JP5985897B2 - Resistance measuring device - Google Patents
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Description
本発明は、トリガ信号の入力時から測定対象体へ抵抗測定用電流の出力を開始して、予め設定されたディレイ時間が経過した時の抵抗値を測定する抵抗測定装置に関するものである。 The present invention relates to a resistance measuring apparatus that starts output of a resistance measurement current to a measurement object from when a trigger signal is input and measures a resistance value when a preset delay time has elapsed.
測定対象体に抵抗測定用の電流を流し、測定対象体の両端に発生する電圧を検出して、これらの電流及び電圧からオームの法則に基づいて測定対象体の抵抗値を測定（算出）する抵抗測定装置が知られている。抵抗測定装置で例えばコイルの抵抗値を測定する場合、コイルは抵抗成分の他に大きなインダクタンス成分を有しているので、抵抗測定用電流を流し始めたときに過渡現象により抵抗値が大きく変動する。そのため、インダクタンス成分やキャパシタンス成分を有する測定対象体の抵抗値を安定して正確に測定するために、過渡期間が終了して定常状態になってから測定する必要がある。 A current for resistance measurement is passed through the measurement object, voltages generated at both ends of the measurement object are detected, and the resistance value of the measurement object is measured (calculated) based on Ohm's law from these currents and voltages. Resistance measuring devices are known. For example, when measuring the resistance value of a coil with a resistance measuring device, the coil has a large inductance component in addition to the resistance component, so that the resistance value greatly fluctuates due to a transient phenomenon when the resistance measurement current starts to flow. . Therefore, in order to stably and accurately measure the resistance value of the measurement object having an inductance component and a capacitance component, it is necessary to measure after the transient period ends and a steady state is reached.
抵抗測定装置には、定常状態になってから測定を開始できるように、測定を行うまでにディレイ（遅延）させるものがある。例えば特許文献１では、遅延回路を採用することでＡ／Ｄ変換器が被測定物接続直後の過渡電圧を取り込まず、両端間の電圧を安定して取り込めるようになっている。
Some resistance measuring devices are delayed until the measurement is performed so that the measurement can be started after a steady state is reached. For example, in
抵抗測定時に、定常状態になるまでの過渡期間は測定対象体によって異なる。又、例えば製造検査ラインで同様のコイルを繰り返し多数測定するような場合、検査時間短縮のために、ディレイ時間（遅延時間）を必要最小限の時間に設定したいという要求もある。 During resistance measurement, the transient period until the steady state is reached varies depending on the object to be measured. Further, for example, when a large number of similar coils are repeatedly measured on a production inspection line, there is a demand for setting the delay time (delay time) to the minimum necessary time in order to shorten the inspection time.
しかしながら、ディレイ時間として、どの程度の時間を設定すれば適正であるか、測定者は判断し難い。適正なディレイ時間を設定するためには、ディレイ時間を変更しつつ何度か測定を行って、測定した抵抗値が安定しているか確認する必要がある。 However, it is difficult for the measurer to determine how much time is set as the delay time. In order to set an appropriate delay time, it is necessary to make several measurements while changing the delay time to check whether the measured resistance value is stable.
本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、ディレイ時間として適正な時間を迅速、簡便に設定することができる抵抗測定装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a resistance measuring apparatus capable of quickly and easily setting an appropriate time as a delay time.
前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載された抵抗測定装置は、ディレイ時間を設定するためのディレイ時間設定部と、トリガ信号の入力時から測定対象体へ抵抗測定用電流の出力を開始し、該測定対象体の両端電圧に基づき該測定対象体の抵抗値を測定する測定部と、該抵抗値を表示部に表示させる表示制御部とを備える抵抗測定装置であって、抵抗値波形表示機能を有しており、この機能の動作時に、該測定部が、該トリガ信号の入力時から該抵抗測定用電流の出力を開始して、該測定対象体の抵抗値を時間の経過に従い順次測定して、該表示制御部が、該測定部によって順次測定された該各抵抗値を、該トリガ信号の入力時からの経過時間に対する波形で該表示部に表示させ、該表示制御部が、複数のマーカーを該記波形上に表示可能であり、該複数のマーカーのうち一方のマーカーの抵抗値に対する他方のマーカーの抵抗値の変化割合を演算し、演算した変化率を、該表示部に表示させることを特徴とする。
The resistance measuring device according to
請求項２に記載された抵抗測定装置は、請求項１に記載のもので、前記ディレイ時間設定部が、前記マーカーの位置の前記経過時間を前記ディレイ時間として設定可能であることを特徴とする。 A resistance measuring device according to a second aspect is the one according to the first aspect , wherein the delay time setting unit can set the elapsed time of the position of the marker as the delay time. .
請求項３に記載された抵抗測定装置は、請求項１又は２に記載のもので、前記測定部によって順次測定された前記各抵抗値が最初に第一の収束条件内に収束したときの経過時間を第一の収束時間として判定する第一の収束時間判定部と、
前記表示制御部が、該第一の収束時間に対応する前記波形上の位置に、前記マーカーを表示可能であることを特徴とする。
Course of a resistor measuring device according to
The display control unit can display the marker at a position on the waveform corresponding to the first convergence time.
請求項４に記載された抵抗測定装置は、請求項１から３のいずれかに記載のもので、前記表示制御部が、前記マーカーの位置の前記抵抗値に対する偏差を表すラインを、前記表示部に表示可能であることを特徴とする。 A resistance measuring device according to a fourth aspect is the one according to any one of the first to third aspects, wherein the display control unit displays a line indicating a deviation of the marker position with respect to the resistance value. It can be displayed on the screen.
