JP5940640B2 - Transport robot with 8 robot arms - Google Patents

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Description

本出願において開示される技術は、８ロボットアームを備えた搬送ロボットに関するもので、特に、８ロボットアームの個別駆動が可能であり、一定のピッチ単位で上下積載される搬送物（基板又はウェハなど）の同時積載及び取り出しが可能な８ロボットアームを備えた搬送ロボットに関する。   The technology disclosed in the present application relates to a transfer robot provided with 8 robot arms, and in particular, the 8 robot arms can be individually driven, and a transfer object (a substrate, a wafer, or the like) that is vertically stacked at a constant pitch unit. ) Is a transfer robot provided with 8 robot arms capable of simultaneous loading and unloading.

半導体装置や液晶表示装置等の製造工程においては、半導体ウェハや液晶表示装置用ガラス基板等の基板に対して引き込み及び取り出し過程が行われる。   In the manufacturing process of a semiconductor device, a liquid crystal display device and the like, a drawing process and a taking-out process are performed on a substrate such as a semiconductor wafer or a glass substrate for a liquid crystal display device.

基板処理装置（搬送ロボット）は、ダブルアームロボット、多数個のアームで構成された搬送ロボット等が開発されて使用されており、複数のキャリアを保持するキャリア保持部と、基板を処理する基板処理部と、キャリア保持部と基板処理部との間で上下に積層された反転ユニットと、各反転ユニットとキャリア保持部との間で基板を搬送するインデクサロボットと、各反転ユニットと基板処理部との間で基板を搬送するメイン搬送ロボットと、を備えるのが一般的である。   The substrate processing apparatus (transfer robot) has been developed and used as a double arm robot, a transfer robot composed of a large number of arms, and a substrate holding unit that holds a plurality of carriers and a substrate process that processes a substrate. A reversing unit that is vertically stacked between the carrier holding unit and the substrate processing unit, an indexer robot that transports a substrate between each reversing unit and the carrier holding unit, each reversing unit and the substrate processing unit, And a main transfer robot that transfers the substrate between the two.

このような搬送ロボットは、根本的に、ウェハ、基板又は搬送物の移送をさらに効率的に行うためのものであり、これで工程のタックタイム（Ｔａｃｋ Ｔｉｍｅ）を減らして工程効率を高めることができる方向に開発が成されることになる。   Such a transfer robot is basically for more efficiently transferring a wafer, a substrate or a transfer object, and this can reduce the process time and increase the process efficiency. Development will be done in the direction that can be done.

一つの基板を搬送するための一つのアームを有する搬送ロボットからダブルアームを備えた搬送ロボットが開発され、ダブルアームの構造を改善してさらに効率的な工程を目的として、大韓民国公開特許公報１０−２００８−００４７２０５号（基板移載ロボット）（特許文献１）及び大韓民国公開特許公報１０−２０１２−０００７４４９号（基板処理装置及び基板搬送方法）（特許文献２）が開示されている。   A transfer robot having a double arm has been developed from a transfer robot having a single arm for transferring a single substrate. For the purpose of improving the structure of the double arm and making the process more efficient, Korean Patent Application Publication No. 10- No. 2008-0047205 (substrate transfer robot) (Patent Document 1) and Korean Patent Application Publication No. 10-2012-0007449 (Substrate Processing Apparatus and Substrate Transfer Method) (Patent Document 2) are disclosed.

特許文献１は、独立的回転移動及び同時的上下移動が可能な多数のアームを備え、効率的な基板移載を達成できる基板移載ロボットが開示されている。   Patent Document 1 discloses a substrate transfer robot that includes a large number of arms capable of independent rotational movement and simultaneous vertical movement and can achieve efficient substrate transfer.

特許文献１は、東西南北の４方向に設置され位置された搬送物をそれぞれの方向から搬送可能な構造という点で利得があるが、東西南北の４方向に独立的に動作するので、インライン工程や一方向に進められる工程では、使用するのに不適合な短所を有している。   Although patent document 1 has a gain in the structure which can convey the conveyance thing installed and located in four directions of east, west, south, and north, since it operate | moves independently in four directions of east, west, north, and south, it is an in-line process. However, the process that is advanced in one direction has disadvantages that are not suitable for use.

特許文献２は、基板処理装置のスループット（ｔｈｒｏｕｇｈｐｕｔ、単位時間当たりの基板の処理枚数）を増加させて、インデクサロボット及びメイン搬送ロボットの待機時間を短縮するための搬送ロボットを提供する。   Patent Document 2 provides a transfer robot for increasing the throughput of the substrate processing apparatus (throughput, the number of substrates processed per unit time) and reducing the waiting time of the indexer robot and the main transfer robot.

