JP5937775B1 - Ｍｅｍｓ圧力センサとその位置決め方法 - Google Patents

Abstract

ダイアフラムの圧力検出面側に第１の空間を有し、第１の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するＭＥＭＳ圧力センサと、ＭＥＭＳ圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第１のフィルムシートであって、第１の空間に連通しかつ第１の空間よりも大きな、圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第２の空間を有する第１のフィルムシートとを備えるＭＥＭＳ圧力センサ装置であって、圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第３の空間を有する第２のフィルムシートであって、ＭＥＭＳ圧力センサ装置を被測定部に載置する前に、被測定部の部位が第３の空間に位置するように載置するための第２のフィルムシートをさらに備える。

Description

本発明は、マイクロ電気機械システム（Micro Electro Mechanical Systems；以下、ＭＥＭＳという。）圧力センサ装置とそれを用いた圧力計測システム及びＭＥＭＳ圧力センサの位置決め方法に関する。

例えば、特許文献１においては、光センサを用いて例えば橈骨動脈部の脈圧を測定する測定システムが開示されている。

特に、特許文献１に係る発明では、皮膚を介して血管に光を放射する発光素子と、血管からの反射光又は血管を介した透過光を皮膚を介して受光する受光素子とを含む光探触子と、入力される駆動信号に基づいて発光素子を駆動する駆動回路と、受光素子により受光された光を電気信号に変換して出力する検出回路とを備えた光探触子回路を用いて血管脈波測定を行う血管脈波測定システムにおいて、電気信号を駆動信号として駆動回路に直接に同期帰還することで、検出回路から自励発振信号を発生して、当該自励発振信号を血管脈波信号として測定する測定手段と、自励発振信号のレベルが実質的に最大となるように、検出回路及び駆動回路の少なくとも一方の動作点を制御する制御手段とを含むことを特徴としている。

図１は従来例に係る脈波血圧計システムの構成例を示す概略図であり、図１（ａ）はＭＥＭＳ圧力センサ２２０の側面から見た縦断面図であり、図１（ｂ）は手首への接触面から見た底面図であり、図２は図１のＭＥＭＳ圧力センサ２２０を手首８の橈骨動脈部７に密着させたときの測定状態を示す縦断面図である（例えば、特許文献２参照）。

図１において、ＭＥＭＳ圧力センサ２２０はケーブルによりコネクタ２１１ａ，２１１ｂを介して脈波血圧計本体２１０に接続されて血管脈波信号に基づいて公知の方法により血圧を測定する。ここで、図２に示すように、ＭＥＭＳ圧力センサ２２０を手首８の橈骨動脈部７に密着させた後、ＭＥＭＳ圧力センサ２２０により検出した橈骨動脈圧の圧力変動を、圧力／電圧変換した電圧信号として検知し、あらかじめ測定した標準血圧値に電圧信号を対応させる方式で血圧に換算することで、被測定者の血圧を測定することができる。

特許第５０１７５０１号公報 国際出願公開第２０１２／１０１９５１号パンフレット

山越憲一、戸川達男共著、「生体用センサと計測装置」、日本生体医工学会編／ＭＥ教科書シリーズ、Ａ−１、ｐｐ．４９−５０、コロナ社、２０００年９月２５日発行

しかしながら、ＭＥＭＳ圧力センサ２２０の圧力検知用空洞孔２２０ｈの直径が１ｍｍ程度と非常に小さいことから下記の問題点があった。
（１）ＭＥＭＳ圧力センサ２２０からの信号波形の振幅が小さく、雑音を多く含み、信号品質がきわめて悪く、信号対雑音電力比（Ｓ／Ｎ比）がきわめて小さい。
（２）橈骨動脈部７の部位が非常に狭いために、ＭＥＭＳ圧力センサ２２０の検知部を載置する位置範囲がきわめて狭い。