本発明の抵抗測定装置によれば、抵抗値波形表示機能を動作させたときに、抵抗値の変化が波形で表示されるので、抵抗値が過渡現象から定常状態に移行する様子が一目瞭然で判るため、ディレイ時間としてどの程度の時間を設定すればよいかを測定者が容易に判断できる。従って、適正なディレイ時間を簡便、迅速に設定することができる。 According to the resistance measuring device of the present invention, when the resistance value waveform display function is operated, the change in the resistance value is displayed as a waveform, so that the state in which the resistance value shifts from the transient state to the steady state can be seen at a glance. Therefore, the measurer can easily determine how much time should be set as the delay time. Therefore, an appropriate delay time can be set easily and quickly.
波形上にマーカーを表示させて、マーカーの位置の波形の情報を表示部に表示させる場合、測定者は波形の形及び表示された情報から適正なディレイ時間を容易に知ることができる。 When a marker is displayed on the waveform and the waveform information at the marker position is displayed on the display unit, the measurer can easily know the appropriate delay time from the waveform shape and the displayed information.
マーカーの位置の経過時間をディレイ時間として設定可能である場合、適正であると判断したディレイ時間を、一層簡便、迅速に設定することができる。 When the elapsed time of the marker position can be set as the delay time, the delay time determined to be appropriate can be set more simply and quickly.
抵抗値が最初に第一の収束条件内に収束したときの経過時間を第一の収束時間として判定し、その位置にマーカーを表示させる場合、ディレイ時間として適正な最小限の時間の位置にマーカーが自動的に表示される。従って、ディレイ時間として一層適正な時間を設定することができる。 When the elapsed time when the resistance value first converges within the first convergence condition is determined as the first convergence time and a marker is displayed at that position, the marker is positioned at the minimum time appropriate for the delay time. Is automatically displayed. Therefore, a more appropriate time can be set as the delay time.
マーカーの位置の抵抗値に対する偏差を表すラインを表示可能な場合、このラインと波形とを比較することで、測定者は抵抗の変化を視覚的に容易に理解することができる。従って、波形が定常状態になっているか否かの判断を容易に行うことができる。 When a line representing the deviation of the marker position with respect to the resistance value can be displayed, the measurer can easily understand the change in resistance by comparing the line with the waveform. Therefore, it can be easily determined whether or not the waveform is in a steady state.
複数のマーカーを波形上に表示可能であり、各々のマーカーの情報を用いて演算した演算結果を表示させる場合、波形の変動具合を知る目安になる。従って、測定者は、波形が定常状態になっているか否かの判断を容易に行うことができる。 A plurality of markers can be displayed on the waveform, and when displaying the calculation result calculated using the information of each marker, it is a guideline for knowing the degree of fluctuation of the waveform. Therefore, the measurer can easily determine whether or not the waveform is in a steady state.
一対のマーカーのうちの一方のマーカーの位置の抵抗値を基準として、入力設定された抵抗値の変化率を満たす位置関係で他方のマーカーを表示させる場合、波形の変動具合を知る目安になる。又、入力設定された抵抗値の変化率及び時間間隔を満たす位置関係で一対のマーカーを表示させる場合、波形の変動具合を知る目安になる。従って、測定者は、波形が定常状態になっているか否かの判断を容易に行うことができる。 Using the resistance value at the position of one of the pair of markers as a reference, when the other marker is displayed in a positional relationship that satisfies the change rate of the input resistance value, this is a guideline for knowing the degree of waveform fluctuation. Further, when displaying a pair of markers in a positional relationship that satisfies the input change rate of resistance value and the time interval, this is a guideline for knowing the degree of waveform fluctuation. Therefore, the measurer can easily determine whether or not the waveform is in a steady state.
抵抗値が最初に第二の所定条件内に収束したときの経過時間を第二の収束時間として判定し、トリガ信号の入力時から少なくとも第二の収束時間までが表示される時間軸スケールで波形を表示する場合、過渡現象から定常状態に波形が移行する様子がちょうどよい時間軸スケールで自動的に表示される。従って、波形が見やすいので、適正なディレイ時間を一層容易に判断することができる。 The elapsed time when the resistance value first converges within the second predetermined condition is determined as the second convergence time, and the waveform is displayed on a time axis scale that displays at least the second convergence time from when the trigger signal is input. Is displayed automatically on a time axis scale where the waveform transitions from the transient to the steady state. Therefore, since the waveform is easy to see, it is possible to more easily determine an appropriate delay time.
波形の時間軸スケールを変更して表示可能である場合、測定者が見やすいスケールで波形を表示できるので、定常状態に波形が移行する様子が一層見やすくなり、適正なディレイ時間を一層容易に判断することができる。 When the time axis scale of the waveform can be changed and displayed, the waveform can be displayed on a scale that is easy for the measurer to see, making it easier to see how the waveform transitions to the steady state and making it easier to determine the appropriate delay time. be able to.
抵抗値の波形と共にトリガ信号波形を表示可能である場合、トリガが掛かった時間軸上の位置を、より確実に視認することができる。 When the trigger signal waveform can be displayed together with the waveform of the resistance value, the position on the time axis where the trigger is applied can be visually confirmed more reliably.
以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。 Hereinafter, although the form for implementing this invention is demonstrated in detail, the scope of the present invention is not limited to these forms.