特許文献２は、工程時間を短縮する長所を有しているが、一つのアームに多数のハンドが取り付けられた構造なので同時駆動をしなければならない短所を有し、多数のハンド構造により一定間隔で位置した場合にだけ多数の搬送物の搬送が可能であるという短所を有している。   Patent Document 2 has an advantage of shortening the process time, but has a disadvantage that a plurality of hands are attached to one arm, so that it must be driven simultaneously. It is disadvantageous in that a large number of transported objects can be transported only when they are positioned at.

大韓民国公開特許公報１０−２００８−００４７２０５号Korean Published Patent Publication No. 10-2008-0047205 大韓民国公開特許公報１０−２０１２−０００７４４９号Korean Published Patent Publication No. 10-2012-0007449

本発明の様々な実施形態では、同じ水平方向の直線運動で搬送物の同時又は個別的な搬送が可能な８ロボットアームを備えた搬送ロボットを提供する。   Various embodiments of the present invention provide a transfer robot with eight robot arms that can simultaneously or individually transfer a transfer object with the same horizontal linear motion.

また、本発明の様々な実施形態では、インライン（Ｉｎ−Ｌｉｎｅ）工程及び一方向に連続する工程において、搬送物を１個〜８個の同時移送で迅速な工程の流れを誘導し、工程時間を短縮して工程効率を高めることができる８ロボットアームを備えた搬送ロボットを提供する。   Further, in various embodiments of the present invention, in an in-line process and a process continuous in one direction, a rapid process flow is induced by simultaneous transfer of 1 to 8 conveyed items, and a process time It is possible to provide a transfer robot equipped with 8 robot arms that can shorten the process time and increase the process efficiency.

上述した課題を解決するための本発明の一態様による８ロボットアームを備えた搬送ロボットは、アームユニットが、上下直線運動が可能なように結合するポストと、前記アームユニットは、前記ポスト両側面の上下に結合する第１〜第４ロボットアーム組からなり、前記第１〜第４ロボットアーム組は、２つのロボットアームが水平に結合して一組からなり、第１〜第８ロボットアームからなる。   In order to solve the above-described problem, a transfer robot including an eight-arm robot according to an aspect of the present invention includes a post in which an arm unit is coupled so as to be able to perform vertical linear motion, and the arm unit includes both sides of the post. The first to fourth robot arm groups are coupled to each other in the vertical direction, and the first to fourth robot arm groups are composed of a pair of two robot arms coupled horizontally. Become.

ここで、前記第１〜第８ロボットアームのうち、外側に配列されたロボットアームの外側面には、スライディング可能なようにスライダーが装着され、内側に配列されたロボットアームの内側面には、スライディング可能なようにスライダーが装着されてもよい。   Here, among the first to eighth robot arms, a slider is mounted on the outer surface of the robot arm arranged on the outside so as to be slidable, and on the inner surface of the robot arm arranged on the inner side, A slider may be attached so that sliding is possible.

ここで、前記スライダーと直角方向にブリッジが連結されてもよい。   Here, a bridge may be connected in a direction perpendicular to the slider.

ここで、前記ブリッジと直角方向にロボットハンドが装着されてもよい。   Here, a robot hand may be attached in a direction perpendicular to the bridge.

ここで、前記第１及び第２ロボットアーム組は下側に、前記第３及び第４ロボットアーム組は上側に配列され、下側に配列された前記第１及び第２ロボットアーム組は、内側に第１及び第２ロボットアームが、外側に第３及び第４ロボットアームが配列され、上側に配列された前記第３及び第４ロボットアーム組は、内側に第７及び第８ロボットアームが、外側に第５及び第６ロボットアームが配列されてもよい。   Here, the first and second robot arm groups are arranged on the lower side, the third and fourth robot arm groups are arranged on the upper side, and the first and second robot arm groups arranged on the lower side are arranged on the inner side. The first and second robot arms are arranged on the outside, the third and fourth robot arms are arranged on the outer side, and the third and fourth robot arm groups arranged on the upper side are the seventh and eighth robot arms on the inner side. The fifth and sixth robot arms may be arranged outside.

ここで、前記ポストの下端部は、３６０度回転が可能な回転ベースの一側端に連結され、前記第１〜第８ロボットアームには、それぞれ第１〜第８ロボットハンドが装着され、前記第１〜第８ロボットハンドの中心、前記回転ベースの回転軸及び前記ポストの中心は、一つの基準ラインに一直線上に配置されることが好ましい。   Here, the lower end of the post is connected to one end of a rotation base capable of rotating 360 degrees, and the first to eighth robot arms are respectively attached with the first to eighth robot hands, It is preferable that the centers of the first to eighth robot hands, the rotation axis of the rotation base, and the center of the post are arranged on a single reference line.

ここで、前記第１〜第８ロボットアームは、同時駆動、個別駆動又は２以上の選択駆動が可能である。   Here, the first to eighth robot arms can be simultaneously driven, individually driven, or two or more selective drives.

