JP5993150B2 - ダイオード及び半導体モジュール及び電源回路 - Google Patents
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Description
これらの2点について、従来技術では次の様な改善を当業者等は試みてきた。
また、高速で電源回路を動作させると、単位時間当たりのオンオフする回数が増える事になり、これによって、コンデンサで消費する電力が増加する。
第1の主面および前記第1の主面に対向する第2の主面を有する半導体基板と、
第1の主面側に第1の金属であるアノード電極と、
第2の主面側に第2の金属であるカソード電極と、
前記第2の主面に面して前記半導体基板内に形成された高濃度である第1導電型の第1の半導体層と、
該第1の半導体層に面して第1の主面方向の該半導体基板内から第1の主面まで積層された低濃度の第1導電型である第2の半導体層と、
第1の主面から該第1の半導体層に形成させた電界を緩和するための終端構造を作成した略リング状である第1の構造領域と、
前記第1の構造領域の内側に形成されたアノード電極からカソード電極に負の電圧を印加すると空乏層が該第2の半導体層の中で該第1の主面側から該第2の主面側に伸張する事を特徴とした第2の構造領域と、
を備えたショットキバリアダイオードに於いて、
前記第2の構造領域中の該半導体基板内の該第2の半導体層に形成された第2導電型であり且つ該第2の半導体層中に位置する第3の半導体領域と、
前記第2の構造領域中で少なくとも該第3の半導体領域の外縁の一部を囲む様に位置し第2導電型のドーパント濃度が該第3の半導体領域より濃く深さが該第3の半導体領域より深く且つ該第2半導体層中に位置する第4の半導体領域と、
前記第3の半導体領域と該第3の半導体領域を取り囲む該第4の半導体領域の内縁で囲まれる領域と内縁を含む部分の前記第1の主面上と前記第1の金属との間に介在する第1の誘電体と、で構成されたキャパシタとして機能する第3の構造領域を具備したことを特徴とするダイオードである。
又、第2の構造領域は、例えばSBD、JBS、TMBS、の整流作用する領域の周知の構造を採用すれば良い。
更に、第1の誘電体は、例えばSiO2、Si3N4、TiBaO3等の周知の誘電体を用いれば良い。または、これらの積層構造を用いてもよい。
又、2つの異なる誘電体の積層構造を用いた際は一つの誘電体膜とみなし、全体の誘電体の誘電率、膜厚は次の様に換算する。
第1の誘電体膜の誘電率をε2、第1の誘電体膜の膜厚をToxとし、誘電体1の誘電率をε3、膜厚をt3とし、誘電体2の誘電率をε4、膜厚をt4とする。
ε2=ε3ε4(t3+t4)/(ε3t4+ε4t3)
Tox=t3+t4
又、3つの異なる誘電体の積層構造を用いた際は一つの誘電体膜とみなし、全体の誘電体の誘電率、膜厚は次の様に換算する。
第1の誘電体膜の誘電率をε2、第1の誘電体膜の膜厚をToxとし、誘電体1の誘電率をε3、膜厚をt3とし、誘電体2の誘電率をε4、膜厚をt4とし、誘電体3の誘電率をε5、膜厚をt5とする。
ε2=ε3ε4ε5(t3+t4+t5)/(ε3ε5t4+ε4ε5t3+ε3ε4t5)
Tox=t3+t4+t5
更に、半導体基板は、Si、SiC、GaNを適宜選択すれば良い。
これにより、特に電源電圧以上のサージ電圧を抑制した上で高速動作するダイオードを実現する。
これにより、ダイオードの耐圧を高くできる事と高温で動作できる事の特長が実現する。
これにより、特に請求項6の半導体モジュールに位置的に近くに配置される(例えば、IGBTの制御回路)低電流で駆動する集積回路に対して誤動作を起こさせる可能性が低減する。
これにより、AC−DCコンバータ,DC−DCコンバータ,インバータの電源回路に前記半導体モジュールを使用し、スナバ回路、フィルタ回路といった回路を簡略化する事ができ、電源回路を小型化する事ができる。
ダイオードに逆電圧をかけると通常のドリフト層に濃度勾配がないSBDでは電圧の−1/2乗に比例して容量が低下していく。半導体基板のドーパントプロファイルを改善した基板を使用したSBD或いは他のダイオードに於いても、n−層の空乏層が逆電圧と伴に厚くなるため、容量の電圧変化は、低下していく傾向の特性を持つ。この特性は逆阻止電圧が印加されるまで続く。
