TWI690709B - 探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備 - Google Patents

探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備 Download PDF

Info

Publication number
TWI690709B
TWI690709B TW107128484A TW107128484A TWI690709B TW I690709 B TWI690709 B TW I690709B TW 107128484 A TW107128484 A TW 107128484A TW 107128484 A TW107128484 A TW 107128484A TW I690709 B TWI690709 B TW I690709B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
probe
long slot
patent application
item
pin body
Prior art date
Application number
TW107128484A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202009490A (zh
Inventor
黃清泰
林芳旭
Original Assignee
萬潤科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 萬潤科技股份有限公司 filed Critical 萬潤科技股份有限公司
Priority to TW107128484A priority Critical patent/TWI690709B/zh
Priority to CN201910404374.2A priority patent/CN110836985A/zh
Publication of TW202009490A publication Critical patent/TW202009490A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI690709B publication Critical patent/TWI690709B/zh

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716Elastic
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06705Apparatus for holding or moving single probes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716Elastic
    • G01R1/06722Spring-loaded
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07357Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本發明提供一種探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備,該探針模組包括:一罩殼,設有複數個滑槽,該複數個滑槽內各設有一銷體;複數支探針,各設有一第一長槽孔,該複數支探針可分別在對應之滑槽內滑移,該銷體可穿經該第一長槽孔;各探針之第一長槽孔內各設有一彈性件,其頂撐在該銷體與該第一長槽孔之一上端表面之間,使該第一長槽孔之一下端表面頂觸在該銷體下方。