ここで、前記第１〜第８ロボットアームには、前後方作動が可能なようになったスライダーを介して第１〜第８ロボットハンドが装着され、前記第１〜第８ロボットハンドは、上下に配列されて上下間隔が同一であり、運動軌道が互いに同一なように具現することが好ましい。   Here, the first to eighth robot arms are mounted with the first to eighth robot hands via a slider that can be operated forward and backward, and the first to eighth robot hands are moved up and down. It is preferable that the vertical intervals are the same and the motion trajectories are the same.

上述した本発明の様々な実施形態によれば、同じ水平方向の直線運動で搬送物の同時又は個別的な搬送が可能であり、インライン（Ｉｎ−Ｌｉｎｅ）工程及び一方向に連続する工程において、搬送物を１個〜８個の同時移送で迅速な工程の流れを誘導し、工程時間を短縮して工程効率を高めることができるようになる。   According to the various embodiments of the present invention described above, it is possible to simultaneously or individually transport a transported object in the same horizontal linear motion, and in an in-line process and a process that is continuous in one direction, It is possible to induce a rapid process flow by simultaneously transferring 1 to 8 conveyed items, shorten the process time, and increase the process efficiency.

本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの斜視図である。It is a perspective view of the conveyance robot provided with 8 robot arms by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットのアームユニットの構造図である。FIG. 3 is a structural diagram of an arm unit of a transfer robot including 8 robot arms according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットを具現するための最適なアームの配列図である。FIG. 5 is an optimal arm arrangement diagram for realizing a transfer robot including eight robot arms according to an embodiment of the present invention; 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの平面図である。It is a top view of the conveyance robot provided with 8 robot arms by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの側面図である。It is a side view of the conveyance robot provided with 8 robot arms by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの８ロボットアームが収められた状態図である。It is a state figure in which 8 robot arms of a transfer robot provided with 8 robot arms by one embodiment of the present invention were stored. 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの第１ロボットアームが水平前進した状態図である。FIG. 5 is a state diagram in which a first robot arm of a transfer robot including eight robot arms according to an embodiment of the present invention is moved horizontally. 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの第４ロボットアームが水平前進した状態図である。FIG. 6 is a state diagram in which a fourth robot arm of a transfer robot having eight robot arms according to an embodiment of the present invention is moved horizontally. 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの第５ロボットアームが水平前進した状態図である。FIG. 10 is a state diagram in which the fifth robot arm of the transfer robot including the eight robot arms according to the embodiment of the present invention has advanced horizontally. 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの第８ロボットアームが水平前進した状態図である。FIG. 10 is a state diagram in which the eighth robot arm of the transfer robot including the eight robot arms according to the embodiment of the present invention has advanced horizontally. 本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの８ロボットアーム全体が水平前進した状態図である。FIG. 6 is a state diagram in which the entire eight robot arms of the transfer robot including the eight robot arms according to the embodiment of the present invention are moved forward horizontally.

以下、添付された図面を参照して、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの構造及び作用効果を説明する。   Hereinafter, with reference to the attached drawings, the structure and operational effects of a transfer robot including eight robot arms according to an embodiment of the present invention will be described.

図１は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの斜視図であり、図２は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットのアームユニットの構造図であり、図３は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットを具現するための最適なアームの配列図であり、図４は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの平面図であり、図５は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの側面図である。   FIG. 1 is a perspective view of a transfer robot having 8 robot arms according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a structural diagram of an arm unit of the transfer robot having 8 robot arms according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is an optimal arm arrangement diagram for realizing a transfer robot having eight robot arms according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an eight robot arm according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a side view of a transfer robot having 8 robot arms according to an embodiment of the present invention.

図１ないし図５に示されたように、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボット１００は、走行ベース１１０、走行スライダー１２０、回転ベース１３０、アップダウンポスト１４０、及びアームユニット２００を含んでなる。   As shown in FIGS. 1 to 5, the transfer robot 100 having 8 robot arms according to an embodiment of the present invention includes a travel base 110, a travel slider 120, a rotation base 130, an up / down post 140, and an arm unit. 200.

走行ベース１１０は、四角フレーム形態から成ってもよく、必要に応じて移動が容易なようにキャスターが装着されてもよく、ロボットの作動時に流動性を防止するように多数個の固定装置が付着されてもよい。   The traveling base 110 may be in the form of a square frame, and may be equipped with casters so that it can be easily moved if necessary, and a large number of fixing devices are attached to prevent fluidity during operation of the robot. May be.

また、走行ベース１１０の内側には走行スライダー１２０が位置し、走行ベース１１０の両内側には走行スライダー１２０の水平移動のためのレールが形成されてもよい。   Further, the traveling slider 120 may be positioned inside the traveling base 110, and rails for horizontally moving the traveling slider 120 may be formed on both inner sides of the traveling base 110.