本発明の目的は以上の問題点を解決し、従来例に比較してＭＥＭＳ圧力センサの検知部を正確に例えば橈骨動脈部７の部位に位置決めすることができ、従来例に比較して大きなＳ／Ｎ比を得ることができるＭＥＭＳ圧力センサとそれを用いた圧力計測システム、及びＭＥＭＳ圧力センサの位置決め方法を提供することにある。

第１の発明に係るＭＥＭＳ圧力センサは、
ダイアフラムの圧力検出面側に第１の空間を有し、上記第１の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するＭＥＭＳ圧力センサと、
上記ＭＥＭＳ圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第１のフィルムシートであって、上記第１の空間に連通しかつ上記第１の空間よりも大きな、上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第２の空間を有する第１のフィルムシートとを備えるＭＥＭＳ圧力センサ装置であって、
上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置を上記被測定部に位置決めするために上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第３の空間を有する第２のフィルムシートであって、上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置を上記被測定部に載置する前に、上記被測定部の部位が上記第３の空間に位置するように載置するための第２のフィルムシートをさらに備えたことを特徴とする。

上記ＭＥＭＳ圧力センサにおいて、上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置を上記第２のフィルムシートを介して上記被測定部に載置したときに上記第１の空間、上記第２の空間及び第３の空間が密閉されて密閉空間となり、上記被測定部の圧力が上記第１の空間、上記第２の空間及び上記第３の空間を介して上記ＭＥＭＳ圧力センサのダイアフラムに伝達されて上記ＭＥＭＳ圧力センサが圧力の検出を行うことを特徴とする。

また、上記ＭＥＭＳ圧力センサにおいて、上記第１の空間、上記第２の空間及び第３の空間はそれぞれ、上記ダイアフラムの圧力検出面に実質的に平行な底面を有し、かつ互いに同軸である実質的に円筒形状又は楕円筒形状を有することを特徴とする。

さらに、上記ＭＥＭＳ圧力センサにおいて、上記第３の空間の底面の直径は上記第２の空間の底面の直径よりも大きいことを特徴とする。

またさらに、上記ＭＥＭＳ圧力センサにおいて、上記第２の空間の底面の直径は上記第１の空間の底面の直径よりも大きいことを特徴とする。

また、上記ＭＥＭＳ圧力センサにおいて、上記第１及び第２のフィルムシートは粘着性シートであることを特徴とする。

第２の発明に係る圧力計測システムは、
上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置と、
上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置からの電気信号に基づいて、予め計測された電気信号レベルと圧力値との関係を参照して圧力値を算出して出力する圧力計測部とを備えることを特徴とする。

上記圧力計測システムにおいて、上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置の第３の空間は上記被測定部の血管に、圧力検出可能に近接して設けられ、
上記圧力計測部は上記圧力値である脈圧値を算出して出力することを特徴とする。

第３の発明に係るＭＥＭＳ圧力センサ装置の位置決め方法は、
ダイアフラムの圧力検出面側に第１の空間を有し、上記第１の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するＭＥＭＳ圧力センサと、
上記ＭＥＭＳ圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第１のフィルムシートであって、上記第１の空間に連通しかつ上記第１の空間よりも大きな、上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第２の空間を有する第１のフィルムシートとを備えるＭＥＭＳ圧力センサ装置の位置決め方法であって、
上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第３の空間を有する第２のフィルムシートを用いて、上記被測定部の部位が上記第３の空間に位置するように、上記第２のフィルムシートを上記被測定部の部位上に載置するステップと、
次いで、上記第１のフィルムシートを有するＭＥＭＳ圧力センサを、上記第２の空間が上記第３の空間に位置するように上記第２のフィルムシート上に載置することで、上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置を上記被測定部に位置決めするステップとを含むことを特徴とする。

本発明に係るＭＥＭＳ圧力センサとそれを用いた圧力計測システム、及びＭＥＭＳ圧力センサの位置決め方法によれば、従来例に比較してＭＥＭＳ圧力センサの検知部を正確に橈骨動脈部７の部位に位置決めすることができ、従来例に比較して大きなＳ／Ｎ比を得ることができる。

従来例に係る脈波血圧計システムの構成例を示す概略図であり、（ａ）はＭＥＭＳ圧力センサ２２０の側面から見た縦断面図であり、（ｂ）は手首への接触面から見た底面図である。 図１のＭＥＭＳ圧力センサ２２０を手首８の橈骨動脈部７に密着させたときの測定状態を示す縦断面図である。 本発明の実施形態１に係る圧力センサ部４０の構成を示す縦断面図である。 図３Ａの圧力センサ部４０の底面図である。 図３Ａの圧力センサ部４０を用いた脈圧計測システム１００の構成を示すブロック図である。 図３Ａの圧力センサ部４０を被測定者６の橈骨動脈部７に取り付けた圧力センサ部４０を示す斜視図である。 本発明の実施形態２に係る圧力センサ部４０Ａの構成を示す縦断面図である。 図６の圧力センサ部４０Ａを被測定者６の橈骨動脈部７に取り付けた圧力センサ部４０Ａを示す縦断面図である。 従来例に係る図１のＭＥＭＳ圧力センサ２２０を用いて橈骨動脈部の脈波信号を測定したときの実験結果の信号波形の写真であって、（ａ）はＭＥＭＳ圧力センサ２２０の出力信号波形であり、（ｂ）は当該出力信号を低域通過フィルタを通過させたときの信号波形である。 実施形態２に係る図６のＭＥＭＳ圧力センサ部４０Ａを用いて橈骨動脈部の脈波信号を測定したときの実験結果の信号波形の写真であって、（ａ）はＭＥＭＳ圧力センサ部４０Ａの出力信号波形であり、（ｂ）は当該出力信号を低域通過フィルタを通過させたときの信号波形である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同様の構成要素については同一の符号を付している。

実施形態１．
図３Ａは本発明の実施形態１に係る圧力センサ部４０の構成を示す縦断面図であり、図３Ｂは図３Ａの圧力センサ部４０の底面図である。

図３Ａ及び図３Ｂにおいて、例えばガラス又はエポキシなどの誘電体にてなり、厚さｔ１及び幅ｄ４の四角平板形状の誘電体基板（半導体基板であってもよい）１０の下側中央部に、ＭＥＭＳ圧力センサ１が複数の半田ボール３１を用いて固定される。半田ボール３１の厚さ分だけの空間３０が形成される。ＭＥＭＳ圧力センサ１は例えば幅ｄ３の四角平板形状を有し、その中央部に例えば円形又は楕円形状を有する圧力検出面２ａであるダイアフラム２を有する。ダイアフラム２の圧力検出面２ａに対向する面２ｂ側に上記空間３０が形成される。ダイアフラム２はＭＥＭＳ圧力センサ１の最上部の近傍においてＭＥＭＳ圧力センサ１の厚さｔ２よりも薄い厚さｔ３を有し、当該ダイアフラム２の下側に例えば円筒形状又は楕円筒形状の孔である空間２１が形成される。空間２１はダイアフラム２に対して密閉されているが、下側方向は開放されており、空間２１と空間３０とは連通されていない。ＭＥＭＳ圧力センサ１は、ダイアフラム２の圧力検出面２ａ側に高さｔ２の空間２１を有し、空間２１に対面する圧力検出面２ａを用いて圧力の検出を行い、検出した圧力に対応する電気信号を、誘電体基板１０を貫通して挿入されたケーブル４１を介して出力する。

誘電体基板１０の下面の一部１０ａ及びＭＥＭＳ圧力センサ１の側面１ａ及び下面１ｂの一部に接触して例えば両面の粘着性シートである厚さｔ３のパッド１１が貼付され、パッド１１はＭＥＭＳ圧力センサ１及び誘電体基板１０を支持する。ここで、パッド１１はその上部の厚さ（ｔ３−ｔ４）の中央部の空間の底面１１ｂ（中央部に後述する下方向の空間２２の孔を有する）で支持する。そして、パッド１１はその底面１１ａが例えば被測定者の手首８の橈骨動脈部７（図５参照）である被測定部に接触して載置され、パッド１１の中央部において空間２１に連通しかつ空間２１よりも大きな、圧力検出面２ａに平行な方向のサイズを有する貫通孔である空間２２を有する。ここで、空間２１及び空間２２はそれぞれ、例えばダイアフラム２の圧力検出面２ａに実質的に平行な底面を有し、かつ例えば互いに同軸である実質的に円筒形状又は楕円筒形状、あるいは正方形などの角形形状又は矩形形状等の形状を有する。実施形態では、空間２２の底面の直径ｄ２は空間２１の底面の直径ｄ１よりも大きくなるように構成されている。

以上のように構成された圧力センサ部４０を、例えば被測定者の手首８の橈骨動脈部７（図５参照）である被測定部に接触して載置したときに、空間２１及び空間２２が密閉されて密閉空間となり、被測定部の圧力が空間２１及び空間２２を介してＭＥＭＳ圧力センサ１のダイアフラム２に伝達されてＭＥＭＳ圧力センサ１が圧力の検出を行う。ＭＥＭＳ圧力センサ１の圧力検出信号はケーブル４１を介して出力される。

図４は図３Ａの圧力センサ部４０を用いた脈圧計測システム１００の構成を示すブロック図である。

図４において、圧力センサ部４０の空間２２が被測定者６の例えば橈骨動脈部７に圧力検出可能に近接するように載置された圧力センサ部４０からの圧力検出信号は、ケーブル４１、コネクタ４２ａ，４２ｂを介して、信号中継部１２０の信号増幅器４３に入力される。信号増幅器４３は入力される圧力検出信号を増幅してケーブル４４を介して脈圧計測部本体１１０のＡ／Ｄ変換器５３に入力される。

脈圧計測部本体１１０は、例えばディジタル計算機で構成され血管脈圧測定処理モジュール５１及び内部メモリ５０ｍを有する装置コントローラ５０と、例えば液晶ディスプレイなどの表示部５２と、Ａ／Ｄ変換器５３とを備えて構成される。Ａ／Ｄ変換器５３は入力される圧力検出信号をディジタルデータにＡ／Ｄ変換した後、装置コントローラ５０に出力する。装置コントローラ５０は、血管脈圧測定処理モジュール５１の処理を実行することにより、内部メモリ５０ｍに予め測定されて格納された信号レベル対圧力値校正テーブル（圧力検出信号の電気信号レベルと圧力値との関係を示す）を用いて、圧力検出信号のディジタルデータを脈圧値に変換して表示部５２に出力して表示する。ここで、装置コントローラ５０は上記の血管脈圧測定処理をリアルタイムに実行することにより血管脈波信号を算出して表示部５２に表示する。

図５は図３Ａの圧力センサ部４０を被測定者６の橈骨動脈部７に取り付けた圧力センサ部４０を示す斜視図である。図５から明らかなように、圧力センサ部４０を被測定者６の橈骨動脈部７に取り付けて脈圧を計測する。

発明者らは、本発明の実施形態に係る圧力センサ部４０及び脈圧計測システム１００を試作した。圧力センサ部４０のＭＥＭＳ圧力センサ１のダイアフラム２（空間２１）の直径ｄ１は１ｍｍ程度が最も好ましいという設計結果を得た。ここで、誘電体基板１０及びパッド１１の１辺の長さｄ４は３〜４ｍｍとし、空間２２の直径ｄ２は２〜３ｍｍとした。なお、ＭＥＭＳ圧力センサ１の厚さｔ２は４００μｍであり、パッド１１の下部の厚さは０．５〜１ｍｍであった。すなわち、従来技術のごとく空間２２がないときは、ＭＥＭＳ圧力センサ１のダイアフラム２の直径ｄ１の１ｍｍの範囲で血管の位置決めをする必要があり、その位置がずれたときは脈圧を検出できなかった。しかし、本実施形態では、空間２２を備えることにより、ＭＥＭＳ圧力センサ１のダイアフラム２が１〜１．５ｍｍ程度ずれても空間２２の範囲にあれば、脈圧を確実に検出することができる。また、本実施形態のＭＥＭＳ圧力センサ装置では、圧力を印加することなく、脈圧を検出できるので、長時間にわたって非観血的血圧脈波の測定を行うことができる。また、従来例のごとく、特許文献２の測定方法を用いて被測定者の血圧を測定することができる。

以上のように構成された本実施形態に係る圧力センサ部４０を被測定部に載置したときに、空間２１及び空間２２が密閉されて密閉空間となり、被測定部の圧力が空間２１及び空間２２を介してＭＥＭＳ圧力センサ１のダイアフラム２に伝達されてＭＥＭＳ圧力センサ１が圧力の検出を行う。従って、ＭＥＭＳ圧力センサ１の位置が測定位置に対してずれていても、被測定部の圧力を正確に測定することができる。また、被測定部に対して圧力を印加する必要がないので、長時間にわたって、例えば非観血的血圧脈波の測定を行うことができる。

実施形態２．
図６は本発明の実施形態２に係る圧力センサ部４０Ａの構成を示す縦断面図である。図６において、実施形態２に係る圧力センサ部４０Ａは、図３Ａの圧力センサ部４０に比較して以下の点が異なる。
（１）パッド１１の底面部を削除して厚さｔ４のフィルムシート１２を接着させた。ここで、フィルムシート１２はその中央部に圧力検知用空洞孔１２ｈにより空間２２を形成する。
（２）フィルムシート１２を有する圧力センサ部４０Ａの位置決めのために、事前に手首８の橈骨動脈部７に接着するフィルムシート１３をさらに備える。フィルムシート１３はその中央部に圧力検知用空洞孔１３ｈにより、圧力検出面に平行な方向のサイズを有する空間２３を形成する。ここで、フィルムシート１３の橈骨動脈部７への貼付を容易にするために、圧力検知用空洞孔１３ｈの直径ｄ５は、フィルムシート１２の圧力検知用空洞孔１２ｈの直径ｄ２よりも大きい。構成例では、ｄ５＝５ｍｍ、ｄ２＝３ｍｍである。また、空間２１，２２，２３により実施形態１において説明した密閉空間を構成する。
（３）圧力センサ部４０Ａの誘電体基板１０の上面の中央部に中央を示すマーク１０Ｃを好ましくは描いておく。

次いで、圧力センサ部４０Ａ及びフィルムシート１３を用いた圧力センサ部４０Ａの位置決め方法の手順を以下に説明する。

ＭＥＭＳ圧力センサの圧力センサ部４０Ａを用いた脈波測定システムにおいて、血管脈動をより高いＳ／Ｎ比で検知するために、被測定者の手首８の橈骨動脈部７上に圧力センサ部４０Ａを正確に配置する必要がある。この動作を効率良く実施するために図７に示すように以下の手順を用いる。
（ステップＡ）最初に橈骨動脈部７の位置（最初に脈の取れる位置を確認しマーキングした箇所が好ましい）にフィルムシート１３を貼付する。ここで、フィルムシート１３の接着下面１３ｂが橈骨動脈部７の皮膚表面に接着し、フィルムシート１３の圧力検知用空洞孔１３ｈの中央部が橈骨動脈部７に位置するようにフィルムシート１３を位置決めして貼付する。
（ステップＢ）次いで、フィルムシート１３の上面１３ａに、圧力センサ部４０Ａのフィルムシート１２を貼付する。ここで、マーク１０Ｃが圧力検知用空洞孔１３ｈの中央部に位置するように、すなわち、フィルムシート１２の圧力検知用空洞孔１２ｈの中央部が圧力検知用空洞孔１３ｈの中央部に位置するように、フィルムシート１２を有する圧力センサ部４０Ａを位置決めする。

図７は図６の圧力センサ部４０Ａを被測定者６の橈骨動脈部７に取り付けた圧力センサ部４０Ａを示す縦断面図である。すなわち、図７は上記ステップＢの後の状態を示す。

以上のように、二段階の貼り付けステップでＭＥＭＳセンサで脈動を検知するための密閉空間２１，２２，２３を確実に形成することができる。なお、実施形態２の圧力センサ部４０Ａは実施形態１に係る圧力センサ部４０と同様に、圧力センサ部４０Ａを被測定部に載置したときに、空間２１，２２，２３が密閉されて密閉空間となり、被測定部の圧力が空間２１，２２，２３を介してＭＥＭＳ圧力センサ１のダイアフラム２に伝達されてＭＥＭＳ圧力センサ１が圧力の検出を行う。従って、ＭＥＭＳ圧力センサ１の位置が測定位置に対してずれていても、被測定部の圧力を正確に測定することができる。また、被測定部に対して圧力を印加する必要がないので、長時間にわたって、例えば非観血的血圧脈波の測定を行うことができる。

図８は従来例に係る図１のＭＥＭＳ圧力センサ２２０を用いて橈骨動脈部の脈波信号を測定したときの実験結果の信号波形の写真であって、図８（ａ）はＭＥＭＳ圧力センサ２２０の出力信号波形であり、図８（ｂ）は当該出力信号を低域通過フィルタを通過させたときの信号波形である。また、図９は実施形態２に係る図６のＭＥＭＳ圧力センサ部４０Ａを用いて橈骨動脈部の脈波信号を測定したときの実験結果の信号波形の写真であって、図９（ａ）はＭＥＭＳ圧力センサ部４０Ａの出力信号波形であり、図９（ｂ）は当該出力信号を低域通過フィルタを通過させたときの信号波形である。

図８と図９の比較から明らかなように、実施形態２の信号波形は従来例の信号波形に比較して、センサの出力波形及び低域通過後の信号波形ともに、大幅にＳ／Ｎ比を増大させて測定できる。

以上の本実施形態においては、脈圧計測システム及び血圧測定システムについて説明しているが、本発明はこれに限らず、人間以外の動物の脈圧、及び一般的な圧力を計測する圧力計測システム及び血圧測定システムに適用することができる。また、圧力センサ部４０，４０Ａは圧力センサ装置として用いることができ、血管の脈圧のみならず、人間以外の動物の脈圧、及び一般的な圧力を検出することができる。

また、各空洞孔が形成する空間２１，２２，２３の形状は円筒形状のみならず、楕円筒形状であってもよい。

以上詳述したように、本発明によれば、ＭＥＭＳ圧力センサ装置を被測定部に載置したときに密閉空間となり、被測定部の圧力が２つ又は３つの空間を介してＭＥＭＳ圧力センサのダイアフラムに伝達されてＭＥＭＳ圧力センサが圧力の検出を行う。従って、ＭＥＭＳ圧力センサの位置が測定位置に対してずれていても、被測定部の圧力を正確に測定することができる。また、被測定部に対して圧力を印加する必要がないので、長時間にわたって、非観血的血圧脈波の測定を行うことができる。

また、本発明によれば、従来例に比較してＭＥＭＳ圧力センサの検知部を正確に橈骨動脈部の部位に位置決めすることができ、従来例に比較して大きなＳ／Ｎ比を得ることができる。

１…ＭＥＭＳ圧力センサ、
２…ダイアフラム、
６…被測定者、
７…橈骨動脈部、
８…手首、
１０…誘電体基板、
１１…パッド、
１２，１２Ａ，１３…フィルムシート、
２１，２２，３０…空間、
３１…半田ボール、
４０，４０Ａ…圧力センサ部、
４１，４４…ケーブル、
４２ａ，４２ｂ…コネクタ、
４３…信号増幅器、
５０…装置コントローラ、
５０ｍ…内部メモリ、
５１…血管脈圧測定処理モジュール、
５２…表示部、
５３…Ａ／Ｄ変換器、
１００…脈圧計測システム、
１１０…脈圧計測部本体、
１２０…信号中継部、
２１０…脈波血圧計本体、
２１１ａ，２１１ｂ…コネクタ、
２２０…ＭＥＭＳ圧力センサ、
２２０ｈ…圧力検知用空洞孔。

Claims (9)

1. ダイアフラムの圧力検出面側に第１の空間を有し、上記第１の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するＭＥＭＳ圧力センサと、
   上記ＭＥＭＳ圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第１のフィルムシートであって、上記第１の空間に連通しかつ上記第１の空間よりも大きな、上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第２の空間を有する第１のフィルムシートとを備えるＭＥＭＳ圧力センサ装置であって、
   上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置を上記被測定部に位置決めするために上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第３の空間を有する第２のフィルムシートであって、上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置を上記被測定部に載置する前に、上記被測定部の部位が上記第３の空間に位置するように載置するための第２のフィルムシートをさらに備えたことを特徴とするＭＥＭＳ圧力センサ装置。
2. 上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置を上記第２のフィルムシートを介して上記被測定部に載置したときに上記第１の空間、上記第２の空間及び第３の空間が密閉されて密閉空間となり、上記被測定部の圧力が上記第１の空間、上記第２の空間及び上記第３の空間を介して上記ＭＥＭＳ圧力センサのダイアフラムに伝達されて上記ＭＥＭＳ圧力センサが圧力の検出を行うことを特徴とする請求項１記載のＭＥＭＳ圧力センサ装置。
3. 上記第１の空間、上記第２の空間及び第３の空間はそれぞれ、上記ダイアフラムの圧力検出面に実質的に平行な底面を有し、かつ互いに同軸である実質的に円筒形状又は楕円筒形状を有することを特徴とする請求項１又は２記載のＭＥＭＳ圧力センサ装置。
4. 上記第３の空間の底面の直径は上記第２の空間の底面の直径よりも大きいことを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか１つに記載のＭＥＭＳ圧力センサ装置。
5. 上記第２の空間の底面の直径は上記第１の空間の底面の直径よりも大きいことを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか１つに記載のＭＥＭＳ圧力センサ装置。
6. 上記第１及び第２のフィルムシートは粘着性シートであることを特徴とする請求項１〜５のうちのいずれか１つに記載のＭＥＭＳ圧力センサ装置。
7. 請求項１〜６のうちのいずれか１つに記載のＭＥＭＳ圧力センサ装置と、
   上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置からの電気信号に基づいて、予め計測された電気信号レベルと圧力値との関係を参照して圧力値を算出して出力する圧力計測部とを備えることを特徴とする圧力計測システム。
8. 上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置の第３の空間は上記被測定部の血管に、圧力検出可能に近接して設けられ、
   上記圧力計測部は上記圧力値である脈圧値を算出して出力することを特徴とする請求項７記載の圧力計測システム。
9. ダイアフラムの圧力検出面側に第１の空間を有し、上記第１の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するＭＥＭＳ圧力センサと、
   上記ＭＥＭＳ圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第１のフィルムシートであって、上記第１の空間に連通しかつ上記第１の空間よりも大きな、上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第２の空間を有する第１のフィルムシートとを備えるＭＥＭＳ圧力センサ装置の位置決め方法であって、
   上記圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第３の空間を有する第２のフィルムシートを用いて、上記被測定部の部位が上記第３の空間に位置するように、上記第２のフィルムシートを上記被測定部の部位上に載置するステップと、
   次いで、上記第１のフィルムシートを有するＭＥＭＳ圧力センサを、上記第２の空間が上記第３の空間に位置するように上記第２のフィルムシート上に載置することで、上記ＭＥＭＳ圧力センサ装置を上記被測定部に位置決めするステップとを含むことを特徴とするＭＥＭＳ圧力センサ装置の位置決め方法。

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