図１に、本発明を適用する抵抗測定装置１のブロック図を示す。この抵抗測定装置１は、ＣＰＵ（中央処理演算装置）１０、直流定電流源１１、スイッチ１２、アンプ１３、Ａ／Ｄ変換器１４、プログラム記憶部１５、測定用記憶部１６、タッチパネル１７、内部トリガ発生回路１９、外部トリガ入力端子２０、及びプローブ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを備えている。
FIG. 1 shows a block diagram of a
ＣＰＵ１０は、プログラムに従って動作して、抵抗測定装置１全体の動作を統括的に制御するものである。同図では、ＣＰＵ１０の動作を判りやすくするために、ＣＰＵ１０内に、本発明における機能ブロック（各部）を図示している。ＣＰＵ１０の動作用のプログラムは、プログラム記憶部１５に記憶されている。プログラム記憶部１５は、ＲＯＭ（リード・オンリー・メモリ）又はハードディスク等である。ＣＰＵ１０は、プログラムに従い抵抗値演算部として動作して、直流定電流源１１、スイッチ１２、アンプ１３、Ａ／Ｄ変換器、及びプローブ２１ａ〜２２ｂと共に、本発明における測定部になる。又、ＣＰＵ１０は、プログラムに従い動作して、タッチパネル１７（表示部１７ａ）への表示内容を制御する表示制御部になる。又、ＣＰＵ１０は、タッチパネル１７（操作部１７ｂ）及び表示制御部と共に、ディレイ時間を設定するためのディレイ時間設定部になる。又、ＣＰＵ１０は、第一の収束時間判定部、第二の収束時間判定部になる。
The
ＣＰＵ１０には、測定開始用のトリガ信号が入力されるようになっている。トリガ信号は、外部トリガ信号又は内部トリガ信号の内から選択できるようになっている。外部トリガ信号は、装置外部から外部トリガ入力端子２０を介してＣＰＵ１０に入力される。内部トリガ信号は、内部トリガ発生回路１９から入力される。内部トリガ発生回路１９は、例えば操作部１７ｂのスタートボタン（不図示）が押されたときにトリガ信号を発生する回路、又は周期的にトリガ信号を発生する回路である。
A trigger signal for starting measurement is input to the
直流定電流源１１は、ＤＵＴ（測定対象体）１０１に流すための抵抗測定用電流Ｉを出力するものである。抵抗測定用電流Ｉの電流値は、予め設定された既知の値である。直流定電流源１１の出力は、ＣＰＵ１０により開閉制御可能なスイッチ１２を介して、プローブ２１ａに接続されている。プローブ２１ａをＤＵＴ１０１の一端に接触させると共に、基準電位に接続されているプローブ２１ｂをＤＵＴ１０１の他端に接触させることで、ＤＵＴ１０１が抵抗測定用電流Ｉの流路になる。
The DC constant
アンプ１３は、一例として差動アンプであり、ＤＵＴ１０１の両端に接触させたプローブ２２ａ，２２ｂを介して、ＤＵＴ１０１の両端電圧を検出して、検出した両端電圧を適宜増幅してＡ／Ｄ変換器１４に出力する。
The
Ａ／Ｄ変換器１４は、アンプ１３が出力するＤＵＴ１０１の両端電圧をアナログ／デジタル変換して、デジタル値でＣＰＵ１０に出力する。ＣＰＵ１０は、抵抗値演算部として、抵抗測定用電流Ｉの電流値、及びＤＵＴ１０１の両端電圧値からＤＵＴ１０１の抵抗値を算出する。
The A /
測定用記憶部１６は、例えば、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、又はハードディスク等の書き換え可能なメモリであり、測定用に設定される条件や、測定した抵抗値を記憶する。
The
タッチパネル１７は、表示部１７ａ及び操作部１７ｂを兼ねるものであり、例えば液晶パネルのような表示画面上に、タッチパッドのような接触式の操作パネルを設けたものである。
The
次に、抵抗測定装置１の動作について説明する。
Next, the operation of the
抵抗測定装置１は、電源を起動して動作を開始したときに、一例として、通常の動作モードである抵抗測定モードで動作する。
As an example, the
図２に、抵抗測定モードにおけるタッチパネル１７の表示例を示す。
FIG. 2 shows a display example of the
抵抗測定モード時には、ＣＰＵ１０（表示制御部）は、タッチパネル１７に、測定した抵抗値を数値で示す抵抗値表示８１を表示させる。又、ＣＰＵ１０は、設定された測定条件を示す表示として、トリガ設定表示８２及びディレイ時間表示８３を表示させる。さらに、ＣＰＵ１０は、操作部１７ｂとして、トリガ設定ボタン９１、ディレイ時間数値設定ボタン９２、及びディレイ時間設定支援モードボタン９３を表示させる。なお、測定した抵抗値や測定条件を装置外部に出力するようにしてもよい。
In the resistance measurement mode, the CPU 10 (display control unit) causes the
トリガ設定ボタン９１は、内部トリガ／外部トリガの選択や、トリガ信号の立ち上がり（↑）／立ち下り（↓）／レベルの何れでトリガするかという設定など、トリガ条件を設定するためのものである。このボタン９１が操作されると、図示しないが、ＣＰＵ１０はトリガ条件設定用の別画面をタッチパネル１７に表示させ、測定者の操作でトリガ条件が設定される。
The
ディレイ時間数値設定ボタン９２は、本発明におけるディレイ時間設定部の一例であり、このボタン９２が操作される（押される）と、図示しないが、ＣＰＵ１０は、一例として数値設定用の数値キー（テンキー）を表示させる。その数値キーの操作で、ディレイ時間の数値設定が可能になっている。
The delay time numerical
抵抗測定モード時の動作を、図１を参照して説明する。ＣＰＵ１０（測定部）は、外部トリガ信号（又は内部トリガ信号）の入力時に、直ちにスイッチ１２を断から接に制御することで、ＤＵＴ１０１へ抵抗測定用電流Ｉの出力を開始する。ＣＰＵ１０は、トリガ信号の入力時からの経過時間を測定し始め、設定されたディレイ時間が経過した時のＤＵＴ１０１の両端電圧を、Ａ／Ｄ変換器１４から読み込んで、ＤＵＴ１０１の抵抗値を測定する。ＣＰＵ１０は、測定した抵抗値をタッチパネル１７に抵抗値表示８１（図２参照）として表示させる。
The operation in the resistance measurement mode will be described with reference to FIG. The CPU 10 (measurement unit) starts outputting the resistance measurement current I to the