走行スライダー１２０は、両側のレールと連結されて左右水平移動が可能なように構成され、中心上端には回転ベース１３０が連結され、回転ベース１３０の側面先端部にはアップダウンポスト１４０が形成されてもよい。   The travel slider 120 is connected to the rails on both sides so as to be horizontally movable. The rotation base 130 is connected to the upper end of the center, and the up / down post 140 is formed at the side end of the rotation base 130. May be.

回転ベース１３０は、回転軸１３０ａを基準として３６０度回転されてもよく、回転ベース１３０の３６０度回転に応じてアップダウンポスト１４０も同じく３６０度回転が可能になる。   The rotation base 130 may be rotated 360 degrees with respect to the rotation shaft 130a, and the up / down post 140 can also be rotated 360 degrees in accordance with the rotation of the rotation base 130 by 360 degrees.

回転ベース１３０は、回転軸１３０ａを基準として第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８を３６０度回転させ、アップダウンポスト１４０は第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８を上下アップダウン直線運動を可能にする。   The rotation base 130 rotates the first to eighth robot arms 211 to 218 360 degrees with respect to the rotation axis 130a, and the up / down post 140 allows the first to eighth robot arms 211 to 218 to move up and down linearly. To.

アップダウンポスト１４０の両側面にはレールが形成されてもよく、このレールの両側にはアームユニット２００が装着され、上下アップダウン直線運動をする。   Rails may be formed on both side surfaces of the up / down post 140, and arm units 200 are mounted on both sides of the rail to perform a vertical up / down linear motion.

図２及び図３を参照し、アームユニット２００の構造を詳しく見てみる。   The structure of the arm unit 200 will be described in detail with reference to FIGS.

アームユニット２００は、第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８、第１〜第８スライダー２５１〜２５８、第１〜第８ブリッジ２６１〜２６８、及び第１〜第８ロボットハンド２７１〜２７８を含んでなる。   The arm unit 200 includes first to eighth robot arms 211 to 218, first to eighth sliders 251 to 258, first to eighth bridges 261 to 268, and first to eighth robot hands 271 to 278. Become.

第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８は、上下左右の４分割の配列をなし、２つのロボットアームが一組ずつ水平に接して、それぞれ第１〜第４ロボットアーム組２１０〜２４０を成すようになり、また、下側の第１及び第２ロボットアーム組２１０、２２０は下側部ロボットアーム３１０を構成し、上側の第３及び第４ロボットアーム組２３０、２４０は上側部ロボットアーム３２０を構成する。   The first to eighth robot arms 211 to 218 are arranged in an upper, lower, left, and right four-part arrangement so that the two robot arms are in horizontal contact with each other to form the first to fourth robot arm groups 210 to 240, respectively. The lower first and second robot arm groups 210 and 220 constitute a lower robot arm 310, and the upper third and fourth robot arm groups 230 and 240 constitute an upper robot arm 320. Configure.

第１及び第３ロボットアーム組２１０、２３０は、アップダウンポスト１４０の左側面にスライディング可能に連結され、第２及び第４ロボットアーム組２２０、２４０は、アップダウンポスト１４０の右側面にスライディング可能に連結される。   The first and third robot arm sets 210 and 230 are slidably connected to the left side surface of the up / down post 140, and the second and fourth robot arm sets 220 and 240 can slide on the right side surface of the up / down post 140. Connected to

アップダウンポスト１４０を基準として第１及び第３ロボットアーム組２１０、２３０と第２及び第４ロボットアーム組２２０、２４０とが両サイドに配置されながら、その間にはロボットハンドの移動空間が設けられる。   The first and third robot arm groups 210 and 230 and the second and fourth robot arm groups 220 and 240 are arranged on both sides with the up / down post 140 as a reference, and a movement space for the robot hand is provided between them. .

第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８は、図３のように配列されてもよいが、下部の内側に第１ロボットアーム２１１と第２ロボットアーム２１２が位置し、下部の外側に第３ロボットアーム２１３と第４ロボットアーム２１４が位置し、上部の外側に第５ロボットアーム２１５と第６ロボットアーム２１６が位置し、上部の内側に第７ロボットアーム２１７と第８ロボットアーム２１８が位置してもよい。   The first to eighth robot arms 211 to 218 may be arranged as shown in FIG. 3, but the first robot arm 211 and the second robot arm 212 are located inside the lower part, and the third robot is located outside the lower part. The arm 213 and the fourth robot arm 214 are located, the fifth robot arm 215 and the sixth robot arm 216 are located outside the upper part, and the seventh robot arm 217 and the eighth robot arm 218 are located inside the upper part. Also good.

第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８は、同一の軌跡で出入りして、上下同一の離隔距離を有し、上下配列されて上下順次的配列を成すようになる。   The first to eighth robot arms 211 to 218 enter / exit along the same locus, have the same separation distance in the vertical direction, and are arranged vertically to form a vertical arrangement.

したがって、限定された空間において上下順次的配列を有するために、本発明の一実施形態においては、図３でのように、上下及び左右側４分割配列とともに内外側順序位置を選定し、出入りの際に互いに干渉がなく、同一間隔及び同一軌跡運動をするようにして、ワークパネルの搬送を同時に行えるようにする。   Therefore, in order to have a vertically arranged arrangement in a limited space, in one embodiment of the present invention, as shown in FIG. In this case, the work panels can be transported at the same time so that they do not interfere with each other and move at the same interval and the same trajectory.

内側に位置した第１、第２、第７、第８ロボットアーム２１１、２１２、２１７、２１８には、外側でスライディング可能なように第１、第２、第７、第８スライダー２５１、２５２、２５７、２５８が装着され、外側に位置した第３、第４、第５、第６ロボットアーム２１３、２１４、２１５、２１６には、内側でスライディング可能なように第３、第４、第５、第６スライダー２５３、２５４、２５５、２５６が装着される。   The first, second, seventh, and eighth robot arms 211, 212, 217, and 218 positioned on the inner side have first, second, seventh, and eighth sliders 251, 252, 257, 258 are mounted on the third, fourth, fifth, sixth robot arms 213, 214, 215, 216 located on the outside, so that the third, fourth, fifth, Sixth sliders 253, 254, 255, 256 are mounted.

第１〜第８スライダー２５１〜２５８は、走行ベース１１０と直角方向に前後直線運動するようになる。   The first to eighth sliders 251 to 258 move back and forth linearly in a direction perpendicular to the traveling base 110.

第１〜第８スライダー２５１〜２５８の先端部には、第１〜第８ブリッジ２６１〜２６８が垂直に装着され、第１〜第８ブリッジ２６１〜２６８の先端には、直角方向に第１〜第８ロボットハンド２７１〜２７８がそれぞれ装着される。   The first to eighth bridges 261 to 268 are vertically mounted on the distal ends of the first to eighth sliders 251 to 258, and the first to eighth bridges 261 to 268 are perpendicularly attached to the distal ends of the first to eighth bridges 261 to 268. The eighth robot hands 271 to 278 are respectively attached.

第１〜第８ロボットハンド２７１〜２７８それぞれは、互いに同一の間隔で上下配列され、それぞれのワークパネル１５０を搬送及び搬入させることができるエンドエフェクタの役割をする。   Each of the first to eighth robot hands 271 to 278 is arranged vertically at the same interval, and serves as an end effector capable of transporting and loading each work panel 150.

ワークパネル１５０は、図面上で、走行ベース１１０によって左右に水平往復移動が可能であり、回転ベース１３０によって３６０度回転移動が可能であり、アップダウンポスト１４０によって上下アップダウン移動が可能であり、第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８によって前後方向に位置移動が可能になる。   In the drawing, the work panel 150 can be horizontally reciprocated left and right by the traveling base 110, can be rotated 360 degrees by the rotating base 130, and can be moved up and down by the up / down post 140. The first to eighth robot arms 211 to 218 can be moved in the front-rear direction.

８つのロボットアームを最小の空間で効率的に作動させるために、本発明の一実施形態では次のような条件を提示する。   In order to efficiently operate the eight robot arms in a minimum space, the following conditions are presented in one embodiment of the present invention.

まず、図３でのように、第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８の配列を、左右、上下の４分割配列となるように２つのロボットアームを一組ずつ結合させ、結合された組のロボットアームを内側及び外側に配列させ、第１〜第８ロボットハンド２７１〜２７８を同一の間隔で離隔させて上下配列されるように、下部内側に第１、第２ロボットアーム２１１、２１２、下部外側に第３、第４ロボットアーム２１３、２１４、上部内側に第７、第８ロボットアーム２１７、２１８、上部外側に第５、第６ロボットアーム２１５、２１６を配列する構造を選択する。これは８つのロボットアームが同一の軌跡で作動できるようにするが、その体積を最小化するためであり、上下配列された第１〜第８ロボットハンド２７１〜２７８の出入り作動上における相互間の干渉を無くすための具現方法と言える。   First, as shown in FIG. 3, the two robot arms are combined one by one so that the arrangement of the first to eighth robot arms 211 to 218 is divided into left and right, and upper and lower, and the combined set of The first and second robot arms 211 and 212 are arranged on the lower inner side so that the robot arms are arranged on the inner side and the outer side, and the first to eighth robot hands 271 to 278 are vertically arranged at the same interval. A structure is selected in which the third and fourth robot arms 213 and 214 are arranged outside, the seventh and eighth robot arms 217 and 218 are arranged inside the upper portion, and the fifth and sixth robot arms 215 and 216 are arranged outside the upper portion. This is to allow the eight robot arms to operate with the same trajectory, but to minimize the volume of the robot arms, the first to eighth robot hands 271 to 278 arranged in an up-and-down direction can move between each other. It can be said that this is an implementation method for eliminating interference.

