JP2011185625A

JP2011185625A - Inspection device

Info

Publication number: JP2011185625A
Application number: JP2010048531A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Ban; 和浩伴
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2010-03-05
Filing date: 2010-03-05
Publication date: 2011-09-22

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To precisely inspect an inspection object circuit component by reducing the effect of variation in an offset voltage. <P>SOLUTION: A guard voltage application part 14 includes: a voltage compensation part 21 inputting a terminal voltage Vt appearing at one end A of a resistor 41 during inspection of the resistor 41 and outputting an addition voltage Vad obtained by adding a compensation voltage Vc set for the terminal voltage Vt; and a differential amplifier 22 inputting the addition voltage Vad to output it as a guard voltage Vg. The guard voltage Vg is applied to a middle connection point C in a series circuit connected in parallel with the resistor 41. During non-inspection time for the resistor 41, a processing part 8 performs a voltage setting process for inputting a reference voltage Vref in place of the terminal voltage Vt to the voltage compensation part 21, and detecting a differential voltage (Vref-Vg) between the reference voltage Vref and the guard voltage Vg to set the detected differential voltage (Vref-Vg) as the compensation voltage Vc to the voltage compensation part 21. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、回路基板に実装された検査対象電気部品の抵抗値を測定して検査する検査装置に関するものである。 The present invention relates to an inspection apparatus that measures and inspects resistance values of electrical components to be inspected mounted on a circuit board.

この種の検査装置に使用される抵抗測定装置として、下記特許文献に開示された抵抗測定装置が知られている。この抵抗測定装置は、被測定抵抗と、この被測定抵抗に並列に接続された複数の直列抵抗とで構成される抵抗回路網における被測定抵抗の抵抗値を測定する抵抗測定装置であって、被測定抵抗の電流測定端子側に現れる電圧と等しい電圧をバッファアンプ（差動型緩衝増幅回路）を用いて直列抵抗の中間点（中間接続点）に加えることにより、直列抵抗に流れる電流が抵抗測定用の電流計に流れ込まないようにして、つまり被測定抵抗を通って流れる電流のみが電流計に流れるようにして、被測定抵抗の抵抗値を直接的に測定し得るように構成されている。 As a resistance measuring device used in this type of inspection device, a resistance measuring device disclosed in the following patent document is known. The resistance measuring device is a resistance measuring device that measures a resistance value of a resistance to be measured in a resistance network including a resistance to be measured and a plurality of series resistors connected in parallel to the resistance to be measured. By applying a voltage equal to the voltage appearing on the current measurement terminal side of the resistance to be measured to the middle point (intermediate connection point) of the series resistance using a buffer amplifier (differential buffer amplifier circuit), the current flowing through the series resistance becomes a resistance. It is configured so that the resistance value of the measured resistance can be directly measured so that it does not flow into the measuring ammeter, that is, only the current flowing through the measured resistance flows to the ammeter. .

特開昭５６−１１１４７０号公報（第１−２頁、第２図）JP 56-111470 A (page 1-2, FIG. 2)

ところが、上記した抵抗測定装置には、以下の問題点がある。すなわち、この抵抗測定装置において使用されるバッファアンプにはオフセット電圧が発生するため、このオフセット電圧の発生に起因して、被測定抵抗の電流測定端子側に現れる電圧と等しい電圧を直列抵抗の中間点に正確に加えることができない場合が生じる。このため、一般的には、オフセット電圧の調整機能を備えたバッファアンプを使用して、オフセット調整用端子に接続された可変抵抗の抵抗値をマニュアルで操作することにより、発生するオフセット電圧をほぼゼロとなるように調整している。 However, the above resistance measuring apparatus has the following problems. That is, since an offset voltage is generated in the buffer amplifier used in this resistance measuring device, a voltage equal to the voltage appearing on the current measuring terminal side of the resistance to be measured is generated between the series resistance due to the generation of the offset voltage. Occasionally, a point cannot be accurately added. For this reason, in general, by using a buffer amplifier equipped with an offset voltage adjustment function and manually operating the resistance value of the variable resistor connected to the offset adjustment terminal, the generated offset voltage is substantially reduced. It is adjusted to zero.

しかしながら、この構成においても、バッファアンプのオフセット電圧には経年変化や温度変化に起因した変動が生じるため、被測定抵抗の電流測定端子側に現れる電圧と等しい電圧を直列抵抗の中間点に正確に加えることができない事態が発生することがあり、このような事態が発生したときには、抵抗値を正確に測定できないという問題点が存在している。このため、この抵抗測定装置を使用した検査装置には、被測定抵抗の抵抗値を正確に測定することができない結果、被測定抵抗を精度よく検査できないという問題点が存在している。 However, even in this configuration, the offset voltage of the buffer amplifier fluctuates due to aging and temperature changes, so a voltage equal to the voltage appearing on the current measurement terminal side of the resistance to be measured is accurately set at the middle point of the series resistance. There is a case where a situation that cannot be added may occur, and when such a situation occurs, there is a problem that the resistance value cannot be measured accurately. For this reason, the inspection apparatus using this resistance measuring apparatus has a problem that the resistance to be measured cannot be accurately inspected because the resistance value of the resistance to be measured cannot be measured accurately.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、オフセット電圧の変動の影響を軽減して、検査対象回路部品のインピーダンスを正確に測定して精度よく検査し得る検査装置を提供することを主目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and provides an inspection apparatus capable of accurately measuring the impedance of circuit components to be inspected by reducing the influence of fluctuations in offset voltage and accurately inspecting the impedance. The main purpose.

上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、回路基板に実装された検査対象電気部品の一端を基準として他端に検査用電圧を印加する電圧印加部と、前記検査対象電気部品の両端間電圧を検出する第１電圧検出部と、前記検査用電圧の印加時に前記検査対象電気部品に流れる検査電流を検出する電流検出部と、前記検査対象電気部品に並列に接続された直列回路における中間接続点にガード電圧を印加するガード電圧印加部と、電圧設定処理を実行する処理部とを備え、前記両端間電圧および前記検出された検査電流に基づいて前記検査対象電気部品のインピーダンスを測定すると共に当該測定したインピーダンスに基づいて当該検査対象電気部品を検査する検査装置であって、前記ガード電圧印加部は、前記検査対象電気部品に対する検査時において前記検査対象電気部品の前記一端に現れる端子電圧を入力すると共に当該端子電圧に対して設定された補償電圧を加算して加算電圧として出力する電圧補償部、および当該加算電圧を入力して前記ガード電圧として出力する差動型緩衝増幅回路を備えて構成され、前記処理部は、前記検査対象電気部品に対する非検査時において、前記電圧設定処理として、前記端子電圧に代えて基準電圧を前記電圧補償部に入力させると共に当該基準電圧と前記差動型緩衝増幅回路の出力電圧との差電圧を検出して、当該検出した差電圧を前記電圧補償部に対して前記補償電圧として設定する。 In order to achieve the above object, an inspection apparatus according to claim 1, wherein a voltage application unit that applies an inspection voltage to the other end with respect to one end of the electric component to be inspected mounted on a circuit board, A first voltage detection unit for detecting a voltage between both ends, a current detection unit for detecting an inspection current flowing in the electrical component to be inspected when the inspection voltage is applied, and a series circuit connected in parallel to the electrical component to be inspected A guard voltage applying unit that applies a guard voltage to the intermediate connection point in the circuit, and a processing unit that executes a voltage setting process, and the impedance of the electrical component to be inspected based on the voltage between both ends and the detected inspection current. An inspection apparatus that measures and inspects the electrical component to be inspected based on the measured impedance, wherein the guard voltage application unit applies to the electrical component to be inspected A voltage compensator that inputs a terminal voltage appearing at the one end of the electrical component to be inspected at the time of inspection, adds a compensation voltage set to the terminal voltage, and outputs the voltage as an addition voltage, and inputs the addition voltage A differential buffer amplifier circuit that outputs the guard voltage as a guard voltage, and the processing unit uses a reference voltage instead of the terminal voltage as the voltage setting process when the test target electrical component is not inspected. The difference voltage between the reference voltage and the output voltage of the differential buffer amplifier circuit is detected while being input to the voltage compensation unit, and the detected difference voltage is set as the compensation voltage for the voltage compensation unit. .

また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記電圧補償部は、前記端子電圧または前記基準電圧を入力するボルテージフォロア回路と、当該ボルテージフォロア回路の出力端子に接続された抵抗と、設定された電流値の電流を前記抵抗に供給する電流源とを備え、前記電流源からの前記電流が前記抵抗を流れたときに当該抵抗に発生する電圧を前記補償電圧として前記ボルテージフォロア回路の出力電圧に加算し、前記ガード電圧印加部は、前記ボルテージフォロア回路の入力先を切り替える第１切替回路と、前記差動型緩衝増幅回路の出力先を切り替える第２切替回路と、入力した電圧の電圧値を検出して前記処理部に出力する第２電圧検出部とを備え、前記処理部は、前記電圧設定処理において、前記第１切替回路を制御して前記基準電圧を前記ボルテージフォロア回路に入力させると共に前記第２切替回路を制御して前記差動型緩衝増幅回路の出力電圧を前記第２電圧検出部に入力させ、当該第２電圧検出部で検出された当該出力電圧の電圧値と前記基準電圧の電圧値とに基づいて前記差電圧を検出すると共に前記抵抗に発生する前記電圧が当該検出した差電圧となるように前記電流源の前記電流値を設定する。 The inspection apparatus according to claim 2 is the inspection apparatus according to claim 1, wherein the voltage compensation unit is connected to a voltage follower circuit that inputs the terminal voltage or the reference voltage, and an output terminal of the voltage follower circuit. And a current source that supplies a current having a set current value to the resistor, and a voltage generated in the resistor when the current from the current source flows through the resistor is used as the compensation voltage. The guard voltage application unit adds to the output voltage of the voltage follower circuit, and the guard voltage application unit switches a first switching circuit that switches an input destination of the voltage follower circuit, and a second switching circuit that switches an output destination of the differential buffer amplifier circuit; A second voltage detection unit that detects a voltage value of the input voltage and outputs the detected voltage value to the processing unit, wherein the processing unit includes the first switching unit in the voltage setting process. The circuit is controlled to input the reference voltage to the voltage follower circuit, and the second switching circuit is controlled to input the output voltage of the differential buffer amplifier circuit to the second voltage detection unit. The current is detected such that the difference voltage is detected based on the voltage value of the output voltage detected by the voltage detection unit and the voltage value of the reference voltage, and the voltage generated in the resistor becomes the detected difference voltage. Set the current value of the source.

