JP2004235563A - 静電チャック装置用電極シート及びこれを用いた静電チャック装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の静電チャック装置用電極シート30は、一対の絶縁性有機フィルム31、32が絶縁性接着剤層33を介して貼着され、絶縁性接着剤層33内に電極34、35が形成されたものであり、絶縁性接着剤層33を構成する絶縁性接着剤が、絶縁性有機フィルム上に、幅1mm、厚さ5μmの複数本の帯状電極を電極間隔1mmで合計長さ5mとなるようにパターニングし、その上に厚さ10μmの絶縁性接着剤層を形成し、さらに絶縁性有機フィルムを貼着した評価用電極シートを作成し、該評価用電極シートの電極に差電圧5kVを印加した時に、電極間に短絡を生じさせない絶縁耐性を有するものであると共に、絶縁性接着剤層33が電極34、35よりも厚く形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置用ウエハ等の導電体又は半導電体のみならず、液晶装置用ガラス基板等の絶縁体をも良好に吸着保持することが可能な静電チャック装置用電極シート及びこれを用いた静電チャック装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、ウエハをプラズマエッチング装置等の加工装置の所定部位に固定するためにウエハを吸着保持するチャック装置が使用されている。チャック装置としては機械式、真空式、静電式等があり、中でも静電チャック装置は、取り扱いが簡単で、真空中でも使用できるという利点を有している。従来の静電チャック装置は例えば特許文献1〜5に開示されており、一対のセラミック基板で電極を挟持した構造のものや、一対の絶縁性有機フィルムが電極を内包する絶縁性接着剤層を介して貼着された構造のものなどが知られている。
【0003】
【特許文献1】
特開平10−223742号公報
【特許文献2】
特開平5−138473号公報
【特許文献3】
特開平5−235152号公報
【特許文献4】
特開平11−163111号公報
【特許文献5】
特開2000−107969号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年、液晶装置の製造においても、ガラス基板や樹脂基板等の絶縁性基板を加工装置の所定部位に固定するために静電チャック装置が使用されるようになってきている。液晶装置用基板は半導体装置用ウエハよりも大きく、大きいものでは1m×1m以上のものも実用化されつつある。このような大型の液晶装置用基板を良好に吸着保持するために、静電チャック装置には大型化に加えてより大きな吸着力が求められているが、ガラス基板や樹脂基板のような絶縁性基板を良好に静電吸着するためには、従来以上の高電圧を印加する必要がある。しかしながら、従来の静電チャック装置に使用されているアルミナ等のセラミックや絶縁性接着剤では絶縁破壊電圧が低いため高電圧を印加できず、十分な吸着力が得られないという問題を有していた。
【0005】
そこで本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、液晶装置用ガラス基板などの絶縁体に対しても十分な吸着力を有する静電チャック装置用電極シート及びこれを用いた静電チャック装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、液晶装置用ガラス基板などの絶縁体を良好に吸着保持するには、少なくとも5kV以上の耐電圧性を有する必要があることを見出した。そして、一対の絶縁性有機フィルムが電極を内包する絶縁性接着剤層を介して貼着された構造の静電チャック装置では、絶縁性接着剤層が直流電圧の差電圧5kV以上の絶縁耐性を有すること(電極に直流電圧の差が5kVの電圧を印加しても絶縁性接着剤層に絶縁破壊が生じないこと)が必要であることを見出し、以下の静電チャック装置用電極シート及び静電チャック装置を発明した。
【0007】
本発明の静電チャック装置用電極シートは、一対の絶縁性有機フィルムが絶縁性接着剤層を介して貼着され、前記絶縁性接着剤層内に電極が形成された静電チャック装置用電極シートにおいて、
前記絶縁性接着剤層を構成する絶縁性接着剤が、絶縁性有機フィルム上に、幅1mm、厚さ5μmの複数本の帯状電極を電極間隔1mmで合計長さ5mとなるようにパターニングし、その上に厚さ10μmの絶縁性接着剤層を形成し、さらに絶縁性有機フィルムを貼着した評価用電極シートを作成し、該評価用電極シートの電極に差電圧5kV以上を印加した時に、電極間に短絡を生じさせない絶縁耐性を有するものであると共に、前記絶縁性接着剤層が前記電極よりも厚く形成されていることを特徴とする。
また、本発明の静電チャック装置は、この本発明の静電チャック装置用電極シートを基板に貼着してなることを特徴とする。
【0008】
絶縁性接着剤の絶縁耐性は詳細には下記の評価試験(以下、「絶縁耐性試験」と称す。)により評価されるものとする。
膜厚25μmのポリイミドフィルムからなる絶縁性有機フィルム上に、ニッケル下地層をスパッタリングにより形成した後、銅メッキ処理を行い、厚さ5μmの導電層を形成する。次に、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、洗浄を順次行うことにより、導電層をパターニングし、厚さ5μmの複数本の帯状電極及び円形の端子を形成する。この時、図1に示すように、ストライプ状に配置された25本の第1の帯状電極110が共通の端子120に接続された櫛歯状のパターン100と、ストライプ状に配置された25本の第2の帯状電極210が共通の端子220に接続された櫛歯状のパターン200の2種類のパターンを、帯状電極110と210とが交互に配置されるように形成する。なお、図1においては、絶縁性有機フィルムに符号300を付してある。いずれのパターンにおいても、各帯状電極の幅を1mm、長さLを100mmとし、両パターンを構成するすべての帯状電極の合計長さを5mとする。また、隣接する電極間隔(電極110と210の間隔)を1mmとする。
