する。具体的には、Ｘ１がＷ２に０．９を乗じた値よりも大きいか否かを判定する。Ｘ１がＷ２×０．９よりも大きい場合には、ステップ１０４に進み、そうでない場合には、ステップ１０６に進む。
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、Ｗ２×０．９をＸ２に設定し、ステップ１０８に進む。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、Ｘ１をＸ２に設定し、ステップ１０８に進む。
As shown in FIG. 16, in step 100 (S100), it is determined whether W1 is larger than W2. If W1 is greater than W2, the process proceeds to step 102; otherwise, the process proceeds to step 108.
In step 102 (S102), it is determined whether or not X1 needs to be corrected. Specifically, it is determined whether X1 is larger than a value obtained by multiplying W2 by 0.9. If X1 is larger than W2 × 0.9, the process proceeds to step 104; otherwise, the process proceeds to step 106.
In step 104 (S104), W2 × 0.9 is set to X2, and the process proceeds to step.
In step 106 (S106), X1 is set to X2, and the process proceeds to step 108.
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、Ｈ１がＨ２よりも大きいか否かを判定する。Ｈ１がＨ２よりも大きい場合には、ステップ１１０に進み、そうでない場合には、ステップ１１２に進む。
ステップ１１０（Ｓ１１０）において、Ｙ１を補正する必要があるか否かを判定する。具体的には、Ｙ１がＨ２に０．９を乗じた値よりも大きいか否かを判定する。Ｙ１がＨ２×０．９よりも大きい場合には、ステップ１１２に進み、そうでない場合には、ステップ１１４に進む。
ステップ１１２（Ｓ１１２）において、Ｈ２×０．９をＹ２に設定し、終了する。
ステップ１１４（Ｓ１１４）において、Ｙ１をＹ２に設定し、終了する。
なお、ステップ１０２，１０４，１１０，１１２において、０．９を乗じるものとして説明したが、乗じる値は０．９に限定されず、端末装置３−１，３−２のディスプレイに表示されるよう補正可能な値であればよい。
In step 108 (S108), it is determined whether H1 is larger than H2. If H1 is greater than H2, proceed to step 110, otherwise proceed to step 112.
In step 110 (S110), it is determined whether or not Y1 needs to be corrected. Specifically, it is determined whether Y1 is larger than a value obtained by multiplying H2 by 0.9. If Y1 is larger than H2 × 0.9, the process proceeds to step 112, and if not, the process proceeds to step 114.
In step 112 (S112), H2 × 0.9 is set to Y2, and the process ends.
In step 114 (S114), Y1 is set to Y2, and the process ends.
In
以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
例えば、基板処理装置１００及び群管理装置２は、同じフロア（クリーンルーム）に配置する必要はなく、ＬＡＮ等に接続され、事務所に配置されてもよい。また、群管理装置２において、データベースは、サーバ本体と一体にする必要はなく、それぞれを別体にしてもよい。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described concretely, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment, It can change variously in the range which does not deviate from the summary.
For example, the
基板処理装置１００は、半導体製造装置であるものとして説明したが、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置であってもかまわない。さらに、基板処理装置１００は、エッチング装置、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置、モールド装置、現像装置、ダイシング装置、ワイヤボンディング装置、検査装置等であってもかまわない。
Although the
成膜処理は、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、ＡＬＤ、Ｅｐｉその他酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理などを含むが、アニール処理、酸化処理、拡散処理等の処理をさらに含んでもかまわない。 The film formation process includes, for example, CVD, PVD, ALD, Epi and other processes for forming an oxide film and a nitride film, a process for forming a film containing a metal, etc., but an annealing process, an oxidation process, a diffusion process, etc. It may also be included.
次に、本発明の好ましい他の実施形態を付記するが、本発明が以下の記載に限定されないことはいうまでもない。 Next, other preferred embodiments of the present invention will be additionally described, but it goes without saying that the present invention is not limited to the following description.
[実施形態１]
基板処理を実行する基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置であって、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報が変更された場合、変更内容を保存する保存手段と
を有する群管理装置。
[Embodiment 1]
A group management device that collectively acquires information on substrate processing apparatuses that perform substrate processing,
Storage means for storing information relating to an operator of the terminal device and information relating to display of information relating to the substrate processing apparatus in the terminal device;
A group management apparatus comprising: a storage unit configured to store a change content when information relating to display of information regarding the substrate processing apparatus in the terminal device stored in the storage unit is changed.
[実施形態２]
基板処理を実行する基板処理装置と、
前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、
前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置と
からなる基板処理システムであって、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報と、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段と
を有する基板処理システム。
[Embodiment 2]
A substrate processing apparatus for performing substrate processing;
A group management device for collectively acquiring information on the substrate processing device from the substrate processing device;
A substrate processing system comprising: a terminal device that acquires information about the substrate processing apparatus via the group management apparatus;
Storage means for storing information relating to an operator of the terminal device, information relating to display of information relating to the substrate processing apparatus in the terminal device, and information relating to display in the terminal device when the operator of the terminal device has logged out When,
Controls display of information related to the substrate processing in the terminal device based on information related to the operator of the terminal device and information related to display of information related to the substrate processing device in the terminal device stored in the storage means. And a substrate processing system.
[実施形態３]
前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報は、
前記端末装置に表示されていた画面の名前、該画面の位置、該画面のサイズ、及び、該画面が表示されていた前記端末装置のディスプレイのサイズ
である基板処理システム。
[Embodiment 3]
Information relating to the display on the terminal device at the time when the operator of the terminal device logs out,
A substrate processing system comprising: a name of a screen displayed on the terminal device, a position of the screen, a size of the screen, and a display size of the terminal device on which the screen is displayed.
[実施形態４]
ログアウトした前記端末装置の操作者が再度ログインした場合、前記制御手段は、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した情報に基づいて、前記端末装置における表示を制御する。
[Embodiment 4]
When the logged-out operator of the terminal device logs in again, the control unit reads out information related to display on the terminal device at the time when the operator of the terminal device logged out from the storage unit, and based on the read-out information The display on the terminal device is controlled.
１ 基板処理システム
１００ 基板処理装置
１０２ ネットワーク
２ 群管理装置
３ 端末装置
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を取得する管理装置と、
前記管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する複数の端末装置と、
を含む基板処理システムであって、
前記管理装置は、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、ログアウトした時点の前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前にログインされた端末装置と再度ログインされた端末装置が異なる場合、前記ログアウトした時点の前記前にログインされた端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した該情報に基づいて、前記再度ログインされた端末装置における表示を制御して、前記再度ログインされた端末装置に表示される画面を調整する基板処理システム。 A substrate processing apparatus for performing substrate processing;
A management apparatus for obtaining information on the substrate processing apparatus from the substrate processing apparatus;
A plurality of terminal devices for obtaining information on the substrate processing apparatus via the management device;
A substrate processing system comprising:
The management device
Storage means for storing information relating to an operator of the terminal device and information relating to display of information relating to the substrate processing apparatus in the terminal device;
Stored in the storage means, and information about the operator of the terminal device, based on the information about the display of information relating to the substrate processing apparatus in the terminal apparatus at the time of logging out, relating to the substrate processing apparatus in the terminal apparatus Control means for controlling the display of information,
Wherein, when the terminal device is re-login login to a terminal device before the different read information about the display of the terminal device is logged into the front of the time of the above logout from the storage unit, read the A substrate processing system that controls display on the terminal device re-logged in based on the information and adjusts a screen displayed on the terminal device re-logged in .
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、ログアウトした時点の前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前にログインされた端末装置と再度ログインされた端末装置が異なる場合、前記ログアウトした時点の前記前にログインされた端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した該情報に基づいて、前記再度ログインされた端末装置における表示を制御して、前記再度ログインされた端末装置に表示される画面を調整する管理装置。 Storage means for storing information relating to operators of a plurality of terminal devices and information relating to display of information relating to the substrate processing apparatus in the terminal devices;
Stored in the storage means, and information about the operator of the terminal device, based on the information about the display of information relating to the substrate processing apparatus in the terminal apparatus at the time of logging out, relating to the substrate processing apparatus in the terminal apparatus Control means for controlling the display of information,
Wherein, when the terminal device is re-login login to a terminal device before the different read information about the display of the terminal device is logged into the front of the time of the above logout from the storage unit, read the A management device that controls display on the terminal device that has been logged in again based on information, and adjusts a screen displayed on the terminal device that has been logged in again .
前記管理装置は、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、ログアウトした時点の前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前にログインされた端末装置と再度ログインされた端末装置が異なる場合、前記ログアウトした時点の前記前にログインされた端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した該情報に基づいて、前記再度ログインされた端末装置における表示を制御して、前記再度ログインされた端末装置に表示される画面を調整する基板処理システムにおける表示方法。 A substrate processing apparatus that performs substrate processing; a management apparatus that acquires information about the substrate processing apparatus from the substrate processing apparatus; and a plurality of terminal apparatuses that acquire information about the substrate processing apparatus via the management apparatus; A display method in a substrate processing system comprising:
The management device
Storage means for storing information relating to an operator of the terminal device and information relating to display of information relating to the substrate processing apparatus in the terminal device;
It stored in the storage means, and information about the operator of the terminal device, based on the information about the display of information relating to the substrate processing apparatus in the terminal apparatus at the time of logging out, relating to the substrate processing apparatus in the terminal apparatus Control means for controlling the display of information,
Wherein, when the terminal device is re-login login to a terminal device before the different read information about the display of the terminal device is logged into the front of the time of the above logout from the storage unit, read the A display method in a substrate processing system , which controls display on the terminal device logged in again based on information and adjusts a screen displayed on the terminal device logged in again .
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