JP5962566B2 - コンタクトプローブの検査方法、検査装置 - Google Patents
コンタクトプローブの検査方法、検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5962566B2 JP5962566B2 JP2013076924A JP2013076924A JP5962566B2 JP 5962566 B2 JP5962566 B2 JP 5962566B2 JP 2013076924 A JP2013076924 A JP 2013076924A JP 2013076924 A JP2013076924 A JP 2013076924A JP 5962566 B2 JP5962566 B2 JP 5962566B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact probe
- tip
- inspection
- inspection terminal
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 295
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 234
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 46
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 84
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 27
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る検査装置の図である。この検査装置は、導電材料で形成された異物検査端子10を備えている。異物検査端子10は絶縁材料で形成された保持アーム12によって保持されている。
本発明の実施の形態2に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図6は、本発明の実施の形態2に係る異物検査端子42の嵌合部42aとコンタクトプローブ40の先端部40aを示す図である。
本発明の実施の形態3に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図7は、本発明の実施の形態3に係る異物検査端子52の嵌合部52aとコンタクトプローブ50の先端部50aを示す断面図である。
本発明の実施の形態4に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図9は、本発明の実施の形態4に係る異物検査端子72の嵌合部72aとコンタクトプローブ70の先端部70aを示す斜視図である。
本発明の実施の形態5に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図10は、本発明の実施の形態5に係る同軸プローブ等を示す斜視図である。
本発明の実施の形態6に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図11は、本発明の実施の形態6に係る異物検査端子10の嵌合部10aとコンタクトプローブ24の先端部24aを示す断面図である。
本発明の実施の形態7に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態6との共通点が多いので実施の形態6との相違点を中心に説明する。図13は、本発明の実施の形態7に係る異物検査端子10の嵌合部10a等を示す図である。
本発明の実施の形態8に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図15は、本発明の実施の形態8に係る異物検査端子10等を示す図である。異物検査端子10にガイド部材90が固定されている。ガイド部材90は異物検査端子10を囲み、かつ異物検査端子10よりも異物検査端子10の長手方向に突出している。ガイド部材90は絶縁体で形成されている。
本発明の実施の形態9に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図17は、本発明の実施の形態9に係る検査装置の図である。この検査装置は、集合異物検査端子100を備えている。集合異物検査端子100には切替リレー部20aが固定されている。
本発明の実施の形態10に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態9との共通点が多いので実施の形態9との相違点を中心に説明する。図21は、本発明の実施の形態10に係る集合異物検査端子200を示す図である。複数の異物検査端子202、204、206、208、210、212はそれぞれ、コンタクトプローブ24に押し当てる方向に伸縮するばね202a、204a、206a、208a、210a、212aを有している。
本発明の実施の形態11に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態9との共通点が多いので実施の形態9との相違点を中心に説明する。図23は、本発明の実施の形態11に係る集合異物検査端子300を示す図である。複数の異物検査端子の先端部分302は、異方性導電ゴム材料で形成されている。複数の絶縁体101の先端部分304は、異方性絶縁ゴム材料で形成されている。
本発明の実施の形態12に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図25は、本発明の実施の形態12に係る検査装置を示す図である。この検査装置は、Y方向駆動軸14とX方向駆動軸16(Y方向駆動軸14とX方向駆動軸16をまとめて移動機構と称する)へ指令を出し、異物検査端子10を移動させる制御部400を備えている。
本発明の実施の形態12に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図26は、本発明の実施の形態13に係る検査装置を示す図である。この検査装置は、異物検査端子10と同じ形状の先端部分を有する追加異物検査端子500を備えている。
本発明の実施の形態14に係るコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図27は、本発明の実施の形態14に係る検査装置を示す図である。この検査装置は、異物検査端子10が受ける荷重を検知する荷重検知部600を備えている。荷重検知部600は例えばロードセルユニットで構成されている。荷重検知部600には制御部602が接続されている。制御部602は、Y方向駆動軸14とX方向駆動軸16に指令を出しこれらを制御する。