このような電極パターンを形成した絶縁性有機フィルムの電極形成面に、絶縁性接着剤を乾燥後の厚さが10μmになるように塗布した後、乾燥により半硬化させて絶縁性接着剤層を形成し、さらにその上に膜厚25μmのポリイミドフィルムからなる絶縁性有機フィルムを貼着する。なお、端子120、220上には絶縁性接着剤の塗布や上側の絶縁性有機フィルムの貼着は行わず、端子が露出した状態にしておく。
以上のようにして評価用電極シートを作成し、端子120、220に差電圧5kV以上を印加する。この状態を10分間保持し、電極間の短絡の発生の有無を検査する。短絡の発生がなければ、用いた絶縁性接着剤が差電圧5kV以上の絶縁耐性を有すると判定し、短絡の発生があれば、用いた絶縁性接着剤が差電圧5kV以上の絶縁耐性を有しないと判定する。尚、差電圧5kV以上とは、端子120と220に印加する電圧差が5kV以上となっていることを云う。例えば、端子120に直流電圧−2.5kVを印加し、端子220に直流電圧+2.5kVを印加した状態、また、端子120を0として、端子220に直流電圧+5kVを印加した状態が挙げられる。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照して、本発明に係る実施形態の静電チャック装置の構造について説明する。図2〜図4は本実施形態の静電チャック装置を電極の延在方向に対して垂直方向に切断した時の断面図である。なお、被吸着体を吸着する側を上側、その反対側を下側と定義する。
【0010】
図2〜図4に示すように、本実施形態の静電チャック装置10は、一対の絶縁性有機フィルム31、32が絶縁性接着剤層33を介して貼着され、絶縁性接着剤層33内に2種類の帯状電極34、35が形成された電極シート(静電チャック装置用電極シート)30を主体として構成され、該電極シート30の下面が、接着剤層21を介して基板20に貼着されたものである。本実施形態では、絶縁性有機フィルム32の上面が、被吸着体を吸着する吸着面となっている。
【0011】
帯状電極34、35の平面パターンは、図1に示した帯状電極110、210と同様であり、各々独立に駆動され、極性の異なる電圧が印加されるようになっている。本実施形態の静電チャック装置10は、このように極性の異なる電圧が印加される複数の電極を備えたいわゆる双極型構造を有するものである。双極型では、単極型と異なり、被吸着体に直接通電することなく、被吸着体を吸着保持できるので、被吸着体に対して影響を与える恐れがなく、好適である。なお、極性の異なる電圧が印加される電極34、35は交互に配置されていれば良いので、そのパターンは図1に示したようなパターンに限定されるものではない。加えて、各電極の形状も帯状に限定されるものではない。
また、帯状電極34、35は絶縁性接着剤層33内に形成されていれば良いので、その形成位置については適宜設計できる。具体的には、図2に示すように、下側の絶縁性有機フィルム31の上面に形成されていても良いし、図4に示すように、上側の絶縁性有機フィルム32の下面に形成されていても良い。また、図3に示すように、上下の絶縁性有機フィルム31及び32から離間するように形成されていても良い。
【0012】
絶縁性有機フィルム31、32の材質としては特に限定されるものではないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル類、ポリエチレン等のポリオレフィン類、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルイミド、トリアセチルセルロース、シリコーンゴム等が挙げられる。中でも、絶縁性に優れることから、ポリエステル類、ポリオレフィン類、ポリイミド、シリコーンゴム、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン等が好ましく、ポリイミドが特に好ましい。ポリイミドフィルムは市販されており、例えば、東レ・デュポン社製 商品名カプトン、宇部興産社製 商品名ユーピレックス、鐘淵化学工業社製 商品名アピカル等が好ましく用いられる。
絶縁性有機フィルム31、32の厚さも特に限定されるものではないが、20〜150μmが好ましく、25〜75μmがより好ましい。被吸着体を吸着する側の絶縁性有機フィルム32の厚さが20μm未満では表面の傷によって絶縁性が低下するおそれがあり、150μm超では十分な静電吸着力が得られない恐れがある。
【0013】
本実施形態では、絶縁性接着剤層33が、絶縁耐性試験において差電圧5kV以上の絶縁耐性を有する絶縁性接着剤(絶縁性有機フィルム上に、幅1mm、厚さ5μmの複数本の帯状電極を電極間隔1mmで合計長さ5mとなるようにパターニングし、その上に厚さ10μmの絶縁性接着剤層を形成し、さらに絶縁性有機フィルムを貼着した評価用電極シートを作成し、該評価用電極シートの電極に差電圧5kVを印加した時に、電極間に短絡を生じさせない絶縁耐性を有する絶縁性接着剤)により構成されている。
かかる特性を有する絶縁性接着剤としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、スチレン系ブロック共重合体、アミン化合物、ビスマレイミド化合物等から選択される1種又は2種以上の樹脂を主成分とする接着剤から条件を充足するものを選択して用いることができる。
