JP5959326B2 - 荷電粒子ビーム発生装置、荷電粒子線装置、高電圧発生装置、および高電位装置 - Google Patents
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Description
図1は、荷電粒子線装置の例として、本発明の第1実施形態である電子銃を備える電子顕微鏡の概念図を示す。なお、本発明は、電子顕微鏡に限らず、荷電粒子源から放出された電子や陽イオンなどの電荷をもつ粒子(荷電粒子)を電界で加速し、試料に照射する他の荷電粒子線装置に適用することが可能である。例えば、電子線描画装置、イオン加工装置、イオン顕微鏡などである。
陰極120とハウジング内陰極110を同電位とし、電極(121、122、123、124)とハウジング内電極(111、112、113、114)の対応する電極同士を同電位にすると、図3に示すように、等電位線は、ハウジング13の樹脂部内で幅が狭く、ハウジング13と加速管構造との間の空間12の部分で間隔が広くなる。すなわち、ハウジング13内に電極(ハウジング内電極およびハウジング内陰極)を有する構造をとると、ハウジング13の樹脂部分で高電界となり、空間12で低電界となる。ハウジング13と加速管構造との間の空間12は、真空とするか、または大気、絶縁性ガスなどを封入する。
これに対して、本発明によれば、上述したように、絶縁性ガスまたは絶縁性液体を使用しない、または絶縁性ガスの使用量を減らすことができる。しかも、樹脂は、真空や絶縁性ガス、絶縁性液体に比べて、一般に絶縁破壊電界の高い物質である。したがって、ハウジングの接地電位面と加速管構造との間の空間を狭く設計しつつ、その空間に樹脂製のハウジングを設けることによって、放電を防ぐとともに、電子銃の全体の構造を小さくすることができる。
図5は、本発明の第2実施形態による加速管構造を備えた電子銃の横断面図を示す。図5においては、図2と同じ要素には同じ番号を付して、説明を省略する。
例えば、ハウジング内陰極110を、対向する陰極120に電気的に接続し、ハウジング内電極111を電極121に電気的に接続し、残りのハウジング内電極(112、113、114)間が、複数の抵抗器で接続されるようにしてもよい。
図6は、本発明の第3実施形態である高電圧発生装置の横断面図を示す。本発明は、電子銃以外の高電圧装置においても同様に利用することができ、同じ効果を発揮することができる。高電圧装置の例として、図6には、コッククロフト・ウォルトン型の高電圧発生装置8の断面図が示されている。高電圧発生装置8は、電子顕微鏡における図1の電源51に含まれる高圧電源発生装置である。
なお、本実施形態では、コッククロフト・ウォルトン型高電圧発生装置について、本発明の応用例を示したが、本発明の応用例はこれらに限るものではない。例えば、本発明は、バンデグラフ型などの他の高電圧発生装置にも適用することができる。
第1実施形態によれば、電子銃1は、電子を放出する電子源11と、陰極120および陽極125と、複数の電極(121、122、123、124)と、複数の絶縁物管(101、102、103、104、105)と、複数の電極(121、122、123、124)の周囲に設けられたハウジング13とを備える。ハウジング13は、絶縁性の樹脂で形成され、ハウジング13が、陰極120に対して対向する位置に配置されたハウジング内陰極110と、複数の電極(121、122、123、124)に対して対向する位置に配置された複数のハウジング内電極(111、112、113、114)とを備える。ハウジング内陰極および電極(110、111、112、113、114)が、それぞれ、金属製バネなどの接続手段(150、151、152、153、154)によって、対向する電極(120、121、122、123、124)に接続される。これにより、対向する電極同士が同じ電位になる。
この構成によれば、樹脂製のハウジング13の部分が、等電位線の間隔のせまい部分(電界集中部)になり、空間12で低電界となる。したがって、高い絶縁破壊電界特性を有する樹脂によって、加速管構造の高電位部とハウジング13の接地電位との間の空間に放電が起きることを防ぐことができる。しかも、樹脂は、真空やガスや液体に比べ、一般に絶縁破壊電界の高い物質であるから、真空や絶縁性ガス、絶縁性液体で絶縁を行う場合と比べ、ハウジング13と加速管構造との間の距離を短くしつつ、大きな電位差を安定に保持することができる。このように、ハウジング13と加速管構造との間の距離を短くできるため、電子銃1のさらなる小型化、軽量化、価格の低廉化が可能となる。また、ハウジング13は、加速管構造の周囲から容易に取り外すことができ、また再度、加速管構造の周囲に取り付けることも可能である。したがって、電子銃内部のメンテナンスなどを容易に行うことが可能となる。
この構成によれば、対向する全ての電極同士を接続手段などで電気的に接続することなく、互いに対向する電極同士が同電位になる。これにより、樹脂製のハウジング13の部分が、等電位線の間隔のせまい部分(電界集中部)になり、空間12で低電界となる。したがって、高い絶縁破壊電界特性を有する樹脂によって、加速管構造の高電位部とハウジング13の接地電位との間の空間に放電が起きることを防ぐことができる。しかも、樹脂は、真空やガスや液体に比べ、一般に絶縁破壊電界の高い物質であるから、絶縁性ガスや絶縁性液体で絶縁を行う場合と比べ、全体の構造を小さくすることができる。
