JP5947647B2 - プローブカード、及び検査装置 - Google Patents
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Description
11 配線
12 パッド
13 テスタランド
14 スティフナ
15 パッド
20 接続体
21 接続ピン
22 ホルダ
22a 貫通穴
22b 貫通穴
23 実装空間
30 プローブ基板
31 プローブ
32 配線
33 パッド
34 パッド
40 リレースイッチ
41 第1コンデンサ
42 第2コンデンサ
43 第3コンデンサ
50 デバイス
51 電極
Claims (6)
- 検査対象物の複数の電極に接触する複数のプローブと、
前記複数のプローブが設けられたプローブ基板と、
前記プローブ基板の前記プローブが設けられた面と反対側の面に対向して配置された配線基板と、
前記プローブ基板の配線と前記配線基板の配線とを電気的に接続する複数の接続ピンと、前記プローブ基板と前記配線基板との間に前記接続ピンを保持するためのピン用貫通穴が複数設けられているホルダと、を有する接続体と、
前記配線基板の前記プローブ基板側の面に実装され、前記ホルダに設けられた貫通穴又は凹部によって形成された実装空間に配置された第1の電子部品と、
前記第1の電子部品と対向する位置において、前記プローブ基板の前記配線基板側の面に実装された第2の電子部品と、を備えたプローブカード。 - 前記第1の電子部品が前記検査対象物への電源供給を遮断するリレースイッチである請求項1に記載のプローブカード。
- 前記配線基板の前記プローブ基板と反対側の面には、第1のコンデンサが設けられ、
前記第2の電子部品が、前記第1のコンデンサよりも容量が小さい第2のコンデンサであり、
前記プローブ基板の前記プローブが設けられた面には、前記第2のコンデンサよりも容量が小さい第3のコンデンサが設けられている請求項1、又は2に記載のプローブカード。 - 一つの前記第1のコンデンサが複数の前記第1の電子部品に接続されている請求項3に記載のプローブカード。
- 平面視において、前記ピン用貫通穴は、前記実装空間を囲むように設けられている請求項1〜4のいずれか1項に記載のプローブカード。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローブカードと、
前記プローブカードに電源を供給するテスタと、を備えた検査装置。
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