ここで、エポキシ樹脂としては、ビスフェノール型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、グリシジルエーテル型、グリシジルエステル型、グリシジルアミン型、トリヒドロキシフェニルメタン型、テトラグリシジルフェノールアルカン型、ナフタレン型、ジグリシジルジフェニルメタン型、ジグリシジルビフェニル型等の2官能又は多官能エポキシ樹脂等が具体的に挙げられる。中でも、ビスフェノール型エポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂が特に好ましい。また、エポキシ樹脂を主成分とする場合、必要に応じて、イミダゾール類、第3アミン類、フェノール類、ジシアンジアミド類、芳香族ジアミン類、有機過酸化物等のエポキシ樹脂用の硬化剤や硬化促進剤を配合したものを用いることもできる。
フェノール樹脂としては、アルキルフェノール樹脂、p−フェニルフェノール樹脂、ビスフェノールA型フェノール樹脂等のノボラックフェノール樹脂、レゾールフェノール樹脂、ポリフェニルパラフェノール樹脂等が具体的に挙げられる。
スチレン系ブロック共重合体としては、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体(SBS)、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体(SIS)、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体(SEBS)、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレン共重合体(SEPS)等が具体的に挙げられる。
【0014】
帯状電極34、35としては、電圧を印加した際に静電吸着力を発現できる導電性物質からなるものであれば特に限定されないが、銅、アルミニウム、金、銀、白金、クロム、ニッケル、タングステン等やこれらの合金から選択される1種又は2種以上の金属からなる薄膜をパターニングしたものが好ましい。金属薄膜としては、蒸着、メッキ、スパッタリング等により成膜されたものや、導電性ペーストを塗布乾燥して成膜されたもの、銅箔等の金属箔等が具体的に挙げられる。
本実施形態では、絶縁性接着剤層33が帯状電極34、35よりも厚く形成されている必要がある。
本発明者は、絶縁性接着剤層33を絶縁耐性試験において差電圧5kV以上の絶縁耐性を有する絶縁性接着剤により構成すると共に、絶縁性接着剤層33を帯状電極34、35よりも厚く形成することにより、絶縁耐性試験とは異なる条件(例えば、絶縁性接着剤層の厚さや、電極の厚さ、電極の材質、電極のパターン等が絶縁耐性試験とは異なる条件)で電極シート30を形成しても、絶縁性接着剤層33が差電圧5kV以上の絶縁耐性を有するもの(帯状電極34、35に差電圧5kVを印加しても、帯状電極34、35間に短絡を生じさせない絶縁耐性を有するもの)となることを見出した。
なお、絶縁性接着剤層33を材料単体での絶縁耐性試験において差電圧5kV以上の絶縁耐性を有する絶縁性接着剤により構成しても、絶縁性接着剤層33が帯状電極34、35よりも薄い場合には、隣接する電極間に絶縁性接着剤が充填されない空隙が形成され、絶縁耐性が低下する恐れがある。
帯状電極34、35の厚さは以上の条件を充足するものであれば特に限定されないが、具体的には20μm以下が好ましい。帯状電極34、35の厚さが20μm超では吸着面上に凹凸が形成されやすくなる恐れがある。また、帯状電極34、35の厚さは1μm以上であることが好ましい。帯状電極34、35の厚さが1μm未満では電極の接合時に強度が不十分になる恐れがある。
また、隣接する帯状電極34と35の間隔が2mm以下であることが好ましい。電極間隔が2mm超では、電極間に十分な静電力が発現せず、吸着力が不十分となる恐れがある。さらに、被吸着体を吸着する側の絶縁性有機フィルム32の表面(すなわち吸着面)の凹凸差が10μm以下であることが好ましい。吸着面の凹凸差が10μm超では、被吸着体との密着性が低下し、吸着力が不十分となる恐れがある。
【0015】
電極シート30を貼着する基板20としては特に限定されないが、アルミニウム基板、ステンレス基板、セラミック基板等が挙げられる。また、接着剤層21を構成する接着剤としては、絶縁性接着剤層33と同様の接着剤を用いることができる。但し、接着剤層21には、絶縁性接着剤層33に求められるような高い絶縁耐性は必要ない。
【0016】
本実施形態の電極シート30及びこれを用いた静電チャック装置10によれば、絶縁性接着剤層33を絶縁耐性試験において差電圧5kV以上の絶縁耐性を有する絶縁性接着剤により構成すると共に、絶縁性接着剤層33を帯状電極34、35よりも厚く形成する構成を採用したので、上述したように、絶縁性接着剤層33を差電圧5kV以上の絶縁耐性を有するものとすることができる。したがって、本実施形態によれば、絶縁性接着剤層33に絶縁破壊を生じさせることなく、帯状電極34、35に少なくとも5kVの電圧を印加することができ、半導体装置用ウエハ等の導電体又は半導電体のみならず、液晶装置用基板などの大型の絶縁体(石英ガラス等のガラス、セラミック、プラスチック等からなる板材やフィルムなど)をも良好に吸着保持することができる。
なお、電極がセラミックと密接した構造の静電チャック装置で同様の絶縁耐性を有する装置を実現しようとしても、絶縁破壊電圧の高いセラミックが必要となるため、開発が困難であると共に開発できたとしても極めて高価なものとなるが、本発明によれば、絶縁耐性に優れた接着剤を設計すれば良いので、比較的簡易にかつ安価に良好な吸着力を有する装置を実現することができる。
【0017】
【実施例】
次に、本発明に係る実施例及び比較例について説明する。
(絶縁性接着剤の調製)
表1に示す成分を同表に示す配合比で配合し、絶縁性接着剤1〜4を調製した。なお、絶縁性接着剤1は表1に示す成分をメチルエチルケトンに混合溶解し、絶縁性接着剤2及び3は表1に示す成分をテトラヒドロフランに混合溶解し、絶縁性接着剤4は表1に示す成分をメチルエチルケトン/酢酸エチルの混合溶媒に混合溶解し、各々調製した。
用いた成分のメーカー名及び商品名は以下の通りである。
<絶縁性接着剤1>