また、請求項３記載の検査装置は、請求項１または２記載の検査装置において、前記処理部は、予め規定された時間毎に前記電圧設定処理を実行する。 According to a third aspect of the present invention, in the inspection apparatus according to the first or second aspect, the processing unit executes the voltage setting process every predetermined time.

また、請求項４記載の検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の検査装置において、装置の内部温度を検出する温度検出部を備え、前記処理部は、前記温度検出部によって検出された前記内部温度が予め規定された温度範囲を超えて変動したときに前記電圧設定処理を実行する。 An inspection apparatus according to claim 4 is the inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising a temperature detection unit that detects an internal temperature of the apparatus, wherein the processing unit is detected by the temperature detection unit. The voltage setting process is executed when the determined internal temperature fluctuates beyond a predetermined temperature range.

請求項１記載の検査装置によれば、処理部による電圧設定処理によって差動型緩衝増幅回路のオフセット電圧が自動的にキャンセルされるため、検査対象電気部品のインピーダンスを正確に算出できると共に、算出したインピーダンスに基づく検査対象電気部品の良否判別を正確に実行することができ、ひいては回路基板全体を精度良く検査することができる。 According to the inspection apparatus of claim 1, since the offset voltage of the differential buffer amplifier circuit is automatically canceled by the voltage setting process by the processing unit, the impedance of the electrical component to be inspected can be accurately calculated and calculated. The quality determination of the electrical component to be inspected based on the impedance thus performed can be performed accurately, and as a result, the entire circuit board can be inspected with high accuracy.

請求項２記載の検査装置によれば、電圧補償部を簡易な構成で実現できると共に、両切替回路を切り替えるという簡易な構成で補償電圧を調整できる接続状態に処理部が電圧補償部および差動型緩衝増幅回路を移行させることができるため、電圧補償部の部品コスト、ひいては検査装置の製品コストの上昇を最小限に抑えつつ、差動型緩衝増幅回路のオフセット電圧を自動的にキャンセルすることができる。また、電圧補償部のボルテージフォロア回路をオペアンプで構成した場合においても、このオペアンプのオフセット電圧についても、差動型緩衝増幅回路のオフセット電圧と併せて補償電圧でキャンセルできるため、製品コストの上昇を最小限に抑えつつ、回路基板を精度良く検査することができる。 According to the inspection apparatus of claim 2, the processing unit is connected to the connection state in which the voltage compensation unit can be realized with a simple configuration and the compensation voltage can be adjusted with a simple configuration of switching both switching circuits. The type buffer amplifier circuit can be transferred, so that the offset voltage of the differential buffer amplifier circuit can be automatically canceled while minimizing the increase in the component cost of the voltage compensator and the product cost of the inspection device. Can do. Even when the voltage follower circuit of the voltage compensator is configured with an operational amplifier, the offset voltage of this operational amplifier can be canceled with the compensation voltage together with the offset voltage of the differential buffer amplifier circuit. The circuit board can be inspected with high accuracy while minimizing it.

請求項３記載の検査装置によれば、予め規定された時間毎に処理部が電圧設定処理を実行するため、差動型緩衝増幅回路のオフセット電圧が経年変化したとしても、検査対象電気部品のインピーダンスを正確に算出できる結果、回路基板全体を継続して精度良く検査することができる。 According to the inspection device of the third aspect, since the processing unit executes the voltage setting process at every predetermined time, even if the offset voltage of the differential buffer amplifier circuit changes over time, As a result of accurately calculating the impedance, the entire circuit board can be continuously inspected with high accuracy.

請求項４記載の検査装置によれば、装置の内部温度が予め規定された温度範囲を超えて変動したときに処理部が電圧設定処理を実行するため、内部温度が急激に変化した場合においても、検査対象電気部品のインピーダンスを正確に算出することができるため、温度変化の影響を大幅に軽減した状態で回路基板を精度良く検査することができる。 According to the inspection apparatus of the fourth aspect, since the processing unit executes the voltage setting process when the internal temperature of the apparatus fluctuates beyond a predetermined temperature range, even when the internal temperature changes suddenly Since the impedance of the electrical component to be inspected can be accurately calculated, the circuit board can be inspected with high accuracy in a state where the influence of the temperature change is greatly reduced.

検査装置１の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of an inspection apparatus 1. FIG. 測定部６の構成を示す構成図である。3 is a configuration diagram showing a configuration of a measurement unit 6. FIG. 検査装置１の検査処理５０を説明するためのフローチャートである。4 is a flowchart for explaining an inspection process 50 of the inspection apparatus 1. 図３における電圧設定処理５８のフローチャートである。It is a flowchart of the voltage setting process 58 in FIG.

以下、検査装置１の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the inspection apparatus 1 will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、検査装置１の構成について、図１を参照して説明する。 First, the configuration of the inspection apparatus 1 will be described with reference to FIG.

同図に示すように、検査装置１は、５本のプローブ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ（以下、特に区別しないときには「プローブ２」ともいう）、３つの移動機構３，４，５、測定部６、温度検出部７、処理部８、記憶部９および表示部１０を備え、回路基板４０に実装された複数の電気部品（本例では一例として抵抗）を１つずつ検査対象電気部品としてそのインピーダンス（本例では一例として抵抗値）を測定可能に構成されている。この場合、検査対象電気部品には、一例として、図２に示す抵抗４１のように、複数の電気部品（同図では一例として２つの抵抗４２，４３）が直列接続されて構成された直列回路が並列に接続されているものとする。 As shown in the figure, the inspection apparatus 1 includes five probes 2a, 2b, 2c, 2d, 2e (hereinafter also referred to as “probe 2” unless otherwise specified), three moving mechanisms 3, 4, 5, A measurement unit 6, a temperature detection unit 7, a processing unit 8, a storage unit 9 and a display unit 10, and a plurality of electrical components (resistors as an example in this example) mounted on the circuit board 40 one by one The impedance (in this example, resistance value as an example) can be measured. In this case, as an example, the electrical circuit to be inspected is a series circuit in which a plurality of electrical components (two resistors 42 and 43 as an example in the figure) are connected in series like a resistor 41 shown in FIG. Are connected in parallel.

各プローブ２は、例えば接触型プローブであって、図１に示すように、そのうちの２本のプローブ２ａ，２ｃが、互いの先端部同士が近接するようにしてプローブ固定具３ａを介して移動機構３に取り付けられ、２本のプローブ２ｂ，２ｄが、互いの先端部同士が近接するようにしてプローブ固定具４ａを介して移動機構４に取り付けられ、１本のプローブ２ｅが、プローブ固定具５ａを介して移動機構５に取り付けられている。移動機構３，４，５は、処理部８の制御に従って各プローブ２を上下左右に移動させることにより、回路基板４０の表面に形成された任意のテストポイントに各プローブ２の先端部を移動して接触可能に構成されている。 Each probe 2 is, for example, a contact-type probe, and as shown in FIG. 1, two of the probes 2a and 2c are moved through the probe fixture 3a so that their tips are close to each other. The two probes 2b and 2d are attached to the mechanism 3 and attached to the moving mechanism 4 via the probe fixture 4a so that the tips of the two probes 2b and 2d are close to each other, and one probe 2e is attached to the probe fixture. It is attached to the moving mechanism 5 via 5a. The moving mechanisms 3, 4, and 5 move the tips of the probes 2 to arbitrary test points formed on the surface of the circuit board 40 by moving the probes 2 up and down and left and right according to the control of the processing unit 8. And can be contacted.

測定部６は、図２に示すように、電圧印加部１１、電流検出部１２、第１電圧検出部１３およびガード電圧印加部１４を備えて構成されている。電圧印加部１１は、処理部８の制御に従い、一方の出力端子に接続されたプローブ２ａと、他方の出力端子に直列に接続された電流検出部１２およびプローブ２ｂとを介して検査用電圧（本例では一例として、直流電圧）Ｖｅｘを出力して、検査対象電気部品（同図では抵抗４１）の一端Ａを基準（基準電位）として他端Ｂに印加する。 As shown in FIG. 2, the measurement unit 6 includes a voltage application unit 11, a current detection unit 12, a first voltage detection unit 13, and a guard voltage application unit 14. Under the control of the processing unit 8, the voltage application unit 11 is connected to the probe 2 a connected to one output terminal, and the inspection voltage (the current detection unit 12 and the probe 2 b connected in series to the other output terminal). In this example, as an example, a DC voltage) Vex is output and applied to the other end B using one end A of the electrical component to be inspected (resistor 41 in the figure) as a reference (reference potential).