この抵抗測定装置１は、例えばコイルの製造検査ラインで使用され、同様のコイルを順次、多数検査するために用いられる。測定者は、ＤＵＴ１０１の抵抗値を測定後、別のコイルに交換し、外部トリガ信号を入力してコイルの抵抗を測定する。このような検査が繰り返し行われる。測定者は、コイルの検査を開始する前に、ディレイ時間の設定を行う。
This
ディレイ時間を適正な時間に設定するために、測定者は、図２に示すディレイ時間設定支援モードボタン９３を操作する。
In order to set the delay time to an appropriate time, the measurer operates the delay time setting
ＣＰＵ１０は、ディレイ時間設定支援モードボタン９３が操作される（押される）ことで、ディレイ時間設定支援モードの動作を開始する。このディレイ時間設定支援モードが本発明における抵抗値波形表示機能に相当する。
The
ディレイ時間設定支援モードでは、ＣＰＵ１０（測定部）が、トリガ信号の入力時から抵抗測定用電流Ｉの出力を開始して、ＤＵＴ１０１の抵抗値を時間の経過に従い順次測定（サンプリング）して、測定された各抵抗値を、経過時間と対応可能に測定用記憶部１６に記憶させる。ＣＰＵ１０（表示制御部）は、測定用記憶部１６に記憶された複数の抵抗値を、トリガ信号の入力時からの経過時間に対する波形でタッチパネル１７に表示させる。
In the delay time setting support mode, the CPU 10 (measurement unit) starts outputting the resistance measurement current I from the time when the trigger signal is input, and sequentially measures (samples) the resistance value of the
図３に、ディレイ時間設定支援モードにおけるタッチパネル１７の表示例を示す。
FIG. 3 shows a display example of the
ＣＰＵ１０は、タッチパネル１７に、経過時間を横軸（時間軸）とし、抵抗値を縦軸（抵抗軸）として、測定用記憶部１６に記憶させた時系列に沿った各抵抗値を、抵抗値波形２４として表示させる。時間軸には、経過時間が目視で分かるように、適当な間隔で目盛りを付して、その目盛りの経過時間を示す数値（この例では、０、１０、２０、・・・５０ｍｓ）を表示させることが好ましい。縦軸には、抵抗値が分かるように、適当な間隔で目盛りを付して、そこの目盛りの抵抗値を示す数値（この例では、０、５、１０Ω）を表示させることが好ましいが、少なくとも抵抗値波形２４の形を視認できればよい場合には、抵抗値を示す目盛りやその数値の表示は無くしてもよい。
The
又、ＣＰＵ１０は、タッチパネル１７に、抵抗値波形２４と同じ時間軸で、トリガ信号の波形をトリガ波形２５として表示させることが好ましい。トリガ波形２５を表示させると、測定者はトリガが掛かった時間軸上の位置を、より確実に視認することができる。トリガ波形２５の表示をオン／オフできるようにしてもよい。
In addition, the
このように、時間軸に対する抵抗値波形２４を表示することで、測定者は、抵抗値波形２４の形を視認して、抵抗値が定常状態に収束する経過時間を、一目瞭然に知ることができる。図３の例だと、抵抗値波形２４から概ね４０ｍｓ以上の経過時間で定常状態に収束していることが分かるので、測定者は、例えば、数値・条件設定ボタン３８を操作して、ディレイ時間を数値（例えば４５ｍｓ）で設定してもよいし、戻るボタン４３を操作して、図２の抵抗測定モードに戻り、ディレイ時間数値設定ボタン９２でディレイ時間を数値設定してもよい。ＣＰＵ１０は、設定されたディレイ時間を、測定用記憶部１６に記憶させる。
In this way, by displaying the
さらに、抵抗測定装置１は、適正なディレイ時間を簡便に設定できるような種々の機能を有している。
Furthermore, the
図３に示すように、ＣＰＵ１０は、操作部１７ｂとして、矢印キー３０、Ａマーカー表示ボタン３１、Ａマーカー収束位置ボタン３２、変動ライン表示ボタン３３、Ｂマーカー表示ボタン３４、Ｂマーカー変動位置ボタン３５、マーカー選択ボタン３６、ディレイ時間決定ボタン３７、数値・条件設定ボタン３８、時間軸設定ボタン４１、及び／又は抵抗軸設定ボタン４２をタッチパネル１７に表示させることが好ましい。又、ＣＰＵ１０は、抵抗測定モードに戻るための、戻るボタン４３を表示させる。
As shown in FIG. 3, the
Ａマーカー表示ボタン３１が操作されると、ＣＰＵ１０（表示制御部）は、抵抗値波形２４上にＡマーカー２７を表示させる。このＡマーカー２７は、矢印キー３０の左矢印（←）キー及び右矢印（→）キーの操作で、抵抗値波形２４上の任意の位置に移動するようになっている。更に、ＣＰＵ１０は、Ａマーカー２７の位置の抵抗値波形２４の情報であるＡマーカー情報表示５２を、タッチパネル１７に数値で表示させる。抵抗値波形２４の情報として、少なくとも経過時間を表示させることが好ましく、更に抵抗値を表示させることがより好ましい。同図の例では、Ａマーカー情報表示５２は、Ａマーカー２７の位置の経過時間が４５．００ｍｓであり、抵抗値が１０．０００Ωであることを示している。なお、この波形や抵抗値（下記の抵抗値も同様）は模式的に例示したものである。
When the A
測定者は、抵抗値波形２４を見ながら矢印キー３０を操作して、Ａマーカー２７を、抵抗値波形２４が定常状態（一定値）になる位置、つまりディレイ時間として適切な位置に移動させる。続いて、測定者は、ディレイ時間決定ボタン３７（本発明におけるディレイ時間設定部の一例）を操作する。ＣＰＵ１０は、ディレイ時間決定ボタン３７が操作されたときに、Ａマーカー２７の位置の経過時間を読み込んで、ディレイ時間として測定用記憶部１６に記憶させる。又、ＣＰＵ１０は、タッチパネル１７に、設定されたディレイ時間を数値（図の例では４５．００ｍｓ）で示すディレイ時間表示５１を表示させる。
The measurer operates the
測定者は、ディレイ時間を設定後、戻るボタン４３を操作して、図２の抵抗測定モード画面に戻り、抵抗値の測定を行う。
After setting the delay time, the measurer operates the
このように、Ａマーカー２７の位置をディレイ時間として設定できるので、測定者が数値入力する必要がなく、適正なディレイ時間を迅速、簡便に設定することができる。
Thus, since the position of the
図４に、ディレイ時間設定支援モードにおける別の機能例を示す。 FIG. 4 shows another example of functions in the delay time setting support mode.