この構成によれば、発生する高電圧による高電界が、樹脂製のハウジング83内に発生するので、高電圧発生装置8における高電位部とハウジング83の接地電位との間の空間に放電が起きることを防ぐことができる。また、樹脂は、真空やガスや液体に比べ、一般に絶縁破壊電界の高い物質であるから、絶縁性ガスや絶縁性液体で絶縁を行う場合と比べ、全体の構造を小さくすることができる。さらに、従来では、高電圧発生装置では、絶縁性ガスや絶縁性液体などを使用しているために、故障などした場合には高電圧発生装置を処分していたが、樹脂性のハウジング83を設けることによって、高電圧発生装置の分解や内部のメンテナンスが可能になる。
また、本発明は、高電位部分と接地電位となる部分との間に電極と絶縁部材からなる積層構造を備える高電位装置にも適用することができる。それら積層構造となった中間電極が、装置の高電位部と接地電位との中間の電位を持つような装置に対して、上述したハウジング内電極を備えた樹脂ハウジングと同様の構造を適用することができる。これにより、絶縁性ガス等を使用しない、または使用量を減らすことができる高電位装置を得ることができる。
2 電子光学系
3 試料ホルダ
4 検出器
5 電源部
6 計測部
7 制御装置
8 高電圧発生装置
10 電子線
11 電子源
13 ハウジング
14 加速管
15 真空排気装置
21 真空排気装置
31 試料
51 電源
110 ハウジング内陰極(第2の電極)
111〜114 ハウジング内電極(第2の電極)
120 陰極(第1の電極)
121〜124 電極(第1の電極)
125 陽極(第1の電極)
140〜144 抵抗器
150〜154 接続手段
81 高圧ケーブル
82 コネクタ
83 ハウジング
88 コッククロフト・ウォルトン回路
89 回路部分
860 電極
868 接地電極
881 コンデンサ
882 ダイオード
Claims (15)
- 荷電粒子源と、
前記荷電粒子源からの荷電粒子の照射方向に沿って配置された複数の第1の電極と、
前記第1の電極間に配置された複数の絶縁部材と、
前記複数の第1の電極の周囲に設けられたハウジングと、
を備え、
前記ハウジングが、絶縁性の固体材料で形成され、
前記ハウジングが、前記複数の第1の電極に対して近接した位置に配置された複数の第2の電極を備え、
前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極に電気的に接続されて、前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極の電位と同じ電位になることを特徴とする荷電粒子ビーム発生装置。 - 荷電粒子源と、
前記荷電粒子源からの荷電粒子の照射方向に沿って配置された複数の第1の電極と、
前記第1の電極間に配置された複数の絶縁部材と、
前記複数の第1の電極の周囲に設けられたハウジングと、
を備え、
前記ハウジングが、絶縁性の固体材料で形成され、
前記ハウジングが、前記複数の第1の電極に対して近接した位置に配置された複数の第2の電極を備え、
接地電位に対して最も電位差が大きい位置にある第1の電極と、当該第1の電極に近接する第2の電極とが、電気的に接続され、前記複数の第2の電極間が、複数の抵抗器によって接続されて、前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極の電位と同じ電位になることを特徴とする荷電粒子ビーム発生装置。 - 荷電粒子源と、
前記荷電粒子源からの荷電粒子の照射方向に沿って配置された複数の第1の電極と、
前記第1の電極間に配置された複数の絶縁部材と、
前記複数の第1の電極の周囲に設けられたハウジングと、
を備え、
前記ハウジングが、絶縁性の固体材料で形成され、
前記ハウジングが、前記複数の第1の電極に対して近接した位置に配置された複数の第2の電極を備え、
前記複数の第1の電極のいくつかと、当該第1の電極に近接する第2の電極のいくつかとが、各々、電気的に接続され、前記第1の電極と接続されていない前記複数の第2の電極間が、複数の抵抗器によって接続されて、前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極の電位と同じ電位になることを特徴とする荷電粒子ビーム発生装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム発生装置において、
前記ハウジングの接地電位面と前記第2の電極との間が、前記絶縁性の固体材料によって満たされていることを特徴とする荷電粒子ビーム発生装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム発生装置において、
前記複数の第2の電極の各々は、前記荷電粒子の照射方向に対して直交方向に、前記第1の電極と対向する位置に設けられていることを特徴とする荷電粒子ビーム発生装置。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム発生装置を備える荷電粒子線装置。