また、ワークパネル、ロボットハンド、回転ベース、アップダウンポストの位置上にて、体積の最小化及び作業効率を具現するようにする。   In addition, volume minimization and work efficiency are realized on the positions of the work panel, robot hand, rotating base, and up / down post.

図４を参照すると、ワークパネル１５０の中心、ロボットハンド２７１〜２７８の中心、回転ベース１３０の回転軸１３０ａ中心、及びアップダウンポスト１４０の中心が、基準ライン４０１の一直線上に置かれるように配置される。   Referring to FIG. 4, the center of the work panel 150, the center of the robot hands 271 to 278, the center of the rotation base 130 a of the rotation base 130, and the center of the up / down post 140 are arranged on a straight line of the reference line 401. Is done.

図６は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの８ロボットアームが収められた状態図であり、図７は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの第１ロボットアームが水平前進した状態図であり、図８は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの第４ロボットアームが水平前進した状態図であり、図９は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの第５ロボットアームが水平前進した状態図であり、図１０は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの第８ロボットアームが水平前進した状態図であり、図１１は、本発明の一実施形態による８ロボットアームを備えた搬送ロボットの８ロボットアーム全体が水平前進した状態図である。   FIG. 6 is a state diagram in which 8 robot arms of a transfer robot including 8 robot arms according to an embodiment of the present invention are housed, and FIG. 7 is a transfer including 8 robot arms according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 is a state diagram in which the first robot arm of the robot is horizontally advanced, and FIG. 8 is a state diagram in which the fourth robot arm of the transfer robot having the eight robot arms according to an embodiment of the present invention is horizontally advanced. FIG. 10 is a diagram illustrating a state in which a fifth robot arm of a transfer robot including 8 robot arms according to an embodiment of the present invention moves horizontally, and FIG. 10 illustrates a transfer robot including 8 robot arms according to an embodiment of the present invention. FIG. 11 is a state diagram in which the eighth robot arm is horizontally advanced, and FIG. 11 is an eight robot arm of a transfer robot including the eight robot arm according to an embodiment of the present invention. Body is a state diagram the horizontally forward.

本発明の一実施形態に係るアームユニット２００は、それぞれ８つのアームからなっており、アップダウンポスト１４０を基準として両サイド４分割されて上下４列ずつ配置される構造を有し、それぞれのロボットアームは、独立的駆動、同時駆動、及び選択的駆動が可能であり、１個のワークパネル、８個のワークパネル又は２個ないし７個のパネルを選択的に搬送が可能になる。   Each of the arm units 200 according to an embodiment of the present invention includes eight arms, and has a structure in which both sides are divided into four on the basis of the up / down post 140 and arranged in four rows at the top and bottom. The arm can be driven independently, simultaneously, and selectively, and can selectively transport one work panel, eight work panels, or two to seven panels.

図６を参照すると、第１〜第８ロボットハンド２７１〜２７８は、すべて両サイド及び上下の第１〜第４ロボットアーム組２１０〜２４０から形成される空間内に引き込まれて納められた形状を呈している。   Referring to FIG. 6, the first to eighth robot hands 271 to 278 are all drawn into a space formed by both sides and the upper and lower first to fourth robot arm sets 210 to 240. Presents.

図７を参照すると、第１ロボットアーム２１１の作動状態を示しているが、第１ロボットアーム２１１をベースとして第１スライダー２５１が前方に向かってスライドし、第１スライダー２５１と直角に結合した第１ブリッジ２６１が連動してスライドし、第１ブリッジ２６１と直角方向に結合した第１ロボットハンド２７１が前方に移動してワークパネル１５０ａを搬送したり取り出したりする。   Referring to FIG. 7, the operating state of the first robot arm 211 is shown. The first slider 251 slides forward based on the first robot arm 211 and is coupled to the first slider 251 at a right angle. The first bridge 261 slides in conjunction with each other, and the first robot hand 271 coupled to the first bridge 261 at a right angle moves forward to transport and take out the work panel 150a.

図８を参照すると、第４ロボットアーム２１４の作動状態を示しているが、第４ロボットアーム２１４をベースとして第４ロボットアーム２１４の外側面にスライディング可能に連結された第４スライダー２５４が前方に向かってスライドし、第４スライダー２５４と直角に結合された第４ブリッジ２６４が連動してスライドし、第４ブリッジ２６４と直角方向に結合した第４ロボットハンド２７４が前方に移動してワークパネル１５０ｄを搬送したり取り出したりする。   Referring to FIG. 8, the operating state of the fourth robot arm 214 is shown. The fourth slider 254 slidably connected to the outer surface of the fourth robot arm 214 based on the fourth robot arm 214 is forward. The fourth bridge 264 coupled at right angles to the fourth slider 254 slides in conjunction with it, and the fourth robot hand 274 coupled at right angles to the fourth bridge 264 moves forward to move the work panel 150d. Transport and take out

