JP5995205B2 - プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
101 筐体
102 電極体
103 レール
104 プラズマ発生用電源部
105 移動手段
111 基体
112 蓋体
113 絶縁部材
114 シール部材
130 保持体
131 鍔部
132 摺動部
133 シャフト
134 溝
135 規制部材
136 ピン
137 突出部
138 載置板
139 外部レール
151 連動手段
152 付勢手段
200 基板
Claims (4)
- 基板を収容する筐体と、前記筐体に収容される基板の背方に配置される電極体と、前記筐体内に配置され、基板の搬送経路を形成し、処理中の基板を保持する複数のレールと、前記筐体内にプラズマを発生させるプラズマ発生手段とを備るプラズマ処理装置であって、
前記電極体の周囲に配置され、複数の前記レールを一体に保持する保持体と、
前記電極体と絶縁されている前記筐体の部分に対し前記保持体を相対的に移動させることにより、プラズマ発生中は前記電極体に向かって前記基板の端縁を押圧する方向に前記レールを移動させ、前記基板の搬送中は前記基板の端縁への押圧を解除する方向に前記レールを移動させる移動手段と
を備えるプラズマ処理装置。 - 前記筐体は、絶縁状態で前記電極体を保持する基体と、前記基体と相対的に移動することにより当該筐体を開閉する蓋体とを備え、
前記移動手段は、前記蓋体と前記基体との相対移動と前記保持体と前記基体との相対移動とを機構的に連動させる連動手段を備える
請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記移動手段はさらに、
前記基板の端縁への前記レールによる押圧を解除する方向に前記保持体と前記基体とを付勢する付勢手段を備え、
前記連動手段は、
前記蓋体と前記基体とが近づく際に発生する力を用いて前記付勢手段の付勢力に抗し、前記基体に対し前記保持体を相対的に移動させる
請求項2に記載のプラズマ処理装置。 - 基板を収容する筐体と、前記筐体に収容される基板の背方に配置される電極体と、前記筐体内に配置され、基板の搬送経路を形成し、処理中の基板を保持する複数のレールと、前記電極体の周囲に配置され、複数の前記レールを一体に保持する保持体と、前記筐体内にプラズマを発生させるプラズマ発生手段とを備るプラズマ処理装置に対するプラズマ処理方法であって、
前記電極体と絶縁されている前記筐体の部分に対し前記保持体を移動手段により相対的に移動させることにより、プラズマ発生中は前記電極体に向かって前記基板の端縁を押圧する方向に前記レールを移動させ、前記基板の搬送中は前記基板の端縁への押圧を解除する方向に前記レールを移動させる
プラズマ処理方法。
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JP2013134330A JP5995205B2 (ja) | 2013-06-26 | 2013-06-26 | プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 |
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JP2015009169A JP2015009169A (ja) | 2015-01-19 |
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- 2013-06-26 JP JP2013134330A patent/JP5995205B2/ja active Active
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