Description

探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備
本發明係有關於一種探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備,尤指一種可對電子元件進行檢測之探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備。
按,一般電子元件由於具有不同的物理特性,故常需經由檢測、分類的程序來進行包裝或分類,專利號第M452344號「電子元件檢測裝置」已揭露一種用於進行高電壓、高電流與高頻率檢測之探針裝置,其探針構造設有一呈片狀之固定部、一呈條狀且較粗、短之針部與一連結在兩者之間呈片狀且較細、長之連結部;該針部設於該固定部之斜上方,該連結部由該固定部之頂部向上斜向延伸至針部之底部,使該連結部之下側緣與該固定部之上端緣間形成銳角之夾角,且該連結部之下側緣與該固定部之上端緣間形成一鏤空之緩衝區;在該針部與電子元件接觸進行檢測時,針部因承受了電子元件之重量而對傾斜之該連結部施加向下之壓力,使該連結部向下彎曲產生些微變形並蓄積彈性回復力而達到緩衝之效果。
習知探針裝置在對電子元件進行檢測時,係利用探針之連結部來達到緩衝之效果,但因電子元件之重量極為輕巧,故該連結部之下側緣不僅須與該固定部之上端緣形成銳角,且該連結部須有一定程度的長度方能確保電子元件之重量可使該連結部產生些微變形而達到緩衝之效果;此種探針構造之針部通常位於該固定部之斜上方,如此會造成探針構造之整體 水平寬度增加,又因電子元件通常極為微小,一顆電子元件又至少須同時以複數支探針進行檢測,故探針在探針裝置內之空間配置變得較為複雜,常令設計者煞費苦心的進行空間規畫,造成製造成本之增加;此外,此種探針構造通常為一體成型,該相同之連結部不能對應於不同重量之電子元件,故在對不同重量之電子元件進行檢測時,設計者亦須重新設計該連結部可承載之重量且操作者須配合更換不同之新探針構造,如此亦造成使用成本之增加。
爰是,本發明的目的,在於提供一種可減少成本之探針模組。
本發明的另一目的,在於提供一種可減少成本之探針裝置。
本發明的又一目的,在於提供一種可減少成本之電子元件檢測方法。
本發明的又另一目的,在於提供一種可減少成本之電子元件檢測設備。
依據本發明目的之探針模組,包括:一罩殼,設有複數個滑槽,該複數個滑槽內各設有一銷體;複數支探針,各設有一第一長槽孔,該複數支探針可分別在對應之滑槽內滑移,該銷體可穿經該第一長槽孔;各探針之第一長槽孔內各設有一彈性件,其頂撐在該銷體與該第一長槽孔之一上端表面之間,使該第一長槽孔之一下端表面頂觸在該銷體下方。
依據本發明另一目的之探針裝置,係使用如所述探針模組,包括:一座架,設有一移動區間與一驅動機構;一移動機構,設於該座架之該移動區間內,該移動機構設有一移動件與一支撐件;該移動機構可受該驅動機構驅動在該移動區間內上、下往復移動;該探針模組設於該支撐件上,可受該移動機構之連動而上、下往復移動。
依據本發明又一目的之電子元件檢測方法,係使用如所述探針裝置,包括:使複數支探針各在對應之滑槽內滑移,並各受滑槽內對應之彈性件頂撐;在電子元件受一間歇性旋轉之轉盤搬運至探針裝置上方時,移動機構受驅動模組驅動而連動探針模組位移;使複數支探針在接觸電子元件進行特性檢測時,複數支探針各在對應之滑槽內位移壓縮對應之彈性件。
依據本發明又另一目的之電子元件檢測設備,係使用如所述探針裝置,包括:一工作台面;一轉盤,設於該工作台面上,其周緣環列佈設等間距且設有朝外開口之容槽,電子元件在該容槽內以一間歇旋轉流路受該轉盤搬送;該探針裝置設於該工作台面之下方,用以對該容槽內之電子元件進行檢測。
本發明實施例之探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備,該探針在該探針模組內以其探針座在該滑槽內滑移,該探針裝置在驅動該探針模組位移使該探針接觸到電子元件時,該探針在該滑槽內可壓縮該彈性件以緩衝該探針接觸電子元件之壓力,不僅可取代習知之連結部,且在對不同重量之電子元件進行檢測時,僅須更換對應彈性係數之彈性件,不須重新設計並更換新的探針,可減少使用之成本;此外,該探針之針部件亦可獨立自該探針座拆換,在對不同種類(不同體積、不同位置之電極片…等)之電子元件進行檢測時,僅需要更換對應之針部件即可,不須重新設計並更換新的探針,亦可減少使用之成本。
