JP5994720B2 - 半導体装置、および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
導電性材料からなるもので、前記半導体基板の裏面に電気的接続されているアイランド(21)と、
前記半導体チップおよび前記アイランドを樹脂によって封止するように形成されている樹脂封止部材(30)と、
導電性材料からなるもので、先端側が前記樹脂封止部材の外側に露出するように設けられて、かつ前記アイランドに電気的接続されている第1リード(22a)と、
導電性材料からなるもので、先端側が前記樹脂封止部材の外側に露出するように設けられて、かつ前記アイランドに対して独立して設けられて、さらに前記半導体基板に電気的接続されている第2のリード(23)と、備え、
前記第2リードは、
前記半導体基板に電気的接続されている接続部(23a)と、
前記接続部から前記樹脂封止部材の外側に延びるように形成されている端子部(23b)と、を備え、
前記接続部は、前記アイランドよりも前記半導体基板側に凸となるように形成されていることを特徴とする。
前記アイランドに対して独立して設けられている第2のリード(23)と前記半導体基板の裏面との間を電気的接続する第2の工程(S110)と、
前記半導体チップおよび前記アイランドを樹脂によって封止する樹脂封止部材(30)を形成する第3の工程(S130)と、を備え、
前記第3の工程では、前記アイランドに接続されている第1のリード(22a)の先端側と前記第2のリードの先端側とが前記樹脂封止部材から外側に露出するように前記樹脂封止部材を形成し、
前記第1、第2のリード(23)との間の導通を検査する第4の工程(S140)を備えることを特徴とする。
半導体装置1は、図1および図2に示すように、半導体チップ10、リードフレーム20、および樹脂封止部材30を備える。本実施形態の半導体装置1は、QFP(Quad Flat Package)を構成している。図1、図2は、半導体装置1において被覆部50の外形線の内部を透過した状態を示している。
つまり、1つのリード22は、アイランド21に電気的に接続されていることになる。以下、このように突起部21bに接続されている1つのリード22(図1中右下のリード)を便宜上リード22aという。
上記第1実施形態では、検査用リード23として短冊状に形成されたものを用いた例について説明したが、これに代えて、本実施形態では、図8の検査用リード23を用いる。
本第3実施形態では、上記第1実施形態の半導体装置1のアイランド21の表面において、導電性接着剤40を塗布する領域を囲むように溝70を設ける例について説明する。
本第4実施形態では、上記第1実施形態の半導体装置1において、検査用リード23の長手方向一方側23aに凸形状にした例について説明する。
本第5実施形態では、上記第1実施形態の半導体装置1において、検査用リード23の長手方向一方側23aに防錆用導電性金属膜を形成した例について説明する。
本第6実施形態では、上記第1実施形態の半導体装置1において、検査用リード23の長手方向一方側23aがその弾性力によってアイランド21よりも半導体基板11側に反るように形成されている例について説明する。
上記第1〜第6の実施形態では、絶縁層12、13bを用いて半導体チップ10を構成した例について説明したが、これに限らず、絶縁層12、13bを用いることなく、半導体チップ10を構成してもよい。
10 半導体チップ
11 シリコン基板
12 絶縁層
13 素子形成層
20 リードフレーム
21 アイランド
22 リード
22a リード(第1のリード)
23 検査用リード(第2のリード)
30 樹脂封止部材
Claims (12)
- 半導体基板(11)と、この半導体基板の表面側に半導体素子を形成する素子形成層(13)とを有する半導体チップ(10)と、
導電性材料からなるもので、前記半導体基板の裏面に電気的接続されているアイランド(21)と、
前記半導体チップおよび前記アイランドを樹脂によって封止するように形成されている樹脂封止部材(30)と、
導電性材料からなるもので、先端側が前記樹脂封止部材の外側に露出するように設けられて、かつ前記アイランドに電気的接続されている第1リード(22a)と、
導電性材料からなるもので、先端側が前記樹脂封止部材の外側に露出するように設けられて、かつ前記アイランドに対して独立して設けられて、さらに前記半導体基板に電気的接続されている第2のリード(23)と、を備え、
前記第2リードは、
前記半導体基板に電気的接続されている接続部(23a)と、
前記接続部から前記樹脂封止部材の外側に延びるように形成されている端子部(23b)と、を備え、
前記接続部は、前記アイランドよりも前記半導体基板側に凸となるように形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板(11)と、この半導体基板の表面側に半導体素子を形成する素子形成層(13)とを有する半導体チップ(10)と、
