JP6013817B2 - ジャンクションバリアショットキーダイオードの製造方法 - Google Patents
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Description
この発明の一実施形態では、前記p型領域の表面直下における前記重金属の濃度が1×1018[atoms/cm3]以上であり、前記ショットキー接合形成用領域の表面直下における前記重金属の濃度が1×1018[atoms/cm3]未満である。
この発明の一実施形態では、前記重金属はPt(白金)である。
この発明の一実施形態では、前記熱処理は、850℃〜1000℃の温度雰囲気内で、10分〜180分間行われる。
図1は、この発明の一実施形態に係るJBSダイオードを示す断面図である。
JBSダイオード1は、第1の表面10aおよびそれと反対側の第2の表面10bを有するn型半導体素材10と、n型半導体素材10の第1の表面10aに形成されたショットキーバリアメタル9と、ショットキーバリアメタル9の表面に形成されたアノード電極11と、n型半導体素材10の第2の表面10bに形成されたカソード電極12とを含んでいる。
n−型エピタキシャル層3の表面の周縁部には、平面視で環状の絶縁膜8が形成されている。この環状の絶縁膜8に囲まれた領域内において、p+型領域4の表面およびショットキー接合形成用領域6の表面に、ショットキーバリアメタル9が形成されている。ショットキーバリアメタル9は、たとえばAu,Pt,Pd,Mo,Ti,Ta等からなる。
この実施形態によれば、p+型領域4内のPt濃度が大きいので、少数キャリアのライフタイムを短縮でき、スイッチングスピードを向上させることができる。一方、ショットキー接合形成用領域6内のPt濃度が小さいので、ショットキー接合形成用領域6とショットキーバリアメタル9との間に適切なショットキー接合7を形成することができる。これにより、高速スイッチング特性およびソフトリカバリー特性を備えたJBSダイオードを実現できる。
まず、図2Aに示すように、n+型半導体基板(たとえばシリコン基板)2の一方の主面上に、n−型エピタキシャル層3が形成されたn型半導体素材10を準備する。n型半導体素材10は、第1の表面10aおよび第2の表面20aを有している。n−型エピタキシャル層3の表面(n型半導体素材10をの第1の表面10a)に、熱酸化膜やCVD酸化膜等の絶縁膜(図示略)を形成し、その上にレジストマスク(図示略)を形成する。このレジストマスクを用いたエッチングによって、p+型領域4を形成すべき領域に対応する開口を絶縁膜に形成する。さらに、レジストマスクを剥離した後に、絶縁膜に形成された開口から露出するn−型エピタキシャル層3の表層部にp型不純物を導入する。p型不純物の導入は、p型不純物イオン(たとえばボロンイオン)の注入によって行なわれる。p型不純物導入後、不純物イオンを活性化するための熱処理を行なう。これにより、n−型エピタキシャル層3の表層部に、複数のp+型領域4が形成される。n−型エピタキシャル層3の表層部のうち、隣り合うp+型領域4の間の領域がショットキー接合形成用領域6となる。この後、絶縁膜を除去する。これより、p+型領域4とショットキー接合形成用領域6が表層部に形成されたn型半導体素材10が得られる。
次に、このレジストマスクを用いたエッチングによって、図2Cに示すように、各p+型領域4に対応する開口8aを絶縁膜8に形成する。平面視おいて、各開口8aは、対応するp+型領域4よりも若干小さく形成されている。したがって、ショットキー接合形成用領域6の表面は、絶縁膜8によって覆われている。
次に、図2Gに示すように、n型半導体素材10の第1の表面10aにおける絶縁膜8に囲まれた領域に、ショットキーバリアメタル9を形成する。ショットキーバリアメタル9の形成は、たとえば、たとえばスパッタ技術を用いて実現することができる。そして、ショットキーバリアメタル9の表面および絶縁膜8の表面にアノード電極11を形成する。最後に、n+型半導体基板2におけるn−型エピタキシャル層3が形成されている主面とは反対側の主面にカソード電極12を形成する。これにより、図1に示されるJBSダイオード1が得られる。
p+型領域4内のPt濃度は、その表面直下が最も大きく、表面からの深さが大きくなるにしたがって小さくなる。そして、表面からの深さが約1.5[μm]より大きい領域では、p+型領域4内のPt濃度は、ほぼ一定範囲内の大きさとなる。p+型領域4の表面直下のPtの濃度は、1×1019[atoms/cm3]と1×1020[atoms/cm3]との中間値となっている。つまり、p+型領域4の表面直下のPtの濃度は、1×1019[atoms/cm3]以上(1×1018[atoms/cm3]以上)となっている。このように、p+型領域4内のPt濃度が高いので、少数キャリアのライフタイムを短縮でき、スイッチングスピードを向上させることができる。
また、ライフタイムキラーとしての重金属は、Au(金)等のPt以外の重金属であってもよい。
2 n+型半導体基板
3 n−型エピタキシャル層
4 p+型領域
5 pn接合
6 ショットキー接合形成用領域
7 ショットキー接合
8 絶縁膜
9 ショットキーバリアメタル
10 n型半導体素材
11 アノード電極
12 カソード電極
Claims (5)
- pn接合を形成するためのp型領域とショットキー接合を形成するためのショットキー接合形成用領域とが表層部に形成されているn型半導体ウエハを準備する工程と、
前記n型半導体ウエハの表面に、前記p型領域および前記ショットキー接合形成用領域の表面を覆う絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜のうち、前記p型領域に対応する位置に、前記p型領域の表面の一部を露出させる開口を形成する工程と、
前記半導体ウエハの前記絶縁膜が形成されている表面とは反対側の表面に、重金属を付着させる工程と、
前記ショットキー接合形成用領域の表面が前記絶縁膜によって覆われ、前記絶縁膜の開口によって前記p型領域の表面の一部が露出している状態で、前記半導体ウエハに熱処理を施して前記重金属を前記半導体ウエハ内に拡散させる工程と、を含むジャンクションバリアショットキーダイオードの製造方法。 - 前記p型領域に含まれる前記重金属の濃度が、前記ショットキー接合形成用領域に含まれる前記重金属の濃度より大きい、請求項1に記載のジャンクションバリアショットキーダイオードの製造方法。
- 前記p型領域の表面直下における前記重金属の濃度が1×1018[atoms/cm3]以上であり、前記ショットキー接合形成用領域の表面直下における前記重金属の濃度が1×1018[atoms/cm3]未満である、請求項2に記載のジャンクションバリアショットキーダイオードの製造方法。
- 前記重金属がPtである請求項1〜3のいずれか一項に記載のジャンクションバリアショットキーダイオードの製造方法。
- 前記熱処理は、850℃〜1000℃の温度雰囲気内で、10分〜180分間行われる、請求項1〜4のいずれか一項に記載のジャンクションバリアショットキーダイオードの製造方法。
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