JP6011373B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態に係る半導体装置S1について、図1A、図1Bを参照して述べる。本実施形態の半導体装置S1は、大きくは、板状をなす半導体チップ10と、半導体チップ10の一部を封止する樹脂20と、を備えて構成されている。
本発明の第2実施形態について、図9、10A、10B、11A、11Bを参照して、上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。本実施形態では、樹脂除去工程における樹脂20の除去部分および半導体チップ10の構成について、変形を行ったものである。
なお、上記第2実施形態において、半導体チップ10に発生する応力の影響が問題ない等の場合には、半導体チップ10における上記溝17は省略された構成であってもよい。
2 第2の部位
10 半導体チップ
11 半導体チップの表面
12 半導体チップの裏面
13〜16 半導体チップの側面
20 樹脂
22 隙間
24〜26 対向壁
100 金型
103 フィルム
L レーザ
Claims (5)
- 表裏の関係にある両板面(11、12)および当該両板面を連結する側面(13〜16)を有する板状をなす半導体チップ(10)と、
前記半導体チップの一部である第1の部位(1)を封止する樹脂(20)と、を備え、
前記半導体チップの残部である第2の部位(2)は前記樹脂より露出しており、
前記樹脂の一部が、前記第2の部位における前記半導体チップの側面(14〜16)に隙間(22)を有して対向するように前記第1の部位側から前記第2の部位側に延長された対向壁(24〜26)として構成されている半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップを用意する用意工程と、
前記樹脂の成形用の金型(100)を用い、前記第2の部位のうち前記半導体チップの両板面に前記金型を介して樹脂材料よりなるフィルム(103)を密着させた状態で、前記金型に前記樹脂を充填することにより、
前記第2の部位における前記半導体チップの両板面は前記樹脂より露出させつつ、前記第2の部位における前記半導体チップの側面と前記第1の部位とを前記樹脂で封止する樹脂封止工程と、
前記第2の部位における前記半導体チップの側面に位置する前記樹脂に対してレーザ(L)を照射して、当該側面と当該樹脂との間に前記隙間を形成するように、当該樹脂の一部を除去することにより、当該樹脂の残部を前記対向壁として形成する樹脂除去工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記樹脂除去工程では、前記第2の部位における前記半導体チップの側面と前記樹脂との境界部分に前記レーザを照射することにより、当該側面が前記隙間にて露出するように、前記樹脂の除去を行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記樹脂除去工程では、前記第2の部位における前記半導体チップの側面と前記樹脂との境界部分に前記レーザが照射されないように、当該境界部分よりも外側に前記レーザを照射して前記隙間を形成することにより、当該側面を被覆する前記樹脂を残し、
当該残された樹脂(20a)と前記対向壁とが前記隙間を介して対向する構成を形成するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記用意工程では、前記半導体チップとして、前記第2の部位における前記半導体チップの側面に残された前記樹脂による応力を緩和するための溝(17)が当該チップの周辺部に形成されたものを、用意することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記樹脂除去工程では、前記レーザとして、前記半導体チップを透過するとともに、前記樹脂よりも前記半導体チップの方が当該レーザの吸収率が小さくなる波長のものを照射することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
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