Claims (21)
- 先端部にコンタクトプローブの先端部に嵌る形状の嵌合部を有する異物検査端子と前記コンタクトプローブの先端部を近づけ、前記嵌合部を前記コンタクトプローブの先端部に嵌合させる工程と、
一端が前記異物検査端子と電気的に接続され、他端が前記コンタクトプローブと電気的に接続された抵抗測定部で、前記嵌合部と前記コンタクトプローブの先端部との接触抵抗を測定する工程と、を備えたことを特徴とするコンタクトプローブの検査方法。 - 前記コンタクトプローブの先端部は凸曲面を有し、
前記嵌合部は凹曲面を有することを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブの検査方法。 - 前記コンタクトプローブの先端部はクラウン形状であり、
前記嵌合部は前記コンタクトプローブの先端部と嵌合するクラウン形状であることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブの検査方法。 - 前記コンタクトプローブの先端部は凸形状又は凹形状であり、
前記嵌合部は前記コンタクトプローブの先端部と嵌合する凹形状又は凸形状であることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブの検査方法。 - 前記コンタクトプローブは複数のプローブを有し、
前記嵌合部は前記複数のプローブに嵌合する形状を有することを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブの検査方法。 - 前記嵌合部は、前記コンタクトプローブの先端部の根元部には接しないことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のコンタクトプローブの検査方法。
- 前記嵌合部の先端部分は絶縁体で形成されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のコンタクトプローブの検査方法。
- 前記異物検査端子と前記コンタクトプローブの先端部を近づける際に、前記嵌合部を囲むように前記嵌合部に固定されたガイド部材により、前記異物検査端子と前記コンタクトプローブの先端部のずれを矯正することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のコンタクトプローブの検査方法。
- コンタクトプローブの先端部に、集合異物検査端子が有する相互に絶縁された複数の異物検査端子を接触させる工程と、
前記複数の異物検査端子の各異物検査端子に順次電流を流して、各異物検査端子と前記コンタクトプローブの先端部との接触抵抗を測定する第1測定工程と、
前記コンタクトプローブの先端部のうち前記第1測定工程で前記複数の異物検査端子のいずれかが接触しなかった部分に前記複数の異物検査端子のいずれかを接触させるように前記コンタクトプローブ又は前記集合異物検査端子を移動させる工程と、
前記集合異物検査端子を移動させた後に、前記複数の異物検査端子の各異物検査端子に順次電流を流して、各異物検査端子と前記コンタクトプローブの先端部との接触抵抗を測定する第2測定工程と、を備えたことを特徴とするコンタクトプローブの検査方法。 - 前記複数の異物検査端子はそれぞれ、前記コンタクトプローブに押し当てる方向に伸縮するばねを有し、前記複数の異物検査端子が相互に独立して伸縮できることを特徴とする請求項9に記載のコンタクトプローブの検査方法。
- 前記複数の異物検査端子の先端部分は、異方性導電ゴム材料で形成されたことを特徴とする請求項10に記載のコンタクトプローブの検査方法。
- 同軸プローブの第1プローブに第1異物検査端子を接触させ、前記同軸プローブの第2プローブに第2異物検査端子を接触させる工程と、
前記第1プローブと前記第1異物検査端子との接触抵抗と、前記第2プローブと前記第2異物検査端子との接触抵抗を連続して測定する工程と、を備えたことを特徴とするコンタクトプローブの検査方法。 - コンタクトプローブをのせるステージと、
先端部分に凹曲面、クラウン形状、凸形状、又は凹形状を有し、前記先端部分が前記コンタクトプローブに嵌合する異物検査端子と、
一端が前記ステージと電気的に接続され、他端が前記異物検査端子と電気的に接続された抵抗測定部と、を備えたことを特徴とする検査装置。 - コンタクトプローブをのせるステージと、
先端部分に凹曲面、クラウン形状、凸形状、又は凹形状を有する異物検査端子と、
一端が前記ステージと電気的に接続され、他端が前記異物検査端子と電気的に接続され
た抵抗測定部と、を備え、
前記異物検査端子の先端部分は絶縁体で形成されたことを特徴とする検査装置。 - 前記異物検査端子を囲み、かつ前記異物検査端子よりも前記異物検査端子の長手方向に突出するように前記異物検査端子に固定されたガイド部材を備えたことを特徴とする請求項13又は14に記載の検査装置。
- 前記ステージ又は前記異物検査端子を移動させる移動機構と、
前記移動機構へ指令を出し前記ステージ又は前記異物検査端子を移動させる制御部と、
前記コンタクトプローブの先端位置を撮影するカメラと、を備え、
前記制御部は、前記カメラによって得られた画像から前記コンタクトプローブの先端位置を特定し、前記コンタクトプローブの先端部と前記異物検査端子を接触させるように前記ステージ又は前記異物検査端子を移動させることを特徴とする請求項13乃至15のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記異物検査端子と同じ形状の先端部分を有する追加異物検査端子を備えたことを特徴とする請求項13乃至16のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記異物検査端子が受ける荷重を検知する荷重検知部を備え、
前記抵抗測定部は、前記異物検査端子が前記コンタクトプローブに接触して前記荷重検知部が予め定められた値以上の荷重を検知した後に測定を開始することを特徴とする請求項13乃至16のいずれか1項に記載の検査装置。 - コンタクトプローブをのせるステージと、
複数の絶縁体により相互に絶縁されつつ一体的に形成された複数の異物検査端子を有する集合異物検査端子と、
前記複数の異物検査端子の各異物検査端子に順次電流を流して、各異物検査端子と前記コンタクトプローブとの接触抵抗を測定する抵抗測定部と、