図９を参照すると、第５ロボットアーム２１５の作動状態を示しており、第５ロボットアーム２１５をベースとして第５スライダー２５５が前方に向かってスライドし、第５スライダー２５５と直角に結合した第５ブリッジ２６５連動してスライドし、第５ブリッジ２６５と直角方向に結合した第５ロボットハンド２７５が前方に移動してワークパネル１５０ｅを搬送したり取り出したりする。ここで、第５スライダー２５５と第５ブリッジ２６５は一体に形成されてもよく、残りの第１〜第８スライダー２５１〜２５８と第１〜第８ブリッジ２６１〜２６８もやはり一体に形成されてもよい。   Referring to FIG. 9, the operating state of the fifth robot arm 215 is shown. The fifth slider 255 slides forward based on the fifth robot arm 215 and is connected to the fifth slider 255 at a right angle. The fifth robot hand 275 that slides in conjunction with the bridge 265 and is coupled to the fifth bridge 265 in the direction perpendicular thereto moves forward to transport and take out the work panel 150e. Here, the fifth slider 255 and the fifth bridge 265 may be integrally formed, and the remaining first to eighth sliders 251 to 258 and the first to eighth bridges 261 to 268 may also be integrally formed. Good.

図１０を参照すると、第８ロボットアーム２１８の作動状態を示しており、第８ロボットアーム２１８の内側面をベースとして第８スライダー２５８が前方に向かってスライドし、第８スライダー２５８と直角に結合した第８ブリッジ２６８が連動してスライドし、第８ブリッジ２６８と直角方向に結合した第８ロボット２７８が前方に移動してワークパネル１５０ｈを搬送したり取り出したりする。   Referring to FIG. 10, the operating state of the eighth robot arm 218 is shown. The eighth slider 258 slides forward based on the inner surface of the eighth robot arm 218 and is coupled to the eighth slider 258 at a right angle. Then, the eighth bridge 268 slides in conjunction with each other, and the eighth robot 278 coupled to the eighth bridge 268 in a right angle direction moves forward to transport and take out the work panel 150h.

図１１は、第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８がすべて伸びた状態を示したものであって、８枚のワークパネルを同時に取り出し及び搬送するために使用され得る状態である。   FIG. 11 shows a state in which the first to eighth robot arms 211 to 218 are all extended, and is a state that can be used to simultaneously take out and transport eight work panels.

８枚のワークパネルを同時に取り出し及び搬送するため、図６及び図１１のように、同時に第１〜第８ロボットアーム２１１〜２１８を伸ばしたり収めることができ、第１〜第８ロボットハンド２７１〜２７８を上下同一の間隔を維持したまま、同一の作動軌道を有するようになる。   Since the eight work panels are taken out and conveyed at the same time, the first to eighth robot arms 211 to 218 can be simultaneously extended and retracted as shown in FIGS. The 278 has the same working trajectory while maintaining the same distance up and down.

以上、添付された図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明したが、上述した本発明の技術的構成は、本発明に属する技術分野の当業者が、本発明のその技術的思想や必須的特徴を変更せずに、他の具体的な形態で実施され得ることが理解できるだろう。それゆえに、以上において上述した実施形態は、全ての面で例示的なものであり、限定的なものでないことと理解されなければならず、本発明の範囲は、上記詳細な説明よりは後述する特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲の意味及び範囲、そしてその等価概念から導出される全ての変更又は変形された形態が、本発明の範囲に含まれるものと解釈されなければならない。   The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings. However, the technical configuration of the present invention described above is not limited to those skilled in the art belonging to the present invention. It will be understood that the invention can be implemented in other specific forms without changing essential characteristics. Therefore, it should be understood that the above-described embodiment is illustrative in all aspects and not restrictive, and the scope of the present invention will be described later than the above detailed description. All modifications or variations that are indicated by the claims and that are derived from the meaning and scope of the claims and equivalents thereof should be construed as being included within the scope of the present invention.

１００ ８ロボットアームを備えた搬送ロボット
１１０ 走行ベース
１２０ 走行スライダー
１３０ 回転ベース
１３０ａ 回転軸
１４０ アップダウンポスト
１５０、１５０ａ、１５０ｄ、１５０ｅ、１５０ｈ ワークパネル
２００ アームユニット
２１１、２１２、２１３、２１４、２１５、２１６、２１７、２１８ ロボットアーム
２１０、２２０、２３０、２４０ ロボットアーム組
２５１、２５２、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７、２５８ スライダー
２６１、２６２、２６３、２６４、２６５、２６６、２６７、２６８ ブリッジ
２７１、２７２、２７３、２７４、２７５、２７６、２７７、２７８ ロボットハンド
３１０ 下側部ロボットアーム
３２０ 上側部ロボットアーム 100 8 Transfer robot 110 equipped with robot arm Travel base 120 Travel slider 130 Rotation base 130a Rotation shaft 140 Up / down post 150, 150a, 150d, 150e, 150h Work panel 200 Arm unit 211, 212, 213, 214, 215, 216 217, 218 Robot arm 210, 220, 230, 240 Robot arm set 251, 252, 253, 254, 255, 256, 257, 258 Slider 261, 262, 263, 264, 265, 266, 267, 268 Bridge 271, 272, 273, 274, 275, 276, 277, 278 Robot hand 310 Lower robot arm 320 Upper robot arm