電流検出部１２は、図２に示すように、電圧印加部１１の他方の出力端子とプローブ２ｂとの間に接続されて、検査用電圧Ｖｅｘの印加時に、検査対象電気部品（同図では抵抗４１）に流れる電流（検査電流）Ｉ１ａ、および検査対象電気部品に並列に接続された直列回路（同図では抵抗４２，４３の直列回路）に流れる電流Ｉ１ｂの合成電流Ｉ１（＝Ｉ１ａ＋Ｉ１ｂ）を検出すると共に、合成電流Ｉ１の振幅を示す電流データＤｉに変換して処理部８に出力する。第１電圧検出部１３は、プローブ２ｃを介して抵抗４１の他端Ｂに接続されると共に、プローブ２ｄを介して抵抗４１の一端Ａに接続されている。また、第１電圧検出部１３は、電流Ｉ１ａが流れたときに抵抗４１の両端間に発生する両端間電圧Ｖ１を両プローブ２ｃ，２ｄを介して検出して、両端間電圧Ｖ１の振幅を示す電圧データＤｖ１に変換して処理部８に出力する。 As shown in FIG. 2, the current detection unit 12 is connected between the other output terminal of the voltage application unit 11 and the probe 2b, and when the inspection voltage Vex is applied, the electrical component to be inspected (resistor in FIG. 41) and a combined current I1 (= I1a + I1b) of a current I1b flowing in a series circuit (in this figure, a series circuit of resistors 42 and 43) connected in parallel to the electrical component to be inspected is detected. At the same time, it is converted into current data Di indicating the amplitude of the combined current I 1 and output to the processing unit 8. The first voltage detection unit 13 is connected to the other end B of the resistor 41 through the probe 2c, and is connected to one end A of the resistor 41 through the probe 2d. The first voltage detector 13 detects the voltage V1 between both ends of the resistor 41 when the current I1a flows through both the probes 2c and 2d, and indicates the amplitude of the voltage V1 between both ends. The voltage data Dv1 is converted and output to the processing unit 8.

ガード電圧印加部１４は、図２に示すように、検査対象電気部品としての抵抗４１に対して並列に接続された抵抗４２，４３の直列回路における中間接続点（抵抗４２，４３の接続点）Ｃに、抵抗４１の一端Ａに現れる端子電圧Ｖｔと同一電圧となるように生成したガード電圧Ｖｇをプローブ２ｅを介して印加する。具体的には、ガード電圧印加部１４は、電圧補償部２１、差動増幅器（本例では一例としてオペアンプ（演算増幅器））２２、第２電圧検出部２３、および２つの切替スイッチ（切替スイッチ（第１切替回路）２４と切替スイッチ（第２切替回路）２５）を備えて構成されている。 As shown in FIG. 2, the guard voltage application unit 14 has an intermediate connection point (connection point of the resistors 42 and 43) in a series circuit of resistors 42 and 43 connected in parallel to the resistor 41 as the electrical component to be inspected. A guard voltage Vg generated so as to be the same voltage as the terminal voltage Vt appearing at one end A of the resistor 41 is applied to C via the probe 2e. Specifically, the guard voltage application unit 14 includes a voltage compensation unit 21, a differential amplifier (an operational amplifier (operational amplifier) as an example in this example) 22, a second voltage detection unit 23, and two changeover switches (changeover switch ( The first changeover circuit 24 and the changeover switch (second changeover circuit) 25) are provided.

この場合、電圧補償部２１は、図２に示すように、一例として、ボルテージフォロア回路に構成されたオペアンプ３１、オペアンプ３１の出力端子に一端側が接続された抵抗３２、および抵抗３２の他端側に接続されると共に設定された電流値の電流Ｉ２を抵抗３２（抵抗値Ｒ）に対して供給する電流源３３を備えて構成されている。また、本例では、電流源３３は、一例として、電流Ｉ２の電流値を示す制御データＤｓを入力すると共にアナログ信号に変換して制御電圧Ｖｓとして出力するＤ／Ａ変換器３３ａ、およびこの制御電圧Ｖｓの電圧値に応じた電流値（つまり、制御データＤｓで示される電流値）の電流Ｉ２を発生させる可変電流源３３ｂとを備えて構成されている。また、オペアンプ３１の非反転入力端子には、処理部８によって切替制御される切替スイッチ２４を介して、端子電圧Ｖｔおよび基準電圧Ｖｒｅｆ（本例では一例としてグランド電位であるが、既知の電圧であれば任意の電圧とすることができる）のいずれか一方が入力可能となっている。つまり、切替スイッチ２４は、オペアンプ３１で構成されたボルテージフォロア回路の入力先を切り替える機能を有している。 In this case, as shown in FIG. 2, the voltage compensator 21 includes, as an example, an operational amplifier 31 configured in a voltage follower circuit, a resistor 32 having one end connected to the output terminal of the operational amplifier 31, and the other end of the resistor 32. And a current source 33 for supplying a current I2 having a set current value to the resistor 32 (resistance value R). In this example, as an example, the current source 33 inputs the control data Ds indicating the current value of the current I2, converts it to an analog signal, and outputs it as the control voltage Vs, and this control. And a variable current source 33b that generates a current I2 having a current value corresponding to the voltage value of the voltage Vs (that is, a current value indicated by the control data Ds). Further, a non-inverting input terminal of the operational amplifier 31 is connected to a terminal voltage Vt and a reference voltage Vref (in this example, a ground potential by way of a changeover switch 24 controlled by the processing unit 8. Any voltage can be input if any). That is, the changeover switch 24 has a function of switching the input destination of the voltage follower circuit constituted by the operational amplifier 31.

この構成により、電圧補償部２１は、切替スイッチ２４を介して端子電圧Ｖｔを入力しているときには、この端子電圧Ｖｔに対して設定された電圧値の補償電圧Ｖｃ、つまり、設定された電流値の電流Ｉ２が抵抗３２を流れることによって抵抗３２の両端間に発生する電圧（Ｉ２×Ｒ（＝Ｖｃ））を加算して、加算電圧Ｖａｄ（＝Ｖｔ＋Ｖｃ）として出力する。 With this configuration, when the terminal voltage Vt is input via the changeover switch 24, the voltage compensator 21 compensates the voltage Vc set for the terminal voltage Vt, that is, the set current value. The voltage (I2 × R (= Vc)) generated across the resistor 32 when the current I2 flows through the resistor 32 is added and output as an added voltage Vad (= Vt + Vc).

差動増幅器２２は、一例として、オペアンプを用いたボルテージフォロア回路（差動型緩衝増幅回路、いわゆるバッファアンプ）で構成されて、入力した加算電圧Ｖａｄをインピーダンス変換してガード電圧Ｖｇとして切替スイッチ２５に出力する。切替スイッチ２５は、処理部８によって切替制御されて、第２電圧検出部２３およびプローブ２ｅのうちのいずれか一方にガード電圧Ｖｇを出力する。つまり、切替スイッチ２５は、差動増幅器２２の出力先を切り替える機能を有している。第２電圧検出部２３は、入力した電圧の電圧値を検出して処理部８に出力する。本例では、第２電圧検出部２３は、切替スイッチ２５を介してガード電圧Ｖｇが入力されるため、ガード電圧Ｖｇが入力されたときには、このガード電圧Ｖｇの電圧値を測定して、この電圧値を示す電圧データＤｖ２を処理部８に出力する。 As an example, the differential amplifier 22 is configured by a voltage follower circuit (differential buffer amplifier circuit, so-called buffer amplifier) using an operational amplifier, and the input switch voltage Vad is impedance-converted and used as a guard voltage Vg to change the switch 25. Output to. The changeover switch 25 is controlled by the processing unit 8 to output the guard voltage Vg to one of the second voltage detection unit 23 and the probe 2e. That is, the changeover switch 25 has a function of switching the output destination of the differential amplifier 22. The second voltage detection unit 23 detects the voltage value of the input voltage and outputs it to the processing unit 8. In this example, since the guard voltage Vg is input to the second voltage detection unit 23 via the changeover switch 25, when the guard voltage Vg is input, the voltage value of the guard voltage Vg is measured and this voltage is detected. The voltage data Dv2 indicating the value is output to the processing unit 8.

温度検出部７は、検査装置１の内部温度Ｔｉを検出して、図１に示すように、内部温度Ｔｉを示す温度データＤｔｍとして出力する。処理部８は、ＣＰＵなどで構成されて、移動機構３，４，５に対する駆動制御、測定部６の各切替スイッチ２４，２５に対する切替制御、測定部６の電圧印加部１１に対する動作制御、測定部６の電圧補償部２１に対する補償電圧Ｖｃの設定制御、時間計測処理、および回路基板４０に実装された検査対象となる各電気部品に対する検査処理を実行する。記憶部９は、ＲＡＭ，ＲＯＭなどの半導体メモリやＨＤＤ（Hard Disk Drive ）などで構成されて、検査対象となる各電気部品についてのテストポイント（上記した抵抗４１の一端Ａおよび他端Ｂに相当するポイント、並びに直列回路の中間接続点Ｃに相当するポイント）の位置データ、各検査対象電気部品（本例では一例として抵抗）についての基準データ（本例では、上限値から下限値までの範囲である基準抵抗値範囲Ｒｒｅｆ）、処理部８の動作プログラムを記憶する。表示部１０は、例えば、ディスプレイ装置で構成されて、回路基板４０の検査結果（良品または不良品である旨の表示）を画面に表示する。 The temperature detector 7 detects the internal temperature Ti of the inspection apparatus 1 and outputs it as temperature data Dtm indicating the internal temperature Ti as shown in FIG. The processing unit 8 is configured by a CPU or the like, and controls driving of the moving mechanisms 3, 4, 5, switching control for the changeover switches 24, 25 of the measuring unit 6, operation control for the voltage applying unit 11 of the measuring unit 6, and measurement Setting control of the compensation voltage Vc for the voltage compensation unit 21 of the unit 6, time measurement processing, and inspection processing for each electrical component to be inspected mounted on the circuit board 40 are executed. The storage unit 9 includes a semiconductor memory such as a RAM and a ROM, an HDD (Hard Disk Drive), and the like, and corresponds to test points for each electrical component to be inspected (one end A and the other end B of the resistor 41 described above). Point data, and point data corresponding to the intermediate connection point C of the series circuit) and reference data (in this example, the range from the upper limit value to the lower limit value) for each electrical component to be inspected (resistor as an example in this example) The reference resistance value range Rref) and the operation program of the processing unit 8 are stored. The display unit 10 is composed of a display device, for example, and displays the inspection result of the circuit board 40 (display indicating that the product is a non-defective product or a defective product) on the screen.

次に、検査装置１による回路基板４０に対する検査処理について、図３，４を参照して説明する。なお、回路基板４０は、検査装置１における検査位置に予め配設されているものとする。 Next, an inspection process for the circuit board 40 by the inspection apparatus 1 will be described with reference to FIGS. In addition, the circuit board 40 shall be previously arrange | positioned in the test | inspection position in the test | inspection apparatus 1. FIG.

検査装置１の作動状態において、温度検出部７は、内部温度Ｔｉを一定時間間隔で検出して、内部温度Ｔｉを示す温度データＤｔｍを出力する。また、処理部８は、時間計測処理の実行を開始して、予め規定された時間（例えば数時間など）の計測を繰り返し実行すると共に、図３に示す検査処理５０を実行する。 In the operating state of the inspection apparatus 1, the temperature detection unit 7 detects the internal temperature Ti at regular time intervals and outputs temperature data Dtm indicating the internal temperature Ti. Further, the processing unit 8 starts execution of the time measurement process, repeatedly executes measurement of a predetermined time (for example, several hours), and executes the inspection process 50 shown in FIG.

この検査処理５０では、処理部８は、まず、回路基板４０に実装された複数の電気部品のうちの検査対象となる電気部品（検査対象電気部品）に各プローブ２を接触させる（ステップ５１）。具体的には、処理部８は、記憶部９から検査対象とする電気部品（一例として抵抗４１）についての位置データを読み出すと共に、この位置データに基づいて各移動機構３，４，５を駆動制御することにより、図２に示すように、抵抗４１の一端Ａ（一方のテストポイント）にプローブ２ｂ，２ｄを接触させ、かつ抵抗４１の他端Ｂ（他方のテストポイント）にプローブ２ａ，２ｃを接触させ、かつ抵抗４１と並列に接続されている抵抗４２，４３の直列回路における中間接続点Ｃ（さらなる他のテストポイント）にプローブ２ｅを接触させる。 In this inspection processing 50, the processing unit 8 first brings each probe 2 into contact with an electrical component to be inspected (electrical component to be inspected) among a plurality of electrical components mounted on the circuit board 40 (step 51). . Specifically, the processing unit 8 reads position data about the electrical component (for example, the resistor 41) to be inspected from the storage unit 9, and drives each of the moving mechanisms 3, 4, and 5 based on the position data. By controlling, the probes 2b and 2d are brought into contact with one end A (one test point) of the resistor 41 and the probes 2a and 2c are connected to the other end B (the other test point) of the resistor 41, as shown in FIG. And the probe 2e is brought into contact with an intermediate connection point C (another test point) in the series circuit of the resistors 42 and 43 connected in parallel with the resistor 41.

次いで、処理部８は、温度検出部７から出力されている温度データＤｔｍを入力すると共に、この温度データＤｔｍに基づいて装置の内部温度Ｔｉに変動が有ったか否かを判別する（ステップ５２）。一例として、処理部８は、温度データＤｔｍに基づいて内部温度Ｔｉを周期的に算出して記憶部９に更新記憶させると共に、更新に際して、直前に算出した内部温度Ｔｉを記憶部９から読み出すと共に、直前の内部温度Ｔｉに対する新たに算出した内部温度Ｔｉが予め規定された温度範囲を超えて変動したか否かを判別し、この温度範囲を超えて変動したときには内部温度Ｔｉが変動した（変動有り）と判別し、この温度範囲内のときには内部温度Ｔｉは変動していない（変動なし）と判別する。なお、変動の有無の判別手法は、この判別手法以外にも移動平均を基準とした判別手法など様々のものがあり、これらを用いて判別することもできる。 Next, the processing unit 8 inputs the temperature data Dtm output from the temperature detection unit 7, and determines whether or not the internal temperature Ti of the apparatus has changed based on the temperature data Dtm (step 52). ). As an example, the processing unit 8 periodically calculates the internal temperature Ti based on the temperature data Dtm and updates and stores the internal temperature Ti in the storage unit 9 and reads the internal temperature Ti calculated immediately before from the storage unit 9 when updating. Then, it is determined whether or not the newly calculated internal temperature Ti with respect to the immediately preceding internal temperature Ti has fluctuated beyond a predetermined temperature range, and when the fluctuating temperature exceeds this temperature range, the internal temperature Ti has fluctuated (variation When the temperature is within this temperature range, the internal temperature Ti is determined not to change (no change). In addition, there are various determination methods such as a determination method based on a moving average in addition to this determination method, and the determination can be made using these methods.

このステップ５２での判別の結果、内部温度Ｔｉに変動有りと判別したときには、処理部８は、この非検査状態（インピーダンス測定処理を実行していない状態）において電圧設定処理を実行し（ステップ５８）、一方、内部温度Ｔｉに変動なしと判別したときには、処理部８はステップ５３に移行する。検査装置１の電源投入直後においては、記憶部９に記憶されている直前の内部温度Ｔｉはリセットされている（例えば、Ｔｉ＝０）。このため、処理部８は、最初にステップ５２において内部温度Ｔｉの変動の有無を判別したときには、最初に算出した内部温度Ｔｉとの差が大きいことから、内部温度Ｔｉに変動ありと判別して、図４に示す電圧設定処理５８を実行する。なお、処理部８は、検査装置１の電源投入直後における検査処理５０の最初の実行時において、電圧設定処理５８を実行するようにすることもできる。 As a result of the determination in step 52, when it is determined that the internal temperature Ti is fluctuated, the processing unit 8 executes a voltage setting process in this non-inspection state (a state in which the impedance measurement process is not performed) (step 58). On the other hand, when it is determined that the internal temperature Ti does not vary, the processing unit 8 proceeds to step 53. Immediately after the inspection apparatus 1 is turned on, the immediately preceding internal temperature Ti stored in the storage unit 9 is reset (for example, Ti = 0). Therefore, when the processing unit 8 first determines whether or not the internal temperature Ti fluctuates in step 52, the processing unit 8 determines that the internal temperature Ti is fluctuating because there is a large difference from the first calculated internal temperature Ti. Then, the voltage setting process 58 shown in FIG. 4 is executed. Note that the processing unit 8 can also execute the voltage setting process 58 at the first execution of the inspection process 50 immediately after the inspection apparatus 1 is turned on.

この電圧設定処理５８では、処理部８は、まず、測定部６の各切替スイッチ２４，２５に対する切替制御を実行して、図２において実線で示す常態の接続状態（切替スイッチ２４を介してオペアンプ３１の非反転入力端子に端子電圧Ｖｔが入力され、切替スイッチ２５を介して差動増幅器２２から出力されるガード電圧Ｖｇがプローブ２ｅに出力される接続状態、つまり検査可能状態）から、同図において破線で示す電圧調整時の接続状態（切替スイッチ２４を介してオペアンプ３１の非反転入力端子に基準電圧Ｖｒｅｆ（この例では０Ｖ（グランド）の電位）が入力され、切替スイッチ２５を介して差動増幅器２２から出力されるガード電圧Ｖｇが第２電圧検出部２３に出力される接続状態、つまり非検査状態）に移行させる（ステップ６１）。 In this voltage setting process 58, the processing unit 8 first executes switching control for the change-over switches 24 and 25 of the measurement unit 6, and the normal connection state indicated by the solid line in FIG. From the connection state in which the terminal voltage Vt is input to the non-inverting input terminal 31 and the guard voltage Vg output from the differential amplifier 22 via the change-over switch 25 is output to the probe 2e, that is, the testable state). The reference voltage Vref (potential of 0 V (ground) in this example) is input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 31 via the changeover switch 24 and the difference is indicated via the changeover switch 25. The guard voltage Vg output from the dynamic amplifier 22 is shifted to the connection state output to the second voltage detector 23, that is, the non-inspection state (step 6). ).

