JP5981968B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
11 入口フランジ
12 ポンプ出口
14 ロータ軸
15 ロータシャフト
16 ロータ
18 モータ空間
20 駆動モータ
22 モータステータ
24 隙間空間
26 矢印、ガス経路
28 入口
30 出口
32 流路
34 空所
36 開口
38 コア
40 円板
42 コイル
44 ジーグバーン式ポンプ段
46 入口
48 出口
50 ロータ機構
52 ステータ機構
54,56 ポンプ作用面
58 隔壁
59 間隙
63 シール間隙
64 筐体
66 ロータ円板
68 ステータ円板
70 スペーサリング
72 ロータハブ
74,76 ホルベック式ロータスリーブ
78,80 ホルベック式ステータスリーブ
82,84,86,87 ホルベック間隙
88 転がり軸受
90 永久磁石軸受
92 スプレーナット
94 吸収性の円板
96 桶形状の嵌込部
98 蓋部材
100 ロータ側のベアリング半体
102 ステータ側のベアリング半体
104,106 磁石リング
108 ベアリング間隙
110,112 支持部分
114 支柱
116 蓋部材
118 固定リング
120 平準化部材
122 支持リング
124 リテーナ軸受
126 固定スリーブ
128 永久磁石配列
130 カプセル部
132 収容部分
134 空所
136 制御ユニット
138 閉鎖部材
140 ***部
142 移送流路
Claims (14)
- 一つのポンプ入口(10)と、一つのポンプ出口(12)と、回転軸(14)の周りを回転可能な一つのロータ(16)と、このポンプ入口(10)に出現するプロセスガスをポンプ入口(10)からポンプ出口(12)に移送する少なくとも一つのプロセスガスポンプ段と、一つのモータ空間(18)と、このモータ空間(18)内に配置された、ロータ(16)を回転駆動するように構成された、一つのモータステータ(22)を有する一つの駆動モータ(20)とを備えた真空ポンプであって、
モータ空間(18)を通って延びるとともに、モータステータ(22)の所で少なくとも部分的にモータステータ(22)に沿って、或いはモータステータを通って延びる、ポンプ入口(10)からポンプ出口(12)までのプロセスガス用の少なくとも一つのガス経路が配備されており、
モータ空間(18)内にプロセスガスを移送するように構成されたジーグバーン式ポンプ段(44)が配備されている、
真空ポンプ。 - 当該のジーグバーン式ポンプ段が、当該の少なくとも一つのプロセスガスポンプ段とガスを通す形で繋がった一つの入口(46)と、モータ空間(18)とガスを通す形で繋がった一つの出口(48)とを有することを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 当該のジーグバーン式ポンプ段(44)が、それぞれジーグバーン式ポンプ段(44)の一つのポンプ作用面(54,56)を構成する円板形状の一つのロータ機構(50)と、円板形状の一つのステータ機構(52)とを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
- 当該のロータ機構(50)が、同時にプロセスガスポンプ段の一つの回転機構を構成するとともに、ターボ分子ポンプ段として構成されたプロセスガスポンプ段の回転円板(66)として構成されているか、或いはホルベック式ポンプ段、スクリュウポンプ段、クロススクリュウポンプ段又はダブルクロススクリュウポンプ段として構成されたプロセスガスポンプ段のロータハブ(72)として構成されていることを特徴とする請求項3に記載の真空ポンプ。
- 当該のジーグバーン式ポンプ段(44)のステータ機構(52)が、モータ空間(18)の境界を画定する隔壁(58)によって支持されているか、或いはその隔壁(58)によって構成されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の真空ポンプ。
- ロータ(16)とモータ空間(18)の境界を画定する隔壁(58)の間に構成された間隙(59)を通って、プロセスガスがモータ空間(18)内を移送されるように、当該のジーグバーン式ポンプ段(44)が構成されていることを特徴とする請求項1から5までのいずれか一つに記載の真空ポンプ。
- モータ空間(18)内のモータステータ(22)とそのモータステータ(22)を貫通するロータ(16)のロータシャフト(15)の間に配置された隙間空間(24)が設けられており、当該のガス経路の中の少なくとも一つが、モータ空間(18)内において、この隙間空間(24)を迂回して延びていることを特徴とする請求項1から6までのいずれか一つに記載の真空ポンプ。
- 一つ以上の流路(32)が配備されており、この流路を通って、当該のガス経路が隙間空間(24)を迂回して延びており、モータステータ(22)が、この流路の周囲の一部に渡って、或いはその周囲全体に渡って境界を画定しており、モータステータ(22)の空所(34)又は開口(36)が、少なくとも一つの流路(32)又は各流路(32)の境界を画定していることを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。
- 当該のモータステータ(22)が、一つのコア(38)とこのコア(38)により支持された少なくとも一つのコイル(42)とを備えており、このコア(38)が、重なり合った複数の円板(40)を有し、これらの円板(40)の空所(134)又は開口が少なくとも一つの流路(32)又は各流路(32)の境界を画定していることを特徴とする請求項8に記載の真空ポンプ。
- 駆動モータ(20)を用いて、回転軸(14)に関する回転角度全体に渡ってほぼ均一な回転駆動トルクを発生することが可能なように、当該の流路(32)が構成、配置されていることを特徴とする請求項8又は9に記載の真空ポンプ。
- 奇数の流路(32)が配備されており、これらの流路(32)が、モータステータ(22)の周囲に渡ってほぼ均一に分散して配置されていることと、
当該の流路(32)の中の少なくとも一つ又は各流路(32)が、少なくともその長さの一部に渡って、或いはその全長に渡って駆動モータ(20)の回転軸(14)に対して傾斜した方向を向いていることと、
の中の一つ以上を特徴とする請求項8から10までのいずれか一つに記載の真空ポンプ。 - 当該の隙間空間(24)を液密に密閉する少なくとも一つのパッキングが配備されていることを特徴とする請求項7から11までのいずれか一つに記載の真空ポンプ。
- 当該の隙間空間(24)の境界を画定する、モータステータ(22)とロータ(16)の互いに対向する表面が、隙間空間(24)を通してプロセスガスを移送するポンプ段のポンプ作用面を構成していることを特徴とする請求項7から12までのいずれか一つに記載の真空ポンプ。
- 当該のポンプ段が、ホルベック式ポンプ段、スクリュウポンプ段、クロススクリュウポンプ段又はダブルクロススクリュウポンプ段として構成されていることを特徴とする請求項13に記載の真空ポンプ。
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