- 接地電位面上に積層された複数の第1の電極と、
前記第1の電極間に配置された複数の絶縁部材と、
前記複数の第1の電極の周囲に設けられたハウジングと、
を備え、
前記ハウジングが、絶縁性の固体材料で形成され、
前記ハウジングが、前記複数の第1の電極に対して近接した位置に配置された複数の第2の電極を備え、
前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極に電気的に接続されて、前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極の電位と同じ電位になることを特徴とする高電圧発生装置。 - 接地電位面上に積層された複数の第1の電極と、
前記第1の電極間に配置された複数の絶縁部材と、
前記複数の第1の電極の周囲に設けられたハウジングと、
を備え、
前記ハウジングが、絶縁性の固体材料で形成され、
前記ハウジングが、前記複数の第1の電極に対して近接した位置に配置された複数の第2の電極を備え、
前記接地電位面に対して最も電位差が大きい位置にある第1の電極と、当該第1の電極に近接する第2の電極とが、電気的に接続され、前記複数の第2の電極間が、複数の抵抗器によって接続されて、前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極の電位と同じ電位になることを特徴とする高電圧発生装置。 - 接地電位面上に積層された複数の第1の電極と、
前記第1の電極間に配置された複数の絶縁部材と、
前記複数の第1の電極の周囲に設けられたハウジングと、
を備え、
前記ハウジングが、絶縁性の固体材料で形成され、
前記ハウジングが、前記複数の第1の電極に対して近接した位置に配置された複数の第2の電極を備え、
前記複数の第1の電極のいくつかと、当該第1の電極に近接する第2の電極のいくつかとが、各々、電気的に接続され、前記第1の電極と接続されていない前記複数の第2の電極間が、複数の抵抗器によって接続されて、前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極の電位と同じ電位になることを特徴とする高電圧発生装置。 - 請求項7から9のいずれか一項に記載の高電圧発生装置において、
前記ハウジングの接地電位面と前記第2の電極との間が、前記絶縁性の固体材料によって満たされていることを特徴とする高電圧発生装置。 - 請求項7から10のいずれか一項に記載の高電圧発生装置において、
前記複数の第2の電極の各々は、前記第1の電極の積層方向に対して直交方向に、前記第1の電極と対向する位置に設けられていることを特徴とする高電圧発生装置。 - 請求項7から11のいずれか一項に記載の高電圧発生装置を備える荷電粒子線装置。
- 高電位が生じる高電位部と、
前記高電位部と接地電位面との間に配置された少なくとも1つの第1の電極と、
前記高電位部および前記第1の電極の周囲に設けられたハウジングと、
を備え、
前記ハウジングが、絶縁性の固体材料で形成され、
前記ハウジングが、前記接地電位面から前記高電位部に至るまでの所定の電位間隔に対応して配置された複数の第2の電極を備え、
前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極に電気的に接続されて、前記複数の第2の電極の各々が、前記所定の電位間隔における各電位と同じ電位になることを特徴とする高電位装置。 - 高電位が生じる高電位部と、
前記高電位部と接地電位面との間に配置された少なくとも1つの第1の電極と、
前記高電位部および前記第1の電極の周囲に設けられたハウジングと、
を備え、
前記ハウジングが、絶縁性の固体材料で形成され、
前記ハウジングが、前記接地電位面から前記高電位部に至るまでの所定の電位間隔に対応して配置された複数の第2の電極を備え、
前記接地電位面に対して最も電位差が大きい位置にある第1の電極と、当該第1の電極に近接する第2の電極とが、電気的に接続され、前記複数の第2の電極間が、複数の抵抗器によって接続されて、前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極の電位と同じ電位になることを特徴とする高電位装置。 - 高電位が生じる高電位部と、
前記高電位部と接地電位面との間に配置された少なくとも1つの第1の電極と、
前記高電位部および前記第1の電極の周囲に設けられたハウジングと、
を備え、
前記ハウジングが、絶縁性の固体材料で形成され、
前記ハウジングが、前記接地電位面から前記高電位部に至るまでの所定の電位間隔に対応して配置された複数の第2の電極を備え、
前記複数の第1の電極のいくつかと、当該第1の電極に近接する第2の電極のいくつかとが、各々、電気的に接続され、前記第1の電極と接続されていない前記複数の第2の電極間が、複数の抵抗器によって接続されて、前記複数の第2の電極の各々が、近接する前記第1の電極の電位と同じ電位になることを特徴とする高電位装置。
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