これにより、電圧補償部２１では、オペアンプ３１が、非反転入力端子に入力される基準電圧Ｖｒｅｆをインピーダンス変換して出力端子から出力する。この際に、出力される基準電圧Ｖｒｅｆにはオペアンプ３１に固有のオフセット電圧Ｖｏｆｆ１が加算されるため、オペアンプ３１は、電圧（Ｖｒｅｆ＋Ｖｏｆｆ１）を出力する。また、電流源３３は、予め規定された初期値での電流Ｉ２の出力を開始しているため、抵抗３２の両端間には補償電圧Ｖｃ（＝Ｉ２×Ｒ）が発生している。したがって、差動増幅器２２の非反転入力端子には、電圧（Ｖｒｅｆ＋Ｖｏｆｆ１）にこの補償電圧Ｖｃが加算された加算電圧Ｖａｄ（＝Ｖｒｅｆ＋Ｖｏｆｆ１＋Ｖｃ）が入力され、差動増幅器２２は、加算電圧Ｖａｄをインピーダンス変換して、ガード電圧Ｖｇとして出力する。この際に、出力される加算電圧Ｖａｄには差動増幅器２２に固有のオフセット電圧Ｖｏｆｆ２が加算されるため、差動増幅器２２は、ガード電圧Ｖｇ（＝Ｖａｄ＋Ｖｏｆｆ２＝Ｖｒｅｆ＋Ｖｏｆｆ１＋Ｖｃ＋Ｖｏｆｆ２）を出力する。第２電圧検出部２３は、このガード電圧Ｖｇの電圧値を測定して、この電圧値を示す電圧データＤｖ２を処理部８に出力する。 As a result, in the voltage compensator 21, the operational amplifier 31 impedance-converts the reference voltage Vref input to the non-inverting input terminal and outputs it from the output terminal. At this time, since the offset voltage Voff1 unique to the operational amplifier 31 is added to the output reference voltage Vref, the operational amplifier 31 outputs a voltage (Vref + Voff1). Further, since the current source 33 starts outputting the current I2 at a predetermined initial value, a compensation voltage Vc (= I2 × R) is generated between both ends of the resistor 32. Therefore, the addition voltage Vad (= Vref + Voff1 + Vc) obtained by adding the compensation voltage Vc to the voltage (Vref + Voff1) is input to the non-inverting input terminal of the differential amplifier 22, and the differential amplifier 22 impedance-converts the addition voltage Vad. And output as a guard voltage Vg. At this time, since the offset voltage Voff2 specific to the differential amplifier 22 is added to the output addition voltage Vad, the differential amplifier 22 outputs a guard voltage Vg (= Vad + Voff2 = Vref + Voff1 + Vc + Voff2). The second voltage detection unit 23 measures the voltage value of the guard voltage Vg and outputs voltage data Dv2 indicating the voltage value to the processing unit 8.

次いで、処理部８は、補償電圧Ｖｃの設定処理を実行する（ステップ６２）。この設定処理６２では、処理部８は、電圧データＤｖ２で示されるガード電圧Ｖｇの電圧値と既知の基準電圧Ｖｒｅｆとを比較してその差電圧（Ｖｒｅｆ−Ｖｇ）を検出し、補償電圧Ｖｃをこの差電圧（Ｖｒｅｆ−Ｖｇ）に設定する。具体的には、処理部８は、ガード電圧Ｖｇの電圧値と基準電圧Ｖｒｅｆとを比較して、ガード電圧Ｖｇの電圧値が基準電圧Ｖｒｅｆよりも大きいときにはＤ／Ａ変換器３３ａに対する制御データＤｓを変更して、電流Ｉ２の電流値を減少させ、一方、ガード電圧Ｖｇの電圧値が基準電圧Ｖｒｅｆよりも小さいときにはＤ／Ａ変換器３３ａに対する制御データＤｓを変更して、電流Ｉ２の電流値を増加させる。処理部８は、このようにして制御データＤｓを変更して補償電圧Ｖｃを変化させることにより、ガード電圧Ｖｇの電圧値を基準電圧Ｖｒｅｆに一致させる。この一致した状態においては、補償電圧Ｖｃは、−（Ｖｏｆｆ１＋Ｖｏｆｆ２）となっているため、オペアンプ３１に発生している現在のオフセット電圧Ｖｏｆｆ１および差動増幅器２２に発生している現在のオフセット電圧Ｖｏｆｆ２が、共に、補償電圧Ｖｃによってキャンセル（相殺）された状態となっている。これにより、補償電圧Ｖｃの設定処理６２が完了する。 Next, the processing unit 8 executes a setting process for the compensation voltage Vc (step 62). In the setting process 62, the processing unit 8 compares the voltage value of the guard voltage Vg indicated by the voltage data Dv2 with the known reference voltage Vref, detects the difference voltage (Vref−Vg), and determines the compensation voltage Vc. This differential voltage (Vref−Vg) is set. Specifically, the processing unit 8 compares the voltage value of the guard voltage Vg with the reference voltage Vref, and when the voltage value of the guard voltage Vg is larger than the reference voltage Vref, the control data Ds for the D / A converter 33a. And the control data Ds for the D / A converter 33a is changed to change the current value of the current I2 when the voltage value of the guard voltage Vg is smaller than the reference voltage Vref. Increase. The processing unit 8 changes the control data Ds in this way to change the compensation voltage Vc, thereby matching the voltage value of the guard voltage Vg with the reference voltage Vref. In this coincidence state, the compensation voltage Vc is − (Voff1 + Voff2). Therefore, the current offset voltage Voff1 generated in the operational amplifier 31 and the current offset voltage Voff2 generated in the differential amplifier 22 are Both are canceled (cancelled) by the compensation voltage Vc. Thereby, the setting process 62 of the compensation voltage Vc is completed.

続いて、処理部８は、測定部６の各切替スイッチ２４，２５に対する切替制御を実行して、図２において実線で示す常態の接続状態（切替スイッチ２４を介してオペアンプ３１の非反転入力端子に端子電圧Ｖｔが入力され、切替スイッチ２５を介して差動増幅器２２から出力されるガード電圧Ｖｇがプローブ２ｅに出力される接続状態、つまり検査時の接続状態）に戻す（ステップ６３）。これにより、処理部８は、電圧設定処理５８を完了して、インピーダンス測定処理を実行する（ステップ５４）。 Subsequently, the processing unit 8 executes switching control for the change-over switches 24 and 25 of the measurement unit 6 and is in a normal connection state indicated by a solid line in FIG. 2 (the non-inverting input terminal of the operational amplifier 31 via the change-over switch 24). The terminal voltage Vt is input to the connection state, and the guard voltage Vg output from the differential amplifier 22 via the changeover switch 25 is returned to the probe 2e, that is, the connection state at the time of inspection (step 63). Thereby, the process part 8 completes the voltage setting process 58, and performs an impedance measurement process (step 54).

この電圧設定処理５８の実行により、オペアンプ３１に発生しているオフセット電圧Ｖｏｆｆ１および差動増幅器２２に発生しているオフセット電圧Ｖｏｆｆ２が経年変化や温度の影響を受けて変動していた場合であっても、上記したようにオフセット電圧Ｖｏｆｆ１およびオフセット電圧Ｖｏｆｆ２が共に補償電圧Ｖｃによってキャンセルされるため、ガード電圧印加部１４では、切替スイッチ２４を介して入力される端子電圧Ｖｔが、各オフセット電圧Ｖｏｆｆ１，Ｖｏｆｆ２の変動の影響を受けることなく（厳密には各オフセット電圧Ｖｏｆｆ１，Ｖｏｆｆ２の変動による影響が大幅に軽減された状態で）、差動増幅器２２からほぼそのままの電圧値でガード電圧Ｖｇとして出力される。 When the voltage setting process 58 is executed, the offset voltage Voff1 generated in the operational amplifier 31 and the offset voltage Voff2 generated in the differential amplifier 22 have been fluctuated due to aging and temperature. However, since both the offset voltage Voff1 and the offset voltage Voff2 are canceled by the compensation voltage Vc as described above, in the guard voltage application unit 14, the terminal voltage Vt input via the changeover switch 24 is changed to each offset voltage Voff1, Without being affected by fluctuations in Voff2 (strictly, the influence of fluctuations in the offset voltages Voff1 and Voff2 is greatly reduced), the differential amplifier 22 outputs the guard voltage Vg with almost the same voltage value. The

一方、ステップ５２での判別の結果、内部温度Ｔｉに変動なしと判別したときには、処理部８はステップ５３に移行して、時間計測処理を実行して計測している時間が到来したか否か（つまり、予め規定された時間（一定時間）が経過したか否か）を検出し、計測している時間が到来した（予め規定された時間が経過した）と判別したときには、上記した電圧設定処理５８を実行して、オペアンプ３１に発生しているオフセット電圧Ｖｏｆｆ１および差動増幅器２２に発生しているオフセット電圧Ｖｏｆｆ２をキャンセルする。これにより、処理部８は、予め規定された時間毎に電圧設定処理５８を実行する。一方、処理部８は、計測している時間が未だ到来していない（予め規定された時間が経過していない）と判別したときには、インピーダンス測定処理を実行する（ステップ５４）。 On the other hand, if the result of determination in step 52 is that there is no change in the internal temperature Ti, the processing unit 8 proceeds to step 53 and determines whether or not the time measured by executing the time measurement process has come. (That is, whether or not a predetermined time (predetermined time) has passed) is detected, and when it is determined that the measurement time has arrived (a predetermined time has passed), the voltage setting described above Processing 58 is executed to cancel the offset voltage Voff1 generated in the operational amplifier 31 and the offset voltage Voff2 generated in the differential amplifier 22. Thereby, the processing unit 8 executes the voltage setting process 58 every predetermined time. On the other hand, when the processing unit 8 determines that the measurement time has not yet arrived (predetermined time has not elapsed), the processing unit 8 executes an impedance measurement process (step 54).