Ａマーカー収束位置ボタン３２は、抵抗値波形２４が定常状態に収束する位置に、Ａマーカー２７を自動的に表示させるためのボタンである。Ａマーカー収束位置ボタン３２が操作されると、ＣＰＵ１０は、本発明における第一の収束時間判定部として動作して、測定用記憶部１６に記憶されている抵抗値波形２４の各抵抗値が、第一の所定条件内に収束した時の経過時間を第一の収束時間として判定する。続いて、ＣＰＵ１０は、判定した第一の収束時間に対応する抵抗値波形２４上の位置に、Ａマーカー２７を表示させる。Ａマーカー２７の位置の情報は、Ａマーカー情報表示５２として数値で表示する。図４では、算出した収束時間が４０．００ｍｓである場合のＡマーカー２７及びＡマーカー情報表示５２の表示例を示している。
The A marker
第一の収束条件は、例えば、最後に測定した抵抗値（抵抗値波形２４の最後の抵抗値）に対する偏差が所定条件内（例えば最後に測定された抵抗値に対し±０．０１〜５％の範囲内）に初めて入ったときの経過時間を収束時間とする。又は、第一の収束条件は、抵抗値波形２４の接線の傾きや接線の角度、若しくは抵抗値波形２４の微分値が所定条件内に入ったときの経過時間を収束時間とする。これら収束条件は、数値・条件設定ボタン３８を操作して、所望の条件に設定できるようにすることが好ましい。第一の収束条件として、公知の他の条件や計算方法を使用してもよい。
In the first convergence condition, for example, the deviation from the last measured resistance value (the last resistance value of the resistance value waveform 24) is within a predetermined condition (for example, ± 0.01 to 5% with respect to the last measured resistance value). The elapsed time when entering for the first time in the range is defined as the convergence time. Alternatively, as the first convergence condition, the convergence time is the elapsed time when the slope of the tangent line of the
測定者は、Ａマーカー２７の表示位置の経過時間を、ディレイ時間として設定してよいか判断し、よい場合には、ディレイ時間決定ボタン３７を操作して設定する。測定者は、矢印キー３０を操作して、表示されたＡマーカー２７の位置を例えばマージン分だけ更に右側に移動させてから、ディレイ時間決定ボタン３７を操作して、ディレイ時間として設定してもよい。
The measurer determines whether the elapsed time of the display position of the
図５に、ディレイ時間設定支援モードにおける別の機能例を示す。 FIG. 5 shows another example of functions in the delay time setting support mode.
変動ライン表示ボタン３３は、Ａマーカー２７（又は後述するＢマーカー２８）の抵抗値に対する偏差を表すラインＬｓを表示させるためのボタンである。ＣＰＵ１０（表示制御部）は、変動ライン表示ボタン３３が操作されると、Ａマーカー２７の抵抗値（例えば１０．０００Ω）を読み込み、予め設定された割合（例えば−２０％）で演算して偏差を示す抵抗値（例えば８．０００Ω）を算出する。ＣＰＵ１０は、算出した抵抗値によりラインＬｓを表示させる。又、ＣＰＵ１０は、ラインＬｓの情報を示すライン情報表示５３を表示させる。基準となるＡマーカー２７の位置が判るように、Ａマーカー２７の抵抗値の位置を表す基準ラインＬａも表示させることが好ましい。
The fluctuation
ラインＬｓの偏差（割合）は、矢印キー３０の上矢印（↑）キー及び下矢印（↓）キーで増減させて変更設定できるようにしてもよいし、数値・条件設定ボタン３８で値を変更設定できるようにしてもよい。偏差を表すラインは１本に限られず、例えば＋５％ライン、＋１０％ライン、２０％ラインのように異なる偏差のラインを複数本表示させてもよい。
The deviation (ratio) of the line Ls can be changed by increasing / decreasing it with the up arrow (↑) key and the down arrow (↓) key of the
このように変動ラインＬｓを表示させることで、測定者は、変動ラインＬｓを目安として、抵抗値波形２４が定常状態に収束する収束時間を簡便に判別することができる。
By displaying the fluctuation line Ls in this way, the measurer can easily determine the convergence time for the
図６に、ディレイ時間設定支援モードにおける別の機能例を示す。 FIG. 6 shows another example of functions in the delay time setting support mode.