実際に回路上で使用する際はダイオードを逆阻止電圧まで印加する事はなく、サージ電圧を見越して定格逆電圧はこれより低く設定されている。
この特性を実現するための構造が図1になる。
更に、半導体をSiC等のワイドギャップ半導体とする事によって、高温での動作が可能になる。
この様なダイオードにて半導体モジュールを構成すると、EMIノイズが少ない半導体モジュールを構成する事ができる。
図1および図2は、本発明を適用した半導体装置であるショットキバリアダイオードの一実施の形態を示し、図1は部分縦断面図、図2は横断面図である。
第1の実施形態に係るダイオードは80VのSBDであり、n−層20(ドリフト層)の濃度は2e15atms/cm3で厚さが6.5umとする。
600VのSiダイオードに於いては、酸化膜の膜厚が5000Åにて、整流面積に対するp+層に囲まれている領域の面積比を10%以上にすれば良い。
600VのSiCダイオードに於いては、酸化膜の膜厚が5000Åにて、整流面積に対するp+層に囲まれている領域の面積比を50%以上にすれば良い。
p+層に囲まれている領域は、低い逆阻止電圧を印加すると、整流領域と同じ様にp−層60とn−層20の接合面から空乏層が延伸する。空乏層によって形成させるキャパシタの容量は、印加電圧の−1/2乗に比例するため、逆阻止電圧を大きくする程、容量は小さくなる特性を持っている。
15…第1の半導体層
16…第2の主面
20…第2の半導体層
21…第1の主面
30…アノード電極
31…カソード電極
40…第1の構造領域
41…ガードリング
42…酸化膜
50…第2の構造領域
60…第3の半導体領域
70…第4の半導体領域
80…誘電体
Claims (6)
- 第1の主面および前記第1の主面に対向する第2の主面を有する半導体基板と、
第1の主面側に第1の金属であるアノード電極と、
第2の主面側に第2の金属であるカソード電極と、
前記第2の主面に面して前記半導体基板内に形成された高濃度である第1導電型の第1の半導体層と、
該第1の半導体層に面して第1の主面方向の該半導体基板内から第1の主面まで積層された低濃度の第1導電型である第2の半導体層と、
第1の主面から該第1の半導体層に形成させた電界を緩和するための終端構造を作成した略リング状である第1の構造領域と、
前記第1の構造領域の内側に形成されたアノード電極からカソード電極に負の電圧を印加すると空乏層が該第2の半導体層の中で該第1の主面側から該第2の主面側に伸張する事を特徴とした第2の構造領域と、
を備えたショットキバリアダイオードに於いて、
前記第2の構造領域中の該半導体基板内の該第2の半導体層に形成された第2導電型であり且つ該第2の半導体層中に位置する第3の半導体領域と、
前記第2の構造領域中で少なくとも該第3の半導体領域の外縁の一部を囲む様に位置し第2導電型のドーパント濃度が該第3の半導体領域より濃く深さが該第3の半導体領域より深く且つ該第2の半導体層中に位置する第4の半導体領域と、
前記第3の半導体領域と該第3の半導体領域を取り囲む該第4の半導体領域の内縁で囲まれる領域と内縁を含む部分の前記第1の主面上と前記第1の金属との間に介在する第1の誘電体と、で構成されたキャパシタとして機能する第3の構造領域を具備したことを特徴とするダイオード。 - 前記第1の主面から前記第2の主面に向かう方向を深さ方向として、該第3の半導体領域中で該第2導電型の不純物量を領域中の該半導体基板の深さ方向に対して積分した値が、該第2の半導体層の該第1導電型の不純物量を領域中の該半導体基板の深さ方向に対して該第4の半導体領域の底面に相当する深さから該第1の半導体層の上面まで積分した値に対して、1/3倍以上0.9倍未満である事を特徴とする、請求項1に記載のダイオード。
- ショットキバリアダイオードはユニポーラ動作する事を特徴とする請求項1または2に記載のダイオード。
- 前記半導体基板は、シリコンカーバイドである事を特徴とする請求項1,2または3に記載のダイオード。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載したダイオードと、アノード電極、カソード電極から電気的に接続された外部端子と、
を備えた半導体モジュール。 - 回路上に請求項5に記載した半導体モジュールを使用した電源回路。
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