JP5965676B2 - 処理対象物の保持方法 - Google Patents
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- 処理対象物をガラス基板の一方の面に接着剤層を介してシリコン基板が積層されたものとし、この処理対象物を、 電極と、セラミック製または金属製のチャック本体と、チャック本体の処理対象物の吸着面に設けられる絶縁性を持つ樹脂ラバーシートとを備える基板保持装置で吸着して保持する処理対象物の保持方法において、
樹脂ラバーシートにガラス基板側から処理対象物を設置した後、電極に電圧印加して処理対象物を所定の吸着力で吸着する第1工程と、
加熱手段により樹脂ラバーシートを加熱することで処理対象物の吸着力を増加させてガラス基板と樹脂ラバーシートとを密着させ、ガラス基板から樹脂ラバーシートへの熱引けを促進させる第2工程と、
冷却手段によりチャック本体を冷却してガラス基板から樹脂ラバーシートへの熱引けさせて処理対象物を冷却する第3工程とを含むことを特徴とする処理対象物の保持方法。 - 前記第2工程で前記シリコン基板側から加熱手段により処理対象物を加熱することで樹脂ラバーシートを加熱することを特徴とする請求項1記載の処理対象物の保持方法。
- 前記樹脂ラバーシートとしてシリコンゴム製のものを用い、90℃以上に加熱して前記樹脂ラバーシートの抵抗を低下させることを特徴とする請求項1または請求項2記載の処理対象物の保持方法。
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