Ｂマーカー表示ボタン３４が操作されると、ＣＰＵ１０（表示制御部）は、抵抗値波形２４上にＢマーカー２８を表示させる。このＢマーカー２８は、Ａマーカー２７と同様に、矢印キー３０の左矢印（←）キー及び右矢印（→）キーの操作で、抵抗値波形２４上の任意の位置に移動させることができる。移動させるマーカーは、マーカー選択ボタン３６で選択する。例えばマーカー選択ボタン３６を操作するたびに、Ａマーカー２７とＢマーカー２８とが交互に選択される。選択されているマーカーは、例えば色つき（図では黒色）で表示させたり、明るく表示させたり、点滅して表示させたりすることで、判別可能に表示させる。
When the B
ＣＰＵ１０は、Ｂマーカー２８の位置の抵抗値波形２４の情報であるＢマーカー情報表示５４を、タッチパネル１７に数値で表示させる。同図の例では、Ｂマーカー情報表示５４として、Ｂマーカー２８の位置の経過時間が３４．００ｍｓであり、抵抗値が９．９００Ωであることを示している。
The
マーカー選択ボタン３６で、Ｂマーカー２８を選択してから、ディレイ時間決定ボタン３７を操作することで、Ｂマーカー２８の位置の経過時間をディレイ時間として設定するようにしてもよい。又、Ｂマーカー２８を選択してから、変動ライン表示ボタン３３を操作することで、Ｂマーカー２８の抵抗値に対する偏差を表すラインＬｓ（図５参照）を表示させるようにしてもよい。
The elapsed time at the position of the
ＣＰＵ１０（表示制御部）は、Ａマーカー２７及びＢマーカー２８を表示させているときに、Ａマーカー２７（一方のマーカー）の抵抗値に対するＢマーカー２８（他方のマーカー）の抵抗値の変化の割合（変化率）を演算し、演算した変化率を示す変化率表示５５を表示させることが好ましい。一例として、測定者が、Ａマーカー２７を抵抗値が十分に安定している位置に移動させておき、続いてＢマーカー２８を検査精度として許容される所望の変化率（例えば−１％）となる位置に変化率表示５５を見つつ移動させる。移動させたＢマーカー２８の位置の経過時間が、検査精度として許容される適正なディレイ時間になる。なお、変化率表示５５として、Ｂマーカー２８の抵抗値に対するＡマーカー２７の抵抗値の変化率を演算して表示させるようにしてもよい。
When the CPU 10 (display control unit) displays the
図７に示すように、変化率設定ボタン（Ｂマーカー変動位置ボタン）３５を操作して、変化率を数値設定し、設定した変化率になる位置に、Ｂマーカー２８を自動的に移動させるようにしてもよい。変化率は、例えば、矢印キー３０の上矢印（↑）キー及び下矢印（↓）キーで値を増減させて設定できるようにしてもよいし、数値・条件設定ボタン３８を操作して数値キーを表示させ、数値の入力操作で設定できるようにしてもよい。ＣＰＵ１０は、Ａマーカー２７の抵抗値に対して、設定された変化率となる抵抗値波形２４の位置を判別して、その位置にＢマーカー２８を表示させる。同図では、変化率として−３％に設定した例を示している。このＢマーカー２８の位置でよい場合、Ｂマーカー２８を選択してから、ディレイ時間設定ボタン３７を操作してディレイ時間として設定する。なお、変化率は、±３％のように正負の範囲で設定できるようにしてもよい。
As shown in FIG. 7, the change rate setting button (B marker variation position button) 35 is operated to set a numerical value for the change rate so that the
このように変化率を設定できるようにすると、一層簡便に適正なディレイ時間を設定することができる。 If the rate of change can be set in this way, an appropriate delay time can be set more easily.
又、図示しないが、Ａマーカー２７の抵抗値に対するＢマーカー２８の抵抗値の変化率を設定できるようにするだけでなく、更にＡマーカー２７とＢマーカー２８との時間間隔（Ａマーカー２７の経過時間とＢマーカー２８の経過時間との差の時間）を入力設定できるようにしておき、設定した時間間隔で、設定した変化率になる最初の位置（経過時間が最も早い位置）に、Ａマーカー２７及びＢマーカー２８を自動的に表示させるようにしてもよい。例えば時間間隔として２０ｍｓ、変化率として−２％のように、適宜設定する。この場合、ＣＰＵ１０は、経過時間０ｍｓ側から時間を順次大きくしていき、設定された変化率（＋２％）になるまで、設定された時間間隔（２０ｍｓ）だけ離れた抵抗値の変化率を順次算出していき、Ａマーカー２７及びＢマーカー２８の表示すべき位置を検出する。この場合も、±２％のように変化率を正負の範囲で設定できるようにしてもよいし、Ｂマーカー２８に対するＡマーカーの変化率（例えば＋２％）を設定できるようにしてもよい。
Although not shown, not only can the rate of change of the resistance value of the
測定者は、表示されたＢマーカー２８（左側に表示されるマーカー）の位置の経過時間を、ディレイ時間として設定してよいか確認する。良い場合には、測定者は、Ｂマーカー２８を選択して、ディレイ時間決定ボタン３７でディレイ時間として設定する。又、Ａマーカー２７の位置をディレイ時間として設定してもよい。
The measurer confirms whether the elapsed time at the position of the displayed B marker 28 (marker displayed on the left side) can be set as the delay time. If it is good, the measurer selects the
このように変化率と時間間隔とを設定できるようにすると、抵抗値波形２４が安定する位置（定常状態になる位置）を、自動的にマーカー２７，２８で表示させることができる。従って、適正で最小限のディレイ時間を設定することができる。
If the change rate and the time interval can be set in this way, the position where the
図３〜図７に表示した時間軸設定ボタン４１は、時間軸を設定するためのものである。このボタン４１が操作されると、図示しないが、ＣＰＵ１０は、時間軸設定用画面を表示させる。時間軸設定画面では、例えば、時間軸スケールの「手動設定」、「自動設定」の切り替えや、「手動設定」で表示させる場合の時間軸スケール（例えば「表示開始時間」、「表示終了時間」）や「測定期間」の設定が行えるようにする。例えば、図３では、時間軸を０〜５０ｍｓで表示させているが、測定者が「手動設定」にして、「表示開始時間」を例えば１０ｍｓ及び「表示終了時間」を例えば７０ｍｓのように、所望の任意の値で設定できるようにする。又、矢印キー３０の操作により、表示させる範囲を移動させてもよい。例えば右矢印（→）キーが操作されたときに、ＣＰＵ１０は、表示範囲を０〜５０ｍｓから１０〜６０ｍｓに移動させるように、矢印の方向に、表示させる時間軸の範囲を移動させてもよい。抵抗測定装置１がディレイ時間設定支援モードで抵抗値を順次測定する測定期間は、測定前に表示されている時間軸の表示終了時間に合わせた期間としてもよいし、その期間の所定倍（例えば２倍）の期間としてもよい。つまり、測定期間を時間軸に基づいて決定してもよい。又、測定期間を所望の任意の期間に数値設定できるようにしてもよい。数値設定する場合、測定期間に基づいて（連動させて）時間軸を決定してもよい。