A:探針
A1:探針座
A11:第一側面
A12:第二側面
A13:第三側面
A14:第四側面
A15:第一長槽孔
A151:上端表面
A152:下端表面
A16:第二長槽孔
A17:第一安裝面
A171:定位部
A18:第二安裝面
A2:針部件
A21:定位孔
A3:螺固件
A4:連接端子
A5:螺固件
B:探針模組
B1:罩殼
B11:外罩
B111:間隔部
B112:滑槽
B12:間隔件
B13:固定銷
B14:螺固件
B15:銷體
B151:抵靠面
B16:彈性件
C:探針裝置
C1:座架
C11:移動區間
C12:驅動機構
C121:電磁驅動器
C122:驅動件
C13:探針架
C131:探針孔座
C132:探針孔
C2:移動機構
C21:移動件
C22:連結件
C23:簧片
C24:彈性件
D:電子元件檢測設備
D1:工作台面
D11:鏤口
D2:轉盤
D21:容槽
W:電子元件
圖1係本發明實施例中探針之側面示意圖。
圖2係本發明實施例中探針之立體示意圖。
圖3係本發明實施例中探針模組之立體示意圖。
圖4係本發明實施例中探針模組之立體分解示意圖。
圖5係本發明實施例中圖3之A-A剖面示意圖。
圖6係本發明實施例中探針模組使用於探針裝置之示意圖。
圖7係本發明實施例中電子元件檢測設備之探針裝置與工作台面及轉盤之立體分解示意圖。
請參閱圖1、2,本發明實施例之探針A,設有包括:一探針座A1,呈長條狀且具有矩形截面,該探針座A1設有一第一側面A11、一第二側面A12、一第三側面A13與一第四側面A14,該第一側面A11與該第二側面A12相互平行,該第三側面A13與該第四側面A14相互平行,該第一側面A11、該第二側面A12與該第三側面A13、第四側面A14相互垂直;該探針座A1上開設有一貫通該第一側面A11與該第二側面A12之第一長槽孔A15,其下方另開設有開口方向相同之一貫通該第一側面A11與該第二側面A12之第二長槽孔A16,該第一長槽孔A15可作為限位之用,該第二長槽孔A16可作為減輕重量之用;該探針座A1於該第三側面A13之上端凹設有一第一安裝面A17,其上凸設有複數個定位部A171;該探針座A1於該第四側面A14之下端另一側設有一第二安裝面A18;一針部件A2,呈薄片狀,該針部件A2上開設有複數個定位孔A21,其對應該第一安裝面A17之定位部A171,該針部件A2可藉由一螺固件A3固定於該第一安裝面A17上,並可獨立地自該探針座A1拆換;一連接端子A4,呈薄片狀,該連接端子A4之一端可藉由一螺固件A5固定於該第二安裝面A18上,另一端可外接至一電性量測器(圖未示)。
請參閱圖3、4、5,本發明實施例之探針A係使用於如圖所示之探針模組B上,該探針模組B設有包括: 一罩殼B1,其設有兩個外罩B11與一片狀之間隔件B12,該外罩B11與該間隔件B12皆為絕緣材質;該外罩B11之內側設有以一片狀間隔部B111隔開之兩個在垂直方向相互平行之滑槽B112;該間隔件B12被夾設在兩個外罩B11之間並由兩個固定銷B13與四個螺固件B14穿經該外罩B11與該間隔件B12對應之銷孔與螺孔將兩者固定;各滑槽B112內皆設有一水平方向之銷體B15,其兩端可分別***該外罩B11與該間隔件B12對應之銷孔,使該銷體B15固定於該外罩B11與該間隔件B12之間;四支探針A,在兩相鄰之探針A具有鏡射之對稱特徵下以各探針座A1相互靠攏之方型矩陣方式排列;各探針A之探針座A1可在對應之滑槽B112內滑移,且各銷體B15穿經各探針座A1之第一長槽孔A15中,可限制該探針座A1之滑移範圍,防止該探針A移出該罩殼B1外;各銷體B15位於各第一長槽孔A15內之一端設有一水平之抵靠面B151,各第一長槽孔A15內設有一例如彈簧之彈性件B16抵撐在各銷體B15之抵靠面B151與各第一長槽孔A15之一上端表面A151之間;各探針A受各彈性件B16之頂撐,使各第一長槽孔A15之一下端表面A152頂觸在各銷體B15之下方,使各探針A皆被限制能維持在同一水平高度上;該探針A設有該針部件A2與該連接端子A4之上、下兩端皆顯露出罩殼B1外;各探針A之間以該間隔件B12與該間隔部B111相隔使各探針A不會因接觸而導致檢測失誤。