・O−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂:日本化薬社製 商品名EOCN−1020)
・ノボラックフェノール樹脂:丸善石油化学社製 商品名マルカリンカーM
・アクリロニトリル−ブタジエン共重合体:日本ゼオン社製 商品名1001
<絶縁性接着剤2>
・エポキシ樹脂:大日本インキ社製 商品名エピクロンHP7200
・ノボラックフェノール樹脂:群栄化学社製 商品名レヂトップPSM4324
・変性ポリアミン:日本化薬社製 商品名カヤボンドC300S
・エポキシ化スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体:ダイセル化学工業社製 商品名エポフレンドA1020
<絶縁性接着剤3>
・ビスマレイミド:ケイアイ化成社製 商品名BMI−70
・エポキシ化スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体:ダイセル化学工業社製 商品名エポフレンドAT501
<絶縁性接着剤4>
・エポキシ樹脂:油化シェルエポキシ社製 商品名エピコート828
・クレゾール型フェノール樹脂:昭和高分子社製 商品名CKM2400
・アクリルゴム:帝国化学産業社製 商品名テイサンレジンSG−811
【0018】
(絶縁性接着剤の評価)
上記で得た絶縁性接着剤1〜4について、絶縁耐性試験([主な評価条件]下側及び上側の絶縁性有機フィルム:いずれも膜厚25μmのポリイミドフィルム、電極:厚さ500Åのニッケルに銅メッキ処理を施したもので、幅1mm、厚さ5μm、長さ100mm、電極間隔1mm、合計長さ5mでパターニングしたもの、絶縁性接着剤層:厚さ10μm、一方の端子に直流電圧−2.5kVを印加し、他方の端子に直流電圧+2.5kVを印加した。)を行ったところ、絶縁性接着剤1〜3については差電圧5kV以上の絶縁耐性を有していたが、絶縁性接着剤4は差電圧5kV以上の絶縁耐性を有していなかった。
【0019】
(実施例1)
下記のようにして、図4に示した構造の静電チャック装置用電極シート及び静電チャック装置を作製した。
上側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚75μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製 商品名カプトン)を用意し、この片面に、絶縁性接着剤の絶縁耐性試験と同様に電極及び端子を形成した。続いて電極形成面に、上記で得た絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが15μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて絶縁性接着剤層を形成し、さらに、下側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚50μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製 商品名カプトン)を貼着した。次いで、加熱により絶縁性接着剤層を完全に硬化させ、本発明の静電チャック装置用電極シートを得た。
この電極シートの吸着面(膜厚75μmのポリイミドフィルム側の面)の凹凸差をレーザー変位型の測定機で測定したところ3.5μmであり、表面平滑性が良好であった。
続いて、得られた電極シートの下面(膜厚50μmのポリイミドフィルム側の面)にさらに絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが20μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて接着剤層を形成した。最後に、該接着剤層を介してアルミニウム基板を貼着し、本発明の静電チャック装置を得た。
【0020】
(実施例2)
下記のようにして、図2に示した構造の静電チャック装置用電極シート及び静電チャック装置を作製した。
下側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚50μmのポリイミドフィルム(宇部興産社製 商品名ユーピレックス)を用意し、この片面に、絶縁性接着剤の絶縁耐性試験と同様に電極及び端子を形成した。続いて電極形成面に、上記で得た絶縁性接着剤2を乾燥後の厚さが20μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて絶縁性接着剤層を形成し、さらに、上側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム社製)を貼着した。次いで、加熱により絶縁性接着剤層を完全に硬化させ、本発明の静電チャック装置用電極シートを得た。
この電極シートの吸着面(膜厚50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム側の面)の凹凸差を実施例1と同様に測定したところ2.8μmであり、表面平滑性が良好であった。
続いて、得られた電極シートの下面(膜厚50μmのポリイミドフィルム側の面)にさらに絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが20μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて接着剤層を形成した。最後に、該接着剤層を介してステンレス基板を貼着し、本発明の静電チャック装置を得た。
【0021】
(実施例3)
下記のようにして、図2に示した構造の静電チャック装置用電極シート及び静電チャック装置を作製した。