このインピーダンス測定処理では、処理部８は、まず、電圧印加部１１に対する制御を実行して、抵抗４１の一端Ａを基準とした抵抗４１の他端Ｂへの検査用電圧Ｖｅｘの印加を開始させる。この場合、抵抗４１，４２，４３の直並列回路には、全体として合成電流Ｉ１が流れるが、抵抗４２，４３の直列回路における中間接続点Ｃには、プローブ２ｅを介してガード電圧印加部１４からガード電圧Ｖｇが印加された状態となっており、しかも、上記したように、ガード電圧Ｖｇが抵抗４１の一端Ａに発生している端子電圧Ｖｔと同一電圧となるように規定されている。このため、抵抗４２，４３の直列回路には、電流Ｉ１ｂが流れていない状態となっている（電流Ｉ１ｂがゼロの状態となっている）ことから、合成電流Ｉ１は、抵抗４１に流れている電流（検査電流）Ｉ１ａのみで構成された状態となっている。 In this impedance measurement process, the processing unit 8 first executes control on the voltage application unit 11 to start application of the inspection voltage Vex to the other end B of the resistor 41 with the one end A of the resistor 41 as a reference. . In this case, the combined current I1 flows through the series-parallel circuit of the resistors 41, 42, and 43 as a whole, but the guard voltage application unit 14 is connected to the intermediate connection point C in the series circuit of the resistors 42 and 43 via the probe 2e. Since the guard voltage Vg is applied, the guard voltage Vg is defined to be the same voltage as the terminal voltage Vt generated at one end A of the resistor 41 as described above. For this reason, since the current I1b does not flow through the series circuit of the resistors 42 and 43 (the current I1b is in a zero state), the combined current I1 flows through the resistor 41. In this state, only the current (inspection current) I1a is formed.

この状態において、処理部８は、電流検出部１２から出力されている電流データＤｉを入力して、合成電流Ｉ１（＝電流Ｉ１ａ）の電流値を算出すると共に、第１電圧検出部１３から出力されている電圧データＤｖ１を入力して、抵抗４１の両端間電圧Ｖ１を算出して、算出した合成電流Ｉ１（＝電流Ｉ１ａ）の電流値および両端間電圧Ｖ１に基づいて、抵抗４１の抵抗値Ｒｘ（インピーダンスの一例）を算出して記憶部９に記憶させる。これにより、インピーダンス測定処理が完了する。 In this state, the processing unit 8 receives the current data Di output from the current detection unit 12 to calculate the current value of the combined current I1 (= current I1a) and outputs the current value from the first voltage detection unit 13. Input voltage data Dv1 is input, the voltage V1 between both ends of the resistor 41 is calculated, and the resistance value of the resistor 41 is calculated based on the calculated combined current I1 (= current I1a) and the voltage V1 between both ends. Rx (an example of impedance) is calculated and stored in the storage unit 9. Thereby, the impedance measurement process is completed.

続いて、処理部８は、判別処理を実行する（ステップ５５）。この判別処理では、処理部８は、抵抗値Ｒｘを測定した抵抗４１についての基準データ（基準抵抗値範囲Ｒｒｅｆ）を読み出して、記憶部９に記憶させた抵抗４１の抵抗値Ｒｘが基準抵抗値範囲Ｒｒｅｆ内に含まれているか否かを判別する。この判別の結果、処理部８は、抵抗４１の抵抗値Ｒｘが基準抵抗値範囲Ｒｒｅｆ内に含まれているときには、抵抗４１は良品であると判別し、一方、抵抗４１の抵抗値Ｒｘが基準抵抗値範囲Ｒｒｅｆを外れているときには、抵抗４１は不良品であると判別して（抵抗４１についての検査を実行して）、判別結果（検査結果）を記憶部９に抵抗４１に対応付けて記憶させる。これにより、判別処理５５が完了する。 Subsequently, the processing unit 8 executes a discrimination process (step 55). In this determination processing, the processing unit 8 reads the reference data (reference resistance value range Rref) for the resistor 41 whose resistance value Rx is measured, and the resistance value Rx of the resistor 41 stored in the storage unit 9 is the reference resistance value. It is determined whether or not it is included in the range Rref. As a result of this determination, when the resistance value Rx of the resistor 41 is included in the reference resistance value range Rref, the processing unit 8 determines that the resistor 41 is a non-defective product, while the resistance value Rx of the resistor 41 is the reference value. When outside the resistance value range Rref, it is determined that the resistor 41 is a defective product (inspection of the resistor 41 is executed), and the determination result (inspection result) is associated with the resistor 41 in the storage unit 9. Remember. Thereby, the discrimination process 55 is completed.

次いで、処理部８は、記憶部９から検査対象とする電気部品（本例では抵抗）についての位置データをすべて読み出したか否かに基づいて、検査すべき電気部品（抵抗）をすべて検査したか否か（検査が完了したか否か）を判別し（ステップ５６）、位置データを読み出していない電気部品が残っているときには、上記ステップ５１〜５６を繰り返すことにより、未検査の電気部品に対する検査を実行して、判別結果を記憶部９に記憶させる。 Next, whether the processing unit 8 has inspected all the electrical components (resistances) to be inspected based on whether or not all the position data regarding the electrical components to be inspected (resistances in this example) have been read from the storage unit 9. Whether or not (inspection is completed) is discriminated (step 56), and when there is an electrical component for which position data has not been read out, the above steps 51 to 56 are repeated to inspect the uninspected electrical component. And the determination result is stored in the storage unit 9.

一方、処理部８は、ステップ５６において、検査すべき電気部品（抵抗）をすべて検査したと判別した（検査が完了した）を判別したときには、表示処理を実行する（ステップ５７）。この表示処理５７では、処理部８は、記憶部９から各電気部品についての判別結果を読み出して、表示部１０に表示させる。これにより、回路基板４０についての検査処理５０が完了する。 On the other hand, when it is determined in step 56 that all electrical components (resistances) to be inspected have been inspected (inspection is completed), the processing unit 8 performs display processing (step 57). In the display process 57, the processing unit 8 reads out the determination result for each electrical component from the storage unit 9 and displays it on the display unit 10. Thereby, the inspection process 50 for the circuit board 40 is completed.

このように、この検査装置１では、検査対象電気部品としての抵抗４１の一端Ａに現れる端子電圧Ｖｔを入力すると共にこの端子電圧Ｖｔに対して予め設定された電圧値の補償電圧Ｖｃを加算して加算電圧Ｖａｄとして出力する電圧補償部２１、およびこの加算電圧Ｖａｄをインピーダンス変換してガード電圧Ｖｇとして出力する差動増幅器２２を有してガード電圧印加部１４が構成され、処理部８が、検査対象電気部品に対する非検査時において、端子電圧Ｖｔに代えて基準電圧Ｖｒｅｆを電圧補償部２１に入力させると共に基準電圧Ｖｒｅｆと差動増幅器２２の出力電圧（ガード電圧Ｖｇ）との差電圧（Ｖｒｅｆ−Ｖｇ）を検出して、この差電圧（Ｖｒｅｆ−Ｖｇ）を電圧補償部２１に対して補償電圧Ｖｃとして設定する（つまり、電圧補償部２１に対して補償電圧Ｖｃの電圧値を設定して、差動増幅器２２から出力されるガード電圧Ｖｇが端子電圧Ｖｔと同じ電圧となるようにする）電圧設定処理５８を実行する。したがって、この検査装置１によれば、処理部８による電圧設定処理５８によってオフセット電圧Ｖｏｆｆ２が自動的にキャンセルされるため、電圧設定処理５８の実行前までにオフセット電圧Ｖｏｆｆ２が変動していたとしても、抵抗４１の抵抗値Ｒｘを正確に算出できると共に、算出した抵抗値Ｒｘに基づく抵抗４１の良否判別を正確に実行することができ、ひいては回路基板４０全体を精度良く検査することができる。 As described above, in the inspection apparatus 1, the terminal voltage Vt appearing at one end A of the resistor 41 as the electrical component to be inspected is input and the compensation voltage Vc having a preset voltage value is added to the terminal voltage Vt. The guard voltage application unit 14 includes the voltage compensation unit 21 that outputs the added voltage Vad and the differential amplifier 22 that impedance-converts the added voltage Vad and outputs the guard voltage Vg. When the electrical component to be inspected is not inspected, the reference voltage Vref is input to the voltage compensator 21 instead of the terminal voltage Vt, and the difference voltage (Vref) between the reference voltage Vref and the output voltage of the differential amplifier 22 (guard voltage Vg). -Vg) is detected, and this differential voltage (Vref-Vg) is set as the compensation voltage Vc for the voltage compensator 21 (that is, the voltage By setting the voltage value of the compensation voltage Vc respect 償部 21, guard voltage Vg output from the differential amplifier 22 is made to be the same voltage as the terminal voltage Vt) executes a voltage setting process 58. Therefore, according to this inspection apparatus 1, the offset voltage Voff2 is automatically canceled by the voltage setting process 58 by the processing unit 8. Therefore, even if the offset voltage Voff2 has fluctuated before the voltage setting process 58 is executed. In addition, the resistance value Rx of the resistor 41 can be accurately calculated, and the quality determination of the resistor 41 based on the calculated resistance value Rx can be accurately performed. As a result, the entire circuit board 40 can be inspected with high accuracy.