請參閱圖5、6,本發明實施例之探針模組B係使用於如圖所示之探針裝置C上,該探針裝置C設有包括:一座架C1,設有一移動區間C11與一驅動機構C12,該移動區間C11設於該驅動機構C12之上方;該座架C1上方設有一探針架C13,其設有一探針孔座C131,該探針孔座C131上設有對應該探針A數量之方型矩陣排列之探針孔C132;各探針A之針部件A2可伸經該探針孔座C131,以觸抵電子元件W進行作檢測; 一移動機構C2,設於該座架C1之該移動區間C11內,該移動機構C2設有一移動件C21與一連結件C22;該移動件C21可受該驅動機構C12之驅動在該移動區間C11內上、下往復移動,該連結件C22連結於該移動件C21與該探針模組B之間,使該探針模組B可受該移動機構C2之連動;該移動件C21之上、下兩端分別與兩個簧片C23之一端相連,該兩簧片C23之另一端固設該移動區間C11一側,且該位於下方之簧片C23上開設有一鏤孔(圖未示);該驅動機構C12設有一電磁驅動器C121與一受該電磁驅動器C121驅動之驅動件C122,該驅動件C122可穿經該下方簧片C23之鏤孔頂觸該移動件C21之下方,該移動件C21另受一例如彈簧之彈性件C24由上而下壓抵,該驅動機構C12藉由電磁驅動器C121的電磁吸附與鬆放,配合該簧片C23與該彈性件C24之回復作用力,使該探針模組B受該移動機構C2之連動而作上、下往復位移。
請參閱圖7,本發明實施例之探針裝置C係使用於如圖所示之電子元件檢測設備D上,該電子元件檢測設備D設有包括:一工作台面D1,呈水平設置,其上開設有一鏤口D11;一轉盤D2,設於該工作台面D1上,其周緣環列佈設等間距且設有朝外開口之容槽D21,該電子元件W在該容槽D21內以一間歇旋轉流路受轉盤D2搬送;該探針裝置C設於工作台面D1之下方,用以對容槽D21內之電子元件W進行物理特性檢測,探針裝置C之探針架C13可伸入鏤口D11中使探針孔座C131約略與工作台面D1之上表面貼齊在同一水平。
本發明實施例之電子元件檢測方法在實施上,四支探針A以方型矩陣方式排列使各探針A之探針座A1可在對應之各滑槽B112內滑移,在各滑槽B112內滑移之各探針A,其受抵撐於各銷體B15與各第一長槽孔A15之上端表面A151間之彈性件B16頂撐;在電子元件W受一間歇性旋轉之轉盤D2搬運 至探針裝置C上方時,移動機構C2受驅動機構C12驅動而連動探針模組B向上位移;使各探針A在其針部件A2上端頂觸該容槽D21內之電子元件W底部之電極片進行物理特性檢測時,各探針A會因電子元件W之重量而以其探針座A1在對應之滑槽B112內向下位移壓縮對應之彈性件B16以達緩衝之效果。
本發明實施例之探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備,該探針A在該探針模組B內以其探針座A1在該滑槽B112內滑移,該探針裝置C在驅動該探針模組B位移使該探針A接觸到電子元件W時,該探針A在該滑槽B112內可壓縮該彈性件B16以緩衝該探針A接觸電子元件W之壓力,不僅可取代習知之連結部,且在對不同重量之電子元件W進行檢測時,僅須更換對應彈性係數之彈性件B16,不須重新設計並更換新的探針A,可減少使用之成本;此外,該探針A之針部件A2亦可獨立自該探針座A1拆換,在對不同種類(不同體積、不同位置之電極片…等)之電子元件W進行檢測時,僅需要更換對應之針部件A2即可,不須重新設計並更換新的探針A,亦可減少使用之成本。
惟以上所述者,僅為本發明之較佳實施例而已,當不能以此限定本發明實施之範圍,即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
A15:第一長槽孔
B11:外罩
B111:間隔部
B112:滑槽
B12:間隔件
B13:固定銷
B14:螺固件
B15:銷體
B151:抵靠面
B16:彈性件