下側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(ユニチカ社製)を用意し、この片面に電極及び端子を形成した。電極は、厚さ500Åのニッケルにアルミニウムメッキ処理を施したものとした以外は、絶縁性接着剤の絶縁耐性試験と同様に形成した。続いて電極形成面に、上記で得た絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが20μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて絶縁性接着剤層を形成し、さらに、上側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(ユニチカ社製)を貼着した。次いで、加熱により絶縁性接着剤層を完全に硬化させ、本発明の静電チャック装置用電極シートを得た。
この電極シートの吸着面(後から貼着したポリエチレンテレフタレートフィルム側の面)の凹凸差を実施例1と同様に測定したところ2.3μmであり、表面平滑性が良好であった。
続いて、得られた電極シートの下面(先に用意したポリエチレンテレフタレートフィルム側の面)にさらに絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが20μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて接着剤層を形成した。最後に、該接着剤層を介してアルミニウム基板を貼着し、本発明の静電チャック装置を得た。
【0022】
(実施例4)
下記のようにして、図3に示した構造の静電チャック装置用電極シート及び静電チャック装置を作製した。
上側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚50μmのポリイミドフィルム(宇部興産社製 商品名ユーピレックス)を用意し、この片面に、上記で得た絶縁性接着剤3を乾燥後の厚さが15μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させ、さらに、厚さ18μmの電解銅箔を貼着した。その後、加熱により、絶縁性接着剤3を完全に硬化させた。次いで、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、洗浄を順次行い、電解銅箔をパターニングし、絶縁性接着剤の絶縁耐性試験と同様にパターニングし、厚さ18μmの電極及び端子を形成した。
続いて電極形成面に、上記で得た絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが15μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させ、先に塗布し硬化させた絶縁性接着剤3と共に厚さ30μmの絶縁性接着剤層を形成し、さらに、下側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚20μmのポリイミドフィルム(宇部興産社製商品名ユーピレックス)を貼着した。次いで、加熱により絶縁性接着剤1を完全に硬化させ、本発明の静電チャック装置用電極シートを得た。
この電極シートの吸着面(膜厚50μmのポリイミドフィルム側の面)の凹凸差を実施例1と同様に測定したところ4.4μmであり、表面平滑性が良好であった。
続いて、得られた電極シートの下面(膜厚20μmのポリイミドフィルム側の面)にさらに絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが20μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて接着剤層を形成した。最後に、該接着剤層を介してセラミック基板を貼着し、本発明の静電チャック装置を得た。
【0023】
(比較例1)
下記のようにして、図2に示した構造の静電チャック装置用電極シート及び静電チャック装置を作製した。
下側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(ユニチカ社製)を用意し、この片面に電極及び端子を形成した。電極は、厚さを35μmとした以外は、絶縁性接着剤の絶縁耐性試験と同様に形成した。続いて電極形成面に、上記で得た絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが5μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて絶縁性接着剤層を形成し、さらに、上側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(ユニチカ社製)を貼着した。次いで、加熱により絶縁性接着剤層を完全に硬化させ、比較用の静電チャック装置用電極シートを得た。
この電極シートの吸着面(後から貼着したポリエチレンテレフタレートフィルム側の面)の凹凸差を実施例1と同様に測定したところ11.2μmであり、表面平滑性が不良であった。
続いて、得られた電極シートの下面(先に用意したポリエチレンテレフタレートフィルム側の面)にさらに絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが20μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて接着剤層を形成した。最後に、該接着剤層を介してアルミニウム基板を貼着し、比較用の静電チャック装置を得た。
【0024】
(比較例2)
下記のようにして、図4に示した構造の静電チャック装置用電極シート及び静電チャック装置を作製した。