また、この検査装置１では、端子電圧Ｖｔまたは基準電圧Ｖｒｅｆを入力するボルテージフォロア回路に構成されたオペアンプ３１と、このボルテージフォロア回路の出力端子に接続された抵抗３２と、設定された電流値の電流Ｉ２を抵抗３２に供給する電流源３３とを備え、電流源３３からの電流Ｉ２が抵抗３２を流れたときに抵抗３２に発生する電圧を補償電圧Ｖｃとしてこのボルテージフォロア回路の出力電圧に加算するように電圧補償部２１を構成し、このボルテージフォロア回路の入力先を切り替える切替スイッチ２４と、差動増幅器２２の出力先を切り替える切替スイッチ２５と、入力した電圧の電圧値を検出して処理部８に出力する第２電圧検出部２３とを備えてガード電圧印加部１４を構成し、処理部８が、電圧設定処理において、切替スイッチ２４を制御して基準電圧Ｖｒｅｆをオペアンプ３１で構成される上記のボルテージフォロア回路に入力させると共に切替スイッチ２５を制御して差動増幅器２２の出力電圧（ガード電圧Ｖｇ）を第２電圧検出部２３に入力させ、第２電圧検出部２３で検出されたガード電圧Ｖｇの電圧値と基準電圧Ｖｒｅｆの電圧値とに基づいて差電圧（Ｖｒｅｆ−Ｖｇ）を検出すると共に抵抗３２に発生する電圧（補償電圧Ｖｃ）が検出した差電圧となるように電流源３３から出力される電流Ｉ２の電流値を設定する。 Further, in the inspection apparatus 1, an operational amplifier 31 configured as a voltage follower circuit for inputting the terminal voltage Vt or the reference voltage Vref, a resistor 32 connected to the output terminal of the voltage follower circuit, and a set current value A current source 33 for supplying the current I2 to the resistor 32, and a voltage generated in the resistor 32 when the current I2 from the current source 33 flows through the resistor 32 is added to the output voltage of the voltage follower circuit as a compensation voltage Vc. The voltage compensator 21 is configured so that the input switch of the voltage follower circuit is switched, the switch 25 is used to switch the output destination of the differential amplifier 22, and the voltage value of the input voltage is detected and processed. The guard voltage application unit 14 is configured to include the second voltage detection unit 23 that outputs to the unit 8, and the processing unit 8 performs the voltage setting process. The switch 24 is controlled to input the reference voltage Vref to the voltage follower circuit composed of the operational amplifier 31, and the switch 25 is controlled to set the output voltage (guard voltage Vg) of the differential amplifier 22 to the second. Based on the voltage value of the guard voltage Vg detected by the second voltage detection unit 23 and the voltage value of the reference voltage Vref, the difference voltage (Vref−Vg) is detected and generated in the resistor 32. The current value of the current I2 output from the current source 33 is set so that the detected voltage (compensation voltage Vc) becomes the detected differential voltage.

したがって、この検査装置１によれば、電圧補償部２１を簡易な構成で実現できると共に、両切替スイッチ２４，２５の切り替えという簡易な構成で補償電圧Ｖｃを調整できる接続状態に処理部８が電圧補償部２１および差動増幅器２２を移行させることができるため、電圧補償部２１の部品コスト、ひいては検査装置１の製品コストの上昇を最小限に抑えつつ、差動増幅器２２のオフセット電圧Ｖｏｆｆ２を自動的にキャンセルすることができる。また、ボルテージフォロア回路に構成されたオペアンプ３１のオフセット電圧Ｖｏｆｆ１についても、差動増幅器２２のオフセット電圧Ｖｏｆｆ２と併せて補償電圧Ｖｃでキャンセルできるため、製品コストの上昇を最小限に抑えつつ、回路基板４０を精度良く検査することができる。 Therefore, according to this inspection apparatus 1, the voltage compensation unit 21 can be realized with a simple configuration, and the processing unit 8 can be connected to a connection state in which the compensation voltage Vc can be adjusted with a simple configuration of switching both the switches 24 and 25. Since the compensator 21 and the differential amplifier 22 can be shifted, the offset voltage Voff2 of the differential amplifier 22 is automatically reduced while minimizing the increase in the component cost of the voltage compensator 21 and, in turn, the product cost of the inspection apparatus 1. Can be canceled. Further, the offset voltage Voff1 of the operational amplifier 31 configured in the voltage follower circuit can also be canceled together with the offset voltage Voff2 of the differential amplifier 22 by the compensation voltage Vc, so that the circuit board can be minimized while minimizing the increase in product cost. 40 can be inspected with high accuracy.

また、この検査装置１によれば、処理部８が予め規定された時間毎に電圧設定処理５８を実行するため、差動増幅器２２のオフセット電圧Ｖｏｆｆ２が経年変化したとしても、抵抗４１の抵抗値Ｒｘを正確に算出できる結果、回路基板４０全体を継続して精度良く検査することができる。 Further, according to this inspection apparatus 1, since the processing unit 8 executes the voltage setting process 58 at predetermined time intervals, even if the offset voltage Voff2 of the differential amplifier 22 changes over time, the resistance value of the resistor 41 As a result of accurately calculating Rx, the entire circuit board 40 can be continuously inspected with high accuracy.

また、この検査装置１によれば、処理部８が、温度検出部７によって検出された内部温度Ｔｉが予め規定された温度範囲を超えて変動したときに電圧設定処理５８を実行するため、内部温度Ｔｉが急激に変化した場合においても、抵抗４１の抵抗値Ｒｘを正確に算出することができるため、温度変化の影響を大幅に軽減した状態で回路基板４０を精度良く検査することができる。 Further, according to the inspection apparatus 1, the processing unit 8 executes the voltage setting process 58 when the internal temperature Ti detected by the temperature detection unit 7 fluctuates beyond a predetermined temperature range. Even when the temperature Ti changes abruptly, the resistance value Rx of the resistor 41 can be accurately calculated, so that the circuit board 40 can be accurately inspected in a state where the influence of the temperature change is greatly reduced.

なお、上記の検査装置１では、検査対象電気部品として抵抗を例に挙げて、検査対象電気部品のインピーダンスとして抵抗値を測定して検査する構成について説明したが、検査対象電気部品としてコンデンサの静電容量やインダクタ（コイル）のインダクタンスを算出し、算出した静電容量やインダクタンスに基づいて、コンデンサやインダクタの良否を判別すると共に、この判別結果に基づいて、コンデンサやインダクタが実装された回路基板の検査を実行する構成を採用することもできる。 In the inspection apparatus 1 described above, the resistance is taken as an example of the electrical component to be inspected and the resistance value is measured and inspected as the impedance of the electrical component to be inspected. Calculate the capacitance and inductance of the inductor (coil), determine the quality of the capacitor and inductor based on the calculated capacitance and inductance, and the circuit board on which the capacitor and inductor are mounted based on the determination result It is also possible to adopt a configuration for executing the inspection.

この構成の検査装置では、電圧印加部１１は、直流電圧に代えて、交流電圧を検査用電圧Ｖｅｘとして出力する構成とする。これにより、この構成の検査装置においても、検査用電圧Ｖｅｘの基準となる検査対象電気部品の一端に現れる端子電圧Ｖｔをガード電圧印加部１４に入力することで、差動増幅器２２のオフセット電圧Ｖｏｆｆ２が補償電圧Ｖｃによってキャンセルされた状態で端子電圧Ｖｔと同一電圧のガード電圧Ｖｇがプローブ２ｅを介して検査対象電気部品に並列接続された電気部品の直列回路における中間接続点Ｃに印加される。また、処理部８は、電流データＤｉおよび電圧データＤｖ１を検査用電圧Ｖｅｘの一周期分以上、波形データとして入力して記憶部９に記憶させ、この各波形データから電流Ｉ１と両端間電圧Ｖ１との位相差、電流Ｉ１の電流値および両端間電圧Ｖ１の電圧値を測定し、これらに基づいて検査対象電気部品の静電容量やインダクタンスを算出する。したがって、この構成の検査装置によれば、直列回路の影響を受けることなく、検査対象電気部品の静電容量やインダクタンスを正確に算出できると共に、算出した静電容量やインダクタンスに基づく検査対象電気部品の良否判別を正確に実行することができ、ひいては回路基板全体を精度良く検査することができる。 In the inspection apparatus having this configuration, the voltage application unit 11 is configured to output an AC voltage as the inspection voltage Vex instead of the DC voltage. Thereby, also in the inspection apparatus of this configuration, the terminal voltage Vt appearing at one end of the electrical component to be inspected which is the reference of the inspection voltage Vex is input to the guard voltage application unit 14, whereby the offset voltage Voff2 of the differential amplifier 22 is input. Is canceled by the compensation voltage Vc, the guard voltage Vg having the same voltage as the terminal voltage Vt is applied to the intermediate connection point C in the series circuit of the electrical components connected in parallel to the electrical component to be inspected via the probe 2e. Further, the processing unit 8 inputs the current data Di and the voltage data Dv1 as waveform data for one cycle or more of the test voltage Vex and stores the waveform data in the storage unit 9, and from this waveform data, the current I1 and the voltage V1 between both ends are obtained. , The current value of the current I1 and the voltage value of the voltage V1 between both ends are measured, and based on these, the capacitance and inductance of the electrical component to be inspected are calculated. Therefore, according to the inspection apparatus having this configuration, the capacitance and inductance of the electrical component to be inspected can be accurately calculated without being affected by the series circuit, and the electrical component to be inspected based on the calculated capacitance and inductance. Therefore, it is possible to accurately determine whether or not the circuit board is good and to inspect the entire circuit board with high accuracy.