導電性材料からなるもので、前記半導体基板の裏面に電気的接続されているアイランド(21)と、
前記半導体チップおよび前記アイランドを樹脂によって封止するように形成されている樹脂封止部材(30)と、
導電性材料からなるもので、先端側が前記樹脂封止部材の外側に露出するように設けられて、かつ前記アイランドに電気的接続されている第1リード(22a)と、
導電性材料からなるもので、先端側が前記樹脂封止部材の外側に露出するように設けられて、かつ前記アイランドに対して独立して設けられて、さらに前記半導体基板に電気的接続されている第2のリード(23)と、を備え、
前記第2リードは、
前記半導体基板に電気的接続されている接続部(23a)と、
前記接続部から前記樹脂封止部材の外側に延びるように形成されている端子部(23b)と、を備え、
前記接続部は、弾性力によって前記アイランドよりも前記半導体基板側に反るように形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体基板および前記アイランドの間が導電性接着剤によって接着されることにより、前記半導体基板および前記アイランドの間が電気的接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記第2リードは、
前記半導体基板に電気的接続されている接続部(23a)と、
前記接続部から前記樹脂封止部材の外側に延びるように形成されている端子部(23b)と、を備えることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記半導体基板および前記接続部の間が導電性接着剤によって接着されることにより、前記半導体基板および前記接続部の間が電気的接続されていることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記接続部には防錆用導電性金属膜(80)が形成されており、
前記防錆用導電性金属膜および前記半導体基板の間が電気的接続されることにより、前記接続部および前記半導体基板の間が前記防錆用導電性金属膜を介して電気的接続されるようになっていることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。 - 前記第2リードは、所定方向に延びる長板状に形成されており、
前記第2リードの長手方向一端側が前記接続部を構成し、かつ前記第2リードの長手方向他端側が前記端子部を構成することを特徴とする請求項4ないし6のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第2のリードは、複数の前記端子部を備え、
前記複数の前記端子部は、前記接続部から前記樹脂封止部材の外側にそれぞれ延びるように形成されていることを特徴とする請求項4ないし6のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記アイランドには、前記半導体基板と反対側に凹む溝(70)が設けられており、
前記溝は、前記アイランドのうち前記導電性接着剤が塗布される領域を囲むように形成されていることを特徴とする請求項3ないし8のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記アイランドには、その外周側から内側に凹むように形成されている凹部(21f)が設けられており、
前記第2リードの前記接続部が前記アイランドの凹部内に位置することを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第2リードが前記アイランドに対して電気絶縁性テープ(60)によって固定されていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 半導体素子を形成する素子形成層(13)が表面側に形成されている半導体基板(11)を備える半導体チップ(10)の前記半導体基板の裏面と前記アイランドとの間を電気的接続する第1の工程(S110)と、
前記アイランドに対して独立して設けられている第2のリード(23)と前記半導体基板の裏面との間を電気的接続する第2の工程(S110)と、
前記半導体チップおよび前記アイランドを樹脂によって封止する樹脂封止部材(30)を形成する第3の工程(S130)と、を備え、
前記第3の工程では、前記アイランドに接続されている第1のリード(22a)の先端側と前記第2のリードの先端側とが前記樹脂封止部材から外側に露出するように前記樹脂封止部材を形成し、
前記第1、第2のリード(23)との間の導通を検査する第4の工程(S140)を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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