JP6006538B2 - 吸着テーブル - Google Patents
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Description
12 被検査体(表示パネル)
26 支持台
26a 吸着面
32 凹所
34 昇降バー
36 支持機構
38 昇降装置
40 梁部材
54 支柱
56 衝撃緩和機構
58 支柱の凹部
58b 凹部の底壁b
64 圧縮コイルスプリング
68 止めねじ部材(調整ねじ)
70 逃げ溝
72 高さ調整機構
Claims (7)
- 表示パネルを保持する吸着テーブルであって、
負圧開口が開放する吸着面を有する移動可能な支持台と、
前記吸着面を横切って配置される複数の昇降バーと、
前記昇降バーを前記吸着面から突出することなく前記支持台内に収容すべく前記吸着面に互いに並行して設けられる複数の凹所と、
前記複数の凹所が開放する前記支持台の側部で前記昇降バーを昇降可能に支持する支持機構と、
前記昇降バーを前記凹所から突出する上昇位置と、前記凹所に収容される下降位置との間で昇降すべく前記支持機構に関連して前記支持台に設けられる昇降装置とを備え、
前記支持機構は、
前記支持台の両側で該支持台に沿って配置され、上下方向に移動可能に前記支持台に支持され、前記昇降装置の作動によって上下方向に移動可能の一対の梁部材と、
各梁部材に支持される複数の支柱と、
各支柱と対応する前記梁部材との間に設けられ、該支柱の高さ位置を調整することにより前記昇降バーの傾斜及び高さ位置を調整する高さ調整機構と、
各支柱の上端部と対応する前記昇降バーの端部とを弾性的に結合し、前記昇降バーに作用する衝撃を緩和する衝撃緩和機構と、
を備える吸着テーブル。 - 前記衝撃緩和機構は、
前記支柱の頂部に形成された前記昇降バーを上下方向に案内可能に受け入れる凹部と、
前記凹部の底面と前記昇降バーとの間に配置された圧縮コイルスプリングとを備える、
請求項1に記載の吸着テーブル。 - 前記昇降バーには、前記圧縮コイルスプリングの端部に当接して該コイルスプリングの圧縮量を調整するための調整ねじが設けられている、
請求項2に記載の吸着テーブル。 - 前記高さ調整機構は、
前記支柱の下部に固定されており、上下方向に遊びを以て前記梁部材へ向けて貫通するスロットが形成されたアンカ部材と、
前記スロットに挿通して前記アンカ部材を前記梁部材に解除可能に結合する締結具と、
前記締結具を緩めた状態で、前記スロットの上下方向の長さ寸法の範囲で前記支柱の高さ位置を調整するための止めねじとを有する
請求項1に記載の吸着テーブル。 - 前記高さ調整機構は、
前記梁部材に固定され、上下方向に貫通するねじ穴を有するねじ台をさらに有し、
前記止めねじは、前記ねじ穴から上端を突出可能に螺合し、前記アンカ部材の底面に当接する
請求項4に記載の吸着テーブル。 - 前記昇降バーには、
該昇降バー上の前記表示パネルの縁に当接して該表示パネルの脱落を防止する肩部が形成されている
請求項1に記載の吸着テーブル。 - 前記昇降バーの上面には、
前記肩部に近接して、前記昇降バー上の前記表示パネルの傾きによる該表示パネルの縁と前記上面との干渉を防止するための逃げ溝が形成されている、
請求項6に記載の吸着テーブル。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012127005A JP6006538B2 (ja) | 2012-06-04 | 2012-06-04 | 吸着テーブル |
TW102116660A TWI518840B (zh) | 2012-06-04 | 2013-05-10 | 吸著台 |
CN201310184743.4A CN103456667B (zh) | 2012-06-04 | 2013-05-17 | 吸附台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012127005A JP6006538B2 (ja) | 2012-06-04 | 2012-06-04 | 吸着テーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013251486A JP2013251486A (ja) | 2013-12-12 |
JP6006538B2 true JP6006538B2 (ja) | 2016-10-12 |
Family
ID=49738901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012127005A Active JP6006538B2 (ja) | 2012-06-04 | 2012-06-04 | 吸着テーブル |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6006538B2 (ja) |
CN (1) | CN103456667B (ja) |
TW (1) | TWI518840B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6339002B2 (ja) * | 2014-11-19 | 2018-06-06 | 株式会社日本マイクロニクス | ステージ |
CN104617017A (zh) * | 2015-01-12 | 2015-05-13 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 基板支撑装置及支撑方法、真空干燥设备 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0737791A (ja) * | 1993-07-23 | 1995-02-07 | Hitachi Ltd | ステージの案内装置 |
JP3881062B2 (ja) * | 1996-08-14 | 2007-02-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板保持機構および基板処理装置 |
JP3504477B2 (ja) * | 1997-11-07 | 2004-03-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 熱処理装置 |
JP3457900B2 (ja) * | 1998-11-18 | 2003-10-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板熱処理装置及び基板熱処理方法 |
JP4113396B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2008-07-09 | 積水化学工業株式会社 | 板状ワークの加熱装置 |
JP4404666B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2010-01-27 | 株式会社日立国際電気 | 基板支持体、基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
JP4964861B2 (ja) * | 2008-12-03 | 2012-07-04 | アドヴァンスド・ディスプレイ・プロセス・エンジニアリング・コーポレーション・リミテッド | 基板支持装置 |
JP5344598B2 (ja) * | 2009-06-11 | 2013-11-20 | レーザーテック株式会社 | 基板保持装置、欠陥検査装置及び欠陥修正装置 |
JP2011029565A (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-10 | Toppan Printing Co Ltd | 基板保持装置 |
JP2012015272A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Ulvac Japan Ltd | 処理装置及び搬送装置 |
-
2012
- 2012-06-04 JP JP2012127005A patent/JP6006538B2/ja active Active
-
2013
- 2013-05-10 TW TW102116660A patent/TWI518840B/zh active
- 2013-05-17 CN CN201310184743.4A patent/CN103456667B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103456667B (zh) | 2017-04-26 |
TW201401427A (zh) | 2014-01-01 |
CN103456667A (zh) | 2013-12-18 |
JP2013251486A (ja) | 2013-12-12 |
TWI518840B (zh) | 2016-01-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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