Claims (8)

アームユニットが、上下直線運動が可能なように結合するポストを含み、
前記アームユニットは、前記ポスト両側面の上下に結合する第１〜第４の４つのロボットアーム組からなり、
前記第１〜第４ロボットアーム組は、２つのロボットアームが水平に結合して一組からなり、第１〜第８ロボットアームからなる、８ロボットアームを備えた搬送ロボット。 The arm unit includes a post that is coupled so that vertical linear motion is possible,
The arm unit is composed of first to fourth four robot arm groups coupled to the upper and lower sides of the post side surfaces,
The first to fourth robot arm groups are transport robots having eight robot arms, each of which is composed of a pair of two robot arms coupled horizontally. 前記第１〜第８ロボットアームのうち、外側に配列されたロボットアームの外側面には、スライディング可能なようにスライダーが装着され、内側に配列されたロボットアームの内側面には、スライディング可能なようにスライダーが装着される、請求項１に記載の８ロボットアームを備えた搬送ロボット。   Among the first to eighth robot arms, a slider is mounted on the outer surface of the robot arm arranged on the outside so as to be slidable, and sliding is possible on the inner surface of the robot arm arranged on the inner side. The transfer robot comprising the eight robot arms according to claim 1, wherein the slider is mounted as described above. 前記スライダーと直角方向にブリッジが連結される、請求項２に記載の８ロボットアームを備えた搬送ロボット。   The transfer robot having the eight robot arms according to claim 2, wherein a bridge is connected to the slider in a direction perpendicular to the slider. 前記ブリッジと直角方向にロボットハンドが装着される、請求項３に記載の８ロボットアームを備えた搬送ロボット。 The transfer robot having the eight robot arms according to claim 3 , wherein a robot hand is mounted in a direction perpendicular to the bridge. 前記第１及び第２ロボットアーム組は下側に、前記第３及び第４ロボットアーム組は上側に配列され、
下側に配列された前記第１及び第２ロボットアーム組は、内側に第１及び第２ロボットアームが、外側に第３及び第４ロボットアームが配列され、
上側に配列された前記第３及び第４ロボットアーム組は、内側に第７及び第８ロボットアームが、外側に第５及び第６ロボットアームが配列される、請求項１に記載の８ロボットアームを備えた搬送ロボット。 The first and second robot arm groups are arranged on the lower side, and the third and fourth robot arm groups are arranged on the upper side,
In the first and second robot arm groups arranged on the lower side, the first and second robot arms are arranged on the inner side, and the third and fourth robot arms are arranged on the outer side,
2. The eight robot arms according to claim 1, wherein the third and fourth robot arm groups arranged on the upper side have the seventh and eighth robot arms arranged on the inner side and the fifth and sixth robot arms arranged on the outer side. Conveying robot equipped with. 前記ポストの下端部は、３６０度回転が可能な回転ベースの一側端に連結され、
前記第１〜第８ロボットアームには、それぞれ第１〜第８ロボットハンドが装着され、前記第１〜第８ロボットハンドの中心、前記回転ベースの回転軸及び前記ポストの中心は、一つの基準ラインに一直線上に配置される、請求項１に記載の８ロボットアームを備えた搬送ロボット。 The lower end of the post is connected to one end of a rotation base capable of rotating 360 degrees,
The first to eighth robot arms are respectively mounted with the first to eighth robot hands, and the center of the first to eighth robot hands, the rotation axis of the rotation base, and the center of the post are one reference. The transfer robot having the eight robot arms according to claim 1, which is arranged in a straight line on the line. 前記第１〜第８ロボットアームは、同時駆動、個別駆動又は２以上の選択駆動が可能な、請求項１に記載の８ロボットアームを備えた搬送ロボット。   2. The transfer robot including the eight robot arms according to claim 1, wherein the first to eighth robot arms are capable of simultaneous driving, individual driving, or two or more selective driving. 前記第１〜第８ロボットアームには、前後方作動が可能なようになったスライダーを介して第１〜第８ロボットハンドが装着され、
前記第１〜第８ロボットハンドは、上下に配列されて上下間隔が同一であり、運動軌道が互いに同一な、請求項１に記載の８ロボットアームを備えた搬送ロボット。 The first to eighth robot arms are mounted with the first to eighth robot hands via a slider that can operate forward and backward,
2. The transport robot having the eight robot arms according to claim 1, wherein the first to eighth robot hands are arranged vertically and have the same vertical spacing and the same motion trajectory.
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