また、上記の検査装置１では、内部温度Ｔｉに変動が有ったとき、および時間計測処理を実行して計測している時間が到来したとき（予め規定された時間（一定時間）が経過したとき、つまり、予め規定された時間毎）に電圧設定処理５８を実行して、ガード電圧印加部１４内の電気部品についてのオフセット電圧をキャンセルする最も好ましい構成を採用したが、内部温度Ｔｉに変動が有ったとき、および時間計測処理を実行して計測している時間が到来したとき（予め規定された時間が経過したとき）のいずれか一方のときに、電圧設定処理５８を実行する構成を採用してもよいのは勿論である。 Further, in the inspection apparatus 1 described above, when the internal temperature Ti varies, and when the time measured by executing the time measurement process has arrived (a predetermined time (predetermined time) has elapsed). The voltage setting process 58 is executed every time (that is, every predetermined time) to cancel the offset voltage for the electrical components in the guard voltage application unit 14, but the internal temperature Ti varies. A configuration in which the voltage setting processing 58 is executed when there is a time when the time measured by executing the time measurement processing has arrived (when a predetermined time has elapsed) Of course, may be adopted.

また、上記の検査装置１では、端子電圧Ｖｔを入力するボルテージフォロア回路（オペアンプ３１で構成された回路）と、このボルテージフォロア回路の出力端子に接続された抵抗３２と、処理部８によって設定された電流値の電流Ｉ２を抵抗３２に供給する電流源３３とを備えて電圧補償部２１を構成しているが、電圧補償部２１については、同一の機能を有する限り、この回路例以外にも種々の公知の回路を用いて実現することができる。 In the above-described inspection apparatus 1, the voltage follower circuit (a circuit constituted by the operational amplifier 31) that inputs the terminal voltage Vt, the resistor 32 connected to the output terminal of the voltage follower circuit, and the processing unit 8 are set. The voltage compensator 21 is configured by including a current source 33 that supplies the current I2 having a current value to the resistor 32. However, the voltage compensator 21 is not limited to this circuit example as long as it has the same function. It can be realized using various known circuits.

１検査装置
８処理部
１１電圧印加部
１２電流検出部
１３第１電圧検出部
１４ガード電圧印加部
２１電圧補償部
２２差動増幅器
２３第２電圧検出部
２４，２５切替スイッチ
３１オペアンプ
３２，４１〜４３抵抗
３３電流源
４０回路基板
Ａ抵抗の一端
Ｂ抵抗の他端
Ｃ中間接続点
Ｉ１電流（検査電流）
Ｖ１両端間電圧
Ｖａｄ加算電圧
Ｖｃ補償電圧
Ｖｅｘ検査用電圧
Ｖｇガード電圧
Ｖｒｅｆ基準電圧
Ｖｔ端子電圧 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection apparatus 8 Processing part 11 Voltage application part 12 Current detection part 13 1st voltage detection part 14 Guard voltage application part 21 Voltage compensation part 22 Differential amplifier 23 2nd voltage detection part 24, 25 Changeover switch 31 Operational amplifier 32, 41- 43 resistor 33 current source 40 circuit board A one end of resistor B other end of resistor C intermediate connection point I1 current (inspection current)
V1 Voltage between both ends Vad Addition voltage Vc Compensation voltage Vex Inspection voltage Vg Guard voltage Vref Reference voltage Vt Terminal voltage

Claims

回路基板に実装された検査対象電気部品の一端を基準として他端に検査用電圧を印加する電圧印加部と、
前記検査対象電気部品の両端間電圧を検出する第１電圧検出部と、
前記検査用電圧の印加時に前記検査対象電気部品に流れる検査電流を検出する電流検出部と、
前記検査対象電気部品に並列に接続された直列回路における中間接続点にガード電圧を印加するガード電圧印加部と、
電圧設定処理を実行する処理部とを備え、
前記両端間電圧および前記検出された検査電流に基づいて前記検査対象電気部品のインピーダンスを測定すると共に当該測定したインピーダンスに基づいて当該検査対象電気部品を検査する検査装置であって、
前記ガード電圧印加部は、前記検査対象電気部品に対する検査時において前記検査対象電気部品の前記一端に現れる端子電圧を入力すると共に当該端子電圧に対して設定された補償電圧を加算して加算電圧として出力する電圧補償部、および当該加算電圧を入力して前記ガード電圧として出力する差動型緩衝増幅回路を備えて構成され、
前記処理部は、前記検査対象電気部品に対する非検査時において、前記電圧設定処理として、前記端子電圧に代えて基準電圧を前記電圧補償部に入力させると共に当該基準電圧と前記差動型緩衝増幅回路の出力電圧との差電圧を検出して、当該検出した差電圧を前記電圧補償部に対して前記補償電圧として設定する検査装置。 A voltage application unit that applies a test voltage to the other end with respect to one end of the electrical component to be inspected mounted on the circuit board;
A first voltage detector for detecting a voltage between both ends of the electrical component to be inspected;
A current detector for detecting an inspection current flowing in the electrical component to be inspected when applying the inspection voltage;
A guard voltage application unit that applies a guard voltage to an intermediate connection point in a series circuit connected in parallel to the electrical component to be inspected;
A processing unit for performing voltage setting processing,
An inspection apparatus that measures the impedance of the electrical component to be inspected based on the voltage between both ends and the detected inspection current, and inspects the electrical component to be inspected based on the measured impedance,
The guard voltage application unit inputs a terminal voltage that appears at the one end of the electrical component to be inspected when inspecting the electrical component to be inspected, and adds a compensation voltage set for the terminal voltage as an added voltage A voltage compensation unit that outputs, and a differential buffer amplifier circuit that inputs the added voltage and outputs the voltage as the guard voltage,
In the non-inspection of the electrical component to be inspected, the processing unit causes the voltage compensation unit to input a reference voltage instead of the terminal voltage as the voltage setting processing, and the reference voltage and the differential buffer amplifier circuit An inspection apparatus that detects a difference voltage with respect to the output voltage and sets the detected difference voltage as the compensation voltage for the voltage compensation unit.

前記電圧補償部は、前記端子電圧または前記基準電圧を入力するボルテージフォロア回路と、当該ボルテージフォロア回路の出力端子に接続された抵抗と、設定された電流値の電流を前記抵抗に供給する電流源とを備え、前記電流源からの前記電流が前記抵抗を流れたときに当該抵抗に発生する電圧を前記補償電圧として前記ボルテージフォロア回路の出力電圧に加算し、
前記ガード電圧印加部は、前記ボルテージフォロア回路の入力先を切り替える第１切替回路と、前記差動型緩衝増幅回路の出力先を切り替える第２切替回路と、入力した電圧の電圧値を検出して前記処理部に出力する第２電圧検出部とを備え、
前記処理部は、前記電圧設定処理において、前記第１切替回路を制御して前記基準電圧を前記ボルテージフォロア回路に入力させると共に前記第２切替回路を制御して前記差動型緩衝増幅回路の出力電圧を前記第２電圧検出部に入力させ、当該第２電圧検出部で検出された当該出力電圧の電圧値と前記基準電圧の電圧値とに基づいて前記差電圧を検出すると共に前記抵抗に発生する前記電圧が当該検出した差電圧となるように前記電流源の前記電流値を設定する請求項１記載の検査装置。 The voltage compensator includes a voltage follower circuit that inputs the terminal voltage or the reference voltage, a resistor connected to an output terminal of the voltage follower circuit, and a current source that supplies a current having a set current value to the resistor And adding the voltage generated in the resistor when the current from the current source flows through the resistor as the compensation voltage to the output voltage of the voltage follower circuit,
The guard voltage application unit detects a voltage value of an input voltage, a first switching circuit that switches an input destination of the voltage follower circuit, a second switching circuit that switches an output destination of the differential buffer amplifier circuit, and A second voltage detection unit that outputs to the processing unit;
In the voltage setting process, the processing unit controls the first switching circuit to input the reference voltage to the voltage follower circuit and also controls the second switching circuit to output the differential buffer amplifier circuit. A voltage is input to the second voltage detection unit, and the difference voltage is detected based on the voltage value of the output voltage detected by the second voltage detection unit and the voltage value of the reference voltage, and is generated in the resistor. The inspection device according to claim 1, wherein the current value of the current source is set so that the voltage to be the detected difference voltage.

前記処理部は、予め規定された時間毎に前記電圧設定処理を実行する請求項１または２記載の検査装置。 The inspection apparatus according to claim 1, wherein the processing unit executes the voltage setting process every predetermined time.

装置の内部温度を検出する温度検出部を備え、
前記処理部は、前記温度検出部によって検出された前記内部温度が予め規定された温度範囲を超えて変動したときに前記電圧設定処理を実行する請求項１から３のいずれかに記載の検査装置。 It has a temperature detector that detects the internal temperature of the device,
4. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the processing unit executes the voltage setting process when the internal temperature detected by the temperature detection unit fluctuates beyond a predetermined temperature range. 5. .