The time
時間軸の「自動設定」が選択された場合、ＣＰＵ１０は、本発明における第二の収束時間判定部として動作して、測定用記憶部１６に記憶されている複数の抵抗値が、第二の所定条件内に収束した時の経過時間を第二の収束時間として判定する。第二の所定条件は、定常状態になる経過時間を判定するための条件である。例えば、最後に測定した抵抗値に対する偏差が所定条件内（例えば測定した最後の抵抗値に対し±０．１〜５％の範囲内）に入ったときの経過時間を第二の収束時間とする。又は、例えば、抵抗値波形２４の接線の傾きや角度、若しくは波形の微分値が所定条件内に入ったときの経過時間を第二の収束時間とする。これら第二の所定条件を設定できるようにすることが好ましい。抵抗値波形２４の収束時間は、公知の他の方法で算出してもよい。ＣＰＵ１０は、トリガ信号の入力時（０ｍｓ）から、少なくとも第二の収束時間までが表示される時間軸スケールで抵抗値波形２４をタッチパネル１７に表示させる。時間軸スケールは、第二の収束時間よりも多少遅い時間まで表示されるようにしてもよい。この場合、例えば時間軸スケールとして、第二の収束時間に、表示用のマージン倍率（例えば１．１〜２倍）を乗じた時間を表示できるスケールとする。
When “automatic setting” of the time axis is selected, the
時間軸スケールを自動設定することで、抵抗値波形２４が収束する様子を測定者がちょうどよいスケールで目視でき、その抵抗値波形２４の形から、測定者は適正なディレイ時間が判る。第二の収束条件は、例えば数値・条件設定ボタン３８の操作で所望の条件に設定できるようにすることが好ましい。自動設定した時間軸スケールは、「手動設定」で任意の時間軸スケールに設定変更できるようにすることが好ましい。
By automatically setting the time axis scale, the measurer can visually observe how the
なお、前述した第一の収束条件と第二の収束条件とを同じ条件にしてもよいし、異なる条件としてもよい。 The first convergence condition and the second convergence condition described above may be the same condition or different conditions.
抵抗軸設定ボタン４２は、縦軸を設定するためのものである。手動設定で所望の縦軸スケールに設定することもできるし、自動設定することもできる。自動設定時は、ＣＰＵ１０が、測定用記憶部１６に記憶されている複数の抵抗値の内の最大値を少なくとも表示できるように、縦軸の最大値を決定する。
The resistance
なお、ＤＵＴ１０１としてコイルを測定する例について説明したが、ＤＵＴ１０１の種類はコイルに限定されない。インダクタンス成分やキャパシタンス成分を有する過渡期間の長いＤＵＴ１０１の抵抗値を測定する場合、本発明の抵抗測定装置１を使用することで、ディレイ時間を適正な時間に設定することができるので、抵抗値を正確に測定することができる。又、例えば抵抗器の抵抗値を測定する場合であっても、抵抗器のリード端子に起因して僅かに過渡現象が生じるので、短い時間ではあるがディレイ時間を適正な時間に設定することができる。
In addition, although the example which measures a coil as DUT101 was demonstrated, the kind of DUT101 is not limited to a coil. When measuring the resistance value of the
又、表示部１７ａに一対のＡマーカー２７及びＢマーカー２８を表示可能な例について説明したが、必要性に応じて、１つのＡマーカー２７だけを表示できるようにしてもよいし、例えば３つ、５つ等複数のマーカーを表示できるようにしてもよい。複数のマーカーを表示する場合、全てのマーカーの情報を表示可能とし、さらに一つのマーカーの抵抗値に対する残りの全てのマーカーの抵抗値の変化率を表示可能とすることが好ましい。又、複数のマーカーのうちの任意の一つのマーカーの位置の抵抗値と、任意の他のマーカーの位置の抵抗値との変化率を表示可能としてもよい。又、マーカー間の時間間隔を演算して、その演算結果を表示するようにしてもよい。
Further, the example in which the pair of A
又、抵抗測定モードにおいても、トリガ信号の入力時から時間の経過と共に順次抵抗値の測定を行い、ディレイ時間が経過した時の抵抗値を数値で表示するようにしてもよい。又、ディレイ時間設定支援モード（抵抗波形表示機能）で動作させたときに、抵抗測定モードの表示画面（図２）内に、抵抗値が波形表示されるようにしてもよい。又、抵抗測定モードにおいても常に抵抗波形表示機能を動作させ、抵抗測定モードの表示画面内に、常に抵抗値を波形表示するようにしてもよい。 Also in the resistance measurement mode, the resistance value may be measured sequentially as time elapses from when the trigger signal is input, and the resistance value when the delay time elapses may be displayed as a numerical value. Further, when operated in the delay time setting support mode (resistance waveform display function), the resistance value may be displayed in a waveform on the resistance measurement mode display screen (FIG. 2). Also, the resistance waveform display function may always be operated in the resistance measurement mode so that the resistance value is always displayed in a waveform on the display screen of the resistance measurement mode.