上側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚75μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製 商品名カプトン)を用意し、この片面に、絶縁性接着剤の絶縁耐性試験と同様に電極及び端子を形成した。続いて電極形成面に、上記で得た絶縁性接着剤4を乾燥後の厚さが15μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて絶縁性接着剤層を形成し、さらに、下側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚50μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製 商品名カプトン)を貼着した。次いで、加熱により絶縁性接着剤層を完全に硬化させ、比較用の静電チャック装置用電極シートを得た。
この電極シートの吸着面(膜厚75μmのポリイミドフィルム側の面)の凹凸差を実施例1と同様に測定したところ3.2μmであり、表面平滑性が良好であった。
続いて、得られた電極シートの下面(膜厚50μmのポリイミドフィルム側の面)にさらに絶縁性接着剤1を乾燥後の厚さが20μmになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて接着剤層を形成した。最後に、該接着剤層を介してアルミニウム基板を貼着し、比較用の静電チャック装置を得た。
【0025】
(評価項目及び評価方法)
各実施例及び比較例において得られた静電チャック装置について以下の評価を行った。
<耐電圧性>
得られた静電チャック装置の吸着面に銅箔を載置し、この銅箔と基板をアースした。次に、電極シート両端に設けられた端子の一方に直流電圧−5kVを印加し、他方の端子に直流電圧+5kVを印加し、10分間放置した。この試験をさらに2回繰り返し、絶縁破壊等の異常発生の有無を検査した。
<吸着力>
得られた静電チャック装置の基板をアースし、電極シート両端に設けられた端子の一方に直流電圧−5kVを印加し、他方の端子に直流電圧+5kVを印加した時の吸着力を評価した。被吸着体としては、(1)100mm×100mmのパイレックス(登録商標)ガラス板(厚さ0.7mm)、(2)100mm×100mmのアルミナセラミック板(厚さ0.38mm)、(3)100mm×100mmのポリイミドフィルム(厚さ0.125mm)の3種類の絶縁体を用いた。被吸着体を吸着させた状態で、図5(a)に示すように被吸着体に1kgの荷重をかけて側方に引張る剪断吸着力試験と、図5(b)に示すように被吸着体の中心部に200gの荷重をかけて垂直方向に引き上げる垂直吸着力試験を行い、いずれも被吸着体が静電チャック装置から離脱したり移動せず、荷重をかける前と同じ状態を維持できたものを吸着力が良好と判定した。
【0026】
(結果)
各実施例、比較例における主な製造条件及び評価結果を表2に示す。
表2に示すように、絶縁性接着剤層を絶縁耐性試験において差電圧5kV以上の絶縁耐性を有する絶縁性接着剤1〜3を用いて形成すると共に、絶縁性接着剤層を電極よりも厚く形成した実施例1〜4では、得られた静電チャック装置は、各層間の絶縁破壊や電極間の短絡は生じず、良好な耐電圧性を有するものであった。また、得られた静電チャック装置は、被吸着体として、パイレックス(登録商標)ガラス板、アルミナセラミック板、ポリイミドフィルムのいずれを用いても、剪断吸着力試験、垂直吸着力試験の双方の吸着力試験において、被吸着体が静電チャック装置から離脱したり移動せず、良好な吸着力を有するものであった。
【0027】
これに対して、絶縁性接着剤層を絶縁耐性試験において差電圧5kV以上の絶縁耐性を有する絶縁性接着剤1を用いて形成したが、絶縁性接着剤層を電極よりも薄く形成した比較例1では、得られた静電チャック装置は、吸着面の表面平滑性が悪く、電極間が短絡して絶縁破壊が発生し吸着面が損傷され、耐電圧性が不良であった。
また、絶縁性接着剤層を電極よりも厚く形成したが、絶縁性接着剤層を絶縁耐性試験において差電圧5kV以上の絶縁耐性を有しない絶縁性接着剤4を用いて形成した比較例2では、得られた静電チャック装置は、電極間が短絡して絶縁破壊が発生し吸着面が損傷され、耐電圧性が不良であった。
比較例1及び2では、このように絶縁破壊が生じたため、吸着力の評価を行わなかった。なお、耐電圧性試験において絶縁破壊が生じた比較例1及び2で得られた静電チャック装置では、直流電圧5kV以上の電圧をかけることができないため、当然ながら良好な吸着力を有するものではない。
【0028】
【表1】
【0029】
【表2】
【0030】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、液晶装置用ガラス基板などの絶縁体に対しても十分な吸着力を有する静電チャック装置用電極シート及びこれを用いた静電チャック装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明における絶縁性接着剤の絶縁耐性試験を説明するための図である。
【図2】図2は、本発明に係る実施形態の静電チャック装置の構造を示す図である。
【図3】図3は、本発明に係る実施形態の静電チャック装置のその他の構造を示す図である。
【図4】図4は、本発明に係る実施形態の静電チャック装置のその他の構造を示す図である。
【図5】図5(a)、(b)は、本発明に係る実施例及び比較例における吸着力の評価方法を説明するための図である。
【符号の説明】
10 静電チャック装置
20 基板
30 静電チャック装置用電極シート
31、32 絶縁性有機フィルム
33 絶縁性接着剤層
34、35 帯状電極
Claims (5)
- 一対の絶縁性有機フィルムが絶縁性接着剤層を介して貼着され、前記絶縁性接着剤層内に電極が形成された静電チャック装置用電極シートにおいて、
前記絶縁性接着剤層を構成する絶縁性接着剤が、絶縁性有機フィルム上に、幅1mm、厚さ5μmの複数本の帯状電極を電極間隔1mmで合計長さ5mとなるようにパターニングし、その上に厚さ10μmの絶縁性接着剤層を形成し、さらに絶縁性有機フィルムを貼着した評価用電極シートを作成し、該評価用電極シートの電極に差電圧5kV以上を印加した時に、電極間に短絡を生じさせない絶縁耐性を有するものであると共に、