Claims (13)

  1. 一種探針模組,包括:一罩殼,設有複數個滑槽,該複數個滑槽內各設有一銷體;複數支探針,各設有一第一長槽孔,該複數支探針可分別在對應之滑槽內滑移,該銷體可穿經該第一長槽孔;各探針之第一長槽孔內各設有一彈性件,其頂撐在該銷體與該第一長槽孔之一上端表面之間,使該第一長槽孔之一下端表面頂觸在該銷體下方。
  2. 如申請專利範圍第1項所述探針模組,其中,該探針設有一探針座與一針部件,該第一長槽孔設於該探針座上,該探針座呈長條狀且具有矩形截面,該針部件呈薄片狀。
  3. 如申請專利範圍第2項所述探針模組,其中,該探針座上設有一第二長槽孔於該第一長槽孔之下方。
  4. 如申請專利範圍第3項所述探針模組,其中,該第一長槽孔與該第二長槽孔之開口方向相同。
  5. 如申請專利範圍第2項所述探針模組,其中,該探針座之上端一側設有一第一安裝面,可供該針部件固定於其上;該探針座之下端另一側設有一第二安裝面,可供一連接端子固定於其上。
  6. 如申請專利範圍第5項所述探針模組,其中,該第一安裝面上凸設有複數個定位部,該針部件上開設有複數個定位孔,其對應該複數個定位部。
  7. 如申請專利範圍第5項所述探針模組,其中,該第一長槽孔貫通該探針座之一第一側面與一第二側面;該第一安裝面設於該探針座之一第三側面上端,該第二安裝面設於該探針座之一第四側面下端;該第一側面、該第二側面與該第三側面、第四側面相互垂直。
  8. 如申請專利範圍第5項所述探針模組,其中,該針部件與該連接端子皆顯露出該罩殼外。
  9. 如申請專利範圍第1項所述探針模組,其中,該罩殼設有兩個外罩與一片狀之間隔件;該外罩之內側設有以一片狀間隔部隔開之兩個相互平行之滑槽;該間隔件被夾設在兩個外罩之間;該銷體兩端分別***該外罩與該間隔件對應之銷孔,使該銷體固定於該外罩與該間隔件之間。
  10. 如申請專利範圍第1項所述探針模組,其中,該銷體位於該第一長槽孔內之一端設有一水平之抵靠面,該彈性件抵撐在該銷體之抵靠面與該第一長槽孔之上端表面之間。
  11. 一種探針裝置,係使用如申請專利範圍第1至10項任一項所述探針模組,包括:一座架,設有一移動區間與一驅動機構;一移動機構,設於該座架之該移動區間內,該移動機構設有一移動件與一支撐件;該移動機構可受該驅動機構驅動在該移動區間內上、下往復移動;該探針模組設於該支撐件上,可受該移動機構之連動而上、下往復移動。
  12. 一種電子元件檢測方法,係使用如申請專利範圍第11項所述探針裝置,包括:使複數支探針各在對應之滑槽內滑移,並各受滑槽內對應之彈性件頂撐;在電子元件受一間歇性旋轉之轉盤搬運至探針裝置上方時,移動機構受驅動模組驅動而連動探針模組位移;使複數支探針在接觸電子元件進行特性檢測時,複數支探針各在對應之滑槽內位移壓縮對應之彈性件。
  13. 一種電子元件檢測設備,係使用如申請專利範圍第11項所述探針裝置,包括: 一工作台面;一轉盤,設於該工作台面上,其周緣環列佈設等間距且設有朝外開口之容槽,電子元件在該容槽內以一間歇旋轉流路受該轉盤搬送;該探針裝置設於該工作台面之下方,用以對該容槽內之電子元件進行檢測。
TW107128484A 2018-08-15 2018-08-15 探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備 TWI690709B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW107128484A TWI690709B (zh) 2018-08-15 2018-08-15 探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備
CN201910404374.2A CN110836985A (zh) 2018-08-15 2019-05-15 探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW107128484A TWI690709B (zh) 2018-08-15 2018-08-15 探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202009490A TW202009490A (zh) 2020-03-01
TWI690709B true TWI690709B (zh) 2020-04-11