１は抵抗測定装置、１０はＣＰＵ、１１は直流定電流源、１２はスイッチ、１３はアンプ、１４はＡ／Ｄ変換器、１５はプログラム記憶部、１６は測定用記憶部、１７はタッチパネル、１７ａは表示部、１７ｂは操作部、１９は内部トリガ発生回路、２０は外部トリガ入力端子、２１ａ・２１ｂ・２２ａ・２２ｂはプローブ、２４は抵抗値波形、２５はトリガ波形、２７はＡマーカー、２８はＢマーカー、３０は矢印キー、３１はＡマーカー表示ボタン、３２はＡマーカー収束位置ボタン、３３は変動ライン表示ボタン、３４はＢマーカー表示ボタン、３５はＢマーカー変動位置ボタン、３６はマーカー選択ボタン、３７はディレイ時間決定ボタン、３８は数値・条件設定ボタン、４１は時間軸設定ボタン、４２は抵抗軸設定ボタン、４３は戻るボタン、５１はディレイ時間表示、５２はＡマーカー情報表示、５３はライン情報表示、５４はＢマーカー情報表示、５５は変化率表示、８１は抵抗値表示、８２はトリガ設定表示、８３はディレイ時間表示、９１はトリガ設定ボタン、９２はディレイ時間数値設定ボタン、９３はディレイ時間設定支援モードボタン、１０１はＤＵＴ、Ｉは抵抗測定用電流、Ｌａは基準ライン、Ｌｓは偏差を表すラインである。 1 is a resistance measuring device, 10 is a CPU, 11 is a DC constant current source, 12 is a switch, 13 is an amplifier, 14 is an A / D converter, 15 is a program storage unit, 16 is a storage unit for measurement, 17 is a touch panel, 17a is a display unit, 17b is an operation unit, 19 is an internal trigger generation circuit, 20 is an external trigger input terminal, 21a, 21b, 22a and 22b are probes, 24 is a resistance waveform, 25 is a trigger waveform, 27 is an A marker, 28 is a B marker, 30 is an arrow key, 31 is an A marker display button, 32 is an A marker convergence position button, 33 is a fluctuation line display button, 34 is a B marker display button, 35 is a B marker fluctuation position button, and 36 is a marker Selection button, 37 is a delay time determination button, 38 is a numerical value / condition setting button, 41 is a time axis setting button, 42 is a resistance axis setting button, and 43 is Button, 51 is delay time display, 52 is A marker information display, 53 is line information display, 54 is B marker information display, 55 is change rate display, 81 is resistance value display, 82 is trigger setting display, 83 is delay Time display, 91 is a trigger setting button, 92 is a delay time value setting button, 93 is a delay time setting support mode button, 101 is a DUT, I is a resistance measurement current, La is a reference line, and Ls is a line representing a deviation. .
Claims (4)
抵抗値波形表示機能を有しており、この機能の動作時に、該測定部が、該トリガ信号の入力時から該抵抗測定用電流の出力を開始して、該測定対象体の抵抗値を時間の経過に従い順次測定して、
該表示制御部が、該測定部によって順次測定された該各抵抗値を、該トリガ信号の入力時からの経過時間に対する波形で該表示部に表示させ、
該表示制御部が、複数のマーカーを該記波形上に表示可能であり、該複数のマーカーのうち一方のマーカーの抵抗値に対する他方のマーカーの抵抗値の変化割合を演算し、演算した変化率を、該表示部に表示させることを特徴とする抵抗測定装置。 The delay time setting unit for setting the delay time and the output of the resistance measurement current to the measurement object from the time of the trigger signal input are started , and the resistance value of the measurement object is calculated based on the voltage across the measurement object. A resistance measuring device comprising a measuring unit for measuring and a display control unit for displaying the resistance value on a display unit,
It has a resistance value waveform display function, and when this function is activated, the measurement unit starts outputting the resistance measurement current from the time when the trigger signal is input, and the resistance value of the measurement object is measured in time. Measure sequentially as time passes,
The display control unit displays the resistance values sequentially measured by the measurement unit on the display unit in a waveform with respect to an elapsed time from the input of the trigger signal,
The display control unit can display a plurality of markers on the waveform, calculates a change rate of the resistance value of the other marker with respect to the resistance value of one marker among the plurality of markers, and calculates the change rate Is displayed on the display unit.
前記表示制御部が、該第一の収束時間に対応する前記波形上の位置に、前記マーカーを表示可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載の抵抗測定装置。 A first convergence time determination unit that determines an elapsed time when each of the resistance values sequentially measured by the measurement unit first converges within a first convergence condition as a first convergence time;
Wherein the display control unit, the position on the waveform corresponding to said first convergence time, resistance measuring apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that it is capable of displaying the marker.
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