前記絶縁性接着剤層が前記電極よりも厚く形成されていることを特徴とする静電チャック装置用電極シート。 - 前記電極の厚さが20μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の静電チャック装置用電極シート。
- 隣接する前記電極の間隔が2mm以下であると共に、前記一対の絶縁性有機フィルムのうち、被吸着体を吸着する側の絶縁性有機フィルムの表面の凹凸差が10μm以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック装置用電極シート。
- 前記一対の絶縁性有機フィルムのうち、被吸着体を吸着する側の絶縁性有機フィルムの厚さが20〜150μmであることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の静電チャック装置用電極シート。
- 請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の静電チャック装置用電極シートを基板に貼着してなることを特徴とする静電チャック装置。
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Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006149156A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Creative Technology:Kk | 静電吸着体及びこの静電吸着体を用いたシート状被吸着物の移送方法 |
WO2006126503A1 (ja) * | 2005-05-24 | 2006-11-30 | Toto Ltd. | 静電チャック |
JP2008187006A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Tomoegawa Paper Co Ltd | 静電チャック装置 |
JP2009071023A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Tomoegawa Paper Co Ltd | 静電チャック装置用接着シート、および静電チャック装置 |
US7672111B2 (en) | 2006-09-22 | 2010-03-02 | Toto Ltd. | Electrostatic chuck and method for manufacturing same |
US8023246B2 (en) | 2007-05-08 | 2011-09-20 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Electrostatic chuck and method of manufacturing the same |
JP2013153017A (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-08 | Ulvac Japan Ltd | 基板吸着状態の判定方法およびプラズマ処理装置 |
JP2013187217A (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-19 | Ulvac Japan Ltd | 基板保持装置 |
JP2015093884A (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-18 | デクセリアルズ株式会社 | 接着剤組成物、及びフィルム巻装体 |
US9765428B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-09-19 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
US9771645B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-09-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
JP2018113430A (ja) * | 2016-10-28 | 2018-07-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 接点を有する、応力均衡のとれた静電基板キャリア |
JP2019514221A (ja) * | 2016-04-13 | 2019-05-30 | トルンプフ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトTrumpf GmbH+Co.KG | フラクタル電極を備えた電気吸着グリッパ |
KR20210013729A (ko) | 2018-12-27 | 2021-02-05 | 가부시키가이샤 도모에가와 세이시쇼 | 정전 척 장치 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1994839B (zh) * | 2006-01-05 | 2012-07-18 | 财团法人工业技术研究院 | 静电吸附装置 |
KR100984748B1 (ko) * | 2006-04-03 | 2010-10-01 | 주식회사 코미코 | 정전척, 조립형 정전 흡착 장치, 글라스 기판 접합 장치 및조립형 글라스 기판 접합 장치 |
CN102269797A (zh) * | 2011-07-07 | 2011-12-07 | 南京协力电子科技集团有限公司 | 印刷电路板水平式飞针测试平台 |
CN103327720B (zh) * | 2012-03-21 | 2016-01-20 | 长毅技研股份有限公司 | 可透视静电吸板 |
JP6935132B2 (ja) * | 2017-07-21 | 2021-09-15 | 株式会社ディスコ | 静電チャックプレートの製造方法 |
KR102176064B1 (ko) * | 2017-11-10 | 2020-11-09 | 주식회사 아이앤티 | 정전척 제조방법 및 정전척 |
CN109449907B (zh) * | 2018-12-11 | 2024-01-12 | 广东海拓创新技术有限公司 | 一种透明静电吸盘及其制备方法 |
KR20220019144A (ko) | 2020-08-06 | 2022-02-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 전자 장치 및 이의 제조 방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW492135B (en) * | 2000-05-25 | 2002-06-21 | Tomoegawa Paper Co Ltd | Adhesive sheets for static electricity chuck device, and static electricity chuck device |
JP3979792B2 (ja) * | 2000-05-25 | 2007-09-19 | 株式会社巴川製紙所 | 静電チャック装置用接着シート及び静電チャック装置 |
JP4753460B2 (ja) * | 2000-08-16 | 2011-08-24 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 静電チャック及びその製造方法 |
-
2003
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Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006149156A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Creative Technology:Kk | 静電吸着体及びこの静電吸着体を用いたシート状被吸着物の移送方法 |
WO2006126503A1 (ja) * | 2005-05-24 | 2006-11-30 | Toto Ltd. | 静電チャック |
US7468880B2 (en) | 2005-05-24 | 2008-12-23 | Toto Ltd. | Electrostatic chuck |
US7760484B2 (en) | 2005-05-24 | 2010-07-20 | Toto Ltd. | Electrostatic chuck |
US7672111B2 (en) | 2006-09-22 | 2010-03-02 | Toto Ltd. | Electrostatic chuck and method for manufacturing same |
JP2008187006A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Tomoegawa Paper Co Ltd | 静電チャック装置 |
US8023246B2 (en) | 2007-05-08 | 2011-09-20 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Electrostatic chuck and method of manufacturing the same |
JP2009071023A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Tomoegawa Paper Co Ltd | 静電チャック装置用接着シート、および静電チャック装置 |
JP2013153017A (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-08 | Ulvac Japan Ltd | 基板吸着状態の判定方法およびプラズマ処理装置 |
JP2013187217A (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-19 | Ulvac Japan Ltd | 基板保持装置 |
JP2015093884A (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-18 | デクセリアルズ株式会社 | 接着剤組成物、及びフィルム巻装体 |
US9765428B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-09-19 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
US9771645B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-09-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
JP2019514221A (ja) * | 2016-04-13 | 2019-05-30 | トルンプフ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトTrumpf GmbH+Co.KG | フラクタル電極を備えた電気吸着グリッパ |
JP2018113430A (ja) * | 2016-10-28 | 2018-07-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 接点を有する、応力均衡のとれた静電基板キャリア |
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