Family

ID=69574491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW107128484A TWI690709B (zh) 2018-08-15 2018-08-15 探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN110836985A (zh)
TW (1) TWI690709B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI725821B (zh) * 2020-04-20 2021-04-21 躍澐科技股份有限公司 測試探針座結構
CN114966142B (zh) * 2022-06-13 2023-01-31 法特迪精密科技(苏州)有限公司 一种电磁驱动旋转探针及固定插座的匹配方法
TWI835267B (zh) * 2022-08-29 2024-03-11 中國探針股份有限公司 高頻訊號測試用探針裝置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM452344U (zh) * 2012-12-13 2013-05-01 Shin Yo Feng Precise Technology Corp Ltd 電子元件檢測裝置
CN204116399U (zh) * 2014-09-17 2015-01-21 大族激光科技产业集团股份有限公司 飞针测试装置及其测试探针
CN105190321A (zh) * 2013-08-21 2015-12-23 欧姆龙株式会社 探针及使用探针的电子设备
EP2646839B1 (en) * 2010-12-03 2017-08-16 Ardent Concepts, Inc. Compliant electrical contact and assembly

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5947647B2 (ja) * 2012-07-25 2016-07-06 株式会社日本マイクロニクス プローブカード、及び検査装置
KR101451319B1 (ko) * 2012-11-26 2014-10-15 (주)에이치엔티 전지 충방전용 프로브
TWM487436U (zh) * 2014-06-11 2014-10-01 Taitien Electronics Co Ltd 電子元件檢測裝置及其治具
JP6269337B2 (ja) * 2014-06-16 2018-01-31 オムロン株式会社 プローブピン、および、これを用いた電子デバイス
TWI595240B (zh) * 2016-02-04 2017-08-11 All Ring Tech Co Ltd Probe fixing guide structure for electronic component inspection device
CN206178060U (zh) * 2016-10-27 2017-05-17 东莞市众宏通智能卡有限公司 智能卡芯片测试机

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2646839B1 (en) * 2010-12-03 2017-08-16 Ardent Concepts, Inc. Compliant electrical contact and assembly
TWM452344U (zh) * 2012-12-13 2013-05-01 Shin Yo Feng Precise Technology Corp Ltd 電子元件檢測裝置
CN105190321A (zh) * 2013-08-21 2015-12-23 欧姆龙株式会社 探针及使用探针的电子设备
CN204116399U (zh) * 2014-09-17 2015-01-21 大族激光科技产业集团股份有限公司 飞针测试装置及其测试探针

Also Published As

Publication number Publication date
TW202009490A (zh) 2020-03-01
CN110836985A (zh) 2020-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI690709B (zh) 探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備
KR101860659B1 (ko) 프로브 핀, 및, 이것을 이용한 전자 디바이스
KR101958351B1 (ko) 검사프로브 및 이를 사용한 검사장치
US4866374A (en) Contactor assembly for testing integrated circuits
TWI464420B (zh) 電容測試夾具及具有該電容測試夾具之電容測試裝置
KR101176776B1 (ko) 자체-세척 하향 접촉부
CN203012063U (zh) 一种用于批量电子元器件测试的测试板
TWI223088B (en) Membrane probing system
US10113246B2 (en) Substrate holder, plating apparatus, and plating method
TWM517858U (zh) 可攜式電子裝置及其小型化充電式電容觸控筆
WO2016155438A1 (zh) 电子检测装置
US3906363A (en) Circuit board continuity testing device
TW201905953A (zh) 鍵盤裝置以及電子設備
TWI645194B (zh) 探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備
US20170205442A1 (en) Semiconductor device inspection apparatus and semiconductor device inspection method
CN102483375A (zh) 具有变换器刚性元件的分析装置
TWI606370B (zh) 可攜式電子裝置及其小型化充電式電容觸控筆
KR920004852A (ko) Ic 검사장치
US8524168B2 (en) Holding device for medical test strip
JP3343541B2 (ja) プローブカード
CN103907024B (zh) 用于流体测试条的盒和计量装置
JP6740896B2 (ja) 電子天秤
US11867753B2 (en) Probe assembly and micro vacuum probe station comprising same
US20130169299A1 (en) Positioning device for testing resistance of camera module
JP5734783B2 (ja) 静電容量式タッチパネルの検査・評価装置