前記ステージと前記集合異物検査端子の相対位置を変化させる移動機構と、を備えたことを特徴とする検査装置。 - 前記複数の異物検査端子はそれぞれ、前記コンタクトプローブに押し当てる方向に伸縮するばねを有し、
前記複数の絶縁体はそれぞれ、前記コンタクトプローブに押し当てる方向に伸縮するばねを有し、
前記複数の異物検査端子が相互に独立して伸縮し、前記複数の絶縁体が相互に独立して伸縮することを特徴とする請求項19に記載の検査装置。 - 前記複数の異物検査端子の先端部分は、異方性導電ゴム材料で形成され、
前記複数の絶縁体の先端部分は、異方性絶縁ゴム材料で形成されたことを特徴とする請求項19に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013076924A JP5962566B2 (ja) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | コンタクトプローブの検査方法、検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013076924A JP5962566B2 (ja) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | コンタクトプローブの検査方法、検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014203883A JP2014203883A (ja) | 2014-10-27 |
JP5962566B2 true JP5962566B2 (ja) | 2016-08-03 |
Family
ID=52354081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013076924A Active JP5962566B2 (ja) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | コンタクトプローブの検査方法、検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5962566B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112069170B (zh) * | 2020-07-31 | 2024-04-09 | 嘉兴威伏半导体有限公司 | 探针卡云管理*** |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10221365A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-08-21 | Kobe Steel Ltd | プローブカードの検査方法及び装置 |
JP2005345171A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の検査装置 |
-
2013
- 2013-04-02 JP JP2013076924A patent/JP5962566B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014203883A (ja) | 2014-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4679244B2 (ja) | 測定用コンタクト端子、測定装置、プローブカードセット、およびウエハプローバ装置 | |
JP2008243860A5 (ja) | ||
TWI635297B (zh) | 基板檢測裝置、基板檢測方法及基板檢測用夾具 | |
JP6084140B2 (ja) | 電気検査装置 | |
JP2007285882A (ja) | 基板検査用接触子、基板検査用治具および基板検査装置 | |
JP5962566B2 (ja) | コンタクトプローブの検査方法、検査装置 | |
JP2005241491A (ja) | 基板検査装置、位置調整方法 | |
KR101744483B1 (ko) | 전자제품 테스트용 지그 | |
WO2014157122A1 (ja) | プローブ装置 | |
JP4200182B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
JP2009115638A (ja) | チップマウンタの部品ベリファイ装置及び部品ベリファイ方法 | |
JP6479441B2 (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
CN107436405B (zh) | 电气检查方法以及电气检查装置 | |
KR102545501B1 (ko) | 고주파 특성 검사 장치 및 고주파 특성 검사 방법 | |
JP5893397B2 (ja) | プローブユニットおよび検査装置 | |
JP2000131340A (ja) | コンタクトプローブ装置 | |
JP2008261678A (ja) | 検査プローブ接触検知機構および回路基板検査装置 | |
JP2017084958A (ja) | 半導体装置の評価装置及び評価方法 | |
JP2018087754A (ja) | プリント配線板の検査装置及び検査方法 | |
JP2014016300A (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
JP6036557B2 (ja) | プローブ検査装置及びプローブ検査方法 | |
JP5385234B2 (ja) | コンタクトプローブおよび充放電装置 | |
JP6723190B2 (ja) | 検査装置 | |
KR101376935B1 (ko) | 비접촉식 전기검사장치 및 전기검사방법 | |
JP6029535B2 (ja) | コンタクトプローブ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150424 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160407 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160531 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5962566 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |