JP5932296B2 - 加工装置 - Google Patents
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Description
2;チャックテーブル 2a:ベーステーブル 2b:ジャバラ
20:吸着保持部 20a:吸着保持面 200:フラット部
21:基台 210:吸引路 211:凹部 211a:底床 211b:環状壁
22:ブロック固定部 220:位置決め面
23:吸引源
24:位置決めブロック
240、241:水平板 241a:雌ネジ 242:垂直壁
243:角度位置決め部 244:中心位置決め部
3:加工手段 30:ハウジング 31:回転軸 32:ホイール 33:バイト工具
4:送り手段
40:ボールスクリュー 41:ガイドレール 42:パルスモータ 43:昇降部
5:ブロック取付け部
50:固定ネジ 50a:雄ネジ
51:上下調整ネジ 51a:貫通孔 51b:雄ネジ
W:板状ワーク
W1:表面 W2:裏面
OF:オリエンテーションフラット D:デバイス L:分割予定ライン B:バンプ
Wa:板状ワーク W1a:表面 W2a:裏面
Claims (1)
- オリエンテーションフラットを有する板状ワークの裏面を吸着保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークの表面を加工する加工手段と、を備えた加工装置であって、
該チャックテーブルは、板状ワークと相似形に形成され該板状ワークより狭い面積の吸着保持面を備え該オリエンテーションフラットに対応するフラット部を備えた吸着保持部と、該吸着保持部の外側を囲繞する環状壁および該吸着保持部の底面を支持する底床とから構成された基台部と、該板状ワークを所定の位置に位置決めする位置決めブロックが固定される部分であるブロック固定部とを備え、
該位置決めブロックは、該板状ワークのオリエンテーションフラットと該フラット部とを平行にする角度位置決め部と、該角度位置決め部の両端に設けられチャックテーブル中心と板状ワーク中心とを一致させる2つの中心位置決め部と、該位置決めブロックを該チャックテーブルに取り付けるブロック取付け部と、を備えており、
該ブロック取付け部は、前記位置決めブロックの上下方向の取付け位置を調整する上下調整機構を備え、
該オリエンテーションフラットの両端近傍の円弧部分を該2つの中心位置決め部に当接させると共に、板状ワークのオリエンテーションフラットを該角度位置決め部に当接させることで、板状ワークの位置決